JPS61259793A - 超音波洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 〔発明の目的〕 本発明は超音波振動で洗浄を行う超音波洗浄装置に関す
るものである。

（従来の技術） 従来の此種装置は、第弘、ｊ図に示すように、洗浄槽Ａ
の底板である輻射板Ｂをステンレス、チタン合金、ハス
テロイ、タンタル等の金属で形成し、この輻射板ＢにＰ
ＺＴやフェライト等の異種材料で形成した超音波振動子
Ｃ，Ｃ，−−一を多数接着して超音波を照射するように
なっていた。

又、第を図に示すように、金属を侵蝕するような薬液り
を使用する際には薬液槽Ｅを別体に設け、洗浄槽Ａの水
Ｆ中に薬液槽Ｅを挿入するいわゆる２電槽を用いていた
。

（発明が解決しようとする問題点） 前者は、超音波振動子Ｃの接着強度や膨張係数の差等に
より振動子が脱落するようなことがあった。又、振動子
と振動子との間に隙間があるため、縦振動以外の振動モ
ードが輻射板に表われたり、液体中に放射される音場が
不均一になる。

又、輻射板の形状はほとんど平面で、自由な形状に形成
することは不可能であった。

又、金属と液体（主に水）との音速、密度には差が大き
く、いわゆる音響インピーダンスは不整合の状態であっ
た。

後者においては、コストが高くなり、洗浄力が低下する
という問題があった。

そこで、本発明においては洗浄槽自体で超音波振動させ
ることにより有効に洗浄を行うことができる超音波洗浄
装置を提供するのが目的である。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するだめの手段） 本発明における超音波洗浄装置は、高分子圧電材で洗浄
槽を形成し、その外周に少なくとも電圧を印加する一方
の電極を設けたものである。

（作　用） 本発明においては、電極に交流信号を印加することによ
り、電気信号の周波数に応じて横効果振動（電界の方向
と弾性波の伝播方向が直交している振動）を生じ、洗浄
槽を超音波振動させる。

（実施例） 本発明の第１実九例を第１図に基いて詳細に説明すると
、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル等の高分子
圧電材で、底／を平面で形成した洗浄槽２を設ける。そ
して、洗浄槽２の外周に金ｊＦ７４ＮＩで電極３を設け
、電極３の外周に高分子圧電材層弘を設け、その外周に
更に電極夕を設けたものである。

尚、電極３．ｊ′は、洗浄槽２及び高分子圧電材層≠に
真空蒸着等により形成する。

第１実施例は前記のように構成したもので、電極３．夕
に交流信号を印加することにより、電気信号の周波数に
応じて横効果振動（電界の方向と弾性波の伝播方向が直
交している振動）を生じ、高分子圧電ｋｍψ及び洗浄槽
コを直接超音波振動させ、洗浄液に超音波エネルギー照
射させる。

次に、第２実施例を第２図に基いて説明すると、本実施
例は洗浄槽２の底／を半球状に形成したもので、他は全
て第１実施例と同様なので、同一符号を付し説明を省略
する。

本実施例は、第２図において矢印で示すように、音響を
一点に集中させるようになっている。

次に、第３実施例は洗浄槽λの外周に電極３のみを設け
たもので、片方の電極ｊを省略し、洗浄液を（−）ＩＥ
極の作用をさせるものである。したがって、本実施例に
おいては、洗浄４ｖ２自体が振動子になって超音波振動
し、超音波エネルギーを洗浄液に照射することになる。

それ故、洗浄槽コの構造は簡単になるが、被洗浄物は導
電体に限定される。

〔発明の効果〕

本発明においては、洗浄−１１１２全体が輻射板として
縦振動し、音場や振動モードのバラツキがなくなる。又
、高分子圧電材は液体とのインピーダンスが近いため、
整合がとれている。

゛・□”　　　　　又、高分子圧電材は、加工性が良好
なので、円弧状や球状或は被洗浄物に適合させて自由な
形状に成型することができる。

又、高分子圧電材は、耐楽性が良好なので、直接薬液を
入れ、洗浄を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る超音波洗浄装置の第１実施例の断
面図、第２図は第２実施例の断面図、第３図は第３実施
例の断面図、第μ図は従来の一例を示す断面図、第５図
はその底面図、第６図は他の従来例の断面図を夫々示す
。 ２・・・洗浄槽、３・・・電極

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子圧電材で洗浄槽を形成し、その外周に少なくとも
   電圧を印加する一方の電極を設けたことを特徴とする超
   音波洗浄装置。