JPH0555265B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0555265B2 JPH0555265B2 JP60052759A JP5275985A JPH0555265B2 JP H0555265 B2 JPH0555265 B2 JP H0555265B2 JP 60052759 A JP60052759 A JP 60052759A JP 5275985 A JP5275985 A JP 5275985A JP H0555265 B2 JPH0555265 B2 JP H0555265B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- longitudinal direction
- reference guide
- guide
- pressure slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超精密送りに適した静圧スライドテー
ブル、特にその送り装置の改良に関する。
ブル、特にその送り装置の改良に関する。
この種の静圧スライドテーブルには、ベツドに
一体的に基準ガイドを設け、この基準ガイドによ
り静圧スライド装置を介して長手方向に往復摺動
可能に第１テーブルを案内支持し、同じくベツド
により長手方向に往復摺動可能に案内支持され第
１テーブルに浮動的に結合された第２テーブルを
介して第１テーブルを送りねじにより往復駆動す
るものがある。このような技術によれば、静圧ス
ライド装置により第１テーブルの案内支持部の摺
動抵抗が少なくて剛性が向上し、また浮動的に結
合された第２テーブルを介して第１テーブルを往
復駆動しているので送りねじの曲りや偏心や基準
ガイドに対する取付誤差等による送り分力以外の
力が第１テーブルに加わらず、従つて送り精度を
向上させることができる。しかして、従来のこの
種の静圧スライド装置においては、例えば特開昭
58−177244号公報に示す如く、第１テーブルを案
内支持する基準ガイドとは別に第２テーブルを案
内支持する案内レールをベツドに設けていた。
一体的に基準ガイドを設け、この基準ガイドによ
り静圧スライド装置を介して長手方向に往復摺動
可能に第１テーブルを案内支持し、同じくベツド
により長手方向に往復摺動可能に案内支持され第
１テーブルに浮動的に結合された第２テーブルを
介して第１テーブルを送りねじにより往復駆動す
るものがある。このような技術によれば、静圧ス
ライド装置により第１テーブルの案内支持部の摺
動抵抗が少なくて剛性が向上し、また浮動的に結
合された第２テーブルを介して第１テーブルを往
復駆動しているので送りねじの曲りや偏心や基準
ガイドに対する取付誤差等による送り分力以外の
力が第１テーブルに加わらず、従つて送り精度を
向上させることができる。しかして、従来のこの
種の静圧スライド装置においては、例えば特開昭
58−177244号公報に示す如く、第１テーブルを案
内支持する基準ガイドとは別に第２テーブルを案
内支持する案内レールをベツドに設けていた。
かかる従来技術は、第２テーブルのための案内
レールを基準ガイドとは別に設けているので構造
が複雑となつて製造コストが増大すると共に案内
レールと基準ガイドの間の相対的誤差により送り
精度を低下させるおそれがあるという問題があつ
た。これを解決するために、共通の基準ガイドに
より第１及び第２テーブルの両者を案内支持する
ことが考えられるが、第１テーブルの剛性の低下
を防ぐために基準ガイドと第１テーブルの間の案
内支持部を長くすれば第２テーブルとの間の案内
支持部が短かくなつて前記送り分力以外の力によ
る第２テーブルの傾斜動が生じて充分な送り精度
が得られず、また、第２テーブルと基準ガイドと
の間の案内支持部を長くすれば第１テーブルとの
間の案内支持部が短かくなつて第１テーブルの剛
性が低下するという問題が生ずる。本発明は、第
１及び第２テーブルの案内支持部の配置を改良し
てこれらの問題点を解決するものである。
レールを基準ガイドとは別に設けているので構造
が複雑となつて製造コストが増大すると共に案内
レールと基準ガイドの間の相対的誤差により送り
精度を低下させるおそれがあるという問題があつ
た。これを解決するために、共通の基準ガイドに
より第１及び第２テーブルの両者を案内支持する
ことが考えられるが、第１テーブルの剛性の低下
を防ぐために基準ガイドと第１テーブルの間の案
内支持部を長くすれば第２テーブルとの間の案内
支持部が短かくなつて前記送り分力以外の力によ
る第２テーブルの傾斜動が生じて充分な送り精度
が得られず、また、第２テーブルと基準ガイドと
の間の案内支持部を長くすれば第１テーブルとの
間の案内支持部が短かくなつて第１テーブルの剛
性が低下するという問題が生ずる。本発明は、第
１及び第２テーブルの案内支持部の配置を改良し
てこれらの問題点を解決するものである。
このために本発明による静圧スライドテーブル
は、第１図〜第５図に示す如く、ベツド１０に一
体的に基準ガイド１１を設け、この基準ガイド１
１により第１静圧スライド装置を介して長手方向
に往復摺動可能に第１テーブル２０を案内支持
し、ベツド１０により長手方向に往復摺動可能に
案内支持され第１テーブル２０に浮動的に結合さ
れた第２テーブル３０を介して第１テーブル２０
を送りねじ４１により往復駆動してなる静圧スラ
イドテーブルにおいて、第１テーブル２０に長手
方向と直交する一対の静圧面２４，２４を備えた
切り欠き２３を設けて第１テーブル２０内部の長
手方向両端部２０ａ，２０ａおよび中央部２０ｂ
を除く部分において基準ガイド１１を露出せしめ
ると共に第１静圧スライド装置２５，２５ａを第
１テーブル２０の長手方向両端部２０ａ，２０ａ
および中央部２０ｂに設け、第２テーブル３０を
切り欠き２３内に位置せしめて第１テーブル２０
の長手方向両端部２０ａ，２０ａと中央部２０ｂ
の間の露出部分において第２静圧スライド装置３
２を介して基準ガイド１１により案内支持すると
共に第２テーブル３０の長手方向両端面３６，３
６と静圧面２４，２４の間に長手方向の推力のみ
を伝達する静圧スラスト装置３５，３５を形成し
たことを特徴とするものである。
は、第１図〜第５図に示す如く、ベツド１０に一
体的に基準ガイド１１を設け、この基準ガイド１
１により第１静圧スライド装置を介して長手方向
に往復摺動可能に第１テーブル２０を案内支持
し、ベツド１０により長手方向に往復摺動可能に
案内支持され第１テーブル２０に浮動的に結合さ
れた第２テーブル３０を介して第１テーブル２０
を送りねじ４１により往復駆動してなる静圧スラ
イドテーブルにおいて、第１テーブル２０に長手
方向と直交する一対の静圧面２４，２４を備えた
切り欠き２３を設けて第１テーブル２０内部の長
手方向両端部２０ａ，２０ａおよび中央部２０ｂ
を除く部分において基準ガイド１１を露出せしめ
ると共に第１静圧スライド装置２５，２５ａを第
１テーブル２０の長手方向両端部２０ａ，２０ａ
および中央部２０ｂに設け、第２テーブル３０を
切り欠き２３内に位置せしめて第１テーブル２０
の長手方向両端部２０ａ，２０ａと中央部２０ｂ
の間の露出部分において第２静圧スライド装置３
２を介して基準ガイド１１により案内支持すると
共に第２テーブル３０の長手方向両端面３６，３
６と静圧面２４，２４の間に長手方向の推力のみ
を伝達する静圧スラスト装置３５，３５を形成し
たことを特徴とするものである。
第１テーブル２０及び第２テーブル３０は、そ
れぞれ第１及び第２静圧スライド装置２５，２５
ａ及び３２を介して共通の基準ガイド１１により
案内支持される。そして、切り欠き２３内に位置
して長手方向両端面３６，３６に設けた静圧スラ
スト装置３５，３５を介してテーブル２０に浮動
的に結合された第２テーブル３０は、送りねじ４
１により往復動して第１テーブル２０を往復駆動
する。
れぞれ第１及び第２静圧スライド装置２５，２５
ａ及び３２を介して共通の基準ガイド１１により
案内支持される。そして、切り欠き２３内に位置
して長手方向両端面３６，３６に設けた静圧スラ
スト装置３５，３５を介してテーブル２０に浮動
的に結合された第２テーブル３０は、送りねじ４
１により往復動して第１テーブル２０を往復駆動
する。
かかる本発明による静圧スライドテーブルは、
第１テーブル及び第２テーブルの両者が共通の基
準ガイドにより案内支持されているのでこの両者
の案内支持構造が簡単となり製造コストを低下さ
せることができると共に、摺動の際にこの両者の
間に相対的誤差が生じないのでこれが原因となる
送り精度の低下がない。また、第１テーブルは長
手方向両端部と中央部の第１静圧スライド装置に
より基準ガイドに案内支持せしめたので両端部の
第１静圧スライド装置の長さを小としても充分大
なる支持剛性が得られ、一方第２テーブルの第２
静圧スライド装置は長手方向の間隔が増大するの
で送り分力以外の力による傾斜動は減少し、これ
により安定した一層高い送り精度がえられる。
第１テーブル及び第２テーブルの両者が共通の基
準ガイドにより案内支持されているのでこの両者
の案内支持構造が簡単となり製造コストを低下さ
せることができると共に、摺動の際にこの両者の
間に相対的誤差が生じないのでこれが原因となる
送り精度の低下がない。また、第１テーブルは長
手方向両端部と中央部の第１静圧スライド装置に
より基準ガイドに案内支持せしめたので両端部の
第１静圧スライド装置の長さを小としても充分大
なる支持剛性が得られ、一方第２テーブルの第２
静圧スライド装置は長手方向の間隔が増大するの
で送り分力以外の力による傾斜動は減少し、これ
により安定した一層高い送り精度がえられる。
以下に、添付図面により実施例の説明をする。
図面に示す如く、細長いベツド１０には、互いに
対向して長手方向に沿つて平行に延びる一対の基
準ガイド１１，１１を一体に設け、各基準ガイド
１１は各図面に示す如く、上案内面１２、下案内
面１３及び側案内面１４を有している。基準ガイ
ド１１，１１により長手方向に往復摺動可能に案
内支持される第１テーブル２０の下部両側には前
記上、下、側の各案内面１２，１３，１４とそれ
ぞれわずかの隙間を隔てて摺動可能に係合する摺
動面２６，２６，２６が形成されている。第１図
及び第２図に示す如く、第１テーブル２０の中央
部下側には切り欠き２３が設けられ、切り欠き２
３は長手方向と直交し第１テーブル２０の中心に
対し長手方向で対称的に配置された一対の互いに
対向する静圧面２４，２４を有している。この切
り欠き２３の内部の長手方向両端部２０ａ，２０
ａおよび中央部２０ｂを除く部分においては摺動
面２６，２６，２６は中断されて基準ガイド１
１，１１の各案内面１２，１３，１４は露出され
ている。
図面に示す如く、細長いベツド１０には、互いに
対向して長手方向に沿つて平行に延びる一対の基
準ガイド１１，１１を一体に設け、各基準ガイド
１１は各図面に示す如く、上案内面１２、下案内
面１３及び側案内面１４を有している。基準ガイ
ド１１，１１により長手方向に往復摺動可能に案
内支持される第１テーブル２０の下部両側には前
記上、下、側の各案内面１２，１３，１４とそれ
ぞれわずかの隙間を隔てて摺動可能に係合する摺
動面２６，２６，２６が形成されている。第１図
及び第２図に示す如く、第１テーブル２０の中央
部下側には切り欠き２３が設けられ、切り欠き２
３は長手方向と直交し第１テーブル２０の中心に
対し長手方向で対称的に配置された一対の互いに
対向する静圧面２４，２４を有している。この切
り欠き２３の内部の長手方向両端部２０ａ，２０
ａおよび中央部２０ｂを除く部分においては摺動
面２６，２６，２６は中断されて基準ガイド１
１，１１の各案内面１２，１３，１４は露出され
ている。
第２図に示す如く、第１テーブル２０の長手方
向両端部２０ａ，２０ａと中央部２０ｂの各両側
には第１静圧スライド装置２５及び２５ａを設け
る。各第１静圧スライド装置２５は、主として第
３図に示す如く、各端部２０ａの摺動面２６，２
６，２６とそれぞれに設けられた静圧ポケツト２
７，２７，２７よりなり、また各第１静圧スライ
ド装置２５ａは、主として第５図に示す如く、中
央部２０ｂの摺動面２６，２６，２６とそれぞれ
に設けられた静圧ポケツト２７ａ，２７ａ，２７
ａよりなる。潤滑油供給装置５０よりの加圧され
た潤滑油はフレキシブルホース５１及び接続具５
１ａを介して第１テーブル２０内に設けられた油
路５２に供給され、更にそれぞれ絞り５５を介し
て各静圧ポケツト２７，２７，２７及び２７ａ，
２７ａ，２７ａに供給されて第１テーブル２０を
基準ガイド１１，１１に対し摺動可能に静圧支持
している。
向両端部２０ａ，２０ａと中央部２０ｂの各両側
には第１静圧スライド装置２５及び２５ａを設け
る。各第１静圧スライド装置２５は、主として第
３図に示す如く、各端部２０ａの摺動面２６，２
６，２６とそれぞれに設けられた静圧ポケツト２
７，２７，２７よりなり、また各第１静圧スライ
ド装置２５ａは、主として第５図に示す如く、中
央部２０ｂの摺動面２６，２６，２６とそれぞれ
に設けられた静圧ポケツト２７ａ，２７ａ，２７
ａよりなる。潤滑油供給装置５０よりの加圧され
た潤滑油はフレキシブルホース５１及び接続具５
１ａを介して第１テーブル２０内に設けられた油
路５２に供給され、更にそれぞれ絞り５５を介し
て各静圧ポケツト２７，２７，２７及び２７ａ，
２７ａ，２７ａに供給されて第１テーブル２０を
基準ガイド１１，１１に対し摺動可能に静圧支持
している。
第２テーブル３０は、第１図、第２図及び第４
図に示す如く、切り欠き２３内に位置し、第２静
圧スライド装置３２を介して基準ガイド１１，１
１により長手方向に摺動可能に案内支持されてい
る。第３図を除く各図に示す如く、第２テーブル
３０は長手方向両端部３０ａ，３０ａと第１テー
ブルの下側を通るやゝ薄い接続部３０ｂよりな
り、両端部３０ａ，３０ａの両側には第１テーブ
ル２０の長手方向両端部２０ａ，２０ａと中央部
２０ｂの間において露出した各基準ガイド１１の
上、下、側案内面１２，１３，１４とそれぞれわ
ずかの隙間を隔てて摺動係合する各摺動面３３，
３３，３３が形成され、この摺動面３３，３３，
３３とそれぞれに設けられた静圧ポケツト３４，
３４，３４により第２静圧スライド装置３２は形
成されている。潤滑油供給装置５０からの加圧さ
れた潤滑油は油路５２からフレキシブルホース５
３及び接続具５３ａ，５３ｂを経て第２テーブル
３０内の油路５４に供給され、更にそれぞれ絞り
５６，５６，５６を介して各静圧ポケツト３４，
３４，３４に供給されて第２テーブル３０を基準
ガイド１１，１１に対して摺動可能に静圧支持し
ている。
図に示す如く、切り欠き２３内に位置し、第２静
圧スライド装置３２を介して基準ガイド１１，１
１により長手方向に摺動可能に案内支持されてい
る。第３図を除く各図に示す如く、第２テーブル
３０は長手方向両端部３０ａ，３０ａと第１テー
ブルの下側を通るやゝ薄い接続部３０ｂよりな
り、両端部３０ａ，３０ａの両側には第１テーブ
ル２０の長手方向両端部２０ａ，２０ａと中央部
２０ｂの間において露出した各基準ガイド１１の
上、下、側案内面１２，１３，１４とそれぞれわ
ずかの隙間を隔てて摺動係合する各摺動面３３，
３３，３３が形成され、この摺動面３３，３３，
３３とそれぞれに設けられた静圧ポケツト３４，
３４，３４により第２静圧スライド装置３２は形
成されている。潤滑油供給装置５０からの加圧さ
れた潤滑油は油路５２からフレキシブルホース５
３及び接続具５３ａ，５３ｂを経て第２テーブル
３０内の油路５４に供給され、更にそれぞれ絞り
５６，５６，５６を介して各静圧ポケツト３４，
３４，３４に供給されて第２テーブル３０を基準
ガイド１１，１１に対して摺動可能に静圧支持し
ている。
第１図及び第２図に示す如く、第２テーブル３
０の長手方向両端面３６，３６は、それぞれわず
かの隙間を隔てて、切り欠き２３に設けられた一
対の静圧面２４，２４と対向せしめると共にその
面方向の相対移動は自由とし、両端面３６，３６
と静圧面２４，２４の各中央部の間にはそれぞれ
長手方向の推力のみを伝達する静圧スラスト装置
３５，３５を設ける。各静圧スラスト装置３５は
第２テーブル３０の端面３６とこれに設けられた
静圧ポケツト３７よりなり、この静圧ポケツト３
７には油路５４内の加圧された潤滑油が絞り５７
を介して供給されている。これにより、静圧スラ
スト装置３５，３５は第１テーブル２０の中心に
対し長手方向で対称的で幅方向で中央に設けら
れ、第２テーブル３０は第１テーブル２０に浮動
的に結合される。
０の長手方向両端面３６，３６は、それぞれわず
かの隙間を隔てて、切り欠き２３に設けられた一
対の静圧面２４，２４と対向せしめると共にその
面方向の相対移動は自由とし、両端面３６，３６
と静圧面２４，２４の各中央部の間にはそれぞれ
長手方向の推力のみを伝達する静圧スラスト装置
３５，３５を設ける。各静圧スラスト装置３５は
第２テーブル３０の端面３６とこれに設けられた
静圧ポケツト３７よりなり、この静圧ポケツト３
７には油路５４内の加圧された潤滑油が絞り５７
を介して供給されている。これにより、静圧スラ
スト装置３５，３５は第１テーブル２０の中心に
対し長手方向で対称的で幅方向で中央に設けら
れ、第２テーブル３０は第１テーブル２０に浮動
的に結合される。
第１図に示す如く、ベツド１０には基準ガイド
１１と平行に延びる送りねじ４１が軸受４３によ
り軸支され、この送りねじ４１は第２テーブル３
０の接続部３０ｂの下側に固定されたナツト４２
と螺合している。ベツド１０と共通のベース４０
に支持されたブラケツト４４には、フレキシブル
カツプリング４６を介して送りねじ４１を回転駆
動するサーボモータ４５が設けられている。
１１と平行に延びる送りねじ４１が軸受４３によ
り軸支され、この送りねじ４１は第２テーブル３
０の接続部３０ｂの下側に固定されたナツト４２
と螺合している。ベツド１０と共通のベース４０
に支持されたブラケツト４４には、フレキシブル
カツプリング４６を介して送りねじ４１を回転駆
動するサーボモータ４５が設けられている。
サーボモータ４５が作動すれば、送りねじ４１
が回転駆動され、基準ガイド４１に静圧支持され
た第２テーブル３０はナツト４２を介して往復駆
動され、同じく基準ガイド４１に静圧支持された
第１テーブル２０は静圧スラスト装置３５，３５
を介して第２テーブル３０により往復駆動され
る。しかして、静圧スラスト装置３５，３５は第
２テーブル３０の長手方向の推力のみを伝達する
ように第１テーブル２０に浮動的に結合されてこ
れと直角方向の力は伝達せず、また第２静圧スラ
イド装置３２，３２の長手方向の間隔が増大する
ので、送りねじ４１の曲りや偏心や基準ガイド１
１に対する取付誤差あるいはナツト４２の取付誤
差等により生ずる送り方向以外の不規則な力によ
り第２テーブルが傾斜動することがなく、此等の
不規則な力が第１テーブル２０に作用することも
ない。また、第１テーブル２０と第２テーブル３
０の両者は共通の基準ガイド１１により案内支持
されているので摺動の際に此等両者２０，３０の
間に相対的に位置の誤差が生じることもない。従
つて、送り精度は大幅に向上する。
が回転駆動され、基準ガイド４１に静圧支持され
た第２テーブル３０はナツト４２を介して往復駆
動され、同じく基準ガイド４１に静圧支持された
第１テーブル２０は静圧スラスト装置３５，３５
を介して第２テーブル３０により往復駆動され
る。しかして、静圧スラスト装置３５，３５は第
２テーブル３０の長手方向の推力のみを伝達する
ように第１テーブル２０に浮動的に結合されてこ
れと直角方向の力は伝達せず、また第２静圧スラ
イド装置３２，３２の長手方向の間隔が増大する
ので、送りねじ４１の曲りや偏心や基準ガイド１
１に対する取付誤差あるいはナツト４２の取付誤
差等により生ずる送り方向以外の不規則な力によ
り第２テーブルが傾斜動することがなく、此等の
不規則な力が第１テーブル２０に作用することも
ない。また、第１テーブル２０と第２テーブル３
０の両者は共通の基準ガイド１１により案内支持
されているので摺動の際に此等両者２０，３０の
間に相対的に位置の誤差が生じることもない。従
つて、送り精度は大幅に向上する。
上述した実施例は、第２テーブル３０の外側端
面側に静圧スラスト装置３５を設けた例について
述べたが、第１テーブル２０の中央部２０ｂ側、
すなわち第２テーブル３０の内側端面側に静圧ス
ライド装置を設けたものでも良い。
面側に静圧スラスト装置３５を設けた例について
述べたが、第１テーブル２０の中央部２０ｂ側、
すなわち第２テーブル３０の内側端面側に静圧ス
ライド装置を設けたものでも良い。
なお、第２テーブル３０は第２静圧スライド装
置３２により送り方向以外の動きを精度よく拘束
しているので、送りねじ４１を軸支する軸受４３
はサーボモータ４５側のみで足り、反対側にも軸
受（図示せず）を設ける必要は必ずしもない。
置３２により送り方向以外の動きを精度よく拘束
しているので、送りねじ４１を軸支する軸受４３
はサーボモータ４５側のみで足り、反対側にも軸
受（図示せず）を設ける必要は必ずしもない。
図面は本発明による静圧スライドテーブルの一
実施例を示し、第１図は第２図の−線に沿つ
た縦断面図、第２図は一部を切り欠いたた平面
図、第３図は第１図の−断面図、第４図は第
１図の−断面図、第５図は第１図の−断
面図である。 符号の説明、１０……ベツド、１１……基準ガ
イド、２０……第１テーブル、２０ａ，２０ａ…
…長手方向両端部、２０ｂ……中央部、２３……
切り欠き、２４，２４……静圧面、２５，２５ａ
……第１静圧スライド装置、３０……第２テーブ
ル、３２……第２静圧スライド装置、３５……静
圧スラスト装置、３６，３６……長手方向両端
面、４１……送りねじ。
実施例を示し、第１図は第２図の−線に沿つ
た縦断面図、第２図は一部を切り欠いたた平面
図、第３図は第１図の−断面図、第４図は第
１図の−断面図、第５図は第１図の−断
面図である。 符号の説明、１０……ベツド、１１……基準ガ
イド、２０……第１テーブル、２０ａ，２０ａ…
…長手方向両端部、２０ｂ……中央部、２３……
切り欠き、２４，２４……静圧面、２５，２５ａ
……第１静圧スライド装置、３０……第２テーブ
ル、３２……第２静圧スライド装置、３５……静
圧スラスト装置、３６，３６……長手方向両端
面、４１……送りねじ。
Claims (1)
- １ ベツドに一体的に基準ガイドを設け、この基
準ガイドにより第１静圧スライド装置を介して長
手方向に往復摺動可能に第１テーブルを案内支持
し、前記ベツドにより長手方向に往復摺動可能に
案内支持され第１テーブルに浮動的に結合された
第２テーブルを介して第１テーブルを送りねじに
より往復駆動してなる静圧スライドテーブルにお
いて、前記第１テーブルに長手方向と直交する一
対の静圧面を備えた切り欠きを設けて同第１テー
ブル内部の長手方向両端部および中央部を除く部
分において前記基準ガイドを露出せしめると共に
前記第１静圧スライド装置を第１テーブルの前記
長手方向両端部および中央部に設け、前記第２テ
ーブルを前記切り欠き内に位置せしめて前記長手
方向両端部と中央部の間の露出部分において第２
静圧スライド装置を介して前記基準ガイドにより
案内支持すると共に同第２テーブルの長手方向両
端面と前記静圧面の間に前記長手方向の推力のみ
を伝達する静圧スラスト装置を形成したことを特
徴とする静圧スライドテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275985A JPS61214932A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 静圧スライドテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5275985A JPS61214932A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 静圧スライドテ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214932A JPS61214932A (ja) | 1986-09-24 |
| JPH0555265B2 true JPH0555265B2 (ja) | 1993-08-16 |
Family
ID=12923809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5275985A Granted JPS61214932A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 静圧スライドテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61214932A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165736A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | テ−ブル機構 |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP5275985A patent/JPS61214932A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61214932A (ja) | 1986-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0230469B1 (en) | Alignment compensator for linear bearings | |
| KR950003067B1 (ko) | 직선미끄럼베어링 및 그의 조립방법 | |
| KR100395631B1 (ko) | 가이드기구 | |
| JPH07124831A (ja) | リニアガイド装置 | |
| CN1562579A (zh) | 六自由度大行程、高精度柔性并联机器人 | |
| JP4071974B2 (ja) | 直動案内ユニット | |
| JPH08114222A (ja) | ローラー型直綿案内装置 | |
| JPS6211211B2 (ja) | ||
| JPH0555265B2 (ja) | ||
| JPH0555264B2 (ja) | ||
| GB2141791A (en) | Linear bearing | |
| US4961649A (en) | Finite linear motion rolling guide unit | |
| JPH0610947A (ja) | 摺動支持装置 | |
| US4672859A (en) | Apparatus for coordinate positioning | |
| US6504648B2 (en) | Compensation mechanism for component and assembly deviation in a component precision positioning stage | |
| US5393144A (en) | Linear motion guide unit | |
| JPS60127932A (ja) | Ｘｙステ−ジ | |
| EP1193518A2 (en) | Compensation mechanism for component and assembly deviation in a component precision positioning stage | |
| JP2004084880A (ja) | 機械の送り装置 | |
| CN116494216B (zh) | 一种y轴和z轴精确运行的运动模组 | |
| JP2008309227A (ja) | リニアガイド装置 | |
| JPH05296241A (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
| JP2018157713A (ja) | ケーブル支持部材及びケーブル支持装置 | |
| JPS6234673Y2 (ja) | ||
| EP4036429B1 (en) | Deviation compensation integrated in the carriage of a linear axis |