JPS61250949A - 加速管 - Google Patents
加速管Info
- Publication number
- JPS61250949A JPS61250949A JP60091048A JP9104885A JPS61250949A JP S61250949 A JPS61250949 A JP S61250949A JP 60091048 A JP60091048 A JP 60091048A JP 9104885 A JP9104885 A JP 9104885A JP S61250949 A JPS61250949 A JP S61250949A
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrodes
- wall
- tube
- insulator tube
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 abstract description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract 5
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 6
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えばイオン注入機に用いられる加速管に関
する。
する。
（従来の技術）
従来、この種の加速管は、第１図示のように、絶縁筒体
ａの内壁に同心状で且つ所定間隔の複数個の孔あき電ｉ
ｂを固着し、電極すに電圧を印加して電極すの孔Ｃによ
って形成された通路を通過するイオンを等電位面ｄに応
じて収束しながら例えば矢印方向に加速するのが一般で
ある。
ａの内壁に同心状で且つ所定間隔の複数個の孔あき電ｉ
ｂを固着し、電極すに電圧を印加して電極すの孔Ｃによ
って形成された通路を通過するイオンを等電位面ｄに応
じて収束しながら例えば矢印方向に加速するのが一般で
ある。
このイオンを加速する電極構造は、加速によって得られ
るイオンビームエネルギーの大ぎさに応じて最適条件が
ある。
るイオンビームエネルギーの大ぎさに応じて最適条件が
ある。
したがって、種々の大きさのエネルギーを有するイオン
ビームを得るには、それぞれのエネルギーに対して最適
条件の電極構造を有する加速管を１つづつ用意しなけれ
ばならない不都合がある。
ビームを得るには、それぞれのエネルギーに対して最適
条件の電極構造を有する加速管を１つづつ用意しなけれ
ばならない不都合がある。
また電極は加速されたイオンによるスパッタで損傷した
ときその交換ができないという不都合がある。
ときその交換ができないという不都合がある。
更にまたこの電極構造によれば、加速されたイオンによ
るスパッタで生じた金属粒子が絶縁筒体ａの内壁に付着
し、しばしば電極す間が短絡する不都合がある。
るスパッタで生じた金属粒子が絶縁筒体ａの内壁に付着
し、しばしば電極す間が短絡する不都合がある。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は従来の上記のような不都合を無くすことをその
目的とするものである。
目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、絶縁筒体の内壁に同心状で且つ所定間隔の複
数個の孔あき電極を取付け、該電極間に電圧を印加して
該電極の孔によって形成された通路を通過する荷電粒子
を加速するものにおいて、該電極をその内縁部から該絶
Ｒ筒体の内壁が最大限一部しか見えないように彎曲形成
すると兵に該絶縁筒体の内壁に着脱自在に取付けたこと
を特徴とする。
数個の孔あき電極を取付け、該電極間に電圧を印加して
該電極の孔によって形成された通路を通過する荷電粒子
を加速するものにおいて、該電極をその内縁部から該絶
Ｒ筒体の内壁が最大限一部しか見えないように彎曲形成
すると兵に該絶縁筒体の内壁に着脱自在に取付けたこと
を特徴とする。
（実施例）
本考案の実施例を図面につき説明する。
第２図において、（１）はアルミナから成る外周面に凹
溝が形成された絶縁筒体で、その内壁には例えば３個の
孔あき電極（２＋） （２２） （２３）を同心状で且
つ所定間隔に配置し、その外縁端を、絶縁筒体（１）の
凹溝内に配置した環状導体（３）に連なり絶縁筒体（１
）に埋設あるいは添着された導体（４）の内端にボルト
（５）で着脱自在に取付けるようにした。
溝が形成された絶縁筒体で、その内壁には例えば３個の
孔あき電極（２＋） （２２） （２３）を同心状で且
つ所定間隔に配置し、その外縁端を、絶縁筒体（１）の
凹溝内に配置した環状導体（３）に連なり絶縁筒体（１
）に埋設あるいは添着された導体（４）の内端にボルト
（５）で着脱自在に取付けるようにした。
この電極（２１） （２２） （２ａ）は、これを絶縁
同体（１）の内壁に取付けたとき、内縁部の間隔が従来
の手法に従いイオンビームエネルギに対応した所定の間
隔になるようにすると共に、内縁部から絶縁筒体（１）
の内壁が見えないように、あるいは最大限内壁の一部し
か見えないように軸Ｚに対して対称に彎曲形成した。
同体（１）の内壁に取付けたとき、内縁部の間隔が従来
の手法に従いイオンビームエネルギに対応した所定の間
隔になるようにすると共に、内縁部から絶縁筒体（１）
の内壁が見えないように、あるいは最大限内壁の一部し
か見えないように軸Ｚに対して対称に彎曲形成した。
（作 用）
上記実施例の作用について説明する。
電極（２１） （２２） （２ａ）に順次低くなる高電
圧を印加すると電極間に電界が生じ、図示しないイオン
源で生じたイオンが図の左方から加速管内に進入すると
、第１図示のものと同様に収束されながら加速される。
圧を印加すると電極間に電界が生じ、図示しないイオン
源で生じたイオンが図の左方から加速管内に進入すると
、第１図示のものと同様に収束されながら加速される。
しかし図の右方にイオンが進むにつれてそのビームは広
がりその一部は電極（２１） （２２） （２３）の内
縁部に衝突しこれをスパッタする。スパッタにより生じ
た金属粒子は、絶縁筒体（１）の内壁に向って進行する
が、内縁部から内壁が見えないようにあるいは最大限内
壁の一部しか見えないように電極（２１） （２２）
（２３）が彎曲形成されているので、電極（２１） （
２２） （２３）の中間部に吸着されあるいは内壁の一
部だけに付着する。か゛くて電極（２＋） （２２）
（２３）間で短絡が生じない。
がりその一部は電極（２１） （２２） （２３）の内
縁部に衝突しこれをスパッタする。スパッタにより生じ
た金属粒子は、絶縁筒体（１）の内壁に向って進行する
が、内縁部から内壁が見えないようにあるいは最大限内
壁の一部しか見えないように電極（２１） （２２）
（２３）が彎曲形成されているので、電極（２１） （
２２） （２３）の中間部に吸着されあるいは内壁の一
部だけに付着する。か゛くて電極（２＋） （２２）
（２３）間で短絡が生じない。
イオンビームエネルギを大ぎくする時は、ボルト（５）
を外し低加速用の電極を高加速用の電極と交換する。
を外し低加速用の電極を高加速用の電極と交換する。
（発明の効果）
このように本発明によれば、イオンビームエネルギを変
える時あるいは電極が損耗した時は、電極を交換すれば
よいので、従来のものに比べて廉価であると共に保管場
所も狭くてよく、また絶縁筒体内壁のスパッタ粒子によ
る汚染で電極間が短絡することがない効果を有する。
える時あるいは電極が損耗した時は、電極を交換すれば
よいので、従来のものに比べて廉価であると共に保管場
所も狭くてよく、また絶縁筒体内壁のスパッタ粒子によ
る汚染で電極間が短絡することがない効果を有する。
第１図は従来の加速管の断面図、第２図は本発明の１実
施例の一部截断した側面図である。 （１）・・・絶縁筒体 （２１） （２２） （２３
）・・・孔あき電極（３）・・・環状導体
（４）・・・導体時 許 出 願 人 日本真空技術
株式会社Ｎ１図 ａ 第２図
施例の一部截断した側面図である。 （１）・・・絶縁筒体 （２１） （２２） （２３
）・・・孔あき電極（３）・・・環状導体
（４）・・・導体時 許 出 願 人 日本真空技術
株式会社Ｎ１図 ａ 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、絶縁筒体の内壁に同心状で且つ所定間隔の複数個の
孔あき電極を取付け、該電極間に電圧を印加して該電極
の孔によって形成された通路を通過する荷電粒子を加速
するものにおいて、該電極をその内縁部から該絶縁筒体
の内壁が最大限一部しか見えないように彎曲形成すると
共に該絶縁筒体の内壁に着脱自在に取付けたことを特徴
とする加速管。 ２、前記電極は高加速用電極あるいは低加速用電極から
成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の加速
管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60091048A JPS61250949A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 加速管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60091048A JPS61250949A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 加速管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61250949A true JPS61250949A (ja) | 1986-11-08 |
Family
ID=14015616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60091048A Pending JPS61250949A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 加速管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61250949A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63299042A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
| JPH0165855U (ja) * | 1987-10-20 | 1989-04-27 |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60091048A patent/JPS61250949A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63299042A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
| JPH0165855U (ja) * | 1987-10-20 | 1989-04-27 |
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