JPH01123336U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01123336U JPH01123336U JP1883188U JP1883188U JPH01123336U JP H01123336 U JPH01123336 U JP H01123336U JP 1883188 U JP1883188 U JP 1883188U JP 1883188 U JP1883188 U JP 1883188U JP H01123336 U JPH01123336 U JP H01123336U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- furnace
- reduced pressure
- cvd apparatus
- reactant gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案炉口部の一実施例を適用した縦
形減圧ＣＶＤ装置の主要部を示す断面図、第２図
は従来炉口部の一例を適用した縦形減圧ＣＶＤ装
置の断面図である。 １……管状炉、２，３……外、内側反応管、４
……ボート、５……ウエーハ、８……炉口フラン
ジ、９……シールキヤツプ、１２……真空引き口
、１３……ガス導入口、１５……炉口（ボート挿
入口）、１６……真空引き口、１７，１８……外
、内側Ｏリング、１９……反応管。
形減圧ＣＶＤ装置の主要部を示す断面図、第２図
は従来炉口部の一例を適用した縦形減圧ＣＶＤ装
置の断面図である。 １……管状炉、２，３……外、内側反応管、４
……ボート、５……ウエーハ、８……炉口フラン
ジ、９……シールキヤツプ、１２……真空引き口
、１３……ガス導入口、１５……炉口（ボート挿
入口）、１６……真空引き口、１７，１８……外
、内側Ｏリング、１９……反応管。
Claims (1)
- 加熱用の管状炉１を垂直に置き、この管状炉１
内に反応管１９を挿設し、この反応管１９内にウ
エーハ５を載置したボート４を搬入し、反応管１
９内を真空にした後、反応ガスを反応ガス導入口
１３より導入することによりウエーハ４の表面に
ＣＶＤ膜を生成する縦形減圧ＣＶＤ装置において
、反応管１９と炉口フランジ８の接触部分と、炉
口フランジ８と炉口１５の開閉用のシールキヤツ
プ９の接触部分に、それぞれ外、内側のＯリング
１７，１８を設け、当該外、内側Ｏリング１７，
１８間を真空引き口１６に連通せしめてなる縦形
減圧ＣＶＤ装置における炉口部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1883188U JPH01123336U (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1883188U JPH01123336U (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01123336U true JPH01123336U (ja) | 1989-08-22 |
Family
ID=31233821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1883188U Pending JPH01123336U (ja) | 1988-02-15 | 1988-02-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01123336U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5812939B2 (ja) * | 1975-05-16 | 1983-03-10 | 東レ株式会社 | スラブヤ−ンノセイゾウホウホウ |
| JPS6013960B2 (ja) * | 1975-01-23 | 1985-04-10 | コーリング・カムパニー | 取脱可能な上部構造を有したクレーン |
-
1988
- 1988-02-15 JP JP1883188U patent/JPH01123336U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6013960B2 (ja) * | 1975-01-23 | 1985-04-10 | コーリング・カムパニー | 取脱可能な上部構造を有したクレーン |
| JPS5812939B2 (ja) * | 1975-05-16 | 1983-03-10 | 東レ株式会社 | スラブヤ−ンノセイゾウホウホウ |
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