JPS61223607A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPS61223607A JPS61223607A JP6381185A JP6381185A JPS61223607A JP S61223607 A JPS61223607 A JP S61223607A JP 6381185 A JP6381185 A JP 6381185A JP 6381185 A JP6381185 A JP 6381185A JP S61223607 A JPS61223607 A JP S61223607A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- circuit
- detectors
- series
- signal processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、鋼板やアルミ板などの帯状物の表面欠陥な
どを検査する装置に関し、特に、複数台の走査形検出器
によって被検査物の表面の所定領域を検査する構成のも
のに関する。
どを検査する装置に関し、特に、複数台の走査形検出器
によって被検査物の表面の所定領域を検査する構成のも
のに関する。
［発明の技術的背景と問題点］
この種の表面検査装置としては、従来から第４図に示す
構成のものがよく知られている。６は被検査物で、幅の
広い鋼板やアルミ板などの帯状物である。この被検査物
６はローラ５などによって矢印４方向に連続的に搬送さ
れる。被検査物６の上方に４台の走査形検出器１ａ〜１
ｄが被検査物６の幅方向に並べて設置されている。走査
形検出器１８〜１ｄは被検査物６の表面を光電的に走査
するもので、例えばレーザ発信器、コリメータ。
構成のものがよく知られている。６は被検査物で、幅の
広い鋼板やアルミ板などの帯状物である。この被検査物
６はローラ５などによって矢印４方向に連続的に搬送さ
れる。被検査物６の上方に４台の走査形検出器１ａ〜１
ｄが被検査物６の幅方向に並べて設置されている。走査
形検出器１８〜１ｄは被検査物６の表面を光電的に走査
するもので、例えばレーザ発信器、コリメータ。
回転ミラー、モータなどから構成されるレーザ光走査機
構と、被検査物６からのシー１１反射光を受ける受光器
とを備えている。図のように、１台の走査形検出器によ
る走査幅に対して被検査物６の幅が大きいので、４台の
検出器１８〜１ｄでもって被検査物６の表面を４つの部
分に分割して各担当部分をそれぞれで走査するようにし
ている。
構と、被検査物６からのシー１１反射光を受ける受光器
とを備えている。図のように、１台の走査形検出器によ
る走査幅に対して被検査物６の幅が大きいので、４台の
検出器１８〜１ｄでもって被検査物６の表面を４つの部
分に分割して各担当部分をそれぞれで走査するようにし
ている。
走査形検出器１８〜１ｄの出力信号Ｓａ −８ｄ（上述
した受光器からの出力信号）はそれぞれ各別の信号処理
回路２８〜２ｄに入力される。信号処理回路２８〜２ｄ
は、主増幅器、自動利得制陣増幅器、フィルタ、波高弁
別回路、板端信号除去回路、メモリ等で構成されるもの
で、各検出器の出力信号から被検査物６の表面欠陥に対
応した信号を抽出し、欠陥の程度を判定して出力する。
した受光器からの出力信号）はそれぞれ各別の信号処理
回路２８〜２ｄに入力される。信号処理回路２８〜２ｄ
は、主増幅器、自動利得制陣増幅器、フィルタ、波高弁
別回路、板端信号除去回路、メモリ等で構成されるもの
で、各検出器の出力信号から被検査物６の表面欠陥に対
応した信号を抽出し、欠陥の程度を判定して出力する。
各信号処理回路２８〜２ｄの出力は、出力回路３でもっ
て１系統にまとめられて後段の系に出力される。
て１系統にまとめられて後段の系に出力される。
上述した従来の装置では、信号処理回路２８〜２ｄが各
走査形検出器１８〜１ｄごとに設けられている。信号処
理回路２８〜２ｄの回路構成は簡単でなく、これを複数
設けるのはコスト的に非常に不利である。そればかりで
なく、信号処理回路の数が多いとそれだけ故障発生率も
多くなり、また各信号処理回路の精度をそろえるのも難
しくなる。
走査形検出器１８〜１ｄごとに設けられている。信号処
理回路２８〜２ｄの回路構成は簡単でなく、これを複数
設けるのはコスト的に非常に不利である。そればかりで
なく、信号処理回路の数が多いとそれだけ故障発生率も
多くなり、また各信号処理回路の精度をそろえるのも難
しくなる。
〔発明の目的］
この発明は上述した従来の問題点に鑑みなされたもので
、その目的は、複数台の走査形検出器の出力信号を１つ
の信号処理回路でもって処理できるようにした構成が簡
単で信頼性も高い表面検査装置を提供することにある。
、その目的は、複数台の走査形検出器の出力信号を１つ
の信号処理回路でもって処理できるようにした構成が簡
単で信頼性も高い表面検査装置を提供することにある。
［発明の概要］
この発明に係る表面検査装置は、被検査物を分担して走
査する複数台の走査形検出器と、これら各走査形検出器
による走査を時間的に重複しないように順番に行なわせ
る同期制御手段と、各走査形検出器の走査期間の出力信
号を時間的に直列に並べた１系列の信号にまとめる回路
手段と、１系列にまとめられた上記出力信号を処理して
被検査物の表面欠陥などを弁別する１系列の信号処理手
段とを備えたものである。
査する複数台の走査形検出器と、これら各走査形検出器
による走査を時間的に重複しないように順番に行なわせ
る同期制御手段と、各走査形検出器の走査期間の出力信
号を時間的に直列に並べた１系列の信号にまとめる回路
手段と、１系列にまとめられた上記出力信号を処理して
被検査物の表面欠陥などを弁別する１系列の信号処理手
段とを備えたものである。
［発明の効果］
この発明の構成によれば、複数台の走査形検出器に対し
て１つの信号処理手段でもって対応でき、従来より格段
に回路構成が簡単になる°。これで装置のコストが大巾
に低減できるだけでなく、故障要因も少なくなり、検査
精度の部分的なばら′っきもなくなるなど、性能的にも
従来より優れたものになる。
て１つの信号処理手段でもって対応でき、従来より格段
に回路構成が簡単になる°。これで装置のコストが大巾
に低減できるだけでなく、故障要因も少なくなり、検査
精度の部分的なばら′っきもなくなるなど、性能的にも
従来より優れたものになる。
［発明の実施例］
第１図はこの発明の一実施例による表面検査装置の全体
的な構成を示し、第２図はその要部の具体的構成を示し
、第３図は本装置の動作タイミングを示している。第１
図において、４台の走査形検出器１８〜１ｄと被検査物
６との関係は第４図に示した従来のものと全く同じであ
る。また各検出器１８〜１ｄの構成も基本的には従来と
同じである。
的な構成を示し、第２図はその要部の具体的構成を示し
、第３図は本装置の動作タイミングを示している。第１
図において、４台の走査形検出器１８〜１ｄと被検査物
６との関係は第４図に示した従来のものと全く同じであ
る。また各検出器１８〜１ｄの構成も基本的には従来と
同じである。
各走査形検出器１８〜１ｄは同期制御回路７からの５Ｙ
ａ−３Ｙｄによって動作タイミングが決定され、１ａ→
１ｂ→１ｃ→１ｄの順番で時間的に重複しないように被
検査物６の表面を走査する。
ａ−３Ｙｄによって動作タイミングが決定され、１ａ→
１ｂ→１ｃ→１ｄの順番で時間的に重複しないように被
検査物６の表面を走査する。
その結果、第３図に示すように、各検出器１ａ〜１ｄか
らの出力信号５ａ−３ｄは、時間的に蚤ならずに順番に
発生する。なお図示するように、検出器１ａ〜１ｄの非
走査期間の出力レベルはゼロである。
らの出力信号５ａ−３ｄは、時間的に蚤ならずに順番に
発生する。なお図示するように、検出器１ａ〜１ｄの非
走査期間の出力レベルはゼロである。
各検出器１ａ〜１ｄの出力信号５ａ−８ｄは加算回路８
に入力されて加算される。この加算回路８は各検出器１
８〜１ｄの走査期間の出力信号Ｓａ〜Ｓｄを時間的に直
列に並べた１系列の信号Ｓにまとめる回路手段である。
に入力されて加算される。この加算回路８は各検出器１
８〜１ｄの走査期間の出力信号Ｓａ〜Ｓｄを時間的に直
列に並べた１系列の信号Ｓにまとめる回路手段である。
加算回路８でもって１系列にまとめられた出力信号Ｓは
１つの信号処理回路２に入力され、被検査物の表面欠陥
などの弁別処理が施される。この信号処理回路２は？Ａ
４図に示した従来の装置における信号処理回路２８〜２
ｄと基本的に同じでよい。従来は４台の信号処理回路２
８〜２ｄを用いていたのに対し、この発明では信号処理
回路２が１つでよい。
１つの信号処理回路２に入力され、被検査物の表面欠陥
などの弁別処理が施される。この信号処理回路２は？Ａ
４図に示した従来の装置における信号処理回路２８〜２
ｄと基本的に同じでよい。従来は４台の信号処理回路２
８〜２ｄを用いていたのに対し、この発明では信号処理
回路２が１つでよい。
次に、各走査形検出器１８〜１ｄによる走査を時間的に
重複しないように順番に行なわせる同期制御について説
明する。
重複しないように順番に行なわせる同期制御について説
明する。
この実施例では、検出器１ａ〜１ｄは回転ミラーによっ
てレーザビームを走査するもので、第２図におけるモー
タ１２ａ〜１２ｄがその回転ミラーを駆動するモータで
ある。各モータ１２ａ〜１２ ｄは回転制御回路１１ａ
〜１１ｄによってサーボ制御される。このサーボ系はＰ
ＬＬ （位相ロックループ）方式であり、各回転ミラー
の動作位相は制御回路１１８〜１１ｄに入力される同期
パルス５Ｙａ−８Ｙｄによって決定される。
てレーザビームを走査するもので、第２図におけるモー
タ１２ａ〜１２ｄがその回転ミラーを駆動するモータで
ある。各モータ１２ａ〜１２ ｄは回転制御回路１１ａ
〜１１ｄによってサーボ制御される。このサーボ系はＰ
ＬＬ （位相ロックループ）方式であり、各回転ミラー
の動作位相は制御回路１１８〜１１ｄに入力される同期
パルス５Ｙａ−８Ｙｄによって決定される。
上記同期制御回路７は各検出器１８〜１ｄに上記の同期
パルス５Ｙａ−８Ｙｄを分配する。第３図に示すように
、同期制御回路７の基準パルス発生器７１で所定周期Ｔ
の基準パルスＳＹを発生する。この基準パルスＳＹは位
相シフト回路７２ａ〜７２ｄによってそれぞれ７ａ−Ｔ
ｄだけ遅延され、その遅延したパルスが上述の同期信号
ＳＹａ〜ＳＹｄとなる。第３図に示すように、Ｔｂ−Ｔ
ａ 、Ｔｃ −７ｂ 、Ｔｄ −Ｔｃ 、Ｔ−Ｔｄ Ｌ
ＬＷＬ＜、各検出器１８〜１ｄの走査時間ｔとマージン
△ｔとの和に合せて設定されている。
パルス５Ｙａ−８Ｙｄを分配する。第３図に示すように
、同期制御回路７の基準パルス発生器７１で所定周期Ｔ
の基準パルスＳＹを発生する。この基準パルスＳＹは位
相シフト回路７２ａ〜７２ｄによってそれぞれ７ａ−Ｔ
ｄだけ遅延され、その遅延したパルスが上述の同期信号
ＳＹａ〜ＳＹｄとなる。第３図に示すように、Ｔｂ−Ｔ
ａ 、Ｔｃ −７ｂ 、Ｔｄ −Ｔｃ 、Ｔ−Ｔｄ Ｌ
ＬＷＬ＜、各検出器１８〜１ｄの走査時間ｔとマージン
△ｔとの和に合せて設定されている。
このようにして作られた同期パルス５Ｙａ−８Ｙｄを受
けて各検出器１８〜１ｄの走査が行なわれるので、各検
出器１８〜１ｄによる走査が時間的にｆｆ！複Ｖずに順
番に行なわれることになり、時間的に瓜ならない出力信
号３ａ−３ｄが得られる。
けて各検出器１８〜１ｄの走査が行なわれるので、各検
出器１８〜１ｄによる走査が時間的にｆｆ！複Ｖずに順
番に行なわれることになり、時間的に瓜ならない出力信
号３ａ−３ｄが得られる。
この出力信ｊＭｓａ−５ｄを加算回路８で加算すること
で、簡単に１系列にまとまった信号Ｓが得られる。した
がって１つの信号処理回路で信号Ｓを処理することがで
きる。
で、簡単に１系列にまとまった信号Ｓが得られる。した
がって１つの信号処理回路で信号Ｓを処理することがで
きる。
なお走査形検出器の構成は回転ミラーでレーザビームを
走査するもの、に限定されず、ＣＯＤなどの固体顕像素
子を用いた電子的な自己走査形の検出器であっても本発
明は上記と同様に実施することができる。
走査するもの、に限定されず、ＣＯＤなどの固体顕像素
子を用いた電子的な自己走査形の検出器であっても本発
明は上記と同様に実施することができる。
第１図はこの発明の一実施例による表面検査装置の全体
的なブロック図、第２図は同上装置の要部の具体的な構
成を示すブロック図、第３図は同上装置の動作を示すタ
イミングチャー１−１第４図は従来の表面検査装置の構
成を示すブロック図である。 １８〜１ｄ・・・走査形検出器 ２．２ａ〜２ｄ・・・信号処理回路 ６・・・被検査物 ７・・・同期制御回路 ８・・・加算回路 第２図
的なブロック図、第２図は同上装置の要部の具体的な構
成を示すブロック図、第３図は同上装置の動作を示すタ
イミングチャー１−１第４図は従来の表面検査装置の構
成を示すブロック図である。 １８〜１ｄ・・・走査形検出器 ２．２ａ〜２ｄ・・・信号処理回路 ６・・・被検査物 ７・・・同期制御回路 ８・・・加算回路 第２図
Claims (2)
- （１）被検査物の表面を複数の部分に分割して各担当部
分を光電的に走査する複数台の走査形検出器と、これら
各走査形検出器による走査を時間的に重複しないように
順番に行なわせる同期制御手段と、上記各走査形検出器
の走査期間の出力信号を時間的に直列に並べた１系列の
信号にまとめる回路手段と、１系列にまとめられた上記
出力信号を処理して上記被検査物の表面欠陥などを弁別
する１系列の信号処理手段とを備えた表面検査装置。 - （２）上記同期制御手段は、所定周期の基準パルスを発
生する回路と、この基準パルスの位相を所定値ずつシフ
トして位相の異なる複数系列の同期パルスを発生してそ
れぞれを上記各走査形検出器に分配する回路とを備え、
上記各走査形検出器は印加される上記同期パルスによっ
てその動作位相が決定されるように構成されていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の表面検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063811A JPH0665981B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063811A JPH0665981B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61223607A true JPS61223607A (ja) | 1986-10-04 |
| JPH0665981B2 JPH0665981B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=13240130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60063811A Expired - Fee Related JPH0665981B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665981B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244231A (en) * | 1975-10-02 | 1977-04-07 | Naoharu Suzuki | Antiviral agent |
| JPS55112247U (ja) * | 1979-01-31 | 1980-08-07 | ||
| JPS5815896U (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-31 | 石川島播磨重工業株式会社 | 熱交換器 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP60063811A patent/JPH0665981B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244231A (en) * | 1975-10-02 | 1977-04-07 | Naoharu Suzuki | Antiviral agent |
| JPS55112247U (ja) * | 1979-01-31 | 1980-08-07 | ||
| JPS5815896U (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-31 | 石川島播磨重工業株式会社 | 熱交換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0665981B2 (ja) | 1994-08-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |