JPS61239162A - 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 - Google Patents
気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法Info
- Publication number
- JPS61239162A JPS61239162A JP7919985A JP7919985A JPS61239162A JP S61239162 A JPS61239162 A JP S61239162A JP 7919985 A JP7919985 A JP 7919985A JP 7919985 A JP7919985 A JP 7919985A JP S61239162 A JPS61239162 A JP S61239162A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- breakthrough
- break
- carrier
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知す
る方法に関する。
る方法に関する。
近年、半導体工業において、例えばアルミニウムなどを
ドライエツチングする際、ドライエツチングガスとして
塩素ガスが単独で、あるいは他のエッチングガスヤ不活
性ガスと混合されてしばし０ば使用されている。そのド
ライエツチング廃ガスを無毒化するのに活性炭の如き吸
着剤を充填した気体吸着装置が用いられている。このよ
うな装置は、吸着剤が一定量の物質を吸着すると破過し
、気体排出口から塩素ガスが経時的に１１１度を増加さ
せながら流出し、大気汚染などの問題を引き起すことに
なる。このため吸着剤の破過を的確に検知することが必
要である。
ドライエツチングする際、ドライエツチングガスとして
塩素ガスが単独で、あるいは他のエッチングガスヤ不活
性ガスと混合されてしばし０ば使用されている。そのド
ライエツチング廃ガスを無毒化するのに活性炭の如き吸
着剤を充填した気体吸着装置が用いられている。このよ
うな装置は、吸着剤が一定量の物質を吸着すると破過し
、気体排出口から塩素ガスが経時的に１１１度を増加さ
せながら流出し、大気汚染などの問題を引き起すことに
なる。このため吸着剤の破過を的確に検知することが必
要である。
本発明によれば、気体吸着装置から極微量の塩素ガスが
流出する時点で破過検知剤の呈色により吸着剤の破過を
検知ザることができ、しかも検知剤の退色がないため、
吸着剤の交換を正確に行うことができる。
流出する時点で破過検知剤の呈色により吸着剤の破過を
検知ザることができ、しかも検知剤の退色がないため、
吸着剤の交換を正確に行うことができる。
［従来の技術］
従来、塩素ガスを検知する方法として、（１）検知管法
や（クヨウ化カリウムを担体に担持させた担持物の呈色
を利用する方法などが知られている。
や（クヨウ化カリウムを担体に担持させた担持物の呈色
を利用する方法などが知られている。
［ｆｅ明が解決しようとする問題点］
しかしながらドライエツチング廃ガス吸着装置の破過を
検知するために前述した（１）の方法を採用した場合は
、しばしば吸＠装置から排出される廃ガスをサンプリン
グし塩素ガスの有無を確認しなければならないという煩
雑さがあり、また（２）の方法の場合は、高濃度の塩素
ガス、あるいは多聞の空気、窒素ガスなどを吸着装置に
流通させた場合、吸着装置の破過により一度呈色した担
持物（検知剤）が経時的に退色（白色）し、破過する前
の色相に戻るため１、吸着剤の破過を見落すことがあり
、吸着装置に充填された吸着剤の破過を正確に検知する
ためには検知剤の色相をしばしば観測しなければならな
いといった問題点を有していた。
検知するために前述した（１）の方法を採用した場合は
、しばしば吸＠装置から排出される廃ガスをサンプリン
グし塩素ガスの有無を確認しなければならないという煩
雑さがあり、また（２）の方法の場合は、高濃度の塩素
ガス、あるいは多聞の空気、窒素ガスなどを吸着装置に
流通させた場合、吸着装置の破過により一度呈色した担
持物（検知剤）が経時的に退色（白色）し、破過する前
の色相に戻るため１、吸着剤の破過を見落すことがあり
、吸着装置に充填された吸着剤の破過を正確に検知する
ためには検知剤の色相をしばしば観測しなければならな
いといった問題点を有していた。
［問題を解決するための手段］
本発明者らは、前記問題点を解決するために鋭意検討を
行った結果、担体にヨウ化カリウムを担持させた担持物
をコーティングして得られるものが極微量の塩素ガスに
対しても鋭敏に呈色し、しかも一度呈色すると容易に退
色しないため、塩素ガスに対する破過検知剤として極め
てすぐれていることを知見し、本発明に到った。
行った結果、担体にヨウ化カリウムを担持させた担持物
をコーティングして得られるものが極微量の塩素ガスに
対しても鋭敏に呈色し、しかも一度呈色すると容易に退
色しないため、塩素ガスに対する破過検知剤として極め
てすぐれていることを知見し、本発明に到った。
本発明は、担体にヨウ化カリウムを担持させた担持物を
コーティングして得られる破過検知剤を、吸着剤が充填
された気体吸着装置の気体排出口近傍に充填し、該検知
剤の呈色により破過を検知することを特徴とする気体吸
着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法に関する。
コーティングして得られる破過検知剤を、吸着剤が充填
された気体吸着装置の気体排出口近傍に充填し、該検知
剤の呈色により破過を検知することを特徴とする気体吸
着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法に関する。
本発明で使用する担体としては、担体の色相が白色ない
しは透明のものが色相の変化がはっきり区別でき、破過
の確認が容易であるので好ましい。
しは透明のものが色相の変化がはっきり区別でき、破過
の確認が容易であるので好ましい。
好適な担体としては、例えばα−アルミナ、シリカ、シ
リカアルミナなどを挙げることができる。
リカアルミナなどを挙げることができる。
担体の形状は球状、粒状、破砕粒、成型体などいずれで
も使用することができる。
も使用することができる。
担体にヨウ化カリウムを担持させる方法は、公知の方法
、例えばヨウ化カリウム水溶液と担体とを接触させて担
持した後、空気雰囲気下、乾燥させるという方法を採用
することができる。
、例えばヨウ化カリウム水溶液と担体とを接触させて担
持した後、空気雰囲気下、乾燥させるという方法を採用
することができる。
ヨウ化カリウムを担持させた担持物をコーティングする
方法としては、スプレー噴霧法、浸漬法などを挙げるこ
とができる。前記方法に使用するコーティング剤として
は、特に限定されないが、塩素、ヨウ素、塩化水素、ヨ
ウ化水素、三塩化ホウ素などのハロゲン化合物に安定で
、しかも呈色を妨げないものであればよく、特にポリメ
タクリル酸エステル、ポリアクリル酸エステルなどのア
、 クリル樹脂、トリアセチルセルロース、エチルセ
ルロースなどのセルロース誘導体などが好適である。コ
ーティングされた担体は、゛室温〜２００℃で空気雰囲
気下、乾燥し、塩素ガス破過検知剤として使用される。
方法としては、スプレー噴霧法、浸漬法などを挙げるこ
とができる。前記方法に使用するコーティング剤として
は、特に限定されないが、塩素、ヨウ素、塩化水素、ヨ
ウ化水素、三塩化ホウ素などのハロゲン化合物に安定で
、しかも呈色を妨げないものであればよく、特にポリメ
タクリル酸エステル、ポリアクリル酸エステルなどのア
、 クリル樹脂、トリアセチルセルロース、エチルセ
ルロースなどのセルロース誘導体などが好適である。コ
ーティングされた担体は、゛室温〜２００℃で空気雰囲
気下、乾燥し、塩素ガス破過検知剤として使用される。
コーテイング量は、ヨウ化カリウムを担持させた担持物
１００重ｆ１１部に対して前記コーティング剤が０．１
〜２０重量部、好ましくは１〜１５槍量部になるように
コーティングさせるのがよい。
１００重ｆ１１部に対して前記コーティング剤が０．１
〜２０重量部、好ましくは１〜１５槍量部になるように
コーティングさせるのがよい。
本発明で使用する気体吸着装置は、気体導入口と気体排
出口とを有する容器に吸着剤を充填した□ もの
であればよい。また該装置の吸着剤としては、特に制限
はなく、例えば活性炭、活性アルミナ、シリカゲル、二
酸化チタン、ベントナイト、酸性白土、ケイソウ土、炭
酸カルシウムなどを好適に挙げることができる。
出口とを有する容器に吸着剤を充填した□ もの
であればよい。また該装置の吸着剤としては、特に制限
はなく、例えば活性炭、活性アルミナ、シリカゲル、二
酸化チタン、ベントナイト、酸性白土、ケイソウ土、炭
酸カルシウムなどを好適に挙げることができる。
本癲明の気体吸着装置から塩素ガスの破過を検知する方
法は、例えば第１図に示したように気体導入口１および
気体排出口２を有する容器３に吸着剤４を充填した気体
吸着装置の気体排出口近傍に、塩素ガス破過検知剤５を
充填した内部が透視できる容器からなる塩素ガス破過検
知部６を設置し、塩素ガス破過検知剤の塩素ガスによる
呈色（白色から黄褐色に呈色）を確認することにより実
施することができる。
法は、例えば第１図に示したように気体導入口１および
気体排出口２を有する容器３に吸着剤４を充填した気体
吸着装置の気体排出口近傍に、塩素ガス破過検知剤５を
充填した内部が透視できる容器からなる塩素ガス破過検
知部６を設置し、塩素ガス破過検知剤の塩素ガスによる
呈色（白色から黄褐色に呈色）を確認することにより実
施することができる。
本発明で使用する塩素ガス破過検知剤は、塩化水素ガス
、三塩化ホウ素ガスなどの共存ガスによって何ら呈色を
妨げられたり、影響されたりすることはな（、塩素ガス
検知感度はＱ、ｌｐｐｍである。
、三塩化ホウ素ガスなどの共存ガスによって何ら呈色を
妨げられたり、影響されたりすることはな（、塩素ガス
検知感度はＱ、ｌｐｐｍである。
［実施例］
以下に、実施例および比較例を示し、さらに詳しく本発
明について説明する。
明について説明する。
実施例１
ヨウ化カリウム３００を水３６ｏに溶解して、これに３
６００のα−アルミナ相体（平均粒子径５Ｉｌ１１１、
不二見ｆｉ４磨剤■製、商品名：ＡＭ−８３４）を添加
してヨウ化カリウムを担体に担持侵、空気雰囲気下、１
２０℃の温度で、２０時間乾燥した。
６００のα−アルミナ相体（平均粒子径５Ｉｌ１１１、
不二見ｆｉ４磨剤■製、商品名：ＡＭ−８３４）を添加
してヨウ化カリウムを担体に担持侵、空気雰囲気下、１
２０℃の温度で、２０時間乾燥した。
前記担体をポリメタクリル酸エステル樹脂１０重量％水
溶液を使用し、スプレー噴霧法にてコーティングし、空
気雰囲気下５０℃の温度で、２０時間乾燥し、塩素ガス
破過検知剤を調製した。コーテイング量は、ヨウ化カリ
ウム担持の担体に対して、２重量％であった。
溶液を使用し、スプレー噴霧法にてコーティングし、空
気雰囲気下５０℃の温度で、２０時間乾燥し、塩素ガス
破過検知剤を調製した。コーテイング量は、ヨウ化カリ
ウム担持の担体に対して、２重量％であった。
実施例２
内部に１１１１１ｍ径の分散板を有する直径５０１Ｉｌ
、長さ２５５ＩＩｌｌｌのパイレックスガラス製気体吸
着装置に吸着剤（粒状活性炭：約３ＩＩＩＩ径×約４ａ
ｌｌ長）を５００ ＊Ｑ充填し、該気体吸着装置の気体
排出口近傍に実施例１で調製した検知剤をパイレックス
ガラス製の容器に充填した塩素ガス破過検知部を設置し
た。
、長さ２５５ＩＩｌｌｌのパイレックスガラス製気体吸
着装置に吸着剤（粒状活性炭：約３ＩＩＩＩ径×約４ａ
ｌｌ長）を５００ ＊Ｑ充填し、該気体吸着装置の気体
排出口近傍に実施例１で調製した検知剤をパイレックス
ガラス製の容器に充填した塩素ガス破過検知部を設置し
た。
前記気体吸着ａ霞に塩素ガス３２ＶＯＩ％、窒素ガス５
８ｖｏ１％のガス組成からなるモデル廃ガスを７４０＋
＋（２／分の供給速度で流通した。
８ｖｏ１％のガス組成からなるモデル廃ガスを７４０＋
＋（２／分の供給速度で流通した。
気体排出口近傍の排出ガスを随時サンプリングし、ガス
組成を検知管法により定量しつつ、塩素ガス破過検知剤
の色相の変化を観測した。
組成を検知管法により定量しつつ、塩素ガス破過検知剤
の色相の変化を観測した。
流通をはじめてから１４０分経過後に排出ガス中に塩化
水素ガス（塩素ガスが吸着剤層に含まれる水と反応して
発生するものと考えられる。）を１７０ｐＦ＃検出した
が、塩素ガス破過検知剤の色相（白色）の変化はみられ
なかった。
水素ガス（塩素ガスが吸着剤層に含まれる水と反応して
発生するものと考えられる。）を１７０ｐＦ＃検出した
が、塩素ガス破過検知剤の色相（白色）の変化はみられ
なかった。
２７０分経過後に排出ガス中に塩素ガスを、２９ＤＩ検
出した。この時点で、塩素ガス破過検知剤は該検知部の
入口側から黄褐色に変化しはじめ、２８４分経過後には
完全に褐色に変化した。
出した。この時点で、塩素ガス破過検知剤は該検知部の
入口側から黄褐色に変化しはじめ、２８４分経過後には
完全に褐色に変化した。
さらに流通を続けたが、４８０分経過後にお、いても色
相の変化はなく、退色現象は全く観測されなかった。
相の変化はなく、退色現象は全く観測されなかった。
比較例１
アクリル樹脂のコーティング処理を施さなかった以外は
、実施例１と同様な方法により塩素ガス破過検知剤をｉ
ｊＩ製した。
、実施例１と同様な方法により塩素ガス破過検知剤をｉ
ｊＩ製した。
該検知剤を使用し、実施例２と同様な方法によりモデル
廃ガスを流通し、検知剤の色相の変化を観測した。
廃ガスを流通し、検知剤の色相の変化を観測した。
流通をはじめてから１４２分経過後に塩化水素ガス１０
１）Ｉ’ｌｌを検出したが、塩素ガス破過検知剤の色相
の変化はなかった。
１）Ｉ’ｌｌを検出したが、塩素ガス破過検知剤の色相
の変化はなかった。
２７８分経過後に排出ガス中に、塩素ガスを４ｐｐｍ検
出した。この時点で、塩素ガス破過検知剤は該検知部の
入口側から黄褐色に変化しはじめ、２９０分経過後には
完全に褐色に変化した。
出した。この時点で、塩素ガス破過検知剤は該検知部の
入口側から黄褐色に変化しはじめ、２９０分経過後には
完全に褐色に変化した。
ざらに流通を続けると、３３０分経過後項から検知剤の
色相が次第に退色しはじめ、４８０分経過後には薄黄色
になるまで退色し、６００分経過後には、はぼ白色とな
った。
色相が次第に退色しはじめ、４８０分経過後には薄黄色
になるまで退色し、６００分経過後には、はぼ白色とな
った。
実施例３
実施例１で調整した検知剤をパイレックスガラス製容器
に充填し、塩化水素ガス５０００１）ｌ）Ｉｌ１１三塩
化ホウ素１ｏｏｏｐｐｍ含有窒素ガス雰囲気に１ケ月間
曝露したが、検知剤の色相の変化はみられなかった。次
に、塩素ガス１３００ｐ１１１含有窒素ガスを流通した
ところ、検知剤の色相はすぐに白色から黄褐色に鮮やか
に変色した。
に充填し、塩化水素ガス５０００１）ｌ）Ｉｌ１１三塩
化ホウ素１ｏｏｏｐｐｍ含有窒素ガス雰囲気に１ケ月間
曝露したが、検知剤の色相の変化はみられなかった。次
に、塩素ガス１３００ｐ１１１含有窒素ガスを流通した
ところ、検知剤の色相はすぐに白色から黄褐色に鮮やか
に変色した。
［発明の効果］
本発明の方法で使用する塩素ガス破過検知剤は、ドライ
エツチングガスとして塩素ガスを使用した場合の廃ガス
を無毒化する気体吸着装置から極微量の塩素ガスが流出
する時点で直ちに黄褐色に呈色し、しかも退色現象がみ
られないため、該装置の排出口近傍に検知剤層を設置す
ることにより、該装置から塩素ガスの破過を正確に検知
することができる。また該検知剤は、塩化水素、三塩化
ホウ素などの共存ガスによって何ら呈色を妨げられたり
、影響されたりすることがない。このため該気体吸着装
置の吸着剤の交換時期を正確に、かつ容易に検知するこ
とができるという特長を有する。
エツチングガスとして塩素ガスを使用した場合の廃ガス
を無毒化する気体吸着装置から極微量の塩素ガスが流出
する時点で直ちに黄褐色に呈色し、しかも退色現象がみ
られないため、該装置の排出口近傍に検知剤層を設置す
ることにより、該装置から塩素ガスの破過を正確に検知
することができる。また該検知剤は、塩化水素、三塩化
ホウ素などの共存ガスによって何ら呈色を妨げられたり
、影響されたりすることがない。このため該気体吸着装
置の吸着剤の交換時期を正確に、かつ容易に検知するこ
とができるという特長を有する。
第１図は、塩素ガスを用いるドライエツチング廃ガスの
気体吸着装置および塩素ガス破過検知部の例を示した図
である。 １：気体導入口、２：気体排出口、３：容器、４：吸着
剤、５：塩素ガス破過検知剤、６：塩素ガス破過検知部
気体吸着装置および塩素ガス破過検知部の例を示した図
である。 １：気体導入口、２：気体排出口、３：容器、４：吸着
剤、５：塩素ガス破過検知剤、６：塩素ガス破過検知部
Claims (1)
- 担体にヨウ化カリウムを担持させた担持物をコーティン
グして得られる破過検知剤を、吸着剤が充填された気体
吸着装置の気体排出口近傍に充填し、該検知剤の呈色に
より破過を検知することを特徴とする気体吸着装置の塩
素ガスによる破過を検知する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7919985A JPS61239162A (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7919985A JPS61239162A (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61239162A true JPS61239162A (ja) | 1986-10-24 |
| JPH0583866B2 JPH0583866B2 (ja) | 1993-11-29 |
Family
ID=13683292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7919985A Granted JPS61239162A (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61239162A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5169419A (en) * | 1991-01-18 | 1992-12-08 | Ebara Corporation | Gas adsorber for exhaust gas |
| JPH05142224A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-08 | Ube Ind Ltd | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5001419B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-08-15 | 日本インスツルメンツ株式会社 | 水銀分析用の加熱燃焼管、加熱分解装置および水銀分析装置 |
-
1985
- 1985-04-16 JP JP7919985A patent/JPS61239162A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5169419A (en) * | 1991-01-18 | 1992-12-08 | Ebara Corporation | Gas adsorber for exhaust gas |
| JPH05142224A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-08 | Ube Ind Ltd | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0583866B2 (ja) | 1993-11-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61239162A (ja) | 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 | |
| JPH0479576B2 (ja) | ||
| JP4212746B2 (ja) | ハロゲン化合物の除害塔及び検知方法 | |
| JPS6227039A (ja) | 三塩化ホウ素吸着装置 | |
| JPH0479578B2 (ja) | ||
| JP3567058B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP2596815B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP2823101B2 (ja) | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 | |
| JP2596816B2 (ja) | 検知剤 | |
| JPH06242099A (ja) | 排ガス処理装置の塩素ガスによる破過を検知する方法 | |
| JP2596804B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP2665528B2 (ja) | 検知剤 | |
| JPS6221061A (ja) | 検知剤 | |
| JPH0654309B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP2665529B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP3889083B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP3545881B2 (ja) | 検知剤 | |
| JP4747046B2 (ja) | ゲルマンの検知剤 | |
| JPH0617900B2 (ja) | 選択検知剤 | |
| JP3532316B2 (ja) | 検知剤 | |
| JPS61194360A (ja) | 三塩化ホウ素吸着装置の破過検知方法 | |
| JP2544291B2 (ja) | 揮発性無機水素化物の検知剤 | |
| JP2003207500A (ja) | ゲルマンの検知剤及び検知方法 | |
| JPH0829411A (ja) | 検知剤 | |
| JP3812714B2 (ja) | ガス検知材 |