JPS61224253A - 真空装置用ロ−タリアクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は電子顕微鏡等の真空装置用ロータリアクチュ
エータ、特に電子顕微鏡の試料交換室仕切弁等の駆動に
使用されるロータリアクチュエータに関するものである
。

〔従来の技術〕

電子顕微鏡では検鏡試料の交換を行うために試料室と試
料交換室の間に仕切弁が設けられ、試料交換室を大気に
して試料を挿入後、試料交換室を真空引きして仕切弁を
開き、試料交換室から試料室へ試料を装填するようにな
っている。

第２図は電子顕微鏡の試料交換室仕切弁を開閉するため
のロータリアクチュエータの斜視図、第３図はアクチュ
エータ本体の断面図、第４図はそのＡ−Ａ断面図である
。図において、１は仕切弁で、電子顕微鏡の試料室と試
料交換室間に設けられ、試料交換室の開口に対応する貫
通孔２および前記開口を塞ぐＯリング３を有し、シャフ
ト４によって回転させられるようになっている。

５はアクチュエータ本体で、円筒状のボデー６の両端を
円板状の軸受フランジ７が覆い、この軸受フランジ７で
軸受された弁軸８に設けられたバタフライ弁９が弁室１
０内で回転可能とされており、ボデー６に設けられた給
気口１１，１２から供給されるエアによりバタフライ弁
９がストッパ１３に当るまで回転し、弁軸８に連結され
た仕切弁１を回転させるようになっている。１４はスト
ッパ１３の周辺部に設けられたゴムパツキン、１５はバ
タフライ弁９の先端部に設けられた弁パツキン、１６は
軸受フランジ７の内部に設けられた樹脂パツキン、１７
は○リングである。給気口１１、．１．２は切換用電磁
弁を介してコンプレッサに接続している。

上記のアクチュエータにおいては、コンプレッサからエ
アを供給し、切換用電磁弁の切換により給気口１１また
は１２に給気してバタフライ弁９を時計方向または反時
計方向に回転させ、これに連結した仕切弁１を回転させ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

」二記のアクチュエータでは、軸受フランジ７に固定さ
れたストッパ１３の周囲にはゴムパツキン１４が設けら
れ、バタフライ弁９には弁パツキン１５が設けられ、ま
た１対の軸受フランジ７の内側には樹脂パツキン１６が
設けられているが、弁パツキン１５と樹脂パツキン１６
とは一体品でないため、回転の際あるいはその後エアを
供給していると、接合部からエアが反対側の給気口（１
２または１１）に漏れる。

給気口１１または１２には常に約４　、８ｋｇ／　＊の
圧力のエアが供給されており、エアの圧力が３．５ｋｇ
／ｄ未満になるとコンプレッサが作動して加圧するよう
になっているが、アクチュエータでエア漏れが生じると
、その都度コンプレッサが作動するため、コンプレッサ
の寿命が低下したり、他のエア駆動系に影響を与えると
いう問題点があった。

この発明は上記の問題点を解決するためのもので、エア
供給のための切換後所定時間でアクチュエータへのエア
の供給を停止し、エアの漏れを少なくして、コンプレッ
サの作動頻度を少なくし、他のエア駆動系への影響を少
なくできる真空装置用ロータリアクチュエータを提供す
ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、ボデーに設けられた２個の給気口から交互
にエアを供給して内部に設けられたバタフライ弁を回転
させるアクチュエータ本体と、コンプレッサの給気ライ
ンに設けられた切換用電磁弁と、この切換用電磁弁から
前記２個の給気口に至る２本の分岐ラインに設けられた
２個の補助電磁弁と、前記切換用電磁弁の切換時に給気
側の補助電磁弁を開きかつ切換抜屑定時聞役に給気側の
補助電磁弁を閉じるように制御する制御装置とを備えた
真空装置用ロークリアクチュエータである。

アクチュエータ本体は従来のものと同一のものが使用で
きる。切換用電磁弁は給気ラインからアクチュエータの
給気口に至る２本の分岐ラインにエアの供給を切換える
ように接続している。２本の分岐ラインに設けられた補
助電磁弁は各分岐ラインのエアの供給を０Ｎ−ＯＦＦす
るものであり、２本の分岐ラインにはエアのスピードを
コントロールするスピードコントローラを設けることが
できる。

また制御装置は切換用電磁弁の切換に同期して給気側の
補助電磁弁を開き、所定時間後に閉じるものであればよ
く、切換スイッチとリレー（タイマー）の組合せによる
ものがあるが、リレーの代りにリミットスイッチにより
バタフライ弁の回転の終了を検出して補助電磁弁を閉じ
るようにしてもよい。

本発明は電子顕微鏡の仕切弁用のアクチュエータに適し
ているが、他の真空装置のアクチュエータにも適用可能
である。

〔作　用〕

コンプレッサの給気ラインから加圧したエアを供給し、
切換用電磁弁を切換えて２本の分岐ラインの一方に給気
すると同時に制御装置によって給気側の補助電磁弁が開
いて、エアがアクチュエータ本体の給気口に供給され、
アクチュエータのバタフライ弁が回転する。そして切換
役所定時間後に給気側の補助電磁弁は閉じるので、アク
チュエータへの給気が停止し、アクチュエータにおける
エアの漏れは少なくなる。

〔実施例〕

以下、この発明を実施例について説明する。第１図はこ
の発明の一実施例を示す系統図であり、第２図ないし第
４図と同一符号は同一部分を示す。

アクチュエータ本体５は第２図ないし第４図と同じ構成
となっており、仕切弁１に連結している。

２１はコンプレッサで、その主管２２に連絡する給気ラ
イン２３には切換用電磁弁２４が設けられている。この
切換用電磁弁２４からアクチュエータ本体５の２個の給
気口１１．１２に至る２本の分岐ライン２５．２６のア
クチュエータ本体５に近い位置には、２個の補助電磁弁
２７．２８およびスピードコントローラ２９．３０が設
けられている。切換用電磁弁２４は制御ライン３］から
の信号により分岐ライン２５．２６へのエアの供給を切
換えるようになっている。

３２は制御ライン３１に接続する切換スイッチで、切換
用電磁弁２４の切換に対応して切換わるようになってい
る。切換スイッチ３２の両側の端子から補助電磁弁２７
．２８に至る制御ライン３３．３４にはリレー（タイマ
ー）３５．３６が設けられ、切換用電磁弁２４の切換時
に給気側の補助電磁弁２７または２８を開き、かつ切換
役所定時間後（バタフライ弁９の回転に要する時間で、
例えば通電５秒後）に給気側の補助電磁弁２７または２
８を閉じるようにされている。

３７は試料交換用シリンダで、その両端部と主管を連絡
する給気ライン３８．３９には電磁弁４０．４．１およ
びスピードコントローラ４２゜４３が設けられている。

４４．４５は他のエア駆動系に連絡する給気ライン、４
６は主管２２の末端に設けられた圧力スイッチである。

以上の構成において、コンプレッサ２１を駆動して主管
２２に所定圧力でエアを供給する。制御ライン３１から
信号を送って切換用電磁弁２４を第１図のように切換え
ると、切換スイッチ３２が図のように切換わり、これに
よりリレー３５が動作して補助電磁弁２７が開く。こう
して給気ライン２３のエアは切換用電磁弁２４から分岐
ライン２５に入り、さらに補助電磁弁２７からスピード
コントローラ２９によってスピードをコントロールされ
てアクチュエータ本体５の給気口１１に供給される。こ
れによりバタフライ弁９は時計方向に回転し、ストッパ
１３に当って停止する。このときバタフライ弁９の反対
側のエアは図示しないリーク弁より排出される。

そして切換役所定時間経過後にリレー３５．が動作して
補助電磁弁２７は図のように閉じて分岐ライン２５から
の給気を停止する。従って補助電磁弁２７が閉じた後は
アクチュエータ本体５への給気は停止され、エアの漏れ
は起こらない。

アクチュエータ本体５のバタフライ弁９を反対方向に回
転するときは、制御ライン３１の信号により切換用電磁
弁２４が切換ねり、同時に切換スイッチ３２が切換わっ
てリレー３６が動作し、補助電磁弁２８が開く。こうし
て給気ライン２３のエアは分岐ライン２６からアクチュ
エータ本体５の給気口１２に入り、バタフライ弁９は反
時計方向に回転する。そして所定時間後にリレー３６が
動作して補助電磁弁２８が閉じる。

このようにしてアクチュエータ本体５のバタフライ弁９
が回転すると弁軸８に連結する仕切弁】が回転し、試料
交換室の開口に貫通孔２が重なったとき仕切弁１は開き
、０リング３が重なったときは閉じる。仕切弁１が開い
たとき試料交換室の交換棒が試料を装填するように動く
が、このためには電磁弁４０，４．１が交互に動いて給
気ライン３８．３９からエアを交互に供給し、シリンダ
３７を駆動する。

以上のように切換用電磁弁２４の切換後所定時間接に補
助電磁弁２７．２８が閉じるので、エアの漏れは少なく
、このため主管２２の圧力変動は少なくなり、コンプレ
ッサ２１の駆動頻度は少なく、かつ他のエア駆動系への
影響も少ない。

〔発明の効果〕

以上の通り、本発明によれば、切換後衛定時間後に補助
電磁弁が閉じるようになっているので、アクチュエータ
からのエアの漏れは少なく、このためコンプレッサ給気
系の圧力が安定してコンプレッサの駆動頻度が少なくな
るとともに、他のエア駆動系への影響も少ない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す系統図、第２図はロ
ータリアクチュエータの斜視図、第３図はアクチュエー
タ本体の断面図、第４図はそのＡ−Ａ断面図である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、１は仕切弁、５は
アクチュエータ本体、８は弁軸、９はバタフライ弁、１
１．１２は給気口、１３はストッパ、２１はコンプレッ
サ、２４は切換用電磁弁、２７．２８は補助電磁弁、２
９．３０はスピードコントローラ、３５．３６はリレー
である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ボデーに設けられた２個の給気口から交互にエア
   を供給して内部に設けられたバタフライ弁を回転させる
   アクチュエータ本体と、コンプレッサの給気ラインに設
   けられた切換用電磁弁と、この切換用電磁弁から前記２
   個の給気口に至る２本の分岐ラインに設けられた２個の
   補助電磁弁と、前記切換用電磁弁の切換時に給気側の補
   助電磁弁を開きかつ切換後所定時間後に給気側の補助電
   磁弁を閉じるように制御する制御装置とを備えた真空装
   置用ロータリアクチュエータ。
2. （２）切換用電磁弁が給気ラインから２本の分岐ライン
   にエアの供給を切換えるものである特許請求の範囲第１
   項記載の真空装置用ロータリアクチュエータ。
3. （３）２本の分岐ラインがそれぞれエアのスピードコン
   トローラを備えた特許請求の範囲第１項または第２項記
   載の真空装置用ロータリアクチュエータ。
4. （４）制御装置が、切換用電磁弁の切換と同時に切換わ
   る切換スイッチ、およびこの切換スイッチの切換により
   補助電磁弁を開き、かつ所定時間後に補助電磁弁を閉じ
   るリレーを含む特許請求の範囲第１項ないし第３項のい
   ずれかに記載の真空装置用ロータリアクチュエータ。