JPS61217264A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS61217264A JPS61217264A JP5997585A JP5997585A JPS61217264A JP S61217264 A JPS61217264 A JP S61217264A JP 5997585 A JP5997585 A JP 5997585A JP 5997585 A JP5997585 A JP 5997585A JP S61217264 A JPS61217264 A JP S61217264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective layer
- thickness
- thermal element
- center
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルヘッドに関し、特にサーマルヘッドの
抵抗発熱体を保護する保護膜の形状に関するものである
。
抵抗発熱体を保護する保護膜の形状に関するものである
。
サーマルヘッドは、抵抗発熱体によって、記録紙又はイ
ンクリボンを加熱し、記録紙を変色させるものであシ、
従って発熱体と記録紙の密着性は記録される画質に大き
な影響を及ぼす。従来のサーマルヘッドは基板上全面に
蓄熱層（以下グレーズと称す）を形成し、その上に抵抗
発熱体と電極を形成し、かつ抵抗発熱体を保護するため
に酸化防止層と耐摩耗層（以下保護層と称す）を有した
ものが主流でろ）、サーマルヘッドを記録装置に実装す
る場合は、記録紙を円筒形のローラで発熱部に押し当て
て記録するため、発熱体上が最も圧力が高くなる様な、
目合せ精度で実装する必要がある。従来技術によるサー
マルヘッドではとの巳合せ精度は±０．２ｎｗｎ以下で
あり、製造上調整が難かしく、かつ、サーマルヘッドの
抵抗発熱体付近が平担であるため、記録紙とヘッドの圧
力は十分とは言えない。最近この欠点を解消することと
、サーマルヘッドの熱応答性を改善するために、基板上
、抵抗発熱体の下のみにグレーズを設けた、部分グレー
ズ基板を使用したサーマルヘッドが利用されている。第
３図は従来技術の部分グレーズ基板を使用したサーマル
ヘッドの概略図であり、基板１上に部分グレーズが形成
され抵抗発熱体３０発熱部は部分グレーズ２上に位置さ
れる。保護層５は記録紙が当る領域よりも十分広く形成
され、それ以外の部分の電極は必要に応じ、樹脂層６等
で保−される。
ンクリボンを加熱し、記録紙を変色させるものであシ、
従って発熱体と記録紙の密着性は記録される画質に大き
な影響を及ぼす。従来のサーマルヘッドは基板上全面に
蓄熱層（以下グレーズと称す）を形成し、その上に抵抗
発熱体と電極を形成し、かつ抵抗発熱体を保護するため
に酸化防止層と耐摩耗層（以下保護層と称す）を有した
ものが主流でろ）、サーマルヘッドを記録装置に実装す
る場合は、記録紙を円筒形のローラで発熱部に押し当て
て記録するため、発熱体上が最も圧力が高くなる様な、
目合せ精度で実装する必要がある。従来技術によるサー
マルヘッドではとの巳合せ精度は±０．２ｎｗｎ以下で
あり、製造上調整が難かしく、かつ、サーマルヘッドの
抵抗発熱体付近が平担であるため、記録紙とヘッドの圧
力は十分とは言えない。最近この欠点を解消することと
、サーマルヘッドの熱応答性を改善するために、基板上
、抵抗発熱体の下のみにグレーズを設けた、部分グレー
ズ基板を使用したサーマルヘッドが利用されている。第
３図は従来技術の部分グレーズ基板を使用したサーマル
ヘッドの概略図であり、基板１上に部分グレーズが形成
され抵抗発熱体３０発熱部は部分グレーズ２上に位置さ
れる。保護層５は記録紙が当る領域よりも十分広く形成
され、それ以外の部分の電極は必要に応じ、樹脂層６等
で保−される。
しかしながら部分グレーズのサーマルヘッドは次の欠点
を有する。グレーズ厚さは、発熱印字のための印加パル
ス幅、周期等に対応し、必安な熱応答特性を持たせる必
要上厚さが制限され最近のサーマルヘッドでは２０〜６
０μｍが一般的である。このため、抵抗発熱体や電極パ
ターンを形成する際のパターン精度を悪化させる要因と
なっている。特に尚分解層を有するサーマルヘッド程、
微＃ｌ＆パターンを形成する必要があり、基板上の凹凸
は不利である。また部分グレーズが厚いと、ローラーと
の目合せが一致している場合は大さな圧力が得られるが
、ずれに対しては、発熱抵抗体以外の部分も上に凸とな
っているため、ずれた部分の圧力が高くなり、発熱抵抗
体上の密着性が悪くなる傾向が必り、目合せ精度は±０
．１ ｍｍ以下が必要となる。
を有する。グレーズ厚さは、発熱印字のための印加パル
ス幅、周期等に対応し、必安な熱応答特性を持たせる必
要上厚さが制限され最近のサーマルヘッドでは２０〜６
０μｍが一般的である。このため、抵抗発熱体や電極パ
ターンを形成する際のパターン精度を悪化させる要因と
なっている。特に尚分解層を有するサーマルヘッド程、
微＃ｌ＆パターンを形成する必要があり、基板上の凹凸
は不利である。また部分グレーズが厚いと、ローラーと
の目合せが一致している場合は大さな圧力が得られるが
、ずれに対しては、発熱抵抗体以外の部分も上に凸とな
っているため、ずれた部分の圧力が高くなり、発熱抵抗
体上の密着性が悪くなる傾向が必り、目合せ精度は±０
．１ ｍｍ以下が必要となる。
本発明のは上記欠点を補い、微細な抵抗体、電極のパタ
ーン形成を容易にし、しかも実装上の目合せ作業を容易
にするサーマルヘッドの構成を提供することを目的とす
る。
ーン形成を容易にし、しかも実装上の目合せ作業を容易
にするサーマルヘッドの構成を提供することを目的とす
る。
本発明のサーマハツトは、絶縁基板上に蓄熱層と抵抗発
熱体及びその電極と、抵抗発熱体の保護層とを具備する
サーマルヘッドにおいて、前記保護層の厚さが抵抗発熱
体の中央で５μｍ以上２０μｍ以下であり、かつ抵抗発
熱体の中央部から記録紙の送り方向に前後１［ＩＩｏ］
以上離れた部分の厚さが抵抗発熱体の中央部よｐ薄く、
その膜厚の差が４μｍ以上１５μｍ以下で必ることを特
徴として構成される。
熱体及びその電極と、抵抗発熱体の保護層とを具備する
サーマルヘッドにおいて、前記保護層の厚さが抵抗発熱
体の中央で５μｍ以上２０μｍ以下であり、かつ抵抗発
熱体の中央部から記録紙の送り方向に前後１［ＩＩｏ］
以上離れた部分の厚さが抵抗発熱体の中央部よｐ薄く、
その膜厚の差が４μｍ以上１５μｍ以下で必ることを特
徴として構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施の概略断面図である。
第１図に示すように本実施例は基板１の上にほぼ均一な
厚さのグレーズ２が形成され、グレーズ２上には抵抗発
熱体３と抵抗発熱体３の両側上面に成極４が形成される
。保護層５は発熱部分７の上が厚く、発熱部分から離れ
た電極上は薄く形成することにより構成される。
厚さのグレーズ２が形成され、グレーズ２上には抵抗発
熱体３と抵抗発熱体３の両側上面に成極４が形成される
。保護層５は発熱部分７の上が厚く、発熱部分から離れ
た電極上は薄く形成することにより構成される。
次に、本発明の主要点である保護層の形成について説明
する。保護層以外は従来技術のサーマルヘッドの製造方
法と同じで、全面グレーズ基板上に耐エツチング層、抵
抗発熱体層、ＡｔｖＬ極層をスパッタ法で成膜し、写真
食刻法と化学エツチングによシ抵抗発熱体３．電極４を
形成する。
する。保護層以外は従来技術のサーマルヘッドの製造方
法と同じで、全面グレーズ基板上に耐エツチング層、抵
抗発熱体層、ＡｔｖＬ極層をスパッタ法で成膜し、写真
食刻法と化学エツチングによシ抵抗発熱体３．電極４を
形成する。
実施例−１
保護層としてはＳ ｓ ０２とＳｉＣの２重膜を幅６ｍ
のスリットを設けたメタルマスクによシ、抵抗発熱体上
に幅６ＩＴＩｍの保護層を成膜した。さらにその上にス
リット幅１ｍｍのスリットを設けたメタルマスクを密着
させ８ｉＣｉスパツタ法に１９成膜した。
のスリットを設けたメタルマスクによシ、抵抗発熱体上
に幅６ＩＴＩｍの保護層を成膜した。さらにその上にス
リット幅１ｍｍのスリットを設けたメタルマスクを密着
させ８ｉＣｉスパツタ法に１９成膜した。
保護膜の断面形状は第１図に示した形状となる。
−５＝
第１表は本実施例により製造した保護層の厚さとこの厚
さに対応しサーマルヘッドの実装置に必要とした目合せ
精度の関係を示Ｌ７たものである。
さに対応しサーマルヘッドの実装置に必要とした目合せ
精度の関係を示Ｌ７たものである。
第１表
厚さによらず幅１ｍの保護層の８ｉＣの厚さが３μｍと
差が少ないものは実装時の目合せ必要精度が±０．２ｎ
１１と高精度が要求されるのに対し５μｍ以上と幅６ｍ
の保護層との差が４．５μｍとなると必要精度は±０．
３ｍと必要精度が低くてよい。この膜厚は１５μｍでも
同様であった。これに対し、幅６ｍ保護層でＳｉＣが１
，５μｍのとき幅１ｍ保護層のＳｉＣの厚さが２０μｍ
となると必要精度は０．１５肛と高精度が必要であるこ
とが判明した。
差が少ないものは実装時の目合せ必要精度が±０．２ｎ
１１と高精度が要求されるのに対し５μｍ以上と幅６ｍ
の保護層との差が４．５μｍとなると必要精度は±０．
３ｍと必要精度が低くてよい。この膜厚は１５μｍでも
同様であった。これに対し、幅６ｍ保護層でＳｉＣが１
，５μｍのとき幅１ｍ保護層のＳｉＣの厚さが２０μｍ
となると必要精度は０．１５肛と高精度が必要であるこ
とが判明した。
なお本発明方法によって製造したサーマルヘッドの良品
率は８３％となり従来のグレーズ基板を使用した場合の
良品率７０チ金大幅に上廻シ改善が明らかになった。
率は８３％となり従来のグレーズ基板を使用した場合の
良品率７０チ金大幅に上廻シ改善が明らかになった。
実施例−２
次に、保護層の別の成膜方法の結果について説明する。
第２図は本発明の保護層の成膜方法ヶ説明するだめの断
面図である。第２図に示すように抵抗発熱体と電極が形
成された（図示せず）基板１上にスリット幅１．５ｍを
持ち、かつスリットの両側４１１ＩＩＴｌの部分が基板
と密着しない形状のマスク８を置き、スパッタ法で５ｊ
０２９ と ＳｉＣ１０をスパッタした。保護層はス
パッタ粒子の廻シ込みによって幅８■に成膜されたが、
中央のスリットの直下は直接成膜されるため厚くなり、
中央部の厚さが５μｍ以上になると幅２ｍｍの外の一ノ
ｆｉとの膜厚の差が４μｍ以上となシ実雄側−１に示し
たと同様の効果が得られた。本実施例の方法によれば、
１回のスパッタで本発明のサーマルヘッドを製造するこ
とができる。
面図である。第２図に示すように抵抗発熱体と電極が形
成された（図示せず）基板１上にスリット幅１．５ｍを
持ち、かつスリットの両側４１１ＩＩＴｌの部分が基板
と密着しない形状のマスク８を置き、スパッタ法で５ｊ
０２９ と ＳｉＣ１０をスパッタした。保護層はス
パッタ粒子の廻シ込みによって幅８■に成膜されたが、
中央のスリットの直下は直接成膜されるため厚くなり、
中央部の厚さが５μｍ以上になると幅２ｍｍの外の一ノ
ｆｉとの膜厚の差が４μｍ以上となシ実雄側−１に示し
たと同様の効果が得られた。本実施例の方法によれば、
１回のスパッタで本発明のサーマルヘッドを製造するこ
とができる。
以上説明又は実施例の結果を総括すると、最も微細なパ
ターンとなる抵抗発熱体と電極のパターン形成を、平担
なグレーズ上で行うため、部分グレーズよシも高解像度
を有するサーマルヘッドを製作でき、製作における良品
率も改善される。
ターンとなる抵抗発熱体と電極のパターン形成を、平担
なグレーズ上で行うため、部分グレーズよシも高解像度
を有するサーマルヘッドを製作でき、製作における良品
率も改善される。
また実装については発熱部分が周囲より５〜１５μｍ厚
いため結果として記録紙との密着性がよく、実装上の目
合せ精度が±０．２５〜０．３ｍｍと向上した。但し保
護）−の中央部と幅２ｍｍの外との厚さの差は１５μｍ
が限界で、２０μｍまで中央部を厚くすると部分グレー
ズを使用した場合と同様、目合せ許容精度が悪く±０．
１５ｍｍとなった、逆に差が４μｍ未満では効果が認め
られない。また保護層の厚い部分の幅は２１１Ｉｍ以上
では寸法上記録紙と発熱部との圧力が平担のものと同じ
になる。
いため結果として記録紙との密着性がよく、実装上の目
合せ精度が±０．２５〜０．３ｍｍと向上した。但し保
護）−の中央部と幅２ｍｍの外との厚さの差は１５μｍ
が限界で、２０μｍまで中央部を厚くすると部分グレー
ズを使用した場合と同様、目合せ許容精度が悪く±０．
１５ｍｍとなった、逆に差が４μｍ未満では効果が認め
られない。また保護層の厚い部分の幅は２１１Ｉｍ以上
では寸法上記録紙と発熱部との圧力が平担のものと同じ
になる。
なお、実施例−１，実施例−２では、保１ｉｆｉＪ−と
して５ｉ０２と８ｉＣを使用したが、保護層がＳｉＣ単
独又はＴａ２０５．５ｉ０２とＴ ａ ２０５において
も同じ一効果を得ることができる。
して５ｉ０２と８ｉＣを使用したが、保護層がＳｉＣ単
独又はＴａ２０５．５ｉ０２とＴ ａ ２０５において
も同じ一効果を得ることができる。
又、本発明は保護層の形状によって効果が得られるもの
であり抵抗体、電極の材質によらないことは明らかであ
る。
であり抵抗体、電極の材質によらないことは明らかであ
る。
以上説明したとおシ、本発明によれば、保護Ｊ−の必要
部を厚くすることで記録紙との密着性を良くすることが
でき、平担なグレーズ上に抵抗発熱体と一極を形成する
ことができ、従ってより＃細なパターン寸法のサーマル
ヘッドに適用が可能であシ、かつ量産時における良品率
を向上させることができる。
部を厚くすることで記録紙との密着性を良くすることが
でき、平担なグレーズ上に抵抗発熱体と一極を形成する
ことができ、従ってより＃細なパターン寸法のサーマル
ヘッドに適用が可能であシ、かつ量産時における良品率
を向上させることができる。
第１図は本発明の一実施列の構成を示す断面図、第２図
は本発明の一実施例の形成方法の説明図、第３図は従来
のサーマルヘッドの一例の断面図である。 ト・・・・・基板、２・・・・・・蓄熱層（グレーズ）
、３・・・・・・抵抗発熱体、４・・・・・・電極、５
・・・・・・保護層、６・・・・・・保護樹脂、７・・
・・・・発熱部、８・・・・・・メタルマスク、９・・
・・・・酸化防止層、１０・・・・・・耐磨耗層。
は本発明の一実施例の形成方法の説明図、第３図は従来
のサーマルヘッドの一例の断面図である。 ト・・・・・基板、２・・・・・・蓄熱層（グレーズ）
、３・・・・・・抵抗発熱体、４・・・・・・電極、５
・・・・・・保護層、６・・・・・・保護樹脂、７・・
・・・・発熱部、８・・・・・・メタルマスク、９・・
・・・・酸化防止層、１０・・・・・・耐磨耗層。
Claims (1)
- 絶縁基板上に蓄熱層と抵抗発熱体及びその電極と、抵抗
発熱体の保護層とを具備するサーマルヘッドにおいて、
前記保護層の厚さが抵抗発熱体の中央で５μｍ以上２０
μｍ以下であり、かつ抵抗発熱体の中央部から記録紙の
送り方向に前後１ｍｍ以上離れた部分の厚さが抵抗発熱
体の中央部より薄く、その膜厚の差が４μｍ以上１５μ
ｍ以下であることを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5997585A JPS61217264A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5997585A JPS61217264A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61217264A true JPS61217264A (ja) | 1986-09-26 |
Family
ID=13128679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5997585A Pending JPS61217264A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61217264A (ja) |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP5997585A patent/JPS61217264A/ja active Pending
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