JPS61194400A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPS61194400A JPS61194400A JP3495185A JP3495185A JPS61194400A JP S61194400 A JPS61194400 A JP S61194400A JP 3495185 A JP3495185 A JP 3495185A JP 3495185 A JP3495185 A JP 3495185A JP S61194400 A JPS61194400 A JP S61194400A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- vacuum container
- irradiation
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- vacuum
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims description 25
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 11
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は電子線照射装置に関し、特に、真空容器に回
転機構を設けることによって照射窓の窓箔交換の作業性
を向上させた電子線照射装置に関する。
転機構を設けることによって照射窓の窓箔交換の作業性
を向上させた電子線照射装置に関する。
第３図は従来の電子線照射装置の平面図であり、第４図
はその正面図であり、第５図は第３図の線Ｖ−Ｖ方向に
見た図である。この例の電子線照射装置は、真空容器６
内に、電子線ＥＢを発生し加速する電子線発生・加速部
８が設けられており、当該電子線発生・加速部８には、
直流電源２で発生した直流高電圧（例えば数百ＫＶ）が
圧力容器４内の直流導体２０を介して供給される。また
、真空容器６には、窓箔（図示省略）を有していて真空
側ＶＳと照射雰囲気側（例えば大気側）ＡＳとを分離す
る照射窓１０が取り付けられており、電子線発生・加速
部８からの電子線ＥＢは当該照射窓ｌＯを通して照射雰
囲気側ＡＳにある被照射物１２に照射される。被照射物
１２はこの例ではシート状のものであり、ローラ１５等
から成るコンベアライン１６によって搬送される。尚、
符号１４はカバーである。
はその正面図であり、第５図は第３図の線Ｖ−Ｖ方向に
見た図である。この例の電子線照射装置は、真空容器６
内に、電子線ＥＢを発生し加速する電子線発生・加速部
８が設けられており、当該電子線発生・加速部８には、
直流電源２で発生した直流高電圧（例えば数百ＫＶ）が
圧力容器４内の直流導体２０を介して供給される。また
、真空容器６には、窓箔（図示省略）を有していて真空
側ＶＳと照射雰囲気側（例えば大気側）ＡＳとを分離す
る照射窓１０が取り付けられており、電子線発生・加速
部８からの電子線ＥＢは当該照射窓ｌＯを通して照射雰
囲気側ＡＳにある被照射物１２に照射される。被照射物
１２はこの例ではシート状のものであり、ローラ１５等
から成るコンベアライン１６によって搬送される。尚、
符号１４はカバーである。
第６図は、第３図のＤ部回りを拡大した概略図である。
上述のような電子線照射装置においては、この図に示す
ように、真空容器６はボルト５によ・ って圧力容器４に固定されている。尚、符号１８は直流
導体２０の保持、圧力容器４と真空容器６との仕切・り
等のためのスペーサーコーンである。
ように、真空容器６はボルト５によ・ って圧力容器４に固定されている。尚、符号１８は直流
導体２０の保持、圧力容器４と真空容器６との仕切・り
等のためのスペーサーコーンである。
真空容器６に取り付けられた照射窓１０の窓箔は消耗等
のために交換を要する。所が、上述のように真空容器６
は固定されているため、照射窓１０の窓箔の交換は第５
図のＢ部に示すスペースで行わなければならない、しか
しながら、Ｂ部には照射窓１０からの電子ｉＥＢを受け
るための水冷のビームキャッチャ−１３とか、上述した
ローラ１５等の種々の機構が設けられているため、その
スペースは非常に狭い。従って、照射窓１０の窓箔交換
の作業性は非常に悪い。
のために交換を要する。所が、上述のように真空容器６
は固定されているため、照射窓１０の窓箔の交換は第５
図のＢ部に示すスペースで行わなければならない、しか
しながら、Ｂ部には照射窓１０からの電子ｉＥＢを受け
るための水冷のビームキャッチャ−１３とか、上述した
ローラ１５等の種々の機構が設けられているため、その
スペースは非常に狭い。従って、照射窓１０の窓箔交換
の作業性は非常に悪い。
それゆえこの発明は、照射窓の窓箔交換の作業性を同上
させることができる電子線照射装置を提供することを目
的とする。
させることができる電子線照射装置を提供することを目
的とする。
この発明の電子線照射装置は、真空容器に回転機構を設
けている。
けている。
〔作用〕
真空容器に回転機構が設けられているため真空容器を回
転させることができ、これによって真空容器に取り付け
られた照射窓を作業性の良い方向に向けることができる
。
転させることができ、これによって真空容器に取り付け
られた照射窓を作業性の良い方向に向けることができる
。
第１図は、この発明に係る電子線照射装置の真空容器の
回転機構回りの一例を示す概略図である。
回転機構回りの一例を示す概略図である。
その他の部分については上述した従来の電子線照射装置
と同様であるので、ここではその説明を省略する。
と同様であるので、ここではその説明を省略する。
真空容器６に、ベアリング２２．２４等から成る回転機
構が設けられており、これによって真空容器６をその軸
３０を中心に回転させることができる。この場合、圧力
容器４内には電気絶縁のためニ１ 、 ５ Ｋ ｇ ／
ｃｍ”Ｇ程度のＳＦ６ガスが封入されているので、０リ
ング２６．２８によって回転部分をガスシールしている
。また、この例では電子線発生・加速部８及びスペーサ
ーコーン１８は回転する真空容器６側に取り付けられて
いて真空容器６の回転と共に回転するので、それらの回
転に支障が無いように直流導体２０には例えばフレキシ
ブルな部分（図示省略）を設けている。
構が設けられており、これによって真空容器６をその軸
３０を中心に回転させることができる。この場合、圧力
容器４内には電気絶縁のためニ１ 、 ５ Ｋ ｇ ／
ｃｍ”Ｇ程度のＳＦ６ガスが封入されているので、０リ
ング２６．２８によって回転部分をガスシールしている
。また、この例では電子線発生・加速部８及びスペーサ
ーコーン１８は回転する真空容器６側に取り付けられて
いて真空容器６の回転と共に回転するので、それらの回
転に支障が無いように直流導体２０には例えばフレキシ
ブルな部分（図示省略）を設けている。
上述のような構造によって、例えば作業者によって真空
容器６を任意の方向に向けることができるため、それに
取り付けられた照射窓１０を広いスペースに向けること
ができる０例えば再び第３図及び第５図を参照して、真
空容器６を矢印Ｆの方向に回転させて、０部のような広
いスペースに照射窓１０を向けることもできる。（符号
１０′参照）、そうすると照射窓１０の窓箔の交換は０
部の広いスペースで行うことができるので、窓箔交換の
作業性は大幅に向上する。
容器６を任意の方向に向けることができるため、それに
取り付けられた照射窓１０を広いスペースに向けること
ができる０例えば再び第３図及び第５図を参照して、真
空容器６を矢印Ｆの方向に回転させて、０部のような広
いスペースに照射窓１０を向けることもできる。（符号
１０′参照）、そうすると照射窓１０の窓箔の交換は０
部の広いスペースで行うことができるので、窓箔交換の
作業性は大幅に向上する。
第・２図は、この発明に係る電子線照射装置の真空容器
の回転機構回りの他の例を示す概略図である。第１図の
実施例との主な相違点は、電子線発生・加速部８及びス
ペーサーコーン１８は、固定した圧力容器４側に取り付
けられていて、真空容器６を回転させてもそれらは回転
しないことである。それゆえ、この例では直流導体２０
はねじれないのでそこにフレキシブルな部分を設ける必
要はない。この場合、真空容器６内は高真空（例えば、
１０−’〜１０−’Ｔ ｏ ｒ ｒ程度）に排気される
ため、０リング２６．２８によって回転部分を真空シー
ルする。
の回転機構回りの他の例を示す概略図である。第１図の
実施例との主な相違点は、電子線発生・加速部８及びス
ペーサーコーン１８は、固定した圧力容器４側に取り付
けられていて、真空容器６を回転させてもそれらは回転
しないことである。それゆえ、この例では直流導体２０
はねじれないのでそこにフレキシブルな部分を設ける必
要はない。この場合、真空容器６内は高真空（例えば、
１０−’〜１０−’Ｔ ｏ ｒ ｒ程度）に排気される
ため、０リング２６．２８によって回転部分を真空シー
ルする。
以上のようにこの発明によれば、真空容器に回転機構を
設けているため真空容器を回転させることができ、これ
によって真空容器に取り付けられた照射窓を作業性の良
い方向に向けることができる。その結果、照射窓の窓箔
交換の作業性を向上させることができる。
設けているため真空容器を回転させることができ、これ
によって真空容器に取り付けられた照射窓を作業性の良
い方向に向けることができる。その結果、照射窓の窓箔
交換の作業性を向上させることができる。
第１図は、この発明に係る電子線照射装置の真空容器の
回転機構回りの一例を示す概略図である。 第２図は、この発明に係る電子線照射装置の真空容器の
回転機構回りの他の例を示す概略図である。 第３図は従来の電子線照射装置の平面図であり、第４図
はその正面図であり、第５図は第３図の線Ｖ−Ｖ方向に
見た図である。第６図は、第３図のＤ部回りを拡大した
概略図である。 ４゛・・・圧力容器、６・・・真空容器、８・・・電子
線発生・加速部、１０・・・照射窓、１８・・・スペ−
サーコーン、２２．２４・・・ベアリング、２６゜２８
・・・ ０リング
回転機構回りの一例を示す概略図である。 第２図は、この発明に係る電子線照射装置の真空容器の
回転機構回りの他の例を示す概略図である。 第３図は従来の電子線照射装置の平面図であり、第４図
はその正面図であり、第５図は第３図の線Ｖ−Ｖ方向に
見た図である。第６図は、第３図のＤ部回りを拡大した
概略図である。 ４゛・・・圧力容器、６・・・真空容器、８・・・電子
線発生・加速部、１０・・・照射窓、１８・・・スペ−
サーコーン、２２．２４・・・ベアリング、２６゜２８
・・・ ０リング
Claims (1)
- （１）真空容器内に設けられた電子線発生・加速部から
の電子線を、真空容器に取り付けられていて真空側と照
射雰囲気側とを分離する照射窓を通して照射雰囲気側に
照射する電子線照射装置において、当該真空容器に回転
機構を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3495185A JPS61194400A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3495185A JPS61194400A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61194400A true JPS61194400A (ja) | 1986-08-28 |
Family
ID=12428468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3495185A Pending JPS61194400A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61194400A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989009906A1 (en) * | 1988-04-07 | 1989-10-19 | Loma Linda University Medical Center | Roller-supported, modular, isocentric gantry and method of assembly |
| JP2005300327A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子線照射装置 |
| US8093569B2 (en) | 2003-08-12 | 2012-01-10 | Loma Linda University Medical Centre | Modular patient support system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5027159A (ja) * | 1973-07-13 | 1975-03-20 |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP3495185A patent/JPS61194400A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5027159A (ja) * | 1973-07-13 | 1975-03-20 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989009906A1 (en) * | 1988-04-07 | 1989-10-19 | Loma Linda University Medical Center | Roller-supported, modular, isocentric gantry and method of assembly |
| US5039057A (en) * | 1988-04-07 | 1991-08-13 | Loma Linda University Medical Center | Roller-supported, modular, isocentric gentry and method of assembly |
| US8093569B2 (en) | 2003-08-12 | 2012-01-10 | Loma Linda University Medical Centre | Modular patient support system |
| US8418288B2 (en) | 2003-08-12 | 2013-04-16 | Loma Linda University Medical Center | Modular patient support system |
| JP2005300327A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子線照射装置 |
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