JPS61251309A - コンデンサ内蔵形振動子 - Google Patents
コンデンサ内蔵形振動子Info
- Publication number
- JPS61251309A JPS61251309A JP9251685A JP9251685A JPS61251309A JP S61251309 A JPS61251309 A JP S61251309A JP 9251685 A JP9251685 A JP 9251685A JP 9251685 A JP9251685 A JP 9251685A JP S61251309 A JPS61251309 A JP S61251309A
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- Japan
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- capacitor
- piezoelectric
- electrodes
- vibrator
- drive electrodes
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
リチウムタンタレ−） （ＬｉＴａ０３）やリチウムナ
イオベー） （ＬｉＮｂＯ２）等からなる圧電素板上に
形成された、駆動電極の上にそれぞれ陽極酸化被膜を介
してコンデンサ用電極を設け、負荷容量コンデンサとし
たコンデンサ内蔵形の振動子に関するものである。
イオベー） （ＬｉＮｂＯ２）等からなる圧電素板上に
形成された、駆動電極の上にそれぞれ陽極酸化被膜を介
してコンデンサ用電極を設け、負荷容量コンデンサとし
たコンデンサ内蔵形の振動子に関するものである。
本発明はクロック信号発振回路等に用いられる圧電振動
子に係り、特に圧電振動子と圧電振動子の前後に接続す
る負荷容量コンデンサを一体化したコンデンサ内蔵形振
動子に関する。
子に係り、特に圧電振動子と圧電振動子の前後に接続す
る負荷容量コンデンサを一体化したコンデンサ内蔵形振
動子に関する。
デジタル信号を処理する集積回路は内部にクロック信号
発振回路が組込まれており、クロック信号発振回路は第
２図に示す如く集積回路素子ｒｃと、圧電振動子Ｒと、
２個の負荷容量コンデンサｃ１、Ｃ２とで構成される場
合が多い。かがる圧電振動子Ｒと２個のコンデンサＣＩ
、Ｃ２からなる回路を、それぞれ別個に製造された圧電
振動子とコンデンサで構成すると、プリント基板の上に
３個の部品を搭載するための空間を必要とし、しかも３
個の部品をそれぞれ別個に搭載するため所要時間が大き
くなるという問題がある。
発振回路が組込まれており、クロック信号発振回路は第
２図に示す如く集積回路素子ｒｃと、圧電振動子Ｒと、
２個の負荷容量コンデンサｃ１、Ｃ２とで構成される場
合が多い。かがる圧電振動子Ｒと２個のコンデンサＣＩ
、Ｃ２からなる回路を、それぞれ別個に製造された圧電
振動子とコンデンサで構成すると、プリント基板の上に
３個の部品を搭載するための空間を必要とし、しかも３
個の部品をそれぞれ別個に搭載するため所要時間が大き
くなるという問題がある。
そこでかかる回路には部品を搭載する空間が縮小され、
しかも部品を搭載する時間が削減できるという利点を有
する、３端子形振動子即ち負荷容量コンデンサを内蔵し
た圧電振動子が用いられるようになり、一層小形化され
た安価なコンデンサ内蔵形振動子の出現が待たれている
。
しかも部品を搭載する時間が削減できるという利点を有
する、３端子形振動子即ち負荷容量コンデンサを内蔵し
た圧電振動子が用いられるようになり、一層小形化され
た安価なコンデンサ内蔵形振動子の出現が待たれている
。
第５図は従来のコンデンサ内蔵形振動子の一例を示す分
割斜視図である。
割斜視図である。
図において従来のコンデンサ内蔵形振動子は圧電振動素
子１と、圧電振動素子１を搭載する振動子用基板２とで
構成されている。
子１と、圧電振動素子１を搭載する振動子用基板２とで
構成されている。
圧電振動素子１はＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３等の圧電
性単結晶よりなる長方形の圧電素板１１の両面に、圧電
素板１１を介して対向する駆動電極１２および１３が形
成されており、この駆動電極１２および１３は圧電素板
１１の両端に設けられた引出電極１４および１５にそれ
ぞれ接続されている。
性単結晶よりなる長方形の圧電素板１１の両面に、圧電
素板１１を介して対向する駆動電極１２および１３が形
成されており、この駆動電極１２および１３は圧電素板
１１の両端に設けられた引出電極１４および１５にそれ
ぞれ接続されている。
一方振動子用基板２はセラミック等からなる基板２１の
上に薄膜生成技術や厚膜生成技術によって２ ｆｌｌｉ
ｌのコンデンサが構成されている。即ち共通の下部電極
２２、下部電極２２を覆う誘電体２３、誘電体２３を介
して下部電極２２と対向する上部電極２４および２５が
形成されており、下部電極２２と上部電極２４、および
下部電極２２と上部電極２５でそれぞれコンデンサを構
成している。なお圧電振動素子１の引出電極１４および
１５は上部電極２４および２５の上に直接搭載されてい
る。
上に薄膜生成技術や厚膜生成技術によって２ ｆｌｌｉ
ｌのコンデンサが構成されている。即ち共通の下部電極
２２、下部電極２２を覆う誘電体２３、誘電体２３を介
して下部電極２２と対向する上部電極２４および２５が
形成されており、下部電極２２と上部電極２４、および
下部電極２２と上部電極２５でそれぞれコンデンサを構
成している。なお圧電振動素子１の引出電極１４および
１５は上部電極２４および２５の上に直接搭載されてい
る。
しかし上記コンデンサ内蔵形振動子は圧電振動素子１の
形成とは別の工程において、薄膜生成技術や厚膜生成技
術によって２個のコンデンサを具えた振動子用基板２を
形成する必要があり、圧電振動素子形成工程と振動子用
基板形成工程との両工程に、精密な膜生成技術や製造設
備を分散して設けなければならない。したがって製造設
備の重複や作業時間の増大を招き製造価格が高騰すると
いう問題があった。
形成とは別の工程において、薄膜生成技術や厚膜生成技
術によって２個のコンデンサを具えた振動子用基板２を
形成する必要があり、圧電振動素子形成工程と振動子用
基板形成工程との両工程に、精密な膜生成技術や製造設
備を分散して設けなければならない。したがって製造設
備の重複や作業時間の増大を招き製造価格が高騰すると
いう問題があった。
第１図は本発明になる圧電振動素子の一例を示す断面斜
視図である。
視図である。
上記問題点は第１図に示す水晶、圧電性単結晶、セラミ
ック等圧電物質からなる長方形の圧電素板１１の両面に
、Ｔａ等の弁作用金運を用い圧電素板１１を介して対向
する駆動電極３１および３２を形成し、駆動電極３１お
よび３２の表面に陽極酸化波Ｍ＊３５を生成した後、陽
極酸化被膜３５の上に圧電素板１１の一端の両面にそれ
ぞれ接続電極部３８および３９を有するコンデンサ電極
３６および３７を形成し、圧電素板１１の他端の両面に
それぞれ接続電極部３３および３４を有する駆動電極３
１および３２の上に、陽極酸化被膜３５を誘電体とする
コンデンサを構成した圧電素子３を、具えてなる本発明
のコンデンサ内蔵形振動子によって解決される。
ック等圧電物質からなる長方形の圧電素板１１の両面に
、Ｔａ等の弁作用金運を用い圧電素板１１を介して対向
する駆動電極３１および３２を形成し、駆動電極３１お
よび３２の表面に陽極酸化波Ｍ＊３５を生成した後、陽
極酸化被膜３５の上に圧電素板１１の一端の両面にそれ
ぞれ接続電極部３８および３９を有するコンデンサ電極
３６および３７を形成し、圧電素板１１の他端の両面に
それぞれ接続電極部３３および３４を有する駆動電極３
１および３２の上に、陽極酸化被膜３５を誘電体とする
コンデンサを構成した圧電素子３を、具えてなる本発明
のコンデンサ内蔵形振動子によって解決される。
第１図において駆動電極３１および３２に誘電体として
陽極酸化被膜３５を生成した後、陽極酸化被膜３５の上
にコンデンサ電極３６および３７を設けることによって
、駆動電極３１および３２をコンデンサ電極の片方とし
て利用でき、生成する膜の数が減少して作業時間の短縮
が可能になる。
陽極酸化被膜３５を生成した後、陽極酸化被膜３５の上
にコンデンサ電極３６および３７を設けることによって
、駆動電極３１および３２をコンデンサ電極の片方とし
て利用でき、生成する膜の数が減少して作業時間の短縮
が可能になる。
また駆動電極３１および３２の形成からコンデンサ電極
３６および３７の形成まで一連の圧電振動素子形成工程
の中で処理し、振動子用基板形成工程においては薄膜生
成技術や厚膜生成技術による処理が低減されるために、
精密な膜生成に関する技術や設備を一個所に集中するこ
とができ、工程の合理化による作業時間の短縮が可能に
なると共に設備の重複を避けることができ、コンデンサ
内蔵形振動子の製造価格の低減を図ることができる。
３６および３７の形成まで一連の圧電振動素子形成工程
の中で処理し、振動子用基板形成工程においては薄膜生
成技術や厚膜生成技術による処理が低減されるために、
精密な膜生成に関する技術や設備を一個所に集中するこ
とができ、工程の合理化による作業時間の短縮が可能に
なると共に設備の重複を避けることができ、コンデンサ
内蔵形振動子の製造価格の低減を図ることができる。
以下添付図により本発明の実施例について説明する。第
３図は本発明の一実施例を示す斜視図であり、第４図は
本発明の別の実施例を示す斜視図である。なお企図を通
し同じ対象物は同一記号で表している。
３図は本発明の一実施例を示す斜視図であり、第４図は
本発明の別の実施例を示す斜視図である。なお企図を通
し同じ対象物は同一記号で表している。
第３図においてセラミック等からなる振動子用基板４の
一端に隙間４１を介して対向する電極４３および４４が
、他端には隙間４２を介して対向する電極４５および４
６が形成されており、電極４３にはリード端子４７が、
電極４４にはリード端子４８が、そして電極４５および
４６にはリード端子４９が接続されている。
一端に隙間４１を介して対向する電極４３および４４が
、他端には隙間４２を介して対向する電極４５および４
６が形成されており、電極４３にはリード端子４７が、
電極４４にはリード端子４８が、そして電極４５および
４６にはリード端子４９が接続されている。
第１図に示す圧電振動素子３は振動子用基板４の隙間４
１および４２に嵌挿され、接続電極部３３および３４と
電極４３および４４とが、また接続電極部３８および３
９と電極４５および４６とがそれぞれ接続される。
１および４２に嵌挿され、接続電極部３３および３４と
電極４３および４４とが、また接続電極部３８および３
９と電極４５および４６とがそれぞれ接続される。
また第４図においてセラミック等からなる振動子用基板
５の中央に溝５１を介して電極５２および５３を設けて
おり、電極５２および５３にはリード端子５４が接続さ
れている。また電極５２および５３の外側にはＬ字形リ
ード端子５５および５６が植設されており、溝５１に嵌
挿された第１図に示す圧電振動素子３の接続電極部３８
および３９と電極５２および５３がそれぞれ接続される
。また圧電振動素子３の接続電極部３３および３４とＬ
字形リード端子５５および５６の先端がそれぞれ接続さ
れる。
５の中央に溝５１を介して電極５２および５３を設けて
おり、電極５２および５３にはリード端子５４が接続さ
れている。また電極５２および５３の外側にはＬ字形リ
ード端子５５および５６が植設されており、溝５１に嵌
挿された第１図に示す圧電振動素子３の接続電極部３８
および３９と電極５２および５３がそれぞれ接続される
。また圧電振動素子３の接続電極部３３および３４とＬ
字形リード端子５５および５６の先端がそれぞれ接続さ
れる。
第１図に示す如く駆動電極３１および３２に誘電体とし
て陽極酸化被膜３５を生成した後、陽極酸化被膜３５の
上にコンデンサ電極３６および３７を設けることによっ
て、駆動電極３１および３２をコンデンサ電極の片方と
して利用でき、生成する膜の数が減少して作業時間の短
縮が可能になる。
て陽極酸化被膜３５を生成した後、陽極酸化被膜３５の
上にコンデンサ電極３６および３７を設けることによっ
て、駆動電極３１および３２をコンデンサ電極の片方と
して利用でき、生成する膜の数が減少して作業時間の短
縮が可能になる。
また駆動電極３１および３２の形成からコンデンサ電極
３６および３７の形成まで一連の圧電振動素子形成工程
の中で処理し、振動子用基板形成工程においてはｉ膜生
成技術や厚膜生成技術による処理が低減されるために、
精密な膜生成に関する技術や設備を一個所に集中するこ
とができ、工程の合理化による作業時間の短縮が可能に
なると共に設備の重複を避けることができ、コンデンサ
内蔵形振動子の製造価格の低減を図ることができる。
３６および３７の形成まで一連の圧電振動素子形成工程
の中で処理し、振動子用基板形成工程においてはｉ膜生
成技術や厚膜生成技術による処理が低減されるために、
精密な膜生成に関する技術や設備を一個所に集中するこ
とができ、工程の合理化による作業時間の短縮が可能に
なると共に設備の重複を避けることができ、コンデンサ
内蔵形振動子の製造価格の低減を図ることができる。
上述の如く本発明によれば一層小形化された安価な３端
子形振動子即ちコンデンサ内蔵形振動子を提供すること
ができる。
子形振動子即ちコンデンサ内蔵形振動子を提供すること
ができる。
第１図は本発明になる圧電振動素子を示す断面斜視図、
第２図はクロック信号発振回路、
第３図は本発明になる圧電振動子の一実施例を示す斜視
図、 第４図は本発明になる圧電振動子の別の実施例を示す斜
視図、 第５図は従来の圧電振動子の一例を示す分割斜視図、 である。図において ３は圧電素子、 ４．５は振動子用基板、 １１は圧電素板、 ３１．３２は駆動電極、 ３３．３４゛は接続電極部、 ３５は陽極酸化被膜、 ３６．３７はコンデンサ電極、 ３８．３９は接続電極部、 ４１．４２は隙間、 ４３．４４．４５．４６は電極、 ４７．４８．４９はリード端子、 ５１は溝、 ５２．５３は電極、 ５４．５５．５６はリード端子、 をそれぞれ表す。 草ｊ 囚 クロック信号発信呵路 券２ｇ 革３図 革４Ｕ
図、 第４図は本発明になる圧電振動子の別の実施例を示す斜
視図、 第５図は従来の圧電振動子の一例を示す分割斜視図、 である。図において ３は圧電素子、 ４．５は振動子用基板、 １１は圧電素板、 ３１．３２は駆動電極、 ３３．３４゛は接続電極部、 ３５は陽極酸化被膜、 ３６．３７はコンデンサ電極、 ３８．３９は接続電極部、 ４１．４２は隙間、 ４３．４４．４５．４６は電極、 ４７．４８．４９はリード端子、 ５１は溝、 ５２．５３は電極、 ５４．５５．５６はリード端子、 をそれぞれ表す。 草ｊ 囚 クロック信号発信呵路 券２ｇ 革３図 革４Ｕ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）圧電物質からなる長方形の圧電素板（１１）の両面
に、 タンタル（Ｔａ）等の弁作用金属を用い該圧電素板（１
１）を介して対向する駆動電極（３１）および（３２）
を形成し、 該駆動電極（３１）および（３２）の表面に陽極酸化被
膜（３５）を生成した後、該陽極酸化被膜（３５）の上
にコンデンサ電極（３６）および（３７）を形成し、該
駆動電極（３１）および（３２）の上に該陽極酸化被膜
（３５）を誘電体とするコンデンサを構成したことを特
徴とするコンデンサ内蔵形振動子。 ２）該駆動電極（３１）および（３２）の接続電極部（
３３）および（３４）を、該圧電素板（１１）の一端の
両面にそれぞれ設け、 且つコンデンサ電極（３６）および（３７）の接続電極
部（３８）および（３９）を、該圧電素板（１１）の他
端の両面にそれぞれ設けた特許請求の範囲第１項記載の
コンデンサ内蔵形振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9251685A JPS61251309A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | コンデンサ内蔵形振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9251685A JPS61251309A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | コンデンサ内蔵形振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61251309A true JPS61251309A (ja) | 1986-11-08 |
Family
ID=14056484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9251685A Pending JPS61251309A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | コンデンサ内蔵形振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61251309A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53110059A (en) * | 1977-03-08 | 1978-09-26 | Seikosha Kk | Crystal oscillator |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP9251685A patent/JPS61251309A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53110059A (en) * | 1977-03-08 | 1978-09-26 | Seikosha Kk | Crystal oscillator |
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