JPS61201149A - センサ駆動装置 - Google Patents
センサ駆動装置Info
- Publication number
- JPS61201149A JPS61201149A JP4120885A JP4120885A JPS61201149A JP S61201149 A JPS61201149 A JP S61201149A JP 4120885 A JP4120885 A JP 4120885A JP 4120885 A JP4120885 A JP 4120885A JP S61201149 A JPS61201149 A JP S61201149A
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- JP
- Japan
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- gas
- sensitive material
- current
- heater
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
薮皇分互
本発明は、感応物質の電気抵抗値変化を利用するセンサ
の駆動方法に関し、より詳細には、ガスセンサ、温度セ
ンサ、湿度センサ又はアルコールセンサ等に適用可能な
センサ駆動方法に関するものである。
の駆動方法に関し、より詳細には、ガスセンサ、温度セ
ンサ、湿度センサ又はアルコールセンサ等に適用可能な
センサ駆動方法に関するものである。
盗】Ｕ１揉
従来、ガス検出装置として、金属酸化物半導体から成る
ガス感応物質の内部にその電極を兼ねたヒータコイルを
内蔵し、ヒータコイルにより所定温度に加熱した金属酸
化物半導体の抵抗値が表面でのガス吸着によって低下す
ることを利用したものがある。この場合、乾電池駆動に
適した低消費電力とする為、通常、ヒータに間欠パルス
電圧を印加して発熱させ、そのタイミングに同期してガ
ス感応物質が加熱されている時間内にそれからの出力を
検出する構成となっている。
ガス感応物質の内部にその電極を兼ねたヒータコイルを
内蔵し、ヒータコイルにより所定温度に加熱した金属酸
化物半導体の抵抗値が表面でのガス吸着によって低下す
ることを利用したものがある。この場合、乾電池駆動に
適した低消費電力とする為、通常、ヒータに間欠パルス
電圧を印加して発熱させ、そのタイミングに同期してガ
ス感応物質が加熱されている時間内にそれからの出力を
検出する構成となっている。
然るに、上記方式においては、ヒータを発熱させる為の
電流がガス感応物質にリークし、そのリーク電流でセン
サの信号出力が見かけ上小さくなるという欠点があった
。例えば、ガス感応物質の抵抗が通常状態でＩＭΩでガ
スに感応して５００にΩに低下する場合、これに対して
２μＡの検出用定電流を流すと出力が２ｖから１ｖに変
化する信号が得られる。ところが、上述のリーク電流が
在ると、等価的にその電流に相当する例えば５００にΩ
の抵抗をガス感応物質に並列に接続した場合と同等とな
り、全抵抗が通常時は３３３にΩで感応時で２５０にΩ
と差が小さくなり、同じ２μＡの検出電流に対して０．
６７Ｖから０．５Ｖに変化する小さい信号しか得られな
いことになる。
電流がガス感応物質にリークし、そのリーク電流でセン
サの信号出力が見かけ上小さくなるという欠点があった
。例えば、ガス感応物質の抵抗が通常状態でＩＭΩでガ
スに感応して５００にΩに低下する場合、これに対して
２μＡの検出用定電流を流すと出力が２ｖから１ｖに変
化する信号が得られる。ところが、上述のリーク電流が
在ると、等価的にその電流に相当する例えば５００にΩ
の抵抗をガス感応物質に並列に接続した場合と同等とな
り、全抵抗が通常時は３３３にΩで感応時で２５０にΩ
と差が小さくなり、同じ２μＡの検出電流に対して０．
６７Ｖから０．５Ｖに変化する小さい信号しか得られな
いことになる。
１−蝮
本発明は、以上の点に鑑みなされたものであって、小さ
い消費電力でＳＮ比の大きい信号を安定して検出可能な
センサ駆動方法を提供することを目的とする。
い消費電力でＳＮ比の大きい信号を安定して検出可能な
センサ駆動方法を提供することを目的とする。
璽−戒
本発明は、上記の目的を達成させるため、感応物質を電
熱器で所定温度に加熱し感応対象物の吸着離脱現象に応
じた前記感応物質の抵抗値の変化を利用するセンサの駆
動方法において、前記電熱器に通電しないタイミングに
前記感応物質の抵抗値を検出し前記感応対象物の存在を
検知することを特徴としたものである。
熱器で所定温度に加熱し感応対象物の吸着離脱現象に応
じた前記感応物質の抵抗値の変化を利用するセンサの駆
動方法において、前記電熱器に通電しないタイミングに
前記感応物質の抵抗値を検出し前記感応対象物の存在を
検知することを特徴としたものである。
以下１本発明の１実施例に基づき具体的に説明する。第
１図は本発明の１実施例としての駆動方式が実施される
ガス検出装置の構成を示したブロック図である。第１図
において、平行に延在させた一対のリード部１ａ、ｌｂ
間に金属酸化物半導体から成るガス感応物質部２が架橋
状に設けられてセンサＳが形成されている。一対のリー
ド部１ａ、ｌｂの内の一方のリード部１ａはガス感応物
質部２の一方の電極として機能すると共にガス感応物質
部２を加熱するヒータとしても機能する。
１図は本発明の１実施例としての駆動方式が実施される
ガス検出装置の構成を示したブロック図である。第１図
において、平行に延在させた一対のリード部１ａ、ｌｂ
間に金属酸化物半導体から成るガス感応物質部２が架橋
状に設けられてセンサＳが形成されている。一対のリー
ド部１ａ、ｌｂの内の一方のリード部１ａはガス感応物
質部２の一方の電極として機能すると共にガス感応物質
部２を加熱するヒータとしても機能する。
本例のガス感応物質部２は、ＳｎＯ２から成り熱容量を
小さくすべく微小薄膜状に形成されており、ヒータとし
てのリード部１ａにより３５０〜４００℃に加熱される
と、ガスに対して吸着・離脱の作用を行う、従って、雰
囲気にガスが存在する場合はガス分子を吸着してガス感
応物質自体の抵抗値を小さくし、ガスが無くなると離脱
させて抵抗値が増し元の値となる。この抵抗値の変化を
後述する検出回路より電流を流して検出し、ガスの存在
を知らせる。
小さくすべく微小薄膜状に形成されており、ヒータとし
てのリード部１ａにより３５０〜４００℃に加熱される
と、ガスに対して吸着・離脱の作用を行う、従って、雰
囲気にガスが存在する場合はガス分子を吸着してガス感
応物質自体の抵抗値を小さくし、ガスが無くなると離脱
させて抵抗値が増し元の値となる。この抵抗値の変化を
後述する検出回路より電流を流して検出し、ガスの存在
を知らせる。
ヒータとしてのリード部（ヒータ）ｌａの両端は、ヒー
タ駆動回路３に接続されており、これから例えば１．５
〜３ｖのパルス電圧がヒータ１ａに加えられ、ヒータ１
ａを発熱させる。又、他方のリード部１ｂの一端とヒー
タ１ａの一端が検出回路４に接続されており、検出回路
４内に備えられている同じく１．５〜３ｖの検出用パル
ス電源からガス感応物質部２に電流が流され、その抵抗
値変化による電流変化を電圧変動として検出する構成と
なっている。尚、検出用電源はパルス電源に限らず、通
常の直流電源でも良い。
タ駆動回路３に接続されており、これから例えば１．５
〜３ｖのパルス電圧がヒータ１ａに加えられ、ヒータ１
ａを発熱させる。又、他方のリード部１ｂの一端とヒー
タ１ａの一端が検出回路４に接続されており、検出回路
４内に備えられている同じく１．５〜３ｖの検出用パル
ス電源からガス感応物質部２に電流が流され、その抵抗
値変化による電流変化を電圧変動として検出する構成と
なっている。尚、検出用電源はパルス電源に限らず、通
常の直流電源でも良い。
この場合、前述した如く、ヒータ駆動回路３からの加熱
電流がガス感応物質部２内にリークし、このリーク電流
によりセンサＳのガス検出時の信号出力が低下するとい
う不都合が生じるが、本発明においては次の様にしてそ
の不都合を回避する。
電流がガス感応物質部２内にリークし、このリーク電流
によりセンサＳのガス検出時の信号出力が低下するとい
う不都合が生じるが、本発明においては次の様にしてそ
の不都合を回避する。
本願発明者等は、ガス感応物質部２の温度とガス吸着・
離脱作用の関係について以下に示す如き知見を得た。第
３図はヒータ１ａに間欠的にパルス電圧を印加した場合
におけるガス感応物質部２表面への空気分子Ａとガス分
子Ｇの吸着・離脱状態の経時的変化を第１〜第■の段階
に分けて模式的に示したものである。雰囲気にガスが存
在しない空気だけの状態でヒータ１ａにパルス電圧を印
加した第■段階ではガス感応物質部２表面に空気分子Ａ
が吸着する０次いで、ヒータがオフされた第■段階では
、ガス感応物質部２は熱容量が小さい為温度が速やかに
低下し、ｌ ｍ ｓ以内で平衡温度に達する。この場合
、ガス感応物質部２が低温になっても第１段階の状態が
保持される。次に、ガス分子Ｇが流入してきてもガス感
応物質部２は低温であるからその表面状態は変らない（
第■段階）、この後、電圧が印加されヒータ１ａがオン
されると、ガス感応物質部２表面の空気分子Ａが離脱し
代りにガス分子Ｇが吸着する（第■段階）。
離脱作用の関係について以下に示す如き知見を得た。第
３図はヒータ１ａに間欠的にパルス電圧を印加した場合
におけるガス感応物質部２表面への空気分子Ａとガス分
子Ｇの吸着・離脱状態の経時的変化を第１〜第■の段階
に分けて模式的に示したものである。雰囲気にガスが存
在しない空気だけの状態でヒータ１ａにパルス電圧を印
加した第■段階ではガス感応物質部２表面に空気分子Ａ
が吸着する０次いで、ヒータがオフされた第■段階では
、ガス感応物質部２は熱容量が小さい為温度が速やかに
低下し、ｌ ｍ ｓ以内で平衡温度に達する。この場合
、ガス感応物質部２が低温になっても第１段階の状態が
保持される。次に、ガス分子Ｇが流入してきてもガス感
応物質部２は低温であるからその表面状態は変らない（
第■段階）、この後、電圧が印加されヒータ１ａがオン
されると、ガス感応物質部２表面の空気分子Ａが離脱し
代りにガス分子Ｇが吸着する（第■段階）。
この場合、ガス感応物質部２が微小且つ薄膜に形成され
ているからガスとガス感応物質部２裏面との吸着離脱作
用が極めて鋭敏に行われる。次いで、ヒータ１ａがオフ
されても速やかにガス感応物質部２が低温になるので第
■段階の表面状態が保持される（第Ｖ段階）。この状態
は雰囲気状態が変化しても保持され（第■段階）、ヒー
タ１ａが次にオンされてガス分子Ｇの離脱と空気分子Ａ
の吸着が起る（第■段階）。
ているからガスとガス感応物質部２裏面との吸着離脱作
用が極めて鋭敏に行われる。次いで、ヒータ１ａがオフ
されても速やかにガス感応物質部２が低温になるので第
■段階の表面状態が保持される（第Ｖ段階）。この状態
は雰囲気状態が変化しても保持され（第■段階）、ヒー
タ１ａが次にオンされてガス分子Ｇの離脱と空気分子Ａ
の吸着が起る（第■段階）。
以上の如く、加熱された高温状態で得られたガス感応物
質部表面の各分子の吸着状態は、ガス感応物質部表面の
温度が低下すると次に加熱されて所定の温度に上昇する
まで保持される。この場合、パルス電圧の印加間隔Ｔ２
、即ち、ガス感応物質部２が低温である時間が例えば１
００ｍ１ｎ間程度の長期に亘っても、同様に保持される
。又、金属酸化物半導体から成り微小薄膜状の熱容量の
小さいガス感応物質部２を用いるセンサＳによれば、ヒ
ータ１ａのオン・オフに対する気体の吸着・脱離作用の
応答性が良いから、パルス電圧オン時間Ｔ、は１ｍｓ〜
１ｓ、オフ時間Ｔ２は０．１ｓ〜１００ｍ１ｎの好適範
囲の時間を組み合わせて用途に応じた種々の印加タイミ
ングパターンを設定することができる。
質部表面の各分子の吸着状態は、ガス感応物質部表面の
温度が低下すると次に加熱されて所定の温度に上昇する
まで保持される。この場合、パルス電圧の印加間隔Ｔ２
、即ち、ガス感応物質部２が低温である時間が例えば１
００ｍ１ｎ間程度の長期に亘っても、同様に保持される
。又、金属酸化物半導体から成り微小薄膜状の熱容量の
小さいガス感応物質部２を用いるセンサＳによれば、ヒ
ータ１ａのオン・オフに対する気体の吸着・脱離作用の
応答性が良いから、パルス電圧オン時間Ｔ、は１ｍｓ〜
１ｓ、オフ時間Ｔ２は０．１ｓ〜１００ｍ１ｎの好適範
囲の時間を組み合わせて用途に応じた種々の印加タイミ
ングパターンを設定することができる。
叙上の如き知見にもとすき、本例では、第４図に示す如
く、ヒータ駆動回路３へのパルス電圧の印加が終了した
後にガス吸着状態が保持されたガス感応物質部２に検出
用パルス電圧を加えて検出信号を得る駆動方式とする。
く、ヒータ駆動回路３へのパルス電圧の印加が終了した
後にガス吸着状態が保持されたガス感応物質部２に検出
用パルス電圧を加えて検出信号を得る駆動方式とする。
これにより、ヒータ駆動パルス電圧によるリーク電流に
応じた信号Ｐと別個のガスの吸着状態を示す明確な信号
ｔを得ることができる。
応じた信号Ｐと別個のガスの吸着状態を示す明確な信号
ｔを得ることができる。
上述の如き駆動方式を実現する為に、本例では。
第１図に示す如く、ヒータ駆動回路３と検出回路４に夫
々におけるパルス電圧の印加タイミングを指示する信号
を送るタイミング回路５が接続されている。タイミング
回路５においては、第２図に示す如く、夫々適数個のイ
ンバータ５ａ、抵抗５ｂ、ダイオード５ｃ及びコンデン
サ５ｄからパルス発生回路Ｐを形成し、これからヒータ
駆動回路３へはイタンバータ５ａを介して接続され、検
出回路４には本例では２個のモノマルチバイブレータ５
ｅを介して接続されている。これにより、パルス発生回
路Ｐでヒータ駆動回路３へ送るデユーティ比の小さいパ
ルス信号を発生させ、これに対して所望のタイミングだ
けずらせたパルスをモノマルチバイブレータ５ｅで発生
させて検出回路４に送ることができる。
々におけるパルス電圧の印加タイミングを指示する信号
を送るタイミング回路５が接続されている。タイミング
回路５においては、第２図に示す如く、夫々適数個のイ
ンバータ５ａ、抵抗５ｂ、ダイオード５ｃ及びコンデン
サ５ｄからパルス発生回路Ｐを形成し、これからヒータ
駆動回路３へはイタンバータ５ａを介して接続され、検
出回路４には本例では２個のモノマルチバイブレータ５
ｅを介して接続されている。これにより、パルス発生回
路Ｐでヒータ駆動回路３へ送るデユーティ比の小さいパ
ルス信号を発生させ、これに対して所望のタイミングだ
けずらせたパルスをモノマルチバイブレータ５ｅで発生
させて検出回路４に送ることができる。
次に、上記の如く構成されたガス検出装置において実施
される本発明方法の１実施例としての駆動動作について
、第４図のタイミングチャート図に基づき説明する。今
、ガス感応物質部２の雰囲気に検出すべきガスが流入し
たとする。この状態で、ヒータ駆動回路３にパルス電圧
を加えると、ガス感応物質部２が所定温度に加熱されそ
の表面にガス分子が吸着して抵抗値が低下する。この時
点では、ヒータ駆動電流のガス感応物質部２へのリーク
電流に対応した信号出力ｒが検出回路４に現われる。然
し、検出用パルス電圧は印加されていないから、この信
号は警報を発つすべき信号レベル以下であり警報は発っ
せられない。
される本発明方法の１実施例としての駆動動作について
、第４図のタイミングチャート図に基づき説明する。今
、ガス感応物質部２の雰囲気に検出すべきガスが流入し
たとする。この状態で、ヒータ駆動回路３にパルス電圧
を加えると、ガス感応物質部２が所定温度に加熱されそ
の表面にガス分子が吸着して抵抗値が低下する。この時
点では、ヒータ駆動電流のガス感応物質部２へのリーク
電流に対応した信号出力ｒが検出回路４に現われる。然
し、検出用パルス電圧は印加されていないから、この信
号は警報を発つすべき信号レベル以下であり警報は発っ
せられない。
所定のヒータ駆動パルス電圧の印加時間が終了したらマ
ルチバイブレータ５ｅから所定時間ずれたタイミングで
検出回路４に信号が送られ、これに応じて検出回路４か
らガス感応物質部２に検出用パルス電圧が印加される。
ルチバイブレータ５ｅから所定時間ずれたタイミングで
検出回路４に信号が送られ、これに応じて検出回路４か
らガス感応物質部２に検出用パルス電圧が印加される。
この場合、ガス感応物質部２の表面状態は、ヒータ駆動
パルスが印加された時点の表面状態、即ちガスを吸着し
た低抵抗値の状態に保持されているから検出用パルス電
圧に応じて高レベルの信号出力ｔ１が得られガスの存在
を知らせる警報が発つせられる。
パルスが印加された時点の表面状態、即ちガスを吸着し
た低抵抗値の状態に保持されているから検出用パルス電
圧に応じて高レベルの信号出力ｔ１が得られガスの存在
を知らせる警報が発つせられる。
やがて、ガス感応物質部２の雰囲気からガスが消失する
が、ヒータ駆動パルス電圧が印加されるまでガス感応物
質部２の表面はガスが吸着された状態が保持される。そ
して、所定間隔をおいてヒータ駆動パルス電圧が印加さ
れると、直ちにガス感応物質部２が所定温度に加熱され
てガスがその表面から離脱すると共に空気が吸着し、ガ
ス感応物質部２の抵抗値が上昇して元の値となる。尚。
が、ヒータ駆動パルス電圧が印加されるまでガス感応物
質部２の表面はガスが吸着された状態が保持される。そ
して、所定間隔をおいてヒータ駆動パルス電圧が印加さ
れると、直ちにガス感応物質部２が所定温度に加熱され
てガスがその表面から離脱すると共に空気が吸着し、ガ
ス感応物質部２の抵抗値が上昇して元の値となる。尚。
この場合も、同様にリーク電流による出力信号ｒが現わ
れる。そして、同様にヒータ駆動パルス電圧をオフした
後の所定時間ずれたタイミングで検出パルス電圧を印加
すると、これに応じて検出信号ｔ２が得られる。この場
合、ガス感応物質部２の抵抗値は高くなっているから得
られる信号レベルは相応して低く、警報は発っせられな
い。
れる。そして、同様にヒータ駆動パルス電圧をオフした
後の所定時間ずれたタイミングで検出パルス電圧を印加
すると、これに応じて検出信号ｔ２が得られる。この場
合、ガス感応物質部２の抵抗値は高くなっているから得
られる信号レベルは相応して低く、警報は発っせられな
い。
紘−来
以上、詳述した如く、本発明によれば、ヒータに間欠的
に通電すると共に通電していないタイミングにおいて感
応物質の抵抗値を検出することにより、低消費電力でヒ
ータ電流からのリーク電流等に影響されないＳＮ比の大
きい正確な信号を安定して得ることができる。尚１本発
明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、本
発明の技術的範囲内において種々の変形が可能であるこ
とは勿論である。例えば、検出対象はガスに限らず、例
えば気相中に浮遊する液体粒子等の如く感応物質に吸着
・離脱作用を行う種々の物質の検出に本発明を適用する
ことができる。
に通電すると共に通電していないタイミングにおいて感
応物質の抵抗値を検出することにより、低消費電力でヒ
ータ電流からのリーク電流等に影響されないＳＮ比の大
きい正確な信号を安定して得ることができる。尚１本発
明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、本
発明の技術的範囲内において種々の変形が可能であるこ
とは勿論である。例えば、検出対象はガスに限らず、例
えば気相中に浮遊する液体粒子等の如く感応物質に吸着
・離脱作用を行う種々の物質の検出に本発明を適用する
ことができる。
第１図は本発明の１実施例におけるガス検出装置の構成
を示したブロック図、第２図は本発明の１実施例におけ
るタイミング回路を示した回路図、第３図は本発明の１
実施例の動作原理を示した説明図、第４図は本発明の１
実施例における動作を説明するタイミングチャート図で
ある。 （符号の説明） １ａ： ヒータ（リード部） ２： ガス感応物質部 ３： ヒータ駆動回路 ４： 検出回路 ５： タイミング回路 特許出願人 株式会社 リ コ −リコー精器
株式会社
を示したブロック図、第２図は本発明の１実施例におけ
るタイミング回路を示した回路図、第３図は本発明の１
実施例の動作原理を示した説明図、第４図は本発明の１
実施例における動作を説明するタイミングチャート図で
ある。 （符号の説明） １ａ： ヒータ（リード部） ２： ガス感応物質部 ３： ヒータ駆動回路 ４： 検出回路 ５： タイミング回路 特許出願人 株式会社 リ コ −リコー精器
株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、感応物質を電熱器で所定温度に加熱し感応対象物の
吸着離脱現象に応じた前記感応物質の抵抗値の変化を利
用するセンサの駆動方法において、前記電熱器に通電し
ないタイミングでの前記感応物質の抵抗値を検出し前記
感応対象物の存在を検知することを特徴とするセンサ駆
動方法。 ２、上記第１項において、前記感応対象物は気体である
ことを特徴とするセンサ駆動方法。 ３、上記第１項又は第２項において、前記感応物質は金
属酸化物半導体であることを特徴とするセンサ駆動方法
。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4120885A JPH0675049B2 (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | センサ駆動装置 |
| CA000503176A CA1272779A (en) | 1985-03-04 | 1986-03-03 | Sensor with periodic heating |
| US06/836,151 US4775838A (en) | 1985-03-04 | 1986-03-04 | Sensor with periodic heating |
| DE19863607065 DE3607065A1 (de) | 1985-03-04 | 1986-03-04 | Fuehleinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4120885A JPH0675049B2 (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | センサ駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201149A true JPS61201149A (ja) | 1986-09-05 |
| JPH0675049B2 JPH0675049B2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=12601987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4120885A Expired - Lifetime JPH0675049B2 (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 | センサ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675049B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206252A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Figaro Eng Inc | ガス検出方法及びその装置 |
| JPH01206249A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Figaro Eng Inc | 火災検出方法及びその装置 |
| JPH01299452A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-04 | Ricoh Co Ltd | ４端子検出型ガス検出装置 |
| JPH0225857U (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-20 |
-
1985
- 1985-03-04 JP JP4120885A patent/JPH0675049B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206252A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Figaro Eng Inc | ガス検出方法及びその装置 |
| JPH01206249A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Figaro Eng Inc | 火災検出方法及びその装置 |
| JPH01299452A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-04 | Ricoh Co Ltd | ４端子検出型ガス検出装置 |
| JPH0225857U (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-20 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0675049B2 (ja) | 1994-09-21 |
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