JPS61202152A - 湿度検出装置 - Google Patents
湿度検出装置Info
- Publication number
- JPS61202152A JPS61202152A JP4338885A JP4338885A JPS61202152A JP S61202152 A JPS61202152 A JP S61202152A JP 4338885 A JP4338885 A JP 4338885A JP 4338885 A JP4338885 A JP 4338885A JP S61202152 A JPS61202152 A JP S61202152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- pellet
- diaphragm
- sensitive
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 abstract description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 abstract description 3
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 産業上の利用分野
本発明は湿度検出装置に関する。
（ロ）従来の技術
湿度検出体として感湿セラミック等の如く湿度による電
気的特性の変わるものが知られている。
気的特性の変わるものが知られている。
この検出体は、気体一固体界面の電気特性を利用するも
のであシ、従ってその界面が大気にさらされ、汚染等の
影響を受けやすく、長期安定性に欠ける。これに対し、
特開昭５６−４２１２６号公報に開示された如き、毛髪
やナイロンの様な感湿伸縮体は長期的に安定である“半
面、その伸縮を電気信号に変換し難い。
のであシ、従ってその界面が大気にさらされ、汚染等の
影響を受けやすく、長期安定性に欠ける。これに対し、
特開昭５６−４２１２６号公報に開示された如き、毛髪
やナイロンの様な感湿伸縮体は長期的に安定である“半
面、その伸縮を電気信号に変換し難い。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
本発明は感湿伸縮体を用い、かつその伸縮を容易にしか
も敏感に電気信号に変換できる湿度検出装置を提供する
ものである。
も敏感に電気信号に変換できる湿度検出装置を提供する
ものである。
に） 問題点を解決するための手段
本発明の湿度検出装置は、シリコンダイアフラム型圧力
センサペレットと、このセンサペレットへの圧力印加体
となる感湿伸縮体とを具備する。
センサペレットと、このセンサペレットへの圧力印加体
となる感湿伸縮体とを具備する。
（ホ）作 用
本発明装置にあっては、感湿伸縮体が被測魔界囲気の湿
度に応じて伸縮し、その伸縮力を圧力センサペレットが
電気信号に変換する。
度に応じて伸縮し、その伸縮力を圧力センサペレットが
電気信号に変換する。
（へ）実施例
第１図に示す実施例装置は、シリコンダイアフラム型圧
力センサベレッ） （１）を含ム。このベレットは、そ
れ自体特公昭５８−７１７９号等によって周知の如く、
シリコンダイアフラムにおける半導体ピエゾ効果を利用
したものである。本実施例におけるベレット（１）は、
よシ具体的には、約４ｆｆ角の平面を持つＮ型単結晶シ
リコンからな夛、厚さ約６００μｍの環状基部（２）と
、この基部と一体的に連なる厚さ約２０μｍのダイアプ
ラム（３１とを有する。ダイアフラム（３）には拡散に
よシＰ型のピエゾ抵抗領域（４ａ）〜（４ｄ）が形成さ
れており、各領域に連なる配線路（５ｉ（５１・・・が
拡散や蒸着で形成されている。
力センサベレッ） （１）を含ム。このベレットは、そ
れ自体特公昭５８−７１７９号等によって周知の如く、
シリコンダイアフラムにおける半導体ピエゾ効果を利用
したものである。本実施例におけるベレット（１）は、
よシ具体的には、約４ｆｆ角の平面を持つＮ型単結晶シ
リコンからな夛、厚さ約６００μｍの環状基部（２）と
、この基部と一体的に連なる厚さ約２０μｍのダイアプ
ラム（３１とを有する。ダイアフラム（３）には拡散に
よシＰ型のピエゾ抵抗領域（４ａ）〜（４ｄ）が形成さ
れており、各領域に連なる配線路（５ｉ（５１・・・が
拡散や蒸着で形成されている。
ベレット（１）はその基部（２）においてヘッダ（６）
に接着され、ヘッダ（６）に植設されたリードビン（７
０７１・・・とベレットの配線路（５１（５）・・・と
を金属＃ｊＢ線（８）が結ぶ。
に接着され、ヘッダ（６）に植設されたリードビン（７
０７１・・・とベレットの配線路（５１（５）・・・と
を金属＃ｊＢ線（８）が結ぶ。
感湿伸縮体（９）は、厚みが約数十μｍ乃至数自μｍの
ナイロンからなり、シリコンゴム等の接着材によりセン
サペレットのダイアフラム（３）の表面に貼着されてい
る。従って感湿伸縮体（９１の伸縮はダイアフラム（３
）を歪ませる。
ナイロンからなり、シリコンゴム等の接着材によりセン
サペレットのダイアフラム（３）の表面に貼着されてい
る。従って感湿伸縮体（９１の伸縮はダイアフラム（３
）を歪ませる。
ヘッダ（６）に固定されたケース（１０，はセンサペレ
ット（１）を包囲し、ケースＱＯｉの開口０１）と感湿
伸縮体（９）とを含む中央空間を除いて、ケースα０．
・とセンサペレット（１）の表面との間にゲル状シリコ
ンＱ２ｉが埋められている。
ット（１）を包囲し、ケースＱＯｉの開口０１）と感湿
伸縮体（９）とを含む中央空間を除いて、ケースα０．
・とセンサペレット（１）の表面との間にゲル状シリコ
ンＱ２ｉが埋められている。
よって、感湿伸縮体（９）がケース開口（１））を通じ
て被測定雰囲気に接し、その湿度に応じて伸縮すると、
ダイアフラム（３）が歪み、それに応じてピエゾ抵抗領
域（４ａ）〜（４ｄ）の抵抗値が変化する。
て被測定雰囲気に接し、その湿度に応じて伸縮すると、
ダイアフラム（３）が歪み、それに応じてピエゾ抵抗領
域（４ａ）〜（４ｄ）の抵抗値が変化する。
各ピエゾ抵抗領域（４ａ）〜（４ｄ）は、通常の如く、
リードビン（７１（７）・・・を通じ外部にて抵抗ブリ
ッジ結合され、このブリッジの出力電圧値を読むことに
よりダイアプラム（３）の歪度、即ち湿度を測定できる
。
リードビン（７１（７）・・・を通じ外部にて抵抗ブリ
ッジ結合され、このブリッジの出力電圧値を読むことに
よりダイアプラム（３）の歪度、即ち湿度を測定できる
。
第２図は他の実施例装置を示す。この装置では、ヘッダ
（６）に固定された支柱（４））がケース（１０）内に
延び、ダイアフラム（３）上に一端を貼着した感湿伸縮
体（９）。
（６）に固定された支柱（４））がケース（１０）内に
延び、ダイアフラム（３）上に一端を貼着した感湿伸縮
体（９）。
の他端が支柱義に張架されている。その他の部分は第１
図と同様であシ同一番号が付されている。
図と同様であシ同一番号が付されている。
この場合の感湿伸縮体（９＋の伸縮力は支柱義とダイア
フラム（３）との間番こ作用し、同様にダイアフラム（
３）が歪む。
フラム（３）との間番こ作用し、同様にダイアフラム（
３）が歪む。
第６図は更に他の実施例装置を示す。この場合、感湿伸
縮体（９１はベレット（１）の基部（２）とヘッダ（６
１との間に配置され、ヘッダ（６）の開口（胆を通じて
被測定雰囲気と接触することにより、斯る雰囲気の湿度
に応じて伸縮する。この伸縮力は基部（２〕を通じてダ
イアフラム（３）に伝わりそわを歪ませる。
縮体（９１はベレット（１）の基部（２）とヘッダ（６
１との間に配置され、ヘッダ（６）の開口（胆を通じて
被測定雰囲気と接触することにより、斯る雰囲気の湿度
に応じて伸縮する。この伸縮力は基部（２〕を通じてダ
イアフラム（３）に伝わりそわを歪ませる。
（ト）発明の効果
本発明によれば、感湿伸縮体が被測定雰囲気による汚染
を受けても安定して湿度に応じた伸縮をナシ、シリコン
ダイアフラム型圧力センサペレットがその伸縮を敏感に
電気信号に変換する。
を受けても安定して湿度に応じた伸縮をナシ、シリコン
ダイアフラム型圧力センサペレットがその伸縮を敏感に
電気信号に変換する。
第１図Ａは本発明の第１の実施例を示す断面図、第１図
Ｂは同要部平面図、第２図は第２の実施例を示す断面図
、第３図は第６の実施例を示す要部断面図である。 （１）・・・・・・圧力センサペレット、（３１・・・
・・・ダイアフラム、（９）・・・・・・感湿伸縮体。
Ｂは同要部平面図、第２図は第２の実施例を示す断面図
、第３図は第６の実施例を示す要部断面図である。 （１）・・・・・・圧力センサペレット、（３１・・・
・・・ダイアフラム、（９）・・・・・・感湿伸縮体。
Claims (1)
- （１）シリコンダイヤフラム重圧力センサペレットと、
このセンサペレットへの圧力印加体となる感湿伸縮体と
を具備せる湿度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4338885A JPS61202152A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 湿度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4338885A JPS61202152A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 湿度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61202152A true JPS61202152A (ja) | 1986-09-06 |
| JPH0453252B2 JPH0453252B2 (ja) | 1992-08-26 |
Family
ID=12662414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4338885A Granted JPS61202152A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 湿度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61202152A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6378049A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 湿度検出装置 |
| JPS63201561A (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 湿度検出装置 |
| CN115523961A (zh) * | 2022-11-03 | 2022-12-27 | 南京元感微电子有限公司 | 一种气体与电容式压力传感器及其加工方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028784U (ja) * | 1973-07-09 | 1975-04-02 | ||
| JPS5143980A (ja) * | 1974-10-14 | 1976-04-15 | Automobile Antipollution | Handotaihizumigeejishikiatsuryokusensa |
| JPS54158289A (en) * | 1978-06-05 | 1979-12-13 | Hitachi Ltd | Humidity detector |
-
1985
- 1985-03-05 JP JP4338885A patent/JPS61202152A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028784U (ja) * | 1973-07-09 | 1975-04-02 | ||
| JPS5143980A (ja) * | 1974-10-14 | 1976-04-15 | Automobile Antipollution | Handotaihizumigeejishikiatsuryokusensa |
| JPS54158289A (en) * | 1978-06-05 | 1979-12-13 | Hitachi Ltd | Humidity detector |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6378049A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 湿度検出装置 |
| JPS63201561A (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-19 | Sanyo Electric Co Ltd | 湿度検出装置 |
| CN115523961A (zh) * | 2022-11-03 | 2022-12-27 | 南京元感微电子有限公司 | 一种气体与电容式压力传感器及其加工方法 |
| CN115523961B (zh) * | 2022-11-03 | 2023-02-28 | 南京元感微电子有限公司 | 一种气体与电容式压力传感器及其加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0453252B2 (ja) | 1992-08-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07103837A (ja) | 物理量検出センサ | |
| US3270554A (en) | Diffused layer transducers | |
| US7028552B2 (en) | Reliable piezo-resistive pressure sensor | |
| JPS6341080A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| US3461416A (en) | Pressure transducer utilizing semiconductor beam | |
| US7597005B2 (en) | Pressure sensor housing and configuration | |
| JPS61202152A (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPS59158566A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JPH0618278Y2 (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPS6378048A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH04168354A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS62226031A (ja) | 圧力センサユニツト | |
| JPS63100352A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH07117485B2 (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPS63100353A (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPS61202151A (ja) | 湿度・温度検出装置 | |
| JPH03226649A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH0321849A (ja) | 半導体湿度センサ | |
| JPH04181133A (ja) | 三次元力覚センサーの起歪体構造 | |
| JPS62190774A (ja) | 加速度センサ | |
| JPH0554053B2 (ja) | ||
| JP2654186B2 (ja) | 湿度検出装置 | |
| JPS585951Y2 (ja) | ハンドウタイアツリヨクケンチソウチ | |
| JPH02245631A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS6155264B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |