JPS612100A - Ｘ線発散角度制限器 - Google Patents
Ｘ線発散角度制限器Info
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- JPS612100A JPS612100A JP59124028A JP12402884A JPS612100A JP S612100 A JPS612100 A JP S612100A JP 59124028 A JP59124028 A JP 59124028A JP 12402884 A JP12402884 A JP 12402884A JP S612100 A JPS612100 A JP S612100A
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- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＸ線発散角度制限器に関する。更に詳しくはＸ
線発生装置、Ｘ線を用いた各種理科学計測機器または医
工業用Ｘａ照射・検査機器において、平行または特定の
発散角度以下のＸ線束を得るために装着する単一または
複数個の小孔また細隙（以下細隙と略記する）を用いた
Ｘ線発散角度制限器に関する。
線発生装置、Ｘ線を用いた各種理科学計測機器または医
工業用Ｘａ照射・検査機器において、平行または特定の
発散角度以下のＸ線束を得るために装着する単一または
複数個の小孔また細隙（以下細隙と略記する）を用いた
Ｘ線発散角度制限器に関する。
従来技術
従来のＸ線発生装置は、真空中で所定の電圧で加速した
電子を金属製の対陰極（または陽極）にを、ベリリウム
窓から大気中に取り出す方式になっている。
電子を金属製の対陰極（または陽極）にを、ベリリウム
窓から大気中に取り出す方式になっている。
ここで１Ｘ線は個々の電子が衝突後、その運動エネルギ
ーを失った位置からすべての方向に放射される。従って
、電子の衝突する部分が、対陰極上で有限の面積を有す
る限り、Ｘ線発生位置から離れた空間の一点へは、その
点からＸ線の発生する有限の面積を見込む範囲の方向か
らＸ線が入射されることになる。そのため、平行かまた
はほぼ平行なＸ線束を必要とする各種機器の場合は、Ｘ
線発生領域の上限が制限されたＸ線発生装置を用いざる
を得ない。またＸ線の発散角度を制限するために、Ｘ線
発生装置またけＸ線利用機器のいずれか一方、あるいは
両方に、単一または複数個の細隙を装着して、その細隙
を通過するＸ線だけを取シ出すためのＸ線発散角度制限
器を用いざるを得々い。
ーを失った位置からすべての方向に放射される。従って
、電子の衝突する部分が、対陰極上で有限の面積を有す
る限り、Ｘ線発生位置から離れた空間の一点へは、その
点からＸ線の発生する有限の面積を見込む範囲の方向か
らＸ線が入射されることになる。そのため、平行かまた
はほぼ平行なＸ線束を必要とする各種機器の場合は、Ｘ
線発生領域の上限が制限されたＸ線発生装置を用いざる
を得ない。またＸ線の発散角度を制限するために、Ｘ線
発生装置またけＸ線利用機器のいずれか一方、あるいは
両方に、単一または複数個の細隙を装着して、その細隙
を通過するＸ線だけを取シ出すためのＸ線発散角度制限
器を用いざるを得々い。
従って、試料の広い面積に、平行または＃１ぼ平行なＸ
線を同時に照射することはでき々く、また距離を大きく
すると、その距離の二乗に逆比例してＸ線強度が減衰す
ると言う問題点があった。
線を同時に照射することはでき々く、また距離を大きく
すると、その距離の二乗に逆比例してＸ線強度が減衰す
ると言う問題点があった。
発明の目的
本発明は従来の前記問題点を解消せんとするものであシ
、その目的は平行まだはほぼ平行なＸ線（これを総称し
て単に平行なＸ線と記載する）を、Ｘ線源と試料間の距
離によるＸ線強度の減衰を防ぎ、広い面積の試料にＸ線
を照射できるようにし、また同時に試料面積が極端に小
さい場合には、従来のＸ線発生装置の多少の改造により
従来の数１０倍のＸ線強度を得ることができるＸ線発散
角度制限器を提供するにある。
、その目的は平行まだはほぼ平行なＸ線（これを総称し
て単に平行なＸ線と記載する）を、Ｘ線源と試料間の距
離によるＸ線強度の減衰を防ぎ、広い面積の試料にＸ線
を照射できるようにし、また同時に試料面積が極端に小
さい場合には、従来のＸ線発生装置の多少の改造により
従来の数１０倍のＸ線強度を得ることができるＸ線発散
角度制限器を提供するにある。
発明の構成
本発明者らは前記目的を達成すべく鋭意研究の結果、内
側断面が円、楕円、または多角形で、その内壁面がＸ線
全反射ができるような滑らかな面で構成された薄い中空
細管を１本または２本以上平行に束ねたものからなるｘ
１発散角度制限器を使用することによって前記目的が達
成し得られる巨１
特開昭６ｌ−２ｔｏｏ（２）１チとが分った
。この知見に基いて本発明を完成した。
側断面が円、楕円、または多角形で、その内壁面がＸ線
全反射ができるような滑らかな面で構成された薄い中空
細管を１本または２本以上平行に束ねたものからなるｘ
１発散角度制限器を使用することによって前記目的が達
成し得られる巨１
特開昭６ｌ−２ｔｏｏ（２）１チとが分った
。この知見に基いて本発明を完成した。
本発明の要旨は、内側断面が円、楕円または多角形で、
その内壁面がＸ線全反射を生じ得る滑らかな面で構成さ
れた薄い中空細管を１本または２本以上平行に束ねたも
のからなるＸ線発散角度制限器にある。
その内壁面がＸ線全反射を生じ得る滑らかな面で構成さ
れた薄い中空細管を１本または２本以上平行に束ねたも
のからなるＸ線発散角度制限器にある。
本発明のＸ線発散角度制限器を図面に基いて説明すると
、第１図及び第２図は本発明のＸ線発散角度制限器（以
下単に制限器と略記する）の実施態様の断面図である。
、第１図及び第２図は本発明のＸ線発散角度制限器（以
下単に制限器と略記する）の実施態様の断面図である。
第１図は多管束、第２図は単管の場合である。第１図に
示す破線は従来のＸ線発生装置におけるＸ線を取出す窓
の部分を示し、１３は同装置の壁、１２はベリリウム窓
、この窓をはさんで左側は真空である。１１は対陰極上
のＸ線発生部を示す。従来のＸ線発生装置の態様は種々
あるが、Ｘ線取出し部は概ね本図面のようなものであシ
、本発明の制限器はＸ線発生装置側の態様が如何なる形
態にあっても、接合可能である。
示す破線は従来のＸ線発生装置におけるＸ線を取出す窓
の部分を示し、１３は同装置の壁、１２はベリリウム窓
、この窓をはさんで左側は真空である。１１は対陰極上
のＸ線発生部を示す。従来のＸ線発生装置の態様は種々
あるが、Ｘ線取出し部は概ね本図面のようなものであシ
、本発明の制限器はＸ線発生装置側の態様が如何なる形
態にあっても、接合可能である。
１は本発明の制限器をＸ線発生装置に接合した３は中空
細管、４は制御器をＸ線発生装置に装着で発生したＸ線
は、入射口５がら入シ、中空Ｑ１．’ｌＱ’、”３内で
全反射を繰返しながら出射口６がら出る。
細管、４は制御器をＸ線発生装置に装着で発生したＸ線
は、入射口５がら入シ、中空Ｑ１．’ｌＱ’、”３内で
全反射を繰返しながら出射口６がら出る。
中空細管３は内側断面が円、楕円または多角形がらなり
、その内壁面はＸ線が全反射できる程度に滑らかに構成
されている。そしてその肉厚は薄ければ薄い程発生した
Ｘ線の利用効率がよい。
、その内壁面はＸ線が全反射できる程度に滑らかに構成
されている。そしてその肉厚は薄ければ薄い程発生した
Ｘ線の利用効率がよい。
中空細管３の内径φｉはＸ線発生部１１がら入射口５ま
での距離１１と使用するＸ線の全反射臨界角Ｑ。との間
で、次の条件を満たす。（第３図参照） φ１≦２Ｑｏ−１１ 但し、ＱＣはラジアン、φｉと１１は笥の単位とする。
での距離１１と使用するＸ線の全反射臨界角Ｑ。との間
で、次の条件を満たす。（第３図参照） φ１≦２Ｑｏ−１１ 但し、ＱＣはラジアン、φｉと１１は笥の単位とする。
外周筒２の内径輸は実用上のＸ線発生領域と等しいかそ
れ以上とする。Ｘ線発生領域は対陰極上の電子の衝突す
る領域を意味するが、従来のＸ線発生装置においては、
同領域を低い角度で゛ぜ１（ ）ｊ瀝込む方向（対陰極面に対して６〜１０）に、Ｘ線
を取出す場合があるので、その場合はＸ線を取出す方向
から見たＸ線発生領域を意味する。
れ以上とする。Ｘ線発生領域は対陰極上の電子の衝突す
る領域を意味するが、従来のＸ線発生装置においては、
同領域を低い角度で゛ぜ１（ ）ｊ瀝込む方向（対陰極面に対して６〜１０）に、Ｘ線
を取出す場合があるので、その場合はＸ線を取出す方向
から見たＸ線発生領域を意味する。
次に、第３図において本制限器の作用を説明する。
第３図−ａは従来法の試料に入射するＸ線の発散角度を
制限するために、試料の前に細隙を設けた場合の模式図
、第３図−ｂは本発明の制限器を用いた場合のＸ線の発
散角度を示す模式図である。
制限するために、試料の前に細隙を設けた場合の模式図
、第３図−ｂは本発明の制限器を用いた場合のＸ線の発
散角度を示す模式図である。
々お、図は中空細管を円形のものとして説明する。
図中、φ工はＸ線発生領域、ｌｊはＸ線発生位置から制
限器の入射口までの距離ｓ ’２は制限器の長さでこの
制限器をＸ線取出し用のベリリウム窓に接して設置する
通常の場合は、窓から試料までの距離でもある。φ、け
中空細管の内径を示し、これは前述のＸ線全反射臨界角
との関係を満しているものである。
限器の入射口までの距離ｓ ’２は制限器の長さでこの
制限器をＸ線取出し用のベリリウム窓に接して設置する
通常の場合は、窓から試料までの距離でもある。φ、け
中空細管の内径を示し、これは前述のＸ線全反射臨界角
との関係を満しているものである。
第３図−ａにおいては、／Ａ＝２φＸ／＜１＋”１２）
であり、第３図−すにおいては、／Ｂ−２φｉ／１１で
あり、これは中空細管径φｉの条件から≦２Ｑｃ１、〕
あって、Ｘ線の波長と細管に用いた材料の密度に依存し
、通常のガラスあるいは金属細管の場合、波長１．５Ｘ
程度のＸ線においては、７〜３×１０ラジアン程度であ
る。
であり、第３図−すにおいては、／Ｂ−２φｉ／１１で
あり、これは中空細管径φｉの条件から≦２Ｑｃ１、〕
あって、Ｘ線の波長と細管に用いた材料の密度に依存し
、通常のガラスあるいは金属細管の場合、波長１．５Ｘ
程度のＸ線においては、７〜３×１０ラジアン程度であ
る。
第３図−ａと第３図−ｂの比較で明らかなように、細隙
を用いた第３図−ａの方法で第３図−ｂと同じ程度の平
行Ｘ線束を得ようとすれは、試料をＸ線源から極端に遠
く離すか、あるいはＸ線発生領域の面相及び試料への照
射面積を、第３図−すのφ１と同程度に小さくせざるを
得々い。従来のＸ線発生装置のＸ線発生領域が一般に数
１０請２以下である所以である。
を用いた第３図−ａの方法で第３図−ｂと同じ程度の平
行Ｘ線束を得ようとすれは、試料をＸ線源から極端に遠
く離すか、あるいはＸ線発生領域の面相及び試料への照
射面積を、第３図−すのφ１と同程度に小さくせざるを
得々い。従来のＸ線発生装置のＸ線発生領域が一般に数
１０請２以下である所以である。
本発明の制限器を用いた第３図−ｂの場合は、中空細管
の径を小さくする程、平行性の高いＸ線束が得られ、か
つ入射口でのＸ線強度は、任意の距離１２まで、Ｘ線の
中空細管内壁による全反射によシ、減衰せずに導くこと
ができる。１２が８００諭の実施例でも特に通常のガラ
ス細管を用いても、入射口と出射口でのＸ線強度比は２
：１であり、細隙を用いた従来の約８０：１に比べると
、約４０例えば、直径数ｃｍ１ あるいは１０数印の結
晶試料上に、微細なマスクの模様を、Ｘ線によυ写影料
と同程度かそれ以上の広いＸ線発生領域を有するＸ線発
生装置を取付けるかあるいは組込んて使用すれば容易に
その目的を果すことができる。
の径を小さくする程、平行性の高いＸ線束が得られ、か
つ入射口でのＸ線強度は、任意の距離１２まで、Ｘ線の
中空細管内壁による全反射によシ、減衰せずに導くこと
ができる。１２が８００諭の実施例でも特に通常のガラ
ス細管を用いても、入射口と出射口でのＸ線強度比は２
：１であり、細隙を用いた従来の約８０：１に比べると
、約４０例えば、直径数ｃｍ１ あるいは１０数印の結
晶試料上に、微細なマスクの模様を、Ｘ線によυ写影料
と同程度かそれ以上の広いＸ線発生領域を有するＸ線発
生装置を取付けるかあるいは組込んて使用すれば容易に
その目的を果すことができる。
一方、Ｘ線を用いた各種理科学実験機器において、試料
や分析領域が極端に小さい場合、例えばＸ線回折計で、
試料の径が０．０３ｍｍ以下の場合、回折Ｘ線の強度が
極端に弱く、従来のＸ線発生装置とＸｊ！１発散角度制
限器を用いたＸ線回折計ではρ［１定が容易ではない。
や分析領域が極端に小さい場合、例えばＸ線回折計で、
試料の径が０．０３ｍｍ以下の場合、回折Ｘ線の強度が
極端に弱く、従来のＸ線発生装置とＸｊ！１発散角度制
限器を用いたＸ線回折計ではρ［１定が容易ではない。
これは第３図−ａにおいて細隙を０．０３ ＃以下とし
た場合に等しい。このような場合は、従来のＸ線発生装
置の内特に做焦点型Ｘａ発牛装置と呼ばわているＸ線発
生領域の特に小さな（≦０．１φ）Ｘ線発生装置を用い
、本発明の第２図に示すような制限器を装着使用すると
、Ｘ線発生部と試料の距離に制限もなく、かつ機態、］
′ＡＸｍ源のため、より高輝度のＸ線を用いること一２
ノ ができる。従って、従来不可能であった微小試料または
微小領域の分析が可能に々る。
た場合に等しい。このような場合は、従来のＸ線発生装
置の内特に做焦点型Ｘａ発牛装置と呼ばわているＸ線発
生領域の特に小さな（≦０．１φ）Ｘ線発生装置を用い
、本発明の第２図に示すような制限器を装着使用すると
、Ｘ線発生部と試料の距離に制限もなく、かつ機態、］
′ＡＸｍ源のため、より高輝度のＸ線を用いること一２
ノ ができる。従って、従来不可能であった微小試料または
微小領域の分析が可能に々る。
発明の効果
本発明の制限器を用いると、前述するようにＸ線発生部
からの距離の二乗に逆比例した強度減を防ぐことができ
るので、対陰極面に対して低い角度でＸ線を取出す必要
はない。従って平行またはほぼ平行なＸ線を照射する試
料の面積が広くなる。
からの距離の二乗に逆比例した強度減を防ぐことができ
るので、対陰極面に対して低い角度でＸ線を取出す必要
はない。従って平行またはほぼ平行なＸ線を照射する試
料の面積が広くなる。
例えば、リソグラフィ等の用途のためには、試料面と等
しい広いＸ線発生領域を有するＸ線発生装置を用い、対
陰極面に対して任意の角度に本発明の制限器を装着して
Ｘ線を取出すことにより、広い面積に、同時に平行また
はほぼ平行なＸ線束を照射することができる。
しい広いＸ線発生領域を有するＸ線発生装置を用い、対
陰極面に対して任意の角度に本発明の制限器を装着して
Ｘ線を取出すことにより、広い面積に、同時に平行また
はほぼ平行なＸ線束を照射することができる。
また、前記とは逆の場合、即ち、平行壕だはほぼ平行な
Ｘ線束を極端に微細な試料（例えば０．０５調以下）に
照射する場合にも、本発明の制限器を装着すると極めて
有効である。その場合、中空細管の内径φｉ及びＸ線発
生領域の径φ工は微細な試料の径と等しくシフ、φ、≦
２Ｑｃ−７＋ を満すように装着し、中空細管の〜りを
少なくしたものを装着使用すると、極めて容易に試料に
高輝度のＸ線を照射することができる。
Ｘ線束を極端に微細な試料（例えば０．０５調以下）に
照射する場合にも、本発明の制限器を装着すると極めて
有効である。その場合、中空細管の内径φｉ及びＸ線発
生領域の径φ工は微細な試料の径と等しくシフ、φ、≦
２Ｑｃ−７＋ を満すように装着し、中空細管の〜りを
少なくしたものを装着使用すると、極めて容易に試料に
高輝度のＸ線を照射することができる。
以上のよう左、優れた効果を奏し得られ、各種理科学、
医学、工業用Ｘ線機器に貢献するものと考える。
医学、工業用Ｘ線機器に貢献するものと考える。
第１図及び第２図は本発明のＸ線発散角度制限器の実施
態様の断面図で、第１図は多管束、第２図は単管の地合
である。第３図はＸ線の発散角度を示す模式図で、第３
図−ａは従来法の試料の前に細隙を設けた場合、第３図
−すは本発明の制限器における場合である。 １：発散Ｘ線を遮蔽する覆、 ２：外周筒、 ３：中空細管、４：治具、
５：Ｘ線入射口、６：Ｘ線出射口、
７；ネジ、 ８：ネジ受、 １１：Ｘ線発生部、１２：ベ
リリウム窓、 １３：壁。 第１図 区 ト
態様の断面図で、第１図は多管束、第２図は単管の地合
である。第３図はＸ線の発散角度を示す模式図で、第３
図−ａは従来法の試料の前に細隙を設けた場合、第３図
−すは本発明の制限器における場合である。 １：発散Ｘ線を遮蔽する覆、 ２：外周筒、 ３：中空細管、４：治具、
５：Ｘ線入射口、６：Ｘ線出射口、
７；ネジ、 ８：ネジ受、 １１：Ｘ線発生部、１２：ベ
リリウム窓、 １３：壁。 第１図 区 ト
Claims (1)
- 内側断面が円、楕円または多角形で、その内壁面がＸ線
全反射を生じ得る滑らかな面で構成された薄い中空細管
を１本または２本以上束ねたものからなるＸ線発散角度
制限器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59124028A JPS612100A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | Ｘ線発散角度制限器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59124028A JPS612100A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | Ｘ線発散角度制限器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS612100A true JPS612100A (ja) | 1986-01-08 |
| JPH0527840B2 JPH0527840B2 (ja) | 1993-04-22 |
Family
ID=14875242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59124028A Granted JPS612100A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | Ｘ線発散角度制限器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS612100A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01131492U (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-06 | ||
| JPH0247600A (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-16 | Nippon X-Ray Kk | コリメータ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991691A (ja) * | 1973-01-05 | 1974-09-02 | ||
| JPS5712354A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Apparatus for x-ray diffraction |
-
1984
- 1984-06-15 JP JP59124028A patent/JPS612100A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4991691A (ja) * | 1973-01-05 | 1974-09-02 | ||
| JPS5712354A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Apparatus for x-ray diffraction |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01131492U (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-06 | ||
| JPH0247600A (ja) * | 1988-08-09 | 1990-02-16 | Nippon X-Ray Kk | コリメータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0527840B2 (ja) | 1993-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |