JPH0555264B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0555264B2 JPH0555264B2 JP60051517A JP5151785A JPH0555264B2 JP H0555264 B2 JPH0555264 B2 JP H0555264B2 JP 60051517 A JP60051517 A JP 60051517A JP 5151785 A JP5151785 A JP 5151785A JP H0555264 B2 JPH0555264 B2 JP H0555264B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- longitudinal direction
- reference guide
- supported
- joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/601—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair followed parallelly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超精密送りに適した静圧スライドテー
ブル、特にその送り装置に関する。
ブル、特にその送り装置に関する。
この種の静圧スライドテーブルには、ベツドに
一体的に基準ガイドを設け、この基準ガイドによ
り第１静圧スライド装置を介して長手方向に往復
摺動可能にテーブルを案内支持し、前記ベツドに
より長手方向に往復摺動可能に案内支持され前記
テーブルに浮動的に結合された静圧継手を介して
同テーブルを送りねじにより往復駆動するものが
ある。このような技術によれば、静圧スライド装
置によりテーブルの案内支持部の摺動抵抗が少な
くて剛性が向上し、また浮動的に結合された静圧
継手を介してテーブルを往復駆動しているので送
りねじの曲りや偏心や基準ガイドに対する取付誤
差等による送り分力以外の力がテーブルに加わら
ず、従つて送り精度を向上させることができる。
しかして、従来のこの種の静圧スライド装置にお
いては、例えば特開昭58−177244号公報に示す如
く、テーブルを案内支持する基準ガイドとは別に
静圧継手を案内支持する案内レールをベツドに設
け、また、静圧継手をテーブルの長手方向の一側
端の近くに設けていた。
一体的に基準ガイドを設け、この基準ガイドによ
り第１静圧スライド装置を介して長手方向に往復
摺動可能にテーブルを案内支持し、前記ベツドに
より長手方向に往復摺動可能に案内支持され前記
テーブルに浮動的に結合された静圧継手を介して
同テーブルを送りねじにより往復駆動するものが
ある。このような技術によれば、静圧スライド装
置によりテーブルの案内支持部の摺動抵抗が少な
くて剛性が向上し、また浮動的に結合された静圧
継手を介してテーブルを往復駆動しているので送
りねじの曲りや偏心や基準ガイドに対する取付誤
差等による送り分力以外の力がテーブルに加わら
ず、従つて送り精度を向上させることができる。
しかして、従来のこの種の静圧スライド装置にお
いては、例えば特開昭58−177244号公報に示す如
く、テーブルを案内支持する基準ガイドとは別に
静圧継手を案内支持する案内レールをベツドに設
け、また、静圧継手をテーブルの長手方向の一側
端の近くに設けていた。
かかる従来技術は、静圧継手のための案内レー
ルを基準ガイドとは別に設けているので構造が複
雑となつて製造コストが増大すると共に案内レー
ルと基準ガイドの間の相対的誤差により送り精度
を低下させるおそれがあり、また静圧継手をテー
ブルの一側端近くに設けているので送り方向によ
つて送り精度が相違するという問題があつた。本
発明は、テーブルを案内支持する基準ガイドによ
り静圧継手を案内支持すると共に静圧継手をテー
ブルの中心に対して対称的に配置してこれらの問
題点を解決するものである。
ルを基準ガイドとは別に設けているので構造が複
雑となつて製造コストが増大すると共に案内レー
ルと基準ガイドの間の相対的誤差により送り精度
を低下させるおそれがあり、また静圧継手をテー
ブルの一側端近くに設けているので送り方向によ
つて送り精度が相違するという問題があつた。本
発明は、テーブルを案内支持する基準ガイドによ
り静圧継手を案内支持すると共に静圧継手をテー
ブルの中心に対して対称的に配置してこれらの問
題点を解決するものである。
このために本発明による静圧スライドテーブル
は、第１図〜第４図に示す如く、ベツド１０に一
体的に基準ガイド１１を設け、この基準ガイド１
１により第１静圧スライド装置２５を介して長手
方向に往復摺動可能にテーブル２０を案内支持
し、ベツド１０により長手方向に往復摺動可能に
案内支持されテーブル２０に浮動的に結合された
静圧継手３０を介して同テーブル２０を送りねじ
４１により往復駆動してなる静圧スライドテーブ
ルにおいて、テーブル２０に長手方向と直交し同
テーブル２０の中心に対し対称的に配置された一
対の静圧面２４，２４を備えた切り欠き２３を設
けて同テーブル２０内部において基準ガイド１１
を露出せしめると共に第１静圧スライド装置２５
を同テーブル２０の少くとも長手方向両端部に設
け、切り欠き２３内に静圧継手３０を位置せしめ
て第２静圧スライド装置３２を介して基準ガイド
１１により案内支持すると共に同静圧継手３０の
長手方向両端面３６，３６と静圧面２４，２４の
間に長手方向の推力のみを伝達する静圧スラスト
装置３５，３５を形成したことを特徴とするもの
である。
は、第１図〜第４図に示す如く、ベツド１０に一
体的に基準ガイド１１を設け、この基準ガイド１
１により第１静圧スライド装置２５を介して長手
方向に往復摺動可能にテーブル２０を案内支持
し、ベツド１０により長手方向に往復摺動可能に
案内支持されテーブル２０に浮動的に結合された
静圧継手３０を介して同テーブル２０を送りねじ
４１により往復駆動してなる静圧スライドテーブ
ルにおいて、テーブル２０に長手方向と直交し同
テーブル２０の中心に対し対称的に配置された一
対の静圧面２４，２４を備えた切り欠き２３を設
けて同テーブル２０内部において基準ガイド１１
を露出せしめると共に第１静圧スライド装置２５
を同テーブル２０の少くとも長手方向両端部に設
け、切り欠き２３内に静圧継手３０を位置せしめ
て第２静圧スライド装置３２を介して基準ガイド
１１により案内支持すると共に同静圧継手３０の
長手方向両端面３６，３６と静圧面２４，２４の
間に長手方向の推力のみを伝達する静圧スラスト
装置３５，３５を形成したことを特徴とするもの
である。
テーブル２０及び静圧継手３０は、それぞれ第
１及び第２静圧スライド装置２５，３２を介して
共通の基準ガイド１１により案内支持される。そ
して、切り欠き２３内に位置して長手方向両端面
３６，３６に設けた静圧スラスト装置３５，３５
を介してテーブル２０に浮動的に結合された静圧
継手３０は、送りねじ４１により往復動してテー
ブル２０を往復駆動する。
１及び第２静圧スライド装置２５，３２を介して
共通の基準ガイド１１により案内支持される。そ
して、切り欠き２３内に位置して長手方向両端面
３６，３６に設けた静圧スラスト装置３５，３５
を介してテーブル２０に浮動的に結合された静圧
継手３０は、送りねじ４１により往復動してテー
ブル２０を往復駆動する。
かかる本発明による静圧スライドテーブルは、
テーブル及び静圧継手の両者が共通の基準ガイド
により案内支持されているのでこの両者の案内支
持構造が簡単となり製造コストを低下させること
ができると共に、摺動の際にこの両者の間に相対
的誤差が生じないのでこれが原因となる送り精度
の低下がない。また、テーブルと静圧継手の間の
長手方向推力を伝達する静圧スラスト装置をテー
ブルの中心に対して対称に設けてあるので送り方
向により送り精度が相違することなく、安定した
送り精度が得られる。
テーブル及び静圧継手の両者が共通の基準ガイド
により案内支持されているのでこの両者の案内支
持構造が簡単となり製造コストを低下させること
ができると共に、摺動の際にこの両者の間に相対
的誤差が生じないのでこれが原因となる送り精度
の低下がない。また、テーブルと静圧継手の間の
長手方向推力を伝達する静圧スラスト装置をテー
ブルの中心に対して対称に設けてあるので送り方
向により送り精度が相違することなく、安定した
送り精度が得られる。
以下に、添付図面により実施例の説明をする。
図面に示す如く、細長いベツド１０の上部には、
互いに対向して長手方向に沿つて平行に延びる一
対の基準ガイド１１，１１を一体に設け、各基準
ガイド１１は主として第４図に示す如く、上案内
面１２、下案内面１３及び側案内面１４を有して
いる。基準ガイド１１，１１により長手方向に往
復摺動可能に案内支持されるテーブル２０は本体
２１とその下側にボルト止め等により一体結合さ
れた保持部材２２よりなり、その両側には前記
上、下、側の各案内面１２，１３，１４とそれぞ
れわずかの隙間を隔てて摺動可能に係合する摺動
面２６，２６，２６が形成されている。第１図及
び第２図に示す如く、テーブル２０の中央部には
切り欠き２３が設けられ、切り欠き２３は長手方
向と直交し同テーブル２０の中心に対し長手方向
で対称的に配置された一対の互いに対向する静圧
面２４，２４を有している。この切り欠き２３の
内部においては摺動面２６，２６，２６は中断さ
れて基準ガイド１１，１１は露出されている。切
り欠き２３の上端内には取り外し可能な蓋板２９
を設けてテーブル２０の上面を平坦とする。
図面に示す如く、細長いベツド１０の上部には、
互いに対向して長手方向に沿つて平行に延びる一
対の基準ガイド１１，１１を一体に設け、各基準
ガイド１１は主として第４図に示す如く、上案内
面１２、下案内面１３及び側案内面１４を有して
いる。基準ガイド１１，１１により長手方向に往
復摺動可能に案内支持されるテーブル２０は本体
２１とその下側にボルト止め等により一体結合さ
れた保持部材２２よりなり、その両側には前記
上、下、側の各案内面１２，１３，１４とそれぞ
れわずかの隙間を隔てて摺動可能に係合する摺動
面２６，２６，２６が形成されている。第１図及
び第２図に示す如く、テーブル２０の中央部には
切り欠き２３が設けられ、切り欠き２３は長手方
向と直交し同テーブル２０の中心に対し長手方向
で対称的に配置された一対の互いに対向する静圧
面２４，２４を有している。この切り欠き２３の
内部においては摺動面２６，２６，２６は中断さ
れて基準ガイド１１，１１は露出されている。切
り欠き２３の上端内には取り外し可能な蓋板２９
を設けてテーブル２０の上面を平坦とする。
第２図に示す如く、テーブル２０の長手方向両
端部の各２箇所には第１静圧スライド装置２５を
設ける。各第１静圧スライド装置２５は、主とし
て第４図に示す如く、各摺動面２６，２６，２６
とそれぞれに設けられた静圧ポケツト２７，２
７，２７よりなる。潤滑油供給装置５０よりの加
圧された潤滑油はフレキシブルホース５１及び接
続具５１ａを介してテーブル２０内に設けられた
油路５２に供給され、更にそれぞれ絞り５５，５
５，５５を介して各静圧ポケツト２７，２７，２
７に供給されてテーブル２０を基準ガイド１１，
１１に対し摺動可能に静圧支持している。
端部の各２箇所には第１静圧スライド装置２５を
設ける。各第１静圧スライド装置２５は、主とし
て第４図に示す如く、各摺動面２６，２６，２６
とそれぞれに設けられた静圧ポケツト２７，２
７，２７よりなる。潤滑油供給装置５０よりの加
圧された潤滑油はフレキシブルホース５１及び接
続具５１ａを介してテーブル２０内に設けられた
油路５２に供給され、更にそれぞれ絞り５５，５
５，５５を介して各静圧ポケツト２７，２７，２
７に供給されてテーブル２０を基準ガイド１１，
１１に対し摺動可能に静圧支持している。
静圧継手３０は、第１図〜第３図に示す如く、
切り欠き２３内に位置し、第２静圧スライド装置
３２を介して基準ガイド１１，１１の前記露出部
分に長手方向に摺動可能に案内支持されている。
主として第３図に示す如く、静圧継手３０の両側
には各基準ガイド１１の上、下、側案内面１２，
１３，１４とそれぞれわずかの隙間を隔てて摺動
係合する各摺動面３３，３３，３３が形成され、
この摺動面３３，３３，３３とそれぞれに設けら
れた静圧ポケツト３４，３４，３４により第２静
圧スライド装置３２は形成されている。潤滑油供
給装置５０からの加圧された潤滑油は油路５２か
らフレキシブルホース５３及び接続具５３ａ，５
３ｂを経て静圧継手３０内の油路５４に供給さ
れ、更にそれぞれ絞り５６，５６，５６を介して
各静圧ポケツト３４，３４，３４に供給されて静
圧継手７０を基準ガイド１１，１１に対して摺動
可能に静圧支持している。
切り欠き２３内に位置し、第２静圧スライド装置
３２を介して基準ガイド１１，１１の前記露出部
分に長手方向に摺動可能に案内支持されている。
主として第３図に示す如く、静圧継手３０の両側
には各基準ガイド１１の上、下、側案内面１２，
１３，１４とそれぞれわずかの隙間を隔てて摺動
係合する各摺動面３３，３３，３３が形成され、
この摺動面３３，３３，３３とそれぞれに設けら
れた静圧ポケツト３４，３４，３４により第２静
圧スライド装置３２は形成されている。潤滑油供
給装置５０からの加圧された潤滑油は油路５２か
らフレキシブルホース５３及び接続具５３ａ，５
３ｂを経て静圧継手３０内の油路５４に供給さ
れ、更にそれぞれ絞り５６，５６，５６を介して
各静圧ポケツト３４，３４，３４に供給されて静
圧継手７０を基準ガイド１１，１１に対して摺動
可能に静圧支持している。
第１図及び第２図に示す如く、静圧継手３０の
長手方向両端面３６，３６は、それぞれわずかの
隙間を隔てて、切り欠き２３に設けられた一対の
静圧面２４，２４と対向せしめると共にその面方
向の相対移動は自由とし、両端面３６，３６と静
圧面２４，２４の間にはそれぞれ長手方向の推力
のみを伝達する静圧スラスト装置３５，３５を設
ける。各静圧スラスト装置３５は静圧継手３０の
端面３６とこれに設けられた静圧ポケツト３７よ
りなり、この静圧ポケツト３７には油路５４内の
加圧された潤滑油が絞り５７を介して供給されて
いる。これにより、静圧スラスト装置３５，３５
はテーブル２０の中心に対し長手方向で対称的に
設けられ、静圧継手３０はテーブル２０に浮動的
に結合される。
長手方向両端面３６，３６は、それぞれわずかの
隙間を隔てて、切り欠き２３に設けられた一対の
静圧面２４，２４と対向せしめると共にその面方
向の相対移動は自由とし、両端面３６，３６と静
圧面２４，２４の間にはそれぞれ長手方向の推力
のみを伝達する静圧スラスト装置３５，３５を設
ける。各静圧スラスト装置３５は静圧継手３０の
端面３６とこれに設けられた静圧ポケツト３７よ
りなり、この静圧ポケツト３７には油路５４内の
加圧された潤滑油が絞り５７を介して供給されて
いる。これにより、静圧スラスト装置３５，３５
はテーブル２０の中心に対し長手方向で対称的に
設けられ、静圧継手３０はテーブル２０に浮動的
に結合される。
第１図に示す如く、ベツド１０には基準ガイド
１１と平行に延びる送りねじ４１が軸受４３によ
り軸支され、この送りねじ４１は静圧継手３０に
固定されたナツト４２と螺合している。ベツド１
０と共通のベース４０に支持されたブラケツト４
４には、フレキシブルカツプリング４６を介して
送りねじ４１を回転駆動するサーボモータ４５が
設けられている。
１１と平行に延びる送りねじ４１が軸受４３によ
り軸支され、この送りねじ４１は静圧継手３０に
固定されたナツト４２と螺合している。ベツド１
０と共通のベース４０に支持されたブラケツト４
４には、フレキシブルカツプリング４６を介して
送りねじ４１を回転駆動するサーボモータ４５が
設けられている。
サーボモータ４５が作動すれば、送りねじ４１
が回転駆動され、基準ガイド４１に静圧支持され
た静圧継手３０はナツト４２を介して往復駆動さ
れ、同じく基準ガイド４１に静圧支持されたテー
ブル２０は静圧スラスト装置３５，３５を介して
静圧継手３０により往復駆動される。しかして、
静圧スラスト装置３５，３５は静圧継手３０の長
手方向の推力のみを伝達するようにテーブル２０
に浮動的に結合され、これと直角方向の力は伝達
しないので、送りねじ４１の曲りや偏心や基準ガ
イド１１に対する取付誤差あるいはナツト４２の
取付誤差等により静圧継手３０に加わる送り方向
以外の不規則な力はテーブル２０には作用せず、
またテーブル２０と静圧継手３０の両者は共通の
基準ガイド１１により案内支持されているので摺
動の際に此等両者２０，３０の間に相対的に位置
の誤差が生じることなく、従つて送り精度は大幅
に向上する。また、テーブル２０と静圧継手３０
の間の静圧スラスト装置３５，３５はテーブル２
０の中心に対して対称に設けてあるので往復両送
り方向において同一の送り精度が得られる。な
お、静圧継手３０は第２静圧スラスト装置３２に
より送り方向以外の動きを精度よく拘束している
ので、送りねじ４１を軸支する軸受４３はサーボ
モータ４５側のみで足り、反対側にも軸受（図示
せず）を設ける必要は必ずしもない。
が回転駆動され、基準ガイド４１に静圧支持され
た静圧継手３０はナツト４２を介して往復駆動さ
れ、同じく基準ガイド４１に静圧支持されたテー
ブル２０は静圧スラスト装置３５，３５を介して
静圧継手３０により往復駆動される。しかして、
静圧スラスト装置３５，３５は静圧継手３０の長
手方向の推力のみを伝達するようにテーブル２０
に浮動的に結合され、これと直角方向の力は伝達
しないので、送りねじ４１の曲りや偏心や基準ガ
イド１１に対する取付誤差あるいはナツト４２の
取付誤差等により静圧継手３０に加わる送り方向
以外の不規則な力はテーブル２０には作用せず、
またテーブル２０と静圧継手３０の両者は共通の
基準ガイド１１により案内支持されているので摺
動の際に此等両者２０，３０の間に相対的に位置
の誤差が生じることなく、従つて送り精度は大幅
に向上する。また、テーブル２０と静圧継手３０
の間の静圧スラスト装置３５，３５はテーブル２
０の中心に対して対称に設けてあるので往復両送
り方向において同一の送り精度が得られる。な
お、静圧継手３０は第２静圧スラスト装置３２に
より送り方向以外の動きを精度よく拘束している
ので、送りねじ４１を軸支する軸受４３はサーボ
モータ４５側のみで足り、反対側にも軸受（図示
せず）を設ける必要は必ずしもない。
図面は本発明による静圧スライドテーブルの一
実施例を示し、第１図は長手方向に沿つた縦断面
図、第２図は蓋板を除いた平面図、第３図は第１
図の−断面図、第４図は第１図の−断面
図である。 符号の説明、１０……ベツド、１１……基準ガ
イド、２０……テーブル、２３……切り欠き、２
４……静圧面、２５……第１静圧スライド装置、
３０……静圧継手、３２……第２静圧スライド装
置、３５……静圧スラスト装置、３６……端面、
４１……送りねじ。
実施例を示し、第１図は長手方向に沿つた縦断面
図、第２図は蓋板を除いた平面図、第３図は第１
図の−断面図、第４図は第１図の−断面
図である。 符号の説明、１０……ベツド、１１……基準ガ
イド、２０……テーブル、２３……切り欠き、２
４……静圧面、２５……第１静圧スライド装置、
３０……静圧継手、３２……第２静圧スライド装
置、３５……静圧スラスト装置、３６……端面、
４１……送りねじ。
Claims (1)
- １ ベツドに一体的に基準ガイドを設け、この基
準ガイドにより第１静圧スライド装置を介して長
手方向に往復摺動可能にテーブルを案内支持し、
前記ベツドにより長手方向に往復摺動可能に案内
支持され前記テーブルに浮動的に結合された静圧
継手を介して同テーブルを送りねじにより往復駆
動してなる静圧スライドテーブルにおいて、前記
テーブルに長手方向と直交し同テーブルの中心に
対し対称的に配置された一対の静圧面を備えた切
り欠きを設けて同テーブル内部において前記基準
ガイドを露出せしめると共に前記第１静圧スライ
ド装置を同テーブルの少くとも長手方向両端部に
設け、前記切り欠き内に前記静圧継手を位置せし
めて第２静圧スライド装置を介して前記基準ガイ
ドにより案内支持すると共に同静圧継手の長手方
向両端面と前記静圧面の間に前記長手方向の推力
のみを伝達する静圧スラスト装置を形成したこと
を特徴とする静圧スライドテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5151785A JPS61209834A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 静圧スライドテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5151785A JPS61209834A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 静圧スライドテ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61209834A JPS61209834A (ja) | 1986-09-18 |
| JPH0555264B2 true JPH0555264B2 (ja) | 1993-08-16 |
Family
ID=12889199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5151785A Granted JPS61209834A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 静圧スライドテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61209834A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0547133Y2 (ja) * | 1987-01-05 | 1993-12-10 | ||
| US4865465A (en) * | 1987-08-20 | 1989-09-12 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
| JPH01135960A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Toyoda Mach Works Ltd | テーブル駆動装置 |
| CN106181529B (zh) * | 2016-08-31 | 2018-06-26 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 传动装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165736A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | テ−ブル機構 |
-
1985
- 1985-03-14 JP JP5151785A patent/JPS61209834A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61209834A (ja) | 1986-09-18 |
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