JPS6125310B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6125310B2
JPS6125310B2 JP55070057A JP7005780A JPS6125310B2 JP S6125310 B2 JPS6125310 B2 JP S6125310B2 JP 55070057 A JP55070057 A JP 55070057A JP 7005780 A JP7005780 A JP 7005780A JP S6125310 B2 JPS6125310 B2 JP S6125310B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodes
slit
element substrate
combustion
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55070057A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56166462A (en
Inventor
Toshifumi Yamana
Mamoru Umemoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rinnai Corp
Original Assignee
Rinnai Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rinnai Corp filed Critical Rinnai Corp
Priority to JP7005780A priority Critical patent/JPS56166462A/ja
Publication of JPS56166462A publication Critical patent/JPS56166462A/ja
Publication of JPS6125310B2 publication Critical patent/JPS6125310B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
  • Regulation And Control Of Combustion (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ジルコニアその他の素子基板に表裏
両面の電極を形成して、酸欠時の不完全燃焼を検
知し得るようにした燃焼検知素子の製造方法に関
する。
本願出願人は、先にこの種素子として、例えば
第1図に示すように素子基板aにスリツトbと、
該スリツトbの両側に並設される表裏1対の電極
c,cの2組とを設け、1個の素子で2個の素子
を用いると同様の作動を得られるようにしたもの
を提案したが、この場合該素子は、先ず素子基板
aにスリツトbを形成した後、該スリツトbの両
側に2組の電極c,cを形成して製造されるを一
般としたもので、この方法によれば各組の電極
c,cをスリツトbに近接させると、電極c,c
の形成に際し電極材がスリツトb内に垂れこんで
表裏の電極c,cの短絡を生ずることがあるた
め、各組の電極c,cはスリツトbとの間に多少
とも間隙を存して形成するを一般とする。然し、
このものでは2組の電極c,c間の間隔が広くな
り、素子を例えば第2図示の如くバーナdに対設
したとき、バーナdに対する各組の電極c,cの
設置条件に差を生じ、燃焼排気が2組の電極c,
cに均等に接触せず、誤作動の原因となる不都合
を伴う。
本発明は、かかる不都合を解消すべく各組の電
極をスリツトに接する状態に形成して且つ表裏の
電極の短絡も生じないようにした素子の製造方法
を提供することをその目的とするもので、ジルコ
ニアその他の素子基板に、先ず表裏1対の電極を
少なくとも1組形成し、次いで該素子基板に該1
組の電極を一側と他側との少なくとも2組に分断
するスリツトを形成したことを特徴とする。
次いで本発明の実施例を別紙図面に付説明す
る。燃焼検知素子としては、素子基板をジルコニ
アその他の酸素イオン伝導性固体電解質で構成し
て、その表裏の電極間の雰囲気酸素濃度差に応じ
た起電力が発生されるようにした酸素濃淡電池素
子、或いは素子基板をチタニアその他の金属酸化
物半導体で構成して、その表裏の電極間の雰囲気
酸素濃度差に応じた抵抗変化が発生されるように
した抵抗変化素子が知られるが、本発明は何れの
素子にも適用される。
第3図及び第4図は本発明方法により得られた
燃焼検知素子の1例を示し、該素子は、上記した
酸素イオン伝導性固体電解質或は金属酸化物半導
体から成る素子基板1に、先端側のスリツト2
と、該スリツト2の両側にこれに接して並設され
る表裏1対の電極3,3の2組とを備え、更に該
各電極3の尾端から尾方にのびる各別の引出部4
を備える。
その製造方法は、先ず素子基板1を構成する原
料粉末に有機バインダーを混入して混練し、これ
を板状に成型して乾燥し生焼き或いは半焼き状態
の素子基板1を得る。
次いで該素子基板1の表裏両面にスリツト2の
形成予定位置の両側に跨るように白金その他の電
極材を印刷、塗布、蒸着等の手段により被着し
て、第5図及び第6図に示す如く表裏1対の電極
3,3を1組形成する。尚、この際同一の電極材
を用いて引出部4も形成しておく。
次いで、該形成予定位置にスリツト2を形成
し、該1組の電極3,3を一側と他側との2組に
分断し、而る後素子基板1を焼成して上記した燃
焼検知素子を得る。
尚、素子基板1を完全に焼成した後、これに電
極3,3を形成してスリツト2を形成するように
しても良いが、この場合はスリツト2の形成に際
し素子基板1に亀裂や破断を生じ易く注意を要す
る。
又、電極3,3を形成した後素子基板1を長時
間焼成すると、電極材が蒸散することがあるた
め、素子基板1は予め半焼き状態に用意しておく
ことが好ましい。
又、素子基板1は必ずしも1個毎に用意する必
要はなく、複数枚の素子基板1に切断されるシー
ト状の元基板を用意して、この元基板に各素子基
板1に対応する各1組の電極3,3を印刷その他
の手段で形成し次いで元基板を型枠状の切断刃等
で各素子基板1に切断し、同時にスリツト2を形
成するようにしても良い。
燃焼検知素子は、例えば第7図及び第8図に示
す如くバーナ5の燃焼面の前面に対設して使用す
るもので該バーナ5の不完全燃焼によれば燃焼面
に対向する各組の表面の電極3,3が前方に脹む
燃焼排気の流れに晒されて、外気に晒される裏面
の電極3,3との間に酸素濃度差を生じ、スリツ
ト2で分断される素子基板1の両側片1a,1a
において夫々酸素濃度差に応じた電気的変化が発
生され、この際一側片1aの一方の面の電極3に
連る引出部4と、他側片1aの他方の面の電極3
に連る引出部4とを接続しておけば、2個の素子
を直列接続した場合と同様の出力が得られる。
そして本発明方法により得られる素子は、素子
基板1に1組の電極3,3を形成した後これをス
リツト2で一側と他側との2組の電極3,3に分
断するため、2組の電極3,3は夫々スリツト2
に接して互に近接配置され、従つて燃焼排気の流
れに均等に晒されて、誤作動を生ずることがな
い。
第9図は素子基板1に備える2組の電極3,3
の尾端部から共通の引出部4を延出した燃焼検知
素子を示し、この場合も上記実施例と同様に素子
基板1に予め第10図に示す如く1組の電極3,
3を形成してからスリツト2を形成するが、この
場合スリツト2は電極3,3の尾端部を分断しな
い長さとし、表裏の引出部4,4間に2個の素子
を並列接続したと同様の出力が得られるようにす
る。
この様に本発明によるときは、素子基板に表裏
1対の電極を形成してからスリツトを形成して、
該電極を一側と他側との少なくとも2組に分断す
るようにしたので、各組の電極は夫々スリツトに
接して互に近接配置され、バーナの燃焼状態が互
に同一条件で検知されて、誤作動を生ずることが
なく、而もスリツトを形成してから電極を形成す
るものと異り、スリツトに電極材が垂れこんで電
極の短絡を生ずる虞れもない等の効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は先の提案の燃焼検知素子の正面図、第
2図はその使用状態の截断側面図、第3図は本発
明方法による燃焼検知素子の1例の正面図、第4
図は第3図の−線拡大截断面図、第5図はそ
のスリツト形成前の状態を示す正面図、第6図は
第5図の−線拡大截断面図、第7図及び第8
図はその使用状態を示す正面図と截断側面図、第
9図は本発明方法による燃焼検知素子の変形例の
正面図、第10図はそのスリツト形成前の状態を
示す正面図である。 1……素子基板、2……スリツト、3……電
極。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ジルコニアその他の素子基板に、先ず表裏1
    対の電極を少なくとも1組形成し、次いで該素子
    基板に該1組の電極を一側と他側との少なくとも
    2組に分断するスリツトを形成したことを特徴と
    する燃焼検知素子の製造方法。
JP7005780A 1980-05-28 1980-05-28 Manufacture of combustion detecting element Granted JPS56166462A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7005780A JPS56166462A (en) 1980-05-28 1980-05-28 Manufacture of combustion detecting element

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7005780A JPS56166462A (en) 1980-05-28 1980-05-28 Manufacture of combustion detecting element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS56166462A JPS56166462A (en) 1981-12-21
JPS6125310B2 true JPS6125310B2 (ja) 1986-06-14

Family

ID=13420533

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7005780A Granted JPS56166462A (en) 1980-05-28 1980-05-28 Manufacture of combustion detecting element

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS56166462A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0873012A (ja) * 1994-09-06 1996-03-19 N K K Plant Kensetsu Kk 長尺物保管装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0873012A (ja) * 1994-09-06 1996-03-19 N K K Plant Kensetsu Kk 長尺物保管装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56166462A (en) 1981-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960011154B1 (ko) SiC 박막더어미스터 및 그 제조방법
JP3183348B2 (ja) ガス混合物のラムダ値の測定のための平坦なポラログラフィーゾンデ
US10697920B2 (en) Gas sensor
CN103782162B (zh) 颗粒物传感器及颗粒物传感器的制造方法
JP6425960B2 (ja) 積層型のガスセンサ素子、ガスセンサ、及びその製造方法
KR100446264B1 (ko) 전기화학적측정센서및전기화학적측정센서의제조방법
KR20080040670A (ko) 다층 세라믹 NOx 가스 센서 장치
CN108700546B (zh) 气体传感器元件及其制造方法
US7316767B2 (en) Gas sensing element
WO2020137180A1 (ja) ガスセンサ素子及びガスセンサ
KR101652981B1 (ko) 입자상 물질 센서
JPS601546A (ja) スモーク濃度センサ
US11243157B2 (en) Soot sensor and method for producing a soot sensor
US10495521B2 (en) Sensor substrate and sensor apparatus
KR102380365B1 (ko) 측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 입자를 검출하는 센서 소자
JPH02147853A (ja) 気体濃度検出用センサ
JP2018146404A (ja) 温度センサ素子
JP2000180403A (ja) 電子化学式測定センサ
JPS6136927Y2 (ja)
JPS6237164Y2 (ja)
US10914668B2 (en) Sensor for detecting particles
JPH09196884A (ja) 加熱式積層型酸素センサ
JPH05126788A (ja) 酸素濃度センサ
KR101761185B1 (ko) 입자상 물질 센서
JPH03133103A (ja) 間接摺動型印刷抵抗素子