JPH0915169A - 透明シート検査装置 - Google Patents
透明シート検査装置Info
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- JPH0915169A JPH0915169A JP7189796A JP18979695A JPH0915169A JP H0915169 A JPH0915169 A JP H0915169A JP 7189796 A JP7189796 A JP 7189796A JP 18979695 A JP18979695 A JP 18979695A JP H0915169 A JPH0915169 A JP H0915169A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 透明シート状の被検査物の両面の凹凸状欠陥
及びシート内部の異常を連続的に高速で検査できる透明
シート検査装置を得ること。 【構成】 透明なシート状の被検査物を検査する装置で
あって、規則的パターンを配したチャートと、該チャー
トを該被検査物を介して撮像する撮像手段を有する。
及びシート内部の異常を連続的に高速で検査できる透明
シート検査装置を得ること。 【構成】 透明なシート状の被検査物を検査する装置で
あって、規則的パターンを配したチャートと、該チャー
トを該被検査物を介して撮像する撮像手段を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は透明シート検査装置に関
し、特に透明フィルム、透明ガラス板等の透明シートを
検査するのに好適なものである。
し、特に透明フィルム、透明ガラス板等の透明シートを
検査するのに好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、表面の凹凸状欠陥の検査装置とし
て、特開昭63-73139号公報に開示されている図６に示す
透明シート検査装置がある。この透明シート検査装置に
おいては、多線チャート１１ａを有する照明部１１から
の光によって検査対象物の表面１２を照射する。もし、
検査対象物の表面に凹凸形状があれば、多線チャート像
の乱れ１２ａが現われる。これを多線チャート像１１ｂ
に対し、水平走査方向を平行に配置したテレビカメラ１
３により撮像し、その映像信号を処理し、乱れ１２ａを
検出し、合否の判定を行っている。
て、特開昭63-73139号公報に開示されている図６に示す
透明シート検査装置がある。この透明シート検査装置に
おいては、多線チャート１１ａを有する照明部１１から
の光によって検査対象物の表面１２を照射する。もし、
検査対象物の表面に凹凸形状があれば、多線チャート像
の乱れ１２ａが現われる。これを多線チャート像１１ｂ
に対し、水平走査方向を平行に配置したテレビカメラ１
３により撮像し、その映像信号を処理し、乱れ１２ａを
検出し、合否の判定を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】透明フィルム、透明ガ
ラス板等の透明シートの検査に際しては、シート両面の
２つの面上の凹凸状欠陥の検査、更にはシート内部の異
常を検査する事が要求されてきている。
ラス板等の透明シートの検査に際しては、シート両面の
２つの面上の凹凸状欠陥の検査、更にはシート内部の異
常を検査する事が要求されてきている。
【０００４】ところが上記の従来の透明シート検査装置
によって、透明シートを検査しようとすれば、片面づつ
検査を行う必要があり、検査に２倍の時間を要し、検査
時間が長くなる。さらに、上記の従来の透明シート検査
装置では透明シート内部の異常は検査できなかった。
によって、透明シートを検査しようとすれば、片面づつ
検査を行う必要があり、検査に２倍の時間を要し、検査
時間が長くなる。さらに、上記の従来の透明シート検査
装置では透明シート内部の異常は検査できなかった。
【０００５】本発明は、透明シート状の被検査物の両面
を高速で検査できる透明シート検査装置を提供すること
を目的とする。更にはシート内部も検査できる装置を提
供することを目的とする。
を高速で検査できる透明シート検査装置を提供すること
を目的とする。更にはシート内部も検査できる装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の透明シート検査
装置は、 （１−１）透明なシート状の被検査物を検査する装置で
あって、規則的パターンを配したチャートと、該チャー
トを該被検査物を介して撮像する撮像手段を有すること
等を特徴としている。
装置は、 （１−１）透明なシート状の被検査物を検査する装置で
あって、規則的パターンを配したチャートと、該チャー
トを該被検査物を介して撮像する撮像手段を有すること
等を特徴としている。
【０００７】特に、 （１−１−１）前記チャートは透過率が異なる少なくと
も２種のパターンを交互に繰り返し配列したものであ
る。 （１−１−２）前記少なくとも２種の各パターンは、パ
ターン配列方向において同一の幅を有している。 （１−１−３）前記被検査物の検査面と前記チャートと
を平行に配した。 （１−１−４）前記被検査物を前記撮像手段に対して相
対移動させる移動手段を有する。 （１−１−５）前記撮像手段は一次元の光電変換素子列
を備えた。 （１−１−６）前記撮像手段の出力を２値化して被検査
物の検査を行う手段を有する。 （１−１−７）前記２値化して得られるパルス信号の、
パルス時間及びパルス周期に基づいて被検査物を検査す
る。 （１−１−８）前記パルス時間及び前記パルス周期の少
なくとも一方が規定値から外れたら透明シートに異常が
あると判定する。 （１−１−９）前記被検査物の検査部分から前記撮像手
段に至る光路を遮光する遮光手段を有する。 こと等を特徴としている。
も２種のパターンを交互に繰り返し配列したものであ
る。 （１−１−２）前記少なくとも２種の各パターンは、パ
ターン配列方向において同一の幅を有している。 （１−１−３）前記被検査物の検査面と前記チャートと
を平行に配した。 （１−１−４）前記被検査物を前記撮像手段に対して相
対移動させる移動手段を有する。 （１−１−５）前記撮像手段は一次元の光電変換素子列
を備えた。 （１−１−６）前記撮像手段の出力を２値化して被検査
物の検査を行う手段を有する。 （１−１−７）前記２値化して得られるパルス信号の、
パルス時間及びパルス周期に基づいて被検査物を検査す
る。 （１−１−８）前記パルス時間及び前記パルス周期の少
なくとも一方が規定値から外れたら透明シートに異常が
あると判定する。 （１−１−９）前記被検査物の検査部分から前記撮像手
段に至る光路を遮光する遮光手段を有する。 こと等を特徴としている。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の実施例１の要部概略図であ
る。図中、１ｂは光源であり、高周波点灯の蛍光灯で構
成している。１ｃは乳白色の半透明な拡散板である。１
ａは多線チャート（チャート）であり、透過率の異なる
２つの直線スリット状の開口（パターン）を一平面上に
１次元方向に交互に多数並べて構成している。本実施例
の多線チャート１ａは幅 wの不透明な開口（パターン）
と幅w の透明な開口（パターン）を交互に横に（１次元
方向に）並べて構成し、被検査物２の幅 Wをカバーする
幅をもっている。ここで幅 wは検出分解能に影響するの
で、本実施例では表面の凹凸状欠陥及び内部の異常の発
生する面積を考慮して w＝2mm 以下としている。
る。図中、１ｂは光源であり、高周波点灯の蛍光灯で構
成している。１ｃは乳白色の半透明な拡散板である。１
ａは多線チャート（チャート）であり、透過率の異なる
２つの直線スリット状の開口（パターン）を一平面上に
１次元方向に交互に多数並べて構成している。本実施例
の多線チャート１ａは幅 wの不透明な開口（パターン）
と幅w の透明な開口（パターン）を交互に横に（１次元
方向に）並べて構成し、被検査物２の幅 Wをカバーする
幅をもっている。ここで幅 wは検出分解能に影響するの
で、本実施例では表面の凹凸状欠陥及び内部の異常の発
生する面積を考慮して w＝2mm 以下としている。
【０００９】光源１ｂが放射する光束は拡散板１ｃで拡
散光となって多線チャート１ａを照明する。本実施例の
多線チャート１ａは透明開口と不透明開口で形成してい
るので、多線チャート１ａは極めて高いコントラストの
チャートとなっている。なお、光源１ｂ、拡散板１ｃ、
等は照明手段１の一要素を構成している。
散光となって多線チャート１ａを照明する。本実施例の
多線チャート１ａは透明開口と不透明開口で形成してい
るので、多線チャート１ａは極めて高いコントラストの
チャートとなっている。なお、光源１ｂ、拡散板１ｃ、
等は照明手段１の一要素を構成している。
【００１０】被検査物２は例えば透明フィルムであり、
多線チャート１ａ面と一定距離を隔てて平行に配置して
おり、検査に際しては矢印の方向、即ち多線チャート１
ａを構成するスリット状の開口の長手方向に平行に移動
する。９ａ，９ｂは被検査物２を支持する支持回転ロー
ラーであり、検査する部分を平面に保ち、回転可能で被
検査物２を表面にキズをつけずに送る。支持回転ローラ
ー９ｂは回転して被検査物２を移動させる。１０はロー
タリーエンコーダーであり、支持回転ローラーの一つ９
ｂに直結していて支持回転ローラー９ｂの回転量を計測
する。支持回転ローラー９ａ，９ｂ等は移動手段の一要
素を構成している。なお、被検査物２を多線チャート１
ａに平行に配置しているので、被検査物２は均一な照射
光量で照射される。
多線チャート１ａ面と一定距離を隔てて平行に配置して
おり、検査に際しては矢印の方向、即ち多線チャート１
ａを構成するスリット状の開口の長手方向に平行に移動
する。９ａ，９ｂは被検査物２を支持する支持回転ロー
ラーであり、検査する部分を平面に保ち、回転可能で被
検査物２を表面にキズをつけずに送る。支持回転ローラ
ー９ｂは回転して被検査物２を移動させる。１０はロー
タリーエンコーダーであり、支持回転ローラーの一つ９
ｂに直結していて支持回転ローラー９ｂの回転量を計測
する。支持回転ローラー９ａ，９ｂ等は移動手段の一要
素を構成している。なお、被検査物２を多線チャート１
ａに平行に配置しているので、被検査物２は均一な照射
光量で照射される。
【００１１】３は撮像レンズであり、被検査物２を透か
して多線チャート１ａの像を結像している。４は一次元
の光電変換素子であり、一次元CCD センサー（以後ライ
ンセンサーと略す）で構成しており、一列のセンサー列
４ｂを有しており、この上に結像する多線チャート１ａ
の像を光電変換信号に変換する。なお、センサー列４ｂ
は多線チャート１ａの面に対して平行に、且つ被検査物
２の移動方向に対して直交する方向に配置している。
又、４ｂ’はセンサー列４ｂを撮像レンズ３によって多
線チャート１ａ上に投影したセンサー列対応位置であ
る。なお、撮像レンズ３、光電変換素子４等は撮像手段
の一要素を構成している。
して多線チャート１ａの像を結像している。４は一次元
の光電変換素子であり、一次元CCD センサー（以後ライ
ンセンサーと略す）で構成しており、一列のセンサー列
４ｂを有しており、この上に結像する多線チャート１ａ
の像を光電変換信号に変換する。なお、センサー列４ｂ
は多線チャート１ａの面に対して平行に、且つ被検査物
２の移動方向に対して直交する方向に配置している。
又、４ｂ’はセンサー列４ｂを撮像レンズ３によって多
線チャート１ａ上に投影したセンサー列対応位置であ
る。なお、撮像レンズ３、光電変換素子４等は撮像手段
の一要素を構成している。
【００１２】５はラインセンサー４からの光電変換信号
４ａを２値化する２値化処理回路、６は２値化処理回路
５からの出力信号５ａのパルス時間及び間隔時間（周
期）を計測するパルス計測回路、７はパルス計測回路６
からの出力信号６ａを規格値と比較し合否判定を行い、
結果が悪い場合（異常を検出した場合）は信号７ａを出
力する合否判定回路である。８は本検査装置全体を制御
するコントローラである。
４ａを２値化する２値化処理回路、６は２値化処理回路
５からの出力信号５ａのパルス時間及び間隔時間（周
期）を計測するパルス計測回路、７はパルス計測回路６
からの出力信号６ａを規格値と比較し合否判定を行い、
結果が悪い場合（異常を検出した場合）は信号７ａを出
力する合否判定回路である。８は本検査装置全体を制御
するコントローラである。
【００１３】被検査物２の送り方向は、センサー列４ｂ
の並ぶ方向と直角をなす方向であり、この方向に一定速
度で送られる。撮像レンズ３の光軸は被検査物２、多線
チャート１ａ面及びセンサー列４ｂに対し垂直である。
撮像レンズ３は多線チャート１ａに焦点を合せており、
従って多線チャート１ａからの光束は被検査物２を透過
した後、撮像レンズ３によってセンサー列４ｂ上に結像
する。
の並ぶ方向と直角をなす方向であり、この方向に一定速
度で送られる。撮像レンズ３の光軸は被検査物２、多線
チャート１ａ面及びセンサー列４ｂに対し垂直である。
撮像レンズ３は多線チャート１ａに焦点を合せており、
従って多線チャート１ａからの光束は被検査物２を透過
した後、撮像レンズ３によってセンサー列４ｂ上に結像
する。
【００１４】なお、本実施例では不図示であるが、被検
査物２の検査部分からセンサー列４ｂに至る光路を遮光
カバーで包んでいる。即ち、撮像レンズ３及びラインセ
ンサー４と被検査物２上の検査部分及びその周辺を内面
が反射防止された遮光板により被検査物２の通り口を除
いて囲い、外光を遮光している。これにより被検査物２
の検査部分への外光照射によるノイズ及び撮影レンズ３
への外光入射によるフレアー等外光による撮像への影響
を無くしている。
査物２の検査部分からセンサー列４ｂに至る光路を遮光
カバーで包んでいる。即ち、撮像レンズ３及びラインセ
ンサー４と被検査物２上の検査部分及びその周辺を内面
が反射防止された遮光板により被検査物２の通り口を除
いて囲い、外光を遮光している。これにより被検査物２
の検査部分への外光照射によるノイズ及び撮影レンズ３
への外光入射によるフレアー等外光による撮像への影響
を無くしている。
【００１５】次に本実施例の作用を説明する。コントロ
ーラー８に検査開始指令を入力すると、被検査物２の送
り駆動開始指令８ｃが出力され、被検査物２は一定速度
にて矢印方向へ移動を開始する。被検査物２の送り開始
と同時に、撮像レンズ３により被検査物２を透かして多
線チャート１ａの像がセンサー列４ｂ上に結像し、結像
した像のうちセンサー列４ｂの部分が光電変換され光電
変換信号４ａとして出力される。
ーラー８に検査開始指令を入力すると、被検査物２の送
り駆動開始指令８ｃが出力され、被検査物２は一定速度
にて矢印方向へ移動を開始する。被検査物２の送り開始
と同時に、撮像レンズ３により被検査物２を透かして多
線チャート１ａの像がセンサー列４ｂ上に結像し、結像
した像のうちセンサー列４ｂの部分が光電変換され光電
変換信号４ａとして出力される。
【００１６】尚、ラインセンサー４の１回の読み取り時
間(T) と被検査物２の送り速度(V)によって被検査物２
の送り方向の表面検査ピッチPcが定まる。その関係はPc
＝V*T である。本実施例では、 T＝ 2(msec)、 V＝500
(mm/sec)であるので、検査ピッチPcは１mmとなり、 1mm
単位で移動中の被検査物２の表面を透かして多線チャー
ト１ａの像を読み取って光電変換し、光電変換信号４ａ
として連続的に出力する。
間(T) と被検査物２の送り速度(V)によって被検査物２
の送り方向の表面検査ピッチPcが定まる。その関係はPc
＝V*T である。本実施例では、 T＝ 2(msec)、 V＝500
(mm/sec)であるので、検査ピッチPcは１mmとなり、 1mm
単位で移動中の被検査物２の表面を透かして多線チャー
ト１ａの像を読み取って光電変換し、光電変換信号４ａ
として連続的に出力する。
【００１７】図２(A) は被検査物２の表面に形状変化の
ない良品時の被検査物２の断面図，図２(B) はこの時セ
ンサー列４ｂ上に結像する多線チャート１ａの像２ａの
説明図である。被検査物２が良品の場合、図２(A) に示
すように表面に凹凸状欠陥が無く、又被検査物内部に異
常（屈折率異常或は泡等）が無く、その為に結像光束の
屈折変化が生じず、多線チャート１ａの像として図２
(B) に示すように規則正しく等間隔に並んだ多線チャー
ト像が得られる。
ない良品時の被検査物２の断面図，図２(B) はこの時セ
ンサー列４ｂ上に結像する多線チャート１ａの像２ａの
説明図である。被検査物２が良品の場合、図２(A) に示
すように表面に凹凸状欠陥が無く、又被検査物内部に異
常（屈折率異常或は泡等）が無く、その為に結像光束の
屈折変化が生じず、多線チャート１ａの像として図２
(B) に示すように規則正しく等間隔に並んだ多線チャー
ト像が得られる。
【００１８】図３はこの時出力される信号の説明図であ
る。図３(A) の光電変換信号４ａ1はセンサー列４ｂ上
の像を光電変換したラインセンサー４からの出力信号で
ある。ラインセンサー４からの光電変換信号４ａ1 は図
示のように規則正しく繰り返している信号である。
る。図３(A) の光電変換信号４ａ1はセンサー列４ｂ上
の像を光電変換したラインセンサー４からの出力信号で
ある。ラインセンサー４からの光電変換信号４ａ1 は図
示のように規則正しく繰り返している信号である。
【００１９】このラインセンサー４からの光電変換信号
４ａ1 は２値化処理回路５に入力され、事前にコントロ
ーラー８より信号８ａとして入力され、設定されたしき
い値電圧５ｂと比較され、しきい値電圧５ｂより大きい
電圧部はHighレベルに、しきい値電圧５ｂより小さい電
圧部は Lowレベルに変換され、出力信号５ａ1 としてパ
ルス信号が出力される。この出力信号５ａ1 は次にパル
ス計測回路６に入力され、出力信号５ａ1 のHighレベル
の各パルス時間（ｐ1 ，ｐ2 ，ｐ3 …ｐn-1 ，ｐn ）
と、Highレベルのパルス周期（ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 …ｔ
n-1 ，ｔn ）の各時間を計測し、毎周期の時間計測直後
にHighレベルのパルス時間（ｐ）とHighレベルのパルス
周期（ｔ）を出力６ａ1 として合否判定回路７に入力す
る。このパルス計測回路６における時間計測は基準クロ
ックを使い、highパルスの間のクロック数をカウント
し、又highパルスの立ち上がりから次のhighパルスの立
ち上がりまでの間のクロック数をカウントして行う。
４ａ1 は２値化処理回路５に入力され、事前にコントロ
ーラー８より信号８ａとして入力され、設定されたしき
い値電圧５ｂと比較され、しきい値電圧５ｂより大きい
電圧部はHighレベルに、しきい値電圧５ｂより小さい電
圧部は Lowレベルに変換され、出力信号５ａ1 としてパ
ルス信号が出力される。この出力信号５ａ1 は次にパル
ス計測回路６に入力され、出力信号５ａ1 のHighレベル
の各パルス時間（ｐ1 ，ｐ2 ，ｐ3 …ｐn-1 ，ｐn ）
と、Highレベルのパルス周期（ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 …ｔ
n-1 ，ｔn ）の各時間を計測し、毎周期の時間計測直後
にHighレベルのパルス時間（ｐ）とHighレベルのパルス
周期（ｔ）を出力６ａ1 として合否判定回路７に入力す
る。このパルス計測回路６における時間計測は基準クロ
ックを使い、highパルスの間のクロック数をカウント
し、又highパルスの立ち上がりから次のhighパルスの立
ち上がりまでの間のクロック数をカウントして行う。
【００２０】合否判定回路７には、事前にコントローラ
ー８より信号８ｂとして規格値（規格時間）としてHigh
レベルのパルス時間の上限値（ｐH ）と下限値（ｐ
L ）、及びHighレベルのパルス周期の上限値（ｔH ）と
下限値（ｔL ）が設定されており、出力６ａ1 中のパル
ス時間ｐとパルス周期ｔは夫々上記の規格値と比較さ
れ、Highレベルのパルス時間ｐが規格値ｐH 〜ｐL の間
にあるか否か、及びHighレベルのパルス周期ｔが規格値
ｔH 〜ｔL の間にあるか否かを判定し、いずれも規格値
内であれば被検査物２の検査した部分は良品とする。も
し、どちらか一方でも規格値を外れると被検査物２の検
査した部分に異常があると判断し、合否判定回路７から
の出力７ａとして短いHighパルス信号ｓをコントローラ
ー８へ出力する。
ー８より信号８ｂとして規格値（規格時間）としてHigh
レベルのパルス時間の上限値（ｐH ）と下限値（ｐ
L ）、及びHighレベルのパルス周期の上限値（ｔH ）と
下限値（ｔL ）が設定されており、出力６ａ1 中のパル
ス時間ｐとパルス周期ｔは夫々上記の規格値と比較さ
れ、Highレベルのパルス時間ｐが規格値ｐH 〜ｐL の間
にあるか否か、及びHighレベルのパルス周期ｔが規格値
ｔH 〜ｔL の間にあるか否かを判定し、いずれも規格値
内であれば被検査物２の検査した部分は良品とする。も
し、どちらか一方でも規格値を外れると被検査物２の検
査した部分に異常があると判断し、合否判定回路７から
の出力７ａとして短いHighパルス信号ｓをコントローラ
ー８へ出力する。
【００２１】図３の信号の場合、２値化処理回路５には
規則正しい光電変換信号４ａ1 が入力しているので、２
値化処理回路５からの出力信号５ａ1 においては、各Hi
ghレベルのパルス時間（ｐ1 ，ｐ2 ，ｐ3 …ｐn-1 ，ｐ
n ）はほぼ同じ値となり、又各Highレベルのパルス周期
（ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 …ｔn-1 ，ｔn ）も同様にほぼ同じ
値となる。そこで、この場合は規格値を外れるパルスは
無く、従って被検査物２の検査部分には欠陥がないと判
断され、合否判定回路７から信号は出力されない。
規則正しい光電変換信号４ａ1 が入力しているので、２
値化処理回路５からの出力信号５ａ1 においては、各Hi
ghレベルのパルス時間（ｐ1 ，ｐ2 ，ｐ3 …ｐn-1 ，ｐ
n ）はほぼ同じ値となり、又各Highレベルのパルス周期
（ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 …ｔn-1 ，ｔn ）も同様にほぼ同じ
値となる。そこで、この場合は規格値を外れるパルスは
無く、従って被検査物２の検査部分には欠陥がないと判
断され、合否判定回路７から信号は出力されない。
【００２２】尚、合否判定回路７には事前にコントロー
ラー８より信号８ｂとして検査範囲情報が入力されてお
り、図３(C) の検査範囲信号７ｂがHighレベルの時間の
み前記の判定動作が行われる。検査範囲信号７ｂは検査
開始から終了までの時間信号と被検査物２の幅方向の検
査域信号とのAND 出力信号である。
ラー８より信号８ｂとして検査範囲情報が入力されてお
り、図３(C) の検査範囲信号７ｂがHighレベルの時間の
み前記の判定動作が行われる。検査範囲信号７ｂは検査
開始から終了までの時間信号と被検査物２の幅方向の検
査域信号とのAND 出力信号である。
【００２３】図４(A) は被検査物２の表面に凹凸状変化
のある不良品時の被検査物２の断面図の１例、図４(B)
はこの時センサー列４ｂ上に結像する多線チャート１ａ
の像２ｂの説明図である。この場合、図４(A) に示すよ
うに被検査物２の断面にはふくらみ部２ｃがある。そこ
で、被検査物２を透かして多線チャート１ａを結像した
場合、図４(B) に示すようにふくらみ部２ｃの厚み変化
により光束に屈折変化が生じ、規則性のある多線チャー
ト１ａが変形を生じて結像している。
のある不良品時の被検査物２の断面図の１例、図４(B)
はこの時センサー列４ｂ上に結像する多線チャート１ａ
の像２ｂの説明図である。この場合、図４(A) に示すよ
うに被検査物２の断面にはふくらみ部２ｃがある。そこ
で、被検査物２を透かして多線チャート１ａを結像した
場合、図４(B) に示すようにふくらみ部２ｃの厚み変化
により光束に屈折変化が生じ、規則性のある多線チャー
ト１ａが変形を生じて結像している。
【００２４】図５(A) はこのときセンサー列４ｂ上の像
を光電変換して２値化処理回路５に出力する光電変換信
号４ａ2 であり、５ａ2 は光電変換信号４ａ2 を２値化
処理回路５が２値化してパルス計測回路６に出力する２
値化したパルス信号である。パルス計測回路６において
は、入力されるパルス信号５ａ2 の各Highレベルのパル
ス時間（ｐ1 ，ｐ2 ，ｐ3 ，ｐ4 ，ｐ5 ，ｐ6 ，ｐ7 …
ｐn-1 ，ｐn ）及び各Highレベルのパルス周期（ｔ1 ，
ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 ，ｔ6 ，ｔ7 …ｔn-1 ，ｔn ）
を計測し、その結果を合否判定回路７へ出力する。合否
判定回路７では各パルスの計測時間結果を前記各規格値
と比較し、規格を外れたパルスであった場合には、検査
部分が異常であると判断して、出力７ａ2 として短いHi
ghパルスｓをコントローラー８に出力する。図５の例で
はｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 ，ｔ6 の各判定直後に短いhi
ghパルス（ｓ2 ，ｓ3 ，ｓ4 ，ｓ5 ，ｓ6 ）が出力７ａ
2 としてコントローラー８に出力される。
を光電変換して２値化処理回路５に出力する光電変換信
号４ａ2 であり、５ａ2 は光電変換信号４ａ2 を２値化
処理回路５が２値化してパルス計測回路６に出力する２
値化したパルス信号である。パルス計測回路６において
は、入力されるパルス信号５ａ2 の各Highレベルのパル
ス時間（ｐ1 ，ｐ2 ，ｐ3 ，ｐ4 ，ｐ5 ，ｐ6 ，ｐ7 …
ｐn-1 ，ｐn ）及び各Highレベルのパルス周期（ｔ1 ，
ｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 ，ｔ6 ，ｔ7 …ｔn-1 ，ｔn ）
を計測し、その結果を合否判定回路７へ出力する。合否
判定回路７では各パルスの計測時間結果を前記各規格値
と比較し、規格を外れたパルスであった場合には、検査
部分が異常であると判断して、出力７ａ2 として短いHi
ghパルスｓをコントローラー８に出力する。図５の例で
はｔ2 ，ｔ3 ，ｔ4 ，ｔ5 ，ｔ6 の各判定直後に短いhi
ghパルス（ｓ2 ，ｓ3 ，ｓ4 ，ｓ5 ，ｓ6 ）が出力７ａ
2 としてコントローラー８に出力される。
【００２５】同時にコントローラー８は各highパルスｓ
i の出力毎に支持回転ローラー９ｂに直結しているロー
タリーエンコーダー１０の検査開始直後からの出力パル
ス数を出力８ｄi として取り込み、検査開始直後からの
被検査物２の移動距離を計算して一時記憶する。又、被
検査物２の幅方向の検査範囲信号７ｂの立上りから出力
７ａ2 として出力される各短いHighパルスｓi までの時
間によってhighパルスｓi を出力した被検査物２の幅方
向の位置を計算して一時記憶する。これによって被検査
物２上の不良存在位置がすべて記憶される。
i の出力毎に支持回転ローラー９ｂに直結しているロー
タリーエンコーダー１０の検査開始直後からの出力パル
ス数を出力８ｄi として取り込み、検査開始直後からの
被検査物２の移動距離を計算して一時記憶する。又、被
検査物２の幅方向の検査範囲信号７ｂの立上りから出力
７ａ2 として出力される各短いHighパルスｓi までの時
間によってhighパルスｓi を出力した被検査物２の幅方
向の位置を計算して一時記憶する。これによって被検査
物２上の不良存在位置がすべて記憶される。
【００２６】例えば、支持回転ローラー９ｂの周長 aが
a＝100(mm) 、又、ロータリーエンコーダー１０の１回
転当りの出力パルス数RPがRP＝1000（パルス）、K を支
持回転ローラー９ｂからセンサー列対応位置４ｂ’まで
の距離とする。出力信号７ａ2 に短いHighパルスｓ2 が
出力された時、ロータリーエンコーダー１０の出力パル
スの読み取り値RNがRN＝5000（パルス）であったとする
と、検査開始点からhighパルスｓ2 が出力されるまでの
被検査物２の送り距離NLs2はNLs2＝(RN/RP) ＊a+K ＝50
0+K(mm) と計算され、被検査物２の送り方向における不
良存在位置が明らかになる。コントローラー８はこの値
NLs2を記憶する。
a＝100(mm) 、又、ロータリーエンコーダー１０の１回
転当りの出力パルス数RPがRP＝1000（パルス）、K を支
持回転ローラー９ｂからセンサー列対応位置４ｂ’まで
の距離とする。出力信号７ａ2 に短いHighパルスｓ2 が
出力された時、ロータリーエンコーダー１０の出力パル
スの読み取り値RNがRN＝5000（パルス）であったとする
と、検査開始点からhighパルスｓ2 が出力されるまでの
被検査物２の送り距離NLs2はNLs2＝(RN/RP) ＊a+K ＝50
0+K(mm) と計算され、被検査物２の送り方向における不
良存在位置が明らかになる。コントローラー８はこの値
NLs2を記憶する。
【００２７】又、その時の被検査物の幅方向の不良位置
は、幅方向の検査範囲信号７ｂの立上り時点からhighパ
ルスの各周期ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 を加算した値TN(msec)と
被検査物２の幅方向の長さW と検査範囲信号７ｂの立上
りから立下りまでの時間TWとから決定される。例えば、
TN＝0.04(msec)とし、又TW＝ 1(msec)であるとすると、
このTW時間は被検査物２の幅 W＝200(mm) に対応するの
で、幅方向の不良位置NWs2は、NWs2＝TN＊W/TW＝ 8(mm)
と算出され、コントローラー８は幅方向の不良位置NWs2
を記憶する。以上により、被検査物表面の不良位置とし
て、送り方向の位置（NLs2）及びその位置での幅方向の
位置（NWs2）が不良存在位置として記憶される。
は、幅方向の検査範囲信号７ｂの立上り時点からhighパ
ルスの各周期ｔ1 ，ｔ2 ，ｔ3 を加算した値TN(msec)と
被検査物２の幅方向の長さW と検査範囲信号７ｂの立上
りから立下りまでの時間TWとから決定される。例えば、
TN＝0.04(msec)とし、又TW＝ 1(msec)であるとすると、
このTW時間は被検査物２の幅 W＝200(mm) に対応するの
で、幅方向の不良位置NWs2は、NWs2＝TN＊W/TW＝ 8(mm)
と算出され、コントローラー８は幅方向の不良位置NWs2
を記憶する。以上により、被検査物表面の不良位置とし
て、送り方向の位置（NLs2）及びその位置での幅方向の
位置（NWs2）が不良存在位置として記憶される。
【００２８】本実施例においては、多線チャートの像を
２値化した信号の、highレベルのパルス時間又はhighレ
ベルの周期のいずれかが上下限の規格時間を外れること
で不良と判定しているので、不良部分を確実に検出する
ことができる。
２値化した信号の、highレベルのパルス時間又はhighレ
ベルの周期のいずれかが上下限の規格時間を外れること
で不良と判定しているので、不良部分を確実に検出する
ことができる。
【００２９】また、チャートとして等間隔の透明、不透
明の開口より構成される多線チャートを使用し、撮像手
段として１次元CCD センサーを使用しているので、２値
化信号の合否判別が簡単であり、装置全体がシンプルに
なる。
明の開口より構成される多線チャートを使用し、撮像手
段として１次元CCD センサーを使用しているので、２値
化信号の合否判別が簡単であり、装置全体がシンプルに
なる。
【００３０】実施例１では連続的に送られる被検査物２
を透かして多線チャート１ａの像を１次元のセンサー列
４ｂ上に結像し、結像された像の光電変換信号を連続的
に処理することで、被検査物２の表面の異常（凹凸状欠
陥）及び被検査物内部の異常（屈折率異常或は泡等）、
即ち被検査物の特性（光学特性）を検査ピッチPc単位で
両面同時に、連続的にかつ高速に検査することができ
る。
を透かして多線チャート１ａの像を１次元のセンサー列
４ｂ上に結像し、結像された像の光電変換信号を連続的
に処理することで、被検査物２の表面の異常（凹凸状欠
陥）及び被検査物内部の異常（屈折率異常或は泡等）、
即ち被検査物の特性（光学特性）を検査ピッチPc単位で
両面同時に、連続的にかつ高速に検査することができ
る。
【００３１】また、実施例１においては外光の遮光カバ
ーを設けているので、多線チャートの撮像に際して外光
による影響を排除しており、ノイズの無い多線チャート
像を撮像して測定の精度を上げている。
ーを設けているので、多線チャートの撮像に際して外光
による影響を排除しており、ノイズの無い多線チャート
像を撮像して測定の精度を上げている。
【００３２】なお、多線チャート１ａを構成する２つの
スリット状の開口の幅は異なっていても良い、多線チャ
ートは２つの開口の繰り返しで構成されておればよいか
らでる。更に、実施例１では２値化したパルス信号のhi
ghレベルの時間及び周期によって異常を検出したが、lo
w レベルの時間及び周期によって異常を検出することも
可能である。
スリット状の開口の幅は異なっていても良い、多線チャ
ートは２つの開口の繰り返しで構成されておればよいか
らでる。更に、実施例１では２値化したパルス信号のhi
ghレベルの時間及び周期によって異常を検出したが、lo
w レベルの時間及び周期によって異常を検出することも
可能である。
【００３３】
【発明の効果】本発明は以上の構成により、透明シート
状の被検査物の両面を高速で検査できる透明シート検査
装置を達成する。更には被検査物内部も検査することが
できる。
状の被検査物の両面を高速で検査できる透明シート検査
装置を達成する。更には被検査物内部も検査することが
できる。
【００３４】この他、本発明によれば、 （３−１） 被検査物を透かして多線チャートを撮像す
ることで、被検査物表面の凹凸状欠陥及び被検査物内部
の異常を多線チャート像の変形として撮像し、その光電
変換信号の信号処理により欠陥を判定している。従っ
て、被検査物の両面及び内部を同時に検査することがで
き、検査効率良く短時間に検査できる。 （３−２） 多線チャートとして開口の幅が同じで透過
率の異なる２つの開口を交互に並べた規則性のある多線
チャートを使用するので、多線チャート像の変形の判別
処理が単純になり、リアルタイムに検査結果を出すこと
ができる。 （３−３） 一次元センサーにより被検査物を幅方向の
一次元で撮像して光電変換することができ、被検査物を
連続的に送りながら検査が可能となり、検査の高速化が
図れる。 （３−４） 多線チャートの像を２値化したパルス信号
の時間又は周期のいずれかが規格時間を外れることで不
良（異常）と判定しているので、不良部分を確実に検出
することができる。 （３−５） 外光の遮光カバーを設けることにより、多
線チャートの撮像に際して外光影響を無くし、ノイズの
無い多線チャート像として撮像することができる。 等の少なくとも１つの効果を有した透明シート検査装置
を達成することができる。
ることで、被検査物表面の凹凸状欠陥及び被検査物内部
の異常を多線チャート像の変形として撮像し、その光電
変換信号の信号処理により欠陥を判定している。従っ
て、被検査物の両面及び内部を同時に検査することがで
き、検査効率良く短時間に検査できる。 （３−２） 多線チャートとして開口の幅が同じで透過
率の異なる２つの開口を交互に並べた規則性のある多線
チャートを使用するので、多線チャート像の変形の判別
処理が単純になり、リアルタイムに検査結果を出すこと
ができる。 （３−３） 一次元センサーにより被検査物を幅方向の
一次元で撮像して光電変換することができ、被検査物を
連続的に送りながら検査が可能となり、検査の高速化が
図れる。 （３−４） 多線チャートの像を２値化したパルス信号
の時間又は周期のいずれかが規格時間を外れることで不
良（異常）と判定しているので、不良部分を確実に検出
することができる。 （３−５） 外光の遮光カバーを設けることにより、多
線チャートの撮像に際して外光影響を無くし、ノイズの
無い多線チャート像として撮像することができる。 等の少なくとも１つの効果を有した透明シート検査装置
を達成することができる。
【図１】 本発明の実施例１の要部概略図
【図２】 良品部の断面図と実施例１のラインセンサー
上に結像する多線チャートの像の説明図
上に結像する多線チャートの像の説明図
【図３】 実施例１において良品部検査時の各出力信号
の説明図
の説明図
【図４】 不良品部の断面図の一例と実施例１のライン
センサー上に結像する多線チャートの像の説明図
センサー上に結像する多線チャートの像の説明図
【図５】 実施例１において不良品部検査時の各出力信
号の説明図
号の説明図
【図６】 従来の透明シート検査装置の要部概略図
１ 照明部 １ａ 多線チャート １ｂ 光源 １ｃ 拡散板 ２ 被検査物 ３ 撮像レンズ ４ ラインセンサー ４ｂ センサー列 ５ ２値化処理回路 ６ パルス計測回路 ７ 合否判定回路 ８ コントローラー ９ａ，９ｂ 支持回転ローラー １０ ロータリーエンコーダー
Claims (10)
- 【請求項１】 透明なシート状の被検査物を検査する装
置であって、規則的パターンを配したチャートと、該チ
ャートを該被検査物を介して撮像する撮像手段を有する
ことを特徴とする透明シート検査装置。 - 【請求項２】 前記チャートは透過率が異なる少なくと
も２種のパターンを交互に繰り返し配列したものである
ことを特徴とする請求項１記載の透明シート検査装置。 - 【請求項３】 前記少なくとも２種の各パターンは、パ
ターン配列方向において同一の幅を有していることを特
徴とする請求項２記載の透明シート検査装置。 - 【請求項４】 前記被検査物の検査面と前記チャートと
を平行に配したことを特徴とする請求項１記載の透明シ
ート検査装置。 - 【請求項５】 前記被検査物を前記撮像手段に対して相
対移動させる移動手段を有することを特徴とする請求項
１〜４のいずれか１項に記載の透明シート検査装置。 - 【請求項６】 前記撮像手段は一次元の光電変換素子列
を備えたことを特徴とする請求項５記載の透明シート検
査装置。 - 【請求項７】 前記撮像手段の出力を２値化して被検査
物の検査を行う手段を有することを特徴とする請求項１
〜６のいずれか１項に記載の透明シート検査装置。 - 【請求項８】 前記２値化して得られるパルス信号の、
パルス時間及びパルス周期に基づいて被検査物を検査す
ることを特徴とする請求項７記載の透明シート検査装
置。 - 【請求項９】 前記パルス時間及び前記パルス周期の少
なくとも一方が規定値から外れたら透明シートに異常が
あると判定することを特徴とする請求項８記載の透明シ
ート検査装置。 - 【請求項１０】 前記被検査物の検査部分から前記撮像
手段に至る光路を遮光する遮光手段を有することを特徴
とする請求項１記載の透明シート検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189796A JPH0915169A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | 透明シート検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7189796A JPH0915169A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | 透明シート検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915169A true JPH0915169A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=16247359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7189796A Pending JPH0915169A (ja) | 1995-07-03 | 1995-07-03 | 透明シート検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0915169A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102809539A (zh) * | 2012-07-23 | 2012-12-05 | 浙江万马电缆股份有限公司 | 一种中高压电缆半导电屏蔽层破损检测方法及装置 |
| JP2020506392A (ja) * | 2017-02-09 | 2020-02-27 | グラステク インコーポレイテッド | ガラスシート上／ガラスシート内の小さな欠陥をオンラインで検出するためのシステム及び関連方法 |
-
1995
- 1995-07-03 JP JP7189796A patent/JPH0915169A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102809539A (zh) * | 2012-07-23 | 2012-12-05 | 浙江万马电缆股份有限公司 | 一种中高压电缆半导电屏蔽层破损检测方法及装置 |
| JP2020506392A (ja) * | 2017-02-09 | 2020-02-27 | グラステク インコーポレイテッド | ガラスシート上／ガラスシート内の小さな欠陥をオンラインで検出するためのシステム及び関連方法 |
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