JPS61214932A - 静圧スライドテ−ブル - Google Patents
静圧スライドテ−ブルInfo
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- JPS61214932A JPS61214932A JP5275985A JP5275985A JPS61214932A JP S61214932 A JPS61214932 A JP S61214932A JP 5275985 A JP5275985 A JP 5275985A JP 5275985 A JP5275985 A JP 5275985A JP S61214932 A JPS61214932 A JP S61214932A
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- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 5
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超精密送りに通した静圧スライドテーブル、特
にその送り装置の改良に関する。
にその送り装置の改良に関する。
この種の静圧スライドテーブルには、ベッドに一体的に
基準ガイドを設け、この基準ガイドにより静圧スライド
装置を介して長手方向に往復摺動可能に第１テーブルを
案内支持し、同じくベッドにより長手方向に往復摺動可
能に案内支持され第１テーブルに浮動的に結合された第
２テーブルを介して第１テーブルを送りねじにより往復
駆動するものがある。このような技術によれば、静圧ス
ライド装置により第１テーブルの案内支持部の摺動抵抗
が少なくて剛性が向上し、また浮動的に結合された第２
テーブルを介して第１テーブルを往複駆動しているので
送りねじの曲りや偏心や基準ガイドに対する取付誤差等
による送り分力以外の力が第１テーブルに加わらず、従
って送り精度を向上させることができる。しかして、従
来のこの種の静圧スライド装置においては、例えば特開
昭５８−１７７２４４号公報に示す如く、第１テーブル
を案内支持する基準ガイドとは別に第２テーブルを案内
支持する案内レールをベッドに設けていた。
基準ガイドを設け、この基準ガイドにより静圧スライド
装置を介して長手方向に往復摺動可能に第１テーブルを
案内支持し、同じくベッドにより長手方向に往復摺動可
能に案内支持され第１テーブルに浮動的に結合された第
２テーブルを介して第１テーブルを送りねじにより往復
駆動するものがある。このような技術によれば、静圧ス
ライド装置により第１テーブルの案内支持部の摺動抵抗
が少なくて剛性が向上し、また浮動的に結合された第２
テーブルを介して第１テーブルを往複駆動しているので
送りねじの曲りや偏心や基準ガイドに対する取付誤差等
による送り分力以外の力が第１テーブルに加わらず、従
って送り精度を向上させることができる。しかして、従
来のこの種の静圧スライド装置においては、例えば特開
昭５８−１７７２４４号公報に示す如く、第１テーブル
を案内支持する基準ガイドとは別に第２テーブルを案内
支持する案内レールをベッドに設けていた。
かかる従来技術は、第２テーブルのための案内レールを
基準ガイドとは別に設けているので構造が複雑となって
製造コストが増大すると共に案内レールと基準ガイドの
間の相対的誤差により送り精度を低下させるおそれがあ
るという問題があった。これを解決するために、共通の
基準ガイドにより第１及び第２テーブルの両者を案内支
持することが考えられるが、第１テーブルの剛性の低下
を防ぐために基準ガイドと第１テーブルの間の案内支持
部を長くすれば第２テーブルとの間の案内支持部が短か
くなって前記送り分力以外の力による第２テーブルの傾
斜動が生じて充分な送り精度が得られず、また、第２テ
ーブルと基準ガイドとの間の案内支持部を長くすれば第
１テーブルとの間の案内支持部が短か（なって第１テー
ブルの剛性が低下するという問題が生ずる。本発明は、
第１及び第２テーブルの案内支持部の配置を改良してこ
れらの問題点を解決するものである。
基準ガイドとは別に設けているので構造が複雑となって
製造コストが増大すると共に案内レールと基準ガイドの
間の相対的誤差により送り精度を低下させるおそれがあ
るという問題があった。これを解決するために、共通の
基準ガイドにより第１及び第２テーブルの両者を案内支
持することが考えられるが、第１テーブルの剛性の低下
を防ぐために基準ガイドと第１テーブルの間の案内支持
部を長くすれば第２テーブルとの間の案内支持部が短か
くなって前記送り分力以外の力による第２テーブルの傾
斜動が生じて充分な送り精度が得られず、また、第２テ
ーブルと基準ガイドとの間の案内支持部を長くすれば第
１テーブルとの間の案内支持部が短か（なって第１テー
ブルの剛性が低下するという問題が生ずる。本発明は、
第１及び第２テーブルの案内支持部の配置を改良してこ
れらの問題点を解決するものである。
このために本発明による静圧スライドテーブルは、第１
図〜第５図に示す如く、ベッド１０に一体的に基準ガイ
ド１１を設け、この基準ガイド１１により第１静圧スラ
イド装置を介して長手方向に往復摺動可能に第１テーブ
ル２０を案内支持し、ベッド１０により長手方向に往復
摺動可能に案内支持され第１テーブル２０に浮動的に結
合された第２テーブル３０を介して第１テーブル２０を
送りねじ４１により往復駆動してなる静圧スライドテー
ブルにおいて、第１テーブル２０に長手方向と直交する
一対の静圧面２４．２４を備えた切り欠き２３を設けて
第１テーブル２０内部の長手方向両端部２０ａ、２０ａ
および中央部２０ｂを除く部分において基準ガイド１１
を露出せしめると共に第１静圧スライド装置２５．２５
ａを第１テーブル２０の長手方向両端部２０ａ、２０ａ
および中央部２０ｂに設け、第２テーブル３０を切り欠
き２３内に位置せしめて第１テーブル２０の長手方向両
端部２０ａ、２０ａと中央部２０ｂの間の露出部分にお
いて第２静圧スライド装置３２を介して基準ガイド１１
により案内支持すると共に第２テーブル３０の長手方向
両端面３６．３６と静圧面２４，２４の間に長手方向の
推力のみを伝達する静圧スラスト装置３５．３５を形成
したことを特徴とするものである。
図〜第５図に示す如く、ベッド１０に一体的に基準ガイ
ド１１を設け、この基準ガイド１１により第１静圧スラ
イド装置を介して長手方向に往復摺動可能に第１テーブ
ル２０を案内支持し、ベッド１０により長手方向に往復
摺動可能に案内支持され第１テーブル２０に浮動的に結
合された第２テーブル３０を介して第１テーブル２０を
送りねじ４１により往復駆動してなる静圧スライドテー
ブルにおいて、第１テーブル２０に長手方向と直交する
一対の静圧面２４．２４を備えた切り欠き２３を設けて
第１テーブル２０内部の長手方向両端部２０ａ、２０ａ
および中央部２０ｂを除く部分において基準ガイド１１
を露出せしめると共に第１静圧スライド装置２５．２５
ａを第１テーブル２０の長手方向両端部２０ａ、２０ａ
および中央部２０ｂに設け、第２テーブル３０を切り欠
き２３内に位置せしめて第１テーブル２０の長手方向両
端部２０ａ、２０ａと中央部２０ｂの間の露出部分にお
いて第２静圧スライド装置３２を介して基準ガイド１１
により案内支持すると共に第２テーブル３０の長手方向
両端面３６．３６と静圧面２４，２４の間に長手方向の
推力のみを伝達する静圧スラスト装置３５．３５を形成
したことを特徴とするものである。
第１テーブル２０及び第２テーブル３０は、それぞれ第
１及び第２静圧スライド装置２５．２５ａ及び３２を介
して共通の基準ガイド１１により案内支持される。そし
て、切り欠き２３内に位置して長手方向両端面３６．３
６に設けた静圧スラスト装置３５．３５を介してテーブ
ル２０に浮動的に結合された第２テーブル３０は、送り
ねじ４１により往復動して第１テーブル２０を往復駆動
する。
１及び第２静圧スライド装置２５．２５ａ及び３２を介
して共通の基準ガイド１１により案内支持される。そし
て、切り欠き２３内に位置して長手方向両端面３６．３
６に設けた静圧スラスト装置３５．３５を介してテーブ
ル２０に浮動的に結合された第２テーブル３０は、送り
ねじ４１により往復動して第１テーブル２０を往復駆動
する。
かかる本発明による静圧スライドテーブルは、第１テー
ブル及び第２テーブルの両者が共通の基準ガイドにより
案内支持されているのでこの両者の案内支持構造が簡単
となり製造コストを低下させることができると共に、摺
動の際にこの両者の間に相対的誤差が生じないのでこれ
が原因となる送り精度の低下がない。また、第１テーブ
ルは長手方向両端部と中央部の第１静圧スライド装置に
より基準ガイドに案内支持せしめたので両端部の第１静
圧スライド装置の長さを小としても充分大なる支持剛性
が得られ、一方策２テーブルの第２静圧スライド装置は
長手方向の間隔が増大するので送り分力以外の力による
傾斜動は減少し、これにより安定した一層高い送り精度
が得られる。
ブル及び第２テーブルの両者が共通の基準ガイドにより
案内支持されているのでこの両者の案内支持構造が簡単
となり製造コストを低下させることができると共に、摺
動の際にこの両者の間に相対的誤差が生じないのでこれ
が原因となる送り精度の低下がない。また、第１テーブ
ルは長手方向両端部と中央部の第１静圧スライド装置に
より基準ガイドに案内支持せしめたので両端部の第１静
圧スライド装置の長さを小としても充分大なる支持剛性
が得られ、一方策２テーブルの第２静圧スライド装置は
長手方向の間隔が増大するので送り分力以外の力による
傾斜動は減少し、これにより安定した一層高い送り精度
が得られる。
以下に、添付図面により実施例の説明をする。
図面に示す如く、細長いベッド１０には、互いに対向し
て長手方向に沿って平行に延びる一対の基準ガイド１１
．１１を一体に設け、各基準ガイド１１は各図面に示す
如く、上案内面１２、下案内面１３及び側室内面１４を
有している。基準ガイド１１．１１により長手方向に往
復摺動可能に案内支持される第１テーブル２０の下部両
側には前記上、下、側の各案内面１２．１３．１４とそ
れぞれわずかの隙間を隔てて摺動可能に係合する摺動面
２６，２６．２６が形成されている。第１図及び第２図
に示す如く、第１テーブル２０の中央部下側には切り欠
き２３が設けられ、切り欠き２３は長手方向と直交し第
１テーブル２０の中心に対し長手方向で対称的に配置さ
れた一対の互いに対向する静圧面２４．２４を有してい
る。この切り欠き２３の内部の長手方向両端部２０ａ、
２０ａおよび中央部２０ｂを除く部分においては摺動面
２６，２６．２６は中断されて基準ガイド１１゜１１の
各案内面１２，１３．１４は露出されている。
て長手方向に沿って平行に延びる一対の基準ガイド１１
．１１を一体に設け、各基準ガイド１１は各図面に示す
如く、上案内面１２、下案内面１３及び側室内面１４を
有している。基準ガイド１１．１１により長手方向に往
復摺動可能に案内支持される第１テーブル２０の下部両
側には前記上、下、側の各案内面１２．１３．１４とそ
れぞれわずかの隙間を隔てて摺動可能に係合する摺動面
２６，２６．２６が形成されている。第１図及び第２図
に示す如く、第１テーブル２０の中央部下側には切り欠
き２３が設けられ、切り欠き２３は長手方向と直交し第
１テーブル２０の中心に対し長手方向で対称的に配置さ
れた一対の互いに対向する静圧面２４．２４を有してい
る。この切り欠き２３の内部の長手方向両端部２０ａ、
２０ａおよび中央部２０ｂを除く部分においては摺動面
２６，２６．２６は中断されて基準ガイド１１゜１１の
各案内面１２，１３．１４は露出されている。
第２図に示す如く、第１テーブル２０の長手方向両端部
２０ａ、２０ａと中央部２０ｂの各両側には第１静圧ス
ライド装置２５及び２５ａを設ける。各第１静圧スライ
ド装置２５は、主として第３図に示す如く、各端部２０
ａの摺動面２６，２６．２６とそれぞれに設けられた静
圧ポケット２７．２７．２７よりなり、また各第１静圧
スライド装置２５ａは、主として第５図に示す如く、中
央部２Ｑｂの摺動面２６．２６．２６とそれぞれに設け
られた静圧ポケット２７ａ、２７ａ、２７ａよりなる。
２０ａ、２０ａと中央部２０ｂの各両側には第１静圧ス
ライド装置２５及び２５ａを設ける。各第１静圧スライ
ド装置２５は、主として第３図に示す如く、各端部２０
ａの摺動面２６，２６．２６とそれぞれに設けられた静
圧ポケット２７．２７．２７よりなり、また各第１静圧
スライド装置２５ａは、主として第５図に示す如く、中
央部２Ｑｂの摺動面２６．２６．２６とそれぞれに設け
られた静圧ポケット２７ａ、２７ａ、２７ａよりなる。
潤滑油供給装置５０よりの加圧された潤滑油はフレキシ
ブルホース５１及び接続具５１ａを介して第１テーブル
２０内に設けられた油路５２に供給され、更にそれぞれ
絞り５５を介して各静圧ポケット２７．２７．２７及び
２７ａ。
ブルホース５１及び接続具５１ａを介して第１テーブル
２０内に設けられた油路５２に供給され、更にそれぞれ
絞り５５を介して各静圧ポケット２７．２７．２７及び
２７ａ。
２７ａ、２７ａに供給されて第１テーブル２０を基準ガ
イド１１．１１に対し摺動可能に静圧支持している。
イド１１．１１に対し摺動可能に静圧支持している。
第２テーブル３０は、第１図、第２図及び第４図に示す
如く、切り欠き２３内に位置し、第２静圧スライド装置
３２を介して基準ガイド１１，１１により長手方向に摺
動可能に案内支持されている。第３図を除く各図に示す
如く、第２テーブル３０は長手方向両端部３０ａ、３０
ａと第１テーブルの下側を通るや＼薄い接続部３０ｂよ
りなり、両端部３０ａ、３０ａの両側には第１テーブル
２０の長手方向両端部２０ａ、２０ａと中央部２０ｂの
間において露出した各基準ガイド１１の上。
如く、切り欠き２３内に位置し、第２静圧スライド装置
３２を介して基準ガイド１１，１１により長手方向に摺
動可能に案内支持されている。第３図を除く各図に示す
如く、第２テーブル３０は長手方向両端部３０ａ、３０
ａと第１テーブルの下側を通るや＼薄い接続部３０ｂよ
りなり、両端部３０ａ、３０ａの両側には第１テーブル
２０の長手方向両端部２０ａ、２０ａと中央部２０ｂの
間において露出した各基準ガイド１１の上。
下、側室内面１２，１３．１４とそれぞれわずかの隙間
を隔てて摺動係合する各摺動面３３，３３゜３３が形成
され、この摺動面３３．３３．３３とそれぞれに設けら
れた静圧ポケット３４．３４゜３４により第２静圧スラ
イド装置３２は形成されている。潤滑油供給装置５０か
らの加圧された潤滑油は油路５２からフレキシブルホー
ス５３及び接続具５３ａ、５３ｂを経て第２テーブル３
０内の油路５４に供給され、更にそれぞれ絞り５６゜５
６．５６を介して各静圧ポケット３４．３４゜３４に供
給されて第２テーブル３０を基準ガイド１１．１１に対
して摺動可能に静圧支持している。
を隔てて摺動係合する各摺動面３３，３３゜３３が形成
され、この摺動面３３．３３．３３とそれぞれに設けら
れた静圧ポケット３４．３４゜３４により第２静圧スラ
イド装置３２は形成されている。潤滑油供給装置５０か
らの加圧された潤滑油は油路５２からフレキシブルホー
ス５３及び接続具５３ａ、５３ｂを経て第２テーブル３
０内の油路５４に供給され、更にそれぞれ絞り５６゜５
６．５６を介して各静圧ポケット３４．３４゜３４に供
給されて第２テーブル３０を基準ガイド１１．１１に対
して摺動可能に静圧支持している。
第１図及び第２図に示す如く、第２テーブル３０の長手
方向両端面３６．３６は、それぞれわずかの隙間を隔て
て、切り欠き２３に設けられた一対の静圧面２４．２４
と対向せしめると共にその面方向の相対移動は自由とし
、両端面３６．３６と静圧面２４．２４の各中央部の間
にはそれぞれ長手方向の推力のみを伝達する静圧スラス
ト装置３５．３５を設ける。各静圧スラスト装置３５は
第２テーブル３０の端面３６とこれに設けられた静圧ポ
ケット３７よりなり、この静圧ポケット３７には油路５
４内の加圧された潤滑油が絞り５７を介して供給されて
いる。これにより、静圧スラスト装置３５．３５は第１
テーブル２０の中心に対し長手方向で対称的で幅方向で
中央に設けられ、第２テーブル３０は第１テーブル２０
に浮動的に結合される。
方向両端面３６．３６は、それぞれわずかの隙間を隔て
て、切り欠き２３に設けられた一対の静圧面２４．２４
と対向せしめると共にその面方向の相対移動は自由とし
、両端面３６．３６と静圧面２４．２４の各中央部の間
にはそれぞれ長手方向の推力のみを伝達する静圧スラス
ト装置３５．３５を設ける。各静圧スラスト装置３５は
第２テーブル３０の端面３６とこれに設けられた静圧ポ
ケット３７よりなり、この静圧ポケット３７には油路５
４内の加圧された潤滑油が絞り５７を介して供給されて
いる。これにより、静圧スラスト装置３５．３５は第１
テーブル２０の中心に対し長手方向で対称的で幅方向で
中央に設けられ、第２テーブル３０は第１テーブル２０
に浮動的に結合される。
第１図に示す如く、ベッド１０には基準ガイド１１と平
行に延びる送りねじ４１が軸受４３により軸支され、こ
の送りねじ４１は第２テーブル３０の接続部３０ｂの下
側に固定されたナツト４２と螺合している。ベッド１０
と共通のベース４０に支持されたブラケット４４には、
フレキシブルカップリング４６を介して送りねじ４１を
回転駆動するサーボモータ４５が設けられている。
行に延びる送りねじ４１が軸受４３により軸支され、こ
の送りねじ４１は第２テーブル３０の接続部３０ｂの下
側に固定されたナツト４２と螺合している。ベッド１０
と共通のベース４０に支持されたブラケット４４には、
フレキシブルカップリング４６を介して送りねじ４１を
回転駆動するサーボモータ４５が設けられている。
サーボモータ４５が作動すれば、送りねじ４１が回転駆
動され、基準ガイド４１に静圧支持された第２テーブル
３０はナツト４２を介して往復駆動され、同じく基準ガ
イド４１に静圧支持された第１テーブル２０は静圧スラ
スト装置３５．３５を介して第２テーブル３０により往
復駆動される。
動され、基準ガイド４１に静圧支持された第２テーブル
３０はナツト４２を介して往復駆動され、同じく基準ガ
イド４１に静圧支持された第１テーブル２０は静圧スラ
スト装置３５．３５を介して第２テーブル３０により往
復駆動される。
しかして、静圧スラスト装置３５．３５は第２テーブル
３０の長手方向の推力のみを伝達するように第１テーブ
ル２０に浮動的に結合されてこれと直角方向の力は伝達
せず、また第２静圧スライド装置３２．３２の長手方向
の間隔が増大するので、送りねじ４１の曲りや偏心や基
準ガイド１１に対する取付誤差あるいはナツト４２の取
付誤差等により生ずる送り方向以外の不規則な力により
第２テーブルが傾斜動することがなく、此等の不規則な
力が第１テーブル２０には作用することもない。
３０の長手方向の推力のみを伝達するように第１テーブ
ル２０に浮動的に結合されてこれと直角方向の力は伝達
せず、また第２静圧スライド装置３２．３２の長手方向
の間隔が増大するので、送りねじ４１の曲りや偏心や基
準ガイド１１に対する取付誤差あるいはナツト４２の取
付誤差等により生ずる送り方向以外の不規則な力により
第２テーブルが傾斜動することがなく、此等の不規則な
力が第１テーブル２０には作用することもない。
また、第１テーブル２０と第２テーブル３０の両者は共
通の基準ガイド１１により案内支持されているので摺動
の際に此等両者２０．３０の間に相対的に位置の誤差が
生じることもない。従って、送り精度は大幅に向上する
。
通の基準ガイド１１により案内支持されているので摺動
の際に此等両者２０．３０の間に相対的に位置の誤差が
生じることもない。従って、送り精度は大幅に向上する
。
上述した実施例は、第２テーブル３０の外側端面倒に静
圧スラスト装置３５を設けた例について述べたが、第１
テーブル２０の中央部２０ｂ側、すなわち第２テーブル
３０の内側端面倒に静圧スラスト装置を設けたものでも
良い。
圧スラスト装置３５を設けた例について述べたが、第１
テーブル２０の中央部２０ｂ側、すなわち第２テーブル
３０の内側端面倒に静圧スラスト装置を設けたものでも
良い。
なお、第２テーブル３０は第２静圧スライド装置３２に
より送り方向以外の動きを精度よく拘束しているので、
送りねじ４１を軸支する軸受４３はサーボモータ４５側
のみで足り、反対側にも軸受（図示せず）を設ける必要
は必ずしもない。
より送り方向以外の動きを精度よく拘束しているので、
送りねじ４１を軸支する軸受４３はサーボモータ４５側
のみで足り、反対側にも軸受（図示せず）を設ける必要
は必ずしもない。
図面は本発明による静圧スライドテーブルの一実施例を
示し、第１図は第２図のＩ−Ｉ線に沿った縦断面図、第
２図は一部を切り欠いた平面図、第３図は第１図のｎｔ
−ｍ断面図、第４図は第１図のＩＶ−ＩＶ断面図、第５
図は第１図のＶ−Ｖ断面図である。 符号の説明 １０・・・ベッド、１１・・・基準ガイド、２０・・・
第１テーブル、２０ａ、２０ａ・・・長手方向両端部、
２０ｂ・・・中央部、２３・・・切り欠き、２４．２４
・・・静圧面、２５．２５ａ・・・第１静圧スライド装
置、３０・・・第２テーブル、３２・・・第２静圧スラ
イド装置、３５・・・静圧スラスト装置、３６．３６・
・・長手方向両端面、４１・・・送りねじ。
示し、第１図は第２図のＩ−Ｉ線に沿った縦断面図、第
２図は一部を切り欠いた平面図、第３図は第１図のｎｔ
−ｍ断面図、第４図は第１図のＩＶ−ＩＶ断面図、第５
図は第１図のＶ−Ｖ断面図である。 符号の説明 １０・・・ベッド、１１・・・基準ガイド、２０・・・
第１テーブル、２０ａ、２０ａ・・・長手方向両端部、
２０ｂ・・・中央部、２３・・・切り欠き、２４．２４
・・・静圧面、２５．２５ａ・・・第１静圧スライド装
置、３０・・・第２テーブル、３２・・・第２静圧スラ
イド装置、３５・・・静圧スラスト装置、３６．３６・
・・長手方向両端面、４１・・・送りねじ。
Claims (1)
- ベッドに一体的に基準ガイドを設け、この基準ガイドに
より第１静圧スライド装置を介して長手方向に往復摺動
可能に第１テーブルを案内支持し、前記ベッドにより長
手方向に往復摺動可能に案内支持され第１テーブルに浮
動的に結合された第２テーブルを介して第１テーブルを
送りねじにより往復駆動してなる静圧スライドテーブル
において、前記第１テーブルに長手方向と直交する一対
の静圧面を備えた切り欠きを設けて同第１テーブル内部
の長手方向両端部および中央部を除く部分において前記
基準ガイドを露出せしめると共に前記第１静圧スライド
装置を第１テーブルの前記長手方向両端部および中央部
に設け、前記第２テーブルを前記切り欠き内に位置せし
めて前記長手方向両端部と中央部の間の露出部分におい
て第２静圧スライド装置を介して前記基準ガイドにより
案内支持すると共に同第２テーブルの長手方向両端面と
前記静圧面の間に前記長手方向の推力のみを伝達する静
圧スラスト装置を形成したことを特徴とする静圧スライ
ドテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275985A JPS61214932A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 静圧スライドテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275985A JPS61214932A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 静圧スライドテ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214932A true JPS61214932A (ja) | 1986-09-24 |
| JPH0555265B2 JPH0555265B2 (ja) | 1993-08-16 |
Family
ID=12923809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5275985A Granted JPS61214932A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 静圧スライドテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61214932A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165736A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | テ−ブル機構 |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP5275985A patent/JPS61214932A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165736A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | テ−ブル機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555265B2 (ja) | 1993-08-16 |
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