JPS61196523U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61196523U JPS61196523U JP7927385U JP7927385U JPS61196523U JP S61196523 U JPS61196523 U JP S61196523U JP 7927385 U JP7927385 U JP 7927385U JP 7927385 U JP7927385 U JP 7927385U JP S61196523 U JPS61196523 U JP S61196523U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- chemical vapor
- chamber
- reaction gas
- inlet
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 9
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の横形化学蒸着式成膜装置の一
実施例における垂直断面図、第２図は従来の横形
化学蒸着式成膜装置の垂直断面図である。 １…化学蒸着式成膜装置（ＣＶＤ）のチヤンバ
、２…盲蓋、３…サセプタ、４…反応ガス導入口
、５…排気、６…フランジ付き短管、７…円錐管
状キヤツプ、８…反応ガス流入管。
実施例における垂直断面図、第２図は従来の横形
化学蒸着式成膜装置の垂直断面図である。 １…化学蒸着式成膜装置（ＣＶＤ）のチヤンバ
、２…盲蓋、３…サセプタ、４…反応ガス導入口
、５…排気、６…フランジ付き短管、７…円錐管
状キヤツプ、８…反応ガス流入管。
Claims (1)
- 水平に設置された筒状の化学蒸着チヤンバ内に
サセプタを設けて、被処理物である半導体ウエハ
を垂直姿勢に支承し、前記筒状化学蒸着チヤンバ
の一端から反応ガスを送入しつつ他端から排気す
る構造の横形化学蒸着式成膜装置において、前記
筒状の化学蒸着チヤンバの反応ガス送入端に円錐
筒状のキヤツプを装着すると共に、該円錐管状キ
ヤツプの頂点部に、前記筒状チヤンバの中心線方
向に反応ガスを送入するガス導入口を設け、この
導入口からチヤンバ内に流入する反応ガスが前記
円錐管状キヤツプに導かれて拡散するとともに、
筒状の化学蒸着チヤンバの入口端付近において層
流を形成するように構成したことを特徴とする横
形化学蒸着式成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7927385U JPS61196523U (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7927385U JPS61196523U (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196523U true JPS61196523U (ja) | 1986-12-08 |
Family
ID=30624032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7927385U Pending JPS61196523U (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61196523U (ja) |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP7927385U patent/JPS61196523U/ja active Pending
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