JPS61244194A - 音響用振動板 - Google Patents
音響用振動板Info
- Publication number
- JPS61244194A JPS61244194A JP8452985A JP8452985A JPS61244194A JP S61244194 A JPS61244194 A JP S61244194A JP 8452985 A JP8452985 A JP 8452985A JP 8452985 A JP8452985 A JP 8452985A JP S61244194 A JPS61244194 A JP S61244194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonds
- film layer
- diaphragm
- coupling
- hybrid orbital
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0605—Carbon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R31/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor
- H04R31/003—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of transducers or diaphragms therefor for diaphragms or their outer suspension
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「発明の目的」
（産業上の利用分野）
本発明は、音響用振動板、特にツイータやスコーカ用に
最適な振動板に関するものである。
最適な振動板に関するものである。
（従来の技術）
従来より、音響用振動板の高域特性の改善やき質の向上
を図るために振動板を高剛性化することが行なわれてい
るが、その高剛性化の方法として種々の方法が知られて
おり、例えば、金属製振動板基材の表面にイオンブレー
ティング法により無機質材による表面硬化層を形成する
ことが知られている。
を図るために振動板を高剛性化することが行なわれてい
るが、その高剛性化の方法として種々の方法が知られて
おり、例えば、金属製振動板基材の表面にイオンブレー
ティング法により無機質材による表面硬化層を形成する
ことが知られている。
（発明が解決しようとする問題点）
上記のような表面硬化層を形成する場合においてもその
表面硬化層材料として何を用いるかは特性的に優れた振
動板を得ようとする場合にきわめて重要となる６例えば
、厚さ２０＃Ｌのチタン製振動板基材の表面に窒化チタ
ンによる１、の硬化層を設けた場合でもその伝播速度は
７，０００ｍ／Ｓｅｅ、程度であり、不充分なものであ
った。
表面硬化層材料として何を用いるかは特性的に優れた振
動板を得ようとする場合にきわめて重要となる６例えば
、厚さ２０＃Ｌのチタン製振動板基材の表面に窒化チタ
ンによる１、の硬化層を設けた場合でもその伝播速度は
７，０００ｍ／Ｓｅｅ、程度であり、不充分なものであ
った。
本発明の目的は、金属母材と炭素硬化膜の複合材により
、伝播速度が速く、高域特性が良好であって、特にツイ
ータやスコーカ用として最適な音響用振動板を提供する
ことにある。
、伝播速度が速く、高域特性が良好であって、特にツイ
ータやスコーカ用として最適な音響用振動板を提供する
ことにある。
「発明の構成」
（問題点を解決するための手段）
本発明に係る壱１ 用振動板は、金属製振動板母材の表
面の少なくとも一面側に、イオンプレーティング法によ
り、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌道ＳＰ３結合の混在し
た非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の結晶粒からなる炭素硬
化膜層、又はＬ記ＳＰ２結合とＳＰ３結合の混在した非
晶質の炭素硬化膜層を形成したものである。
面の少なくとも一面側に、イオンプレーティング法によ
り、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌道ＳＰ３結合の混在し
た非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の結晶粒からなる炭素硬
化膜層、又はＬ記ＳＰ２結合とＳＰ３結合の混在した非
晶質の炭素硬化膜層を形成したものである。
（作用）
金属製振動板母材の表面の少なくとも一面側に、イオン
ブレーティング法により、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌
道ＳＰ”結合の混在した非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の
結晶粒からなる炭素硬化ｓｅ、又は上記ＳＰ２結合とＳ
Ｐ３結合の混在した非晶質の炭素硬化膜層が形成される
と、振動板全体としての特性は、伝播速度、ヤング率が
向トし、高域の再生周波数が伸び、共振を防止すること
ができるため高調波歪を低減することができる。
ブレーティング法により、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌
道ＳＰ”結合の混在した非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の
結晶粒からなる炭素硬化ｓｅ、又は上記ＳＰ２結合とＳ
Ｐ３結合の混在した非晶質の炭素硬化膜層が形成される
と、振動板全体としての特性は、伝播速度、ヤング率が
向トし、高域の再生周波数が伸び、共振を防止すること
ができるため高調波歪を低減することができる。
（実施例）
本発明に係る音響用振動板は、図面に示すように、金属
製振動板母材ｌの表面の少なくとも一面側に、イオンブ
レーティング法により、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌道
ＳＰ３結合の混在した非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の結
晶粒からなる炭素硬化膜層、又は上記ＳＰ２結合とＳＰ
３結合の混在した非晶質の炭素硬化膜層２を形成したも
のであるが、その具体的実施例は次の通りである。
製振動板母材ｌの表面の少なくとも一面側に、イオンブ
レーティング法により、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌道
ＳＰ３結合の混在した非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の結
晶粒からなる炭素硬化膜層、又は上記ＳＰ２結合とＳＰ
３結合の混在した非晶質の炭素硬化膜層２を形成したも
のであるが、その具体的実施例は次の通りである。
実施例１
２０終厚に成型したチタン製ドーム振動板母材ｌを真空
チャンバ内に入れ、 １Ｏ−６Ｔｏｒｒに減圧後、Ａｒ
＋ ）１２ ：混合ガス雰囲気（１０−２Ｔｏｒｒ）
中において直流数百Ｖでイオン照射を行なう。
チャンバ内に入れ、 １Ｏ−６Ｔｏｒｒに減圧後、Ａｒ
＋ ）１２ ：混合ガス雰囲気（１０−２Ｔｏｒｒ）
中において直流数百Ｖでイオン照射を行なう。
このイオンブレーティング加工の場合、真空度１Ｏ−４
Ｔｏｒｒ （Ａｒ＋ Ｈ？：混合ガス）ニおイテ、グラ
ファイト蒸発速度０．２５３／ｍ１１１．で炭素硬化膜
の蒸艦速度は０．０２μ膳／鵬１ｎ、となる。
Ｔｏｒｒ （Ａｒ＋ Ｈ？：混合ガス）ニおイテ、グラ
ファイト蒸発速度０．２５３／ｍ１１１．で炭素硬化膜
の蒸艦速度は０．０２μ膳／鵬１ｎ、となる。
このイオンブレーティング法で得られた炭素硬化膜を電
子線回折やＥＳＣＡ法で分析した結果、混成軌道ＳＰ２
結合と混成軌道ＳＰ３結合の混在した非晶質膜の中に、
微小なＳＰ３結合の結晶粒（ダイヤモンド構造の結晶粒
）が含まれていることが判明した。
子線回折やＥＳＣＡ法で分析した結果、混成軌道ＳＰ２
結合と混成軌道ＳＰ３結合の混在した非晶質膜の中に、
微小なＳＰ３結合の結晶粒（ダイヤモンド構造の結晶粒
）が含まれていることが判明した。
０．３ルの上記炭素硬化膜層を付けた振動板全体として
の音速は９，０００〜１２．Ｇｏｏｓ／ｓｅｃ、テあっ
た。
の音速は９，０００〜１２．Ｇｏｏｓ／ｓｅｃ、テあっ
た。
′Ｘ施例２
実施例１において、注入するガスをＡｒガスだけでｙ
Ｊ硬化膜を設けた場合には、ＳＰ２結合とＳＰ３結合の
混在した炭業非晶賀膜であった。この膜を０．３路付け
た場合の振動板全体としての音速は、 ８．Ｇｏｏ 〜
９，０００ｍ＃ｅｃ、であった。
Ｊ硬化膜を設けた場合には、ＳＰ２結合とＳＰ３結合の
混在した炭業非晶賀膜であった。この膜を０．３路付け
た場合の振動板全体としての音速は、 ８．Ｇｏｏ 〜
９，０００ｍ＃ｅｃ、であった。
実施例１及び実施例２によって得られた第１図に示す振
動板をツイータユニットに組み入れて周波数特性を測定
したところ、高域特性がのびると共にモ坦になり、高調
波歪が少なくなった。
動板をツイータユニットに組み入れて周波数特性を測定
したところ、高域特性がのびると共にモ坦になり、高調
波歪が少なくなった。
実施例３
第２図に示すように、ボイスコイルボビン部とドーム部
が一体に形成された厚さ２０μのチタン製振動板母材の
両面に０．３島の炭素硬化膜層を設けた。この〜・体型
振動板の上記コイルボビン部にボイスコイルをａき、フ
リーエツジを有するツイータユニットについて測定した
とことろ、更に高域再生限界周波数が上がり、超高域ま
で歪の少ない再生きが得られた。
が一体に形成された厚さ２０μのチタン製振動板母材の
両面に０．３島の炭素硬化膜層を設けた。この〜・体型
振動板の上記コイルボビン部にボイスコイルをａき、フ
リーエツジを有するツイータユニットについて測定した
とことろ、更に高域再生限界周波数が上がり、超高域ま
で歪の少ない再生きが得られた。
「発明の効果」
本発明の音響用振動板によれば、金属製振動板母材の表
面の少なくとも一面側に、イオンブレーティング法によ
り、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌道ＳＰ３結合の混在し
た非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の結晶粒からなる炭素硬
化膜層、又はＬ記ＳＰ２結合とＳＰ３結合の混在した非
晶質の炭素硬化膜層が形成されているから、振動板全体
としての音響特性、特に伝播速度、ヤング率、剛性竿が
が向上し、高域の再生周波数が伸びると共に平坦化され
、高調波歪を低減することができる。
面の少なくとも一面側に、イオンブレーティング法によ
り、混成軌道ＳＰ２結合と混成軌道ＳＰ３結合の混在し
た非晶質と混成軌道ＳＰ３結合の結晶粒からなる炭素硬
化膜層、又はＬ記ＳＰ２結合とＳＰ３結合の混在した非
晶質の炭素硬化膜層が形成されているから、振動板全体
としての音響特性、特に伝播速度、ヤング率、剛性竿が
が向上し、高域の再生周波数が伸びると共に平坦化され
、高調波歪を低減することができる。
また、炭素硬化膜層の形成に詐してはイオンブレーティ
ング法によるものであるため、イオン付着レートが高く
、他に比して経済性を有し、工業的価イめも極めて高い
。
ング法によるものであるため、イオン付着レートが高く
、他に比して経済性を有し、工業的価イめも極めて高い
。
図面は本発明に係る音響用振動板の実施例を示し、第１
図は金属製振動板母材の表面に炭素硬化膜層を形成した
ドーム振動板の断面図、第２図はボイスコイルボビン部
とドーム部とが一体に形成された金属製振動板母材の表
面に炭素硬化膜層を形成した振動板の断面図である。
図は金属製振動板母材の表面に炭素硬化膜層を形成した
ドーム振動板の断面図、第２図はボイスコイルボビン部
とドーム部とが一体に形成された金属製振動板母材の表
面に炭素硬化膜層を形成した振動板の断面図である。
Claims (1)
- 金属製振動板母材の表面の少なくとも一面側に、イオン
ブレーティング法により、混成軌道ＳＰ＾２結合と混成
軌道ＳＰ＾３結合の混在した非晶質と混成軌道ＳＰ＾３
結合の結晶粒からなる炭素硬化膜層、又は上記ＳＰ＾２
結合とＳＰ＾３結合の混在した非晶質の炭素硬化膜層が
形成されていることを特徴とする音響用振動板。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8452985A JPS61244194A (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | 音響用振動板 |
| US06/853,182 US4725345A (en) | 1985-04-22 | 1986-04-17 | Method for forming a hard carbon thin film on article and applications thereof |
| US07/116,539 US4772513A (en) | 1985-04-22 | 1987-11-04 | Method for forming a hard carbon thin film on article and applications thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8452985A JPS61244194A (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | 音響用振動板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61244194A true JPS61244194A (ja) | 1986-10-30 |
Family
ID=13833165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8452985A Pending JPS61244194A (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | 音響用振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61244194A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6097829A (en) * | 1995-04-06 | 2000-08-01 | Precision Power, Inc. | Fiber-honeycomb-fiber sandwich speaker diaphragm and method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533237A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Microprogram controller |
| JPS59161200A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-11 | Nippon Gakki Seizo Kk | 音響振動板 |
-
1985
- 1985-04-22 JP JP8452985A patent/JPS61244194A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533237A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Microprogram controller |
| JPS59161200A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-11 | Nippon Gakki Seizo Kk | 音響振動板 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6097829A (en) * | 1995-04-06 | 2000-08-01 | Precision Power, Inc. | Fiber-honeycomb-fiber sandwich speaker diaphragm and method |
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