JPH0247600A - コリメータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、Ｘ線回折装置に用いるコリメータに関するも
のである。

［従来の技術］ 微小領域Ｘ線回折装置、デバイシェラカメラ、ラウェカ
メラ、ワイゼンベルグカメラ、４軸形回折計等のＸ線回
折を行う装置においては、Ｘ線源からの入射Ｘ線ビーム
をフリメータにより小さなスポットとして試料の微小な
領域に照射し、そこから発生する回折線を解析して定性
分析することが行われる。

従来のコリメータの１例を第２図に示す。第２図は二つ
のコリメータピースを訂する、いわゆるダブルピンホー
ルコリメータの断面図であり、外筒１の軸方向には貫通
孔が設けられ、その両端部には第１コリメータピース２
および第２コリメータピース３が取り付けられている。

該コリメータピース２および３は、直径３■■程度、厚
さが０．４ｍ−程度のモリブデン、金等からなる円板に
、直径ＩＯμｍ〜１冒−程度のチー程度の孔を開けたも
ので、通常、Ｘ線源に近い第１コリメータピース２の孔
の径は第２コリメータピース３の径より大きく設定され
る。これはＸ線ビームの強度を高めるためであるが、Ｘ
線ビームに高い平行性が要求される場合には、第１コリ
メータピース２および第２コリメータピース３としては
同じ径の孔を有するものが使用される。

第２図の構成において、６で示す矢印の方向から入射し
たＸ線ビームは第１コリメータピース２、第２コリメー
タピース３によって絞り込まれ、細いビームとなされて
図示しない試料の微小領域に照射される。なお、図中、
５．６は補助リングである。

また、第３図に示すようなコリメータも提案されている
。第３図に示すものにおいては、外筒１の内部には、第
１コリメータピース２および第２コリメータピース３を
宵する内筒７が挿入され、第１および第２のコリメータ
ピース２．３の孔の中心位置は調整部材としての調整ネ
ジ８および９で外部から調整可能となされている。即ち
、調整ネジ８の部分のＡ−Ａ’での断面図を第４図に示
すが、第４図から明らかなように、４つのネジ８′を調
整することで第１フリメータピース２の径方向の位置を
調整することができるものである。

調整ネジ９の部分も同様に構成されている。なお、第３
図において、第１フリメータピース２は内筒７に接着さ
れるが、第２コリメータピース３は内筒７の軸方向に形
成された貫通孔で構成されてい第３図に示すコリメータ
においては、内筒７は外筒１より長（なされており、第
２コリメータピースの部分は外筒から試料側に飛び出す
ように配置されている。これはデッドアングルを小さく
するためであり、これが当該コリメータの特徴となって
いる。

いま、第５図ａｓｂに示すように、第２図に示すコリメ
ータの第２コリメータピース３と、第３図に示すコリメ
ータの第２コリメータピース３が試料１０から等しい距
離にあったとすると、試料１０からコリメータを見込む
角度θは第３図に示すコリメータの方が小さく、それだ
け検出器に対して邪麗にならない、即ちデッドアングル
が小さいことになる。

［発明が解決しようとする課題］ さて、コリメータを用いて試料の測定しようとする微小
領域に、再現性よく、かつ互換性を持たせてＸ線ビーム
を照射するためには、全てのコリメータの外筒の外径は
一定で、かつ真円であることは勿論として、各コリメー
タピースの孔の中心は外筒の中心と一致していなければ
ならない。

しかし、第２図に示すコリメータにおいて第１、第２の
コリメータピース２．３を外筒１に固着するためには、
第１、第２のコリメータピース２および３をそれぞれ補
助リング４および５に接着し、接着剤が乾燥した後、顕
微鏡で観察しながら外筒１に補助リング４．５を中心を
合わせて接着していたので、接着の際に補助リングが浮
き上がって位置が変わったり、接着剤が乾燥する過程で
収縮して補助リングが動いてしまうこともあった。そし
て、補助リング４．５を接着、乾燥後コリメータピース
２または３の位置ずれが確認されると、それは廃棄され
て別のコリメータを初めから作り直すことを行わねばな
らないものであった。

もっとも、コリメータピースの孔の径が０．５關〜１　
＋ｎ程度であれば位置決めの作業は比較的楽であるが、
最近ではＩＯμｍ程度の小さな径のコリメータピースが
要求されることが多く、このように非常に小さな径のコ
リメータピースを上記の方法で中心を合わせて接着する
作業は非常に困難を伴うものであった。

これに対して、第３図に示す構成のコリメータにおいて
は、先ず、内筒７に第１コリメータピース２を接着し、
乾燥の後内筒７を外筒１に挿入する。そして、コリメー
タを第６図に示すようにＶブロック１１で押さえ、顕微
鏡１２で観察しながら矢印１３のように外筒１をその中
心軸の廻りに回転させ、第１コリメータピース２の孔の
中心が動かなくなるように調整ネジ８を調整する。これ
で第１コリメータピース２の孔の中心がとれたことにな
る。次に、第２コリメータピース３についても同様に行
う。

しかし、第３図の構成によれば、調整ネジ８で第１コリ
メータピース２の孔の中心位置を調整する場合には、内
筒７は調整ネジ９を支点として回転し、また、調整ネジ
９で第２コリメータピース３の孔の中心位置を調整する
場合には、内筒７は調整ネジ８を支点として回転するか
ら、上記のように先ず調整ネジ８で第１コリメータピー
ス２の中心を合わせても、次の調整ネジ９で第２コリメ
ータピース３の中心を合わせる作業のときには第１コリ
メータピース２の中心は移動してしまうことになり、結
局フリメータピース２および３の中心合わせの調整作業
は非常に手間の掛かるものであった。

本発明は、上記の課題を解決するものであって、コリメ
ータピースの中心を外筒１の中心と一致させる作業を容
易にできるコリメータを提供することを目的とするもの
である。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明のコリメータは、
外筒と、前記外筒の内側に挿入され、少なくとも一つの
コリメータピースを存する内筒とからなるコリメータに
おいて、前記外筒は、その両端部近傍にそれぞれ前記コ
リメータピースの中心位置調整用の調整部材を存し、更
に、前記両調整部材の間に内筒を固定する固定部材を有
することを特徴とする。

［作用コ 本発明においては、外筒の両端近傍に設けられる二つの
調整部材の間、望ましくは略中央部に固定部材を設ける
ので、該固定部材の両側では内筒は干渉することなく、
互いに独立に調整でき、従ってコリメータピースの中心
の調整は２回で済むようになり、調整作業が容易になる
ものである。

［実施例］ 以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。

第１図は本発明に係るコリメータの１実施例の構成を示
す図であり、第３図に示すものと比較すると、外筒１の
略中央部が内側に突出しており、当該突出部１６には、
内筒７を外筒１と固定する固定ネジ１５が設けられてい
る点が異なっている。

この突出部１６と固定ネノ１５で固定部材が構成されて
いるものである。

さて、第１図に示す構成のコリメータを作製するについ
ては、先ず、第１コリメータピース２が接着された内筒
７が外筒１に挿入されるが、突出部１６により内筒７と
外筒１はがたが無いようにはめ合わされ、外筒１に対す
る内筒７の軸方向の位置が決められた後、固定ネジ１５
で固定される。

このことによって、内筒７の固定ネソ１５の両側の部分
は互いに干渉することがなく、独立に調整が可能である
。即ち、調整ネジ８で第１コリメータピース２の中心合
わせを行う場合を考えると、内筒７は固定ネ′）１５で
固定された部分を支点としてたわむだけで第２コリメー
タピース３には何等の影響も与えないのである。従って
、第６図に示すと同様にＶブロックに押さえて、先ず例
えば調整ネジ８で第１コリメータピース２の中心合わせ
を行い、ペイント等の方法で調整ネジ８を固定し、次に
、同様にして調整ネジ９で第２コリメータピース３の中
心を合わせた後に調整ネジ９を固定すればコリメータピ
ース２および３の調整作業は完了する。なお、調整ネジ
８および９は第４図に示すと同様な構成でよいことは明
かであろう。

以上、本発明の１実施例について説明したが、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可
能である。例えば、コリメータの構造は第１図に示すも
のに限らない。つまり、上記実施例では、いわゆるダブ
ルピンホールコリメータの例をとりあげたが、コリメー
タピースが１つの、いわゆるシングルコリメータにも適
用できるものである。また、内筒７を外筒１に固定する
手段は種々考えられるところであり、実施例として説明
した突出部１６と固定ネジ１５の組合せに限られるもの
ではない。更に、固定部材の位置は外筒１の中央部に限
るものではなく、調整ネジ８と調整ネジ９の間ならどこ
でもよいものである。

更にまた、調整ネジを固定するには、ペイントする他に
ネジ自体に接着剤を含侵させておくことことによって行
うこともできる。

〔発明の効果コ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、■不
安定要素のある接着剤を使用しないので位置が移動する
ことがない、■外筒に対するコリメータピースの位置決
めおよび固定を内筒の剛性を利用して調整ネジで行うこ
とができるので、作業が容易である、■第２コリメータ
ピースを外筒の先端から試料側に突出させたのでデッド
アングルが小さくなる、等の優れた効果が得られるもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るコリメータの１実施例の構成を示
す図、第２図、第３図は従来のコリメータの構成を示す
図、第４図は第３図のＡ−Ａでの断面を示す図、第５図
はデッドアングルを説明する図、第６図は第１図および
第３図に示すコリメータの調整方法を示す図である。 １・・・外筒、２・・・第コリメータピース、３・・・
第２コリメータピース、７・・・内筒、８．９・・・調
整ネジ。 出　　願　　人　日本エックス線株式会社代理人　弁理
士　菅　井　英　雄（外４名）第４ 図 ８゛ 第２図 第３図 Ａ′−，１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）外筒と、前記外筒の内側に挿入され、少なくとも
   一つのコリメータピースを有する内筒とからなるコリメ
   ータにおいて、前記外筒は、その両端部近傍にそれぞれ
   前記コリメータピースの中心位置調整用の調整部材を有
   し、更に、前記両調整部材の間に内筒を固定する固定部
   材を有することを特徴とするコリメータ。