JPH0334317Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0334317Y2 JPH0334317Y2 JP1985099616U JP9961685U JPH0334317Y2 JP H0334317 Y2 JPH0334317 Y2 JP H0334317Y2 JP 1985099616 U JP1985099616 U JP 1985099616U JP 9961685 U JP9961685 U JP 9961685U JP H0334317 Y2 JPH0334317 Y2 JP H0334317Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaped electrodes
- cleaning tank
- rod
- shaped
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、洗浄力を強化した超音波洗浄機に関
するものである。
するものである。
従来技術
従来、超音波洗浄機として、洗浄槽の底部に圧
電基板が設けられ、この圧電基板に発振器が接続
され、また洗浄槽に水や洗浄液を入れ、発振器を
駆動させると、圧電基板から超音波が発生し、洗
浄槽に入れた被洗浄物を超音波によつて洗浄する
ようにしたものが提案されている。
電基板が設けられ、この圧電基板に発振器が接続
され、また洗浄槽に水や洗浄液を入れ、発振器を
駆動させると、圧電基板から超音波が発生し、洗
浄槽に入れた被洗浄物を超音波によつて洗浄する
ようにしたものが提案されている。
考案が解決しようとする問題点
このように構成された従来の超音波洗浄機で
は、圧電基板から発生する超音波は基板から細い
ビームとなつて放射されるので、被洗浄物体が複
雑な形状をしている場合は隅々まで超音波が届か
ず、洗浄ムラができるという欠点があつた。
は、圧電基板から発生する超音波は基板から細い
ビームとなつて放射されるので、被洗浄物体が複
雑な形状をしている場合は隅々まで超音波が届か
ず、洗浄ムラができるという欠点があつた。
問題点を解決するための手段
本考案は、上記問題点を解決するために、洗浄
槽の底部または洗浄槽全体を圧電基板で構成し、
上記洗浄槽の底部及び／または洗浄槽全体に複数
の棒状電極またはコ字状電極及び櫛型電極を形成
し、これらの棒状電極またはコ字状電極と櫛型電
極の間に可変周波数発振器を接続したことを特徴
とする。
槽の底部または洗浄槽全体を圧電基板で構成し、
上記洗浄槽の底部及び／または洗浄槽全体に複数
の棒状電極またはコ字状電極及び櫛型電極を形成
し、これらの棒状電極またはコ字状電極と櫛型電
極の間に可変周波数発振器を接続したことを特徴
とする。
作 用
本考案は、底部及び／または洗浄槽全体の圧電
基板に設けられた複数の棒状電極またはコ字状電
極と櫛型電極に可変周波数信号を供給して発生し
た超音波ビームを振らせることにより、洗浄ムラ
がなくなり、また周波数を可変とすることにより
洗浄槽内で固定した定在波がなくなり、さらに洗
浄槽全体を圧電基板となるセラミツクで作ること
により洗浄槽が耐蝕性及び耐薬品性を有してコン
パクトになり、また高周波化による洗浄能力が向
上するという利点がある。
基板に設けられた複数の棒状電極またはコ字状電
極と櫛型電極に可変周波数信号を供給して発生し
た超音波ビームを振らせることにより、洗浄ムラ
がなくなり、また周波数を可変とすることにより
洗浄槽内で固定した定在波がなくなり、さらに洗
浄槽全体を圧電基板となるセラミツクで作ること
により洗浄槽が耐蝕性及び耐薬品性を有してコン
パクトになり、また高周波化による洗浄能力が向
上するという利点がある。
実施例
第１図は、本考案の原理を説明するための図
で、圧電基板１の上に棒状電極２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄが平行に配置され、この棒状電極２ａ，
２ｂ，２ｃ，２ｄに端子３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
が接続されている。またこの棒状電極２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄの間に電極４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄが配置され、この電極４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ
の一端の共通電極５が接続されて櫛型電極が構成
され、この共通電極５はアースされている。そし
て、端子３ａと３ｂ及び３ｃと３ｄを対にした端
子Ta，Tbから所定の周波数の電気信号を供給す
ると、第２図に示すように液体と固体の境界に沿
つた表面から音波が発生する。この角度θは、 θ＝sin1Vc／df＝sin1λf／ｄ で与えられる。但し、ｄは電極４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ……の間隔、Vcは液体中の音波の伝搬
速度、λfは周波数での音波の波長である。な
お、第２図において、表面音波は100MH以下で
は「ラム波」であり、それ以上の高周波では「レ
イリー波」が有効であるが、洗浄機にはラム波を
使用する。
で、圧電基板１の上に棒状電極２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄが平行に配置され、この棒状電極２ａ，
２ｂ，２ｃ，２ｄに端子３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
が接続されている。またこの棒状電極２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄの間に電極４ａ，４ｂ，４ｃ，４
ｄが配置され、この電極４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ
の一端の共通電極５が接続されて櫛型電極が構成
され、この共通電極５はアースされている。そし
て、端子３ａと３ｂ及び３ｃと３ｄを対にした端
子Ta，Tbから所定の周波数の電気信号を供給す
ると、第２図に示すように液体と固体の境界に沿
つた表面から音波が発生する。この角度θは、 θ＝sin1Vc／df＝sin1λf／ｄ で与えられる。但し、ｄは電極４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ……の間隔、Vcは液体中の音波の伝搬
速度、λfは周波数での音波の波長である。な
お、第２図において、表面音波は100MH以下で
は「ラム波」であり、それ以上の高周波では「レ
イリー波」が有効であるが、洗浄機にはラム波を
使用する。
第３図は、本考案の１実施例の超音波洗浄機の
断面図を示したもので、洗浄槽９は底部に圧電セ
ラミツク基板１０が設けられ、この圧電セラミツ
ク基板１０にの洗浄液１１が接触しない面に第１
図に示した複数の棒状電極１２及び櫛型電極１３
が形成され、この棒状電極１２と櫛型電極１３に
可変周波数発振器１４が接続されている。
断面図を示したもので、洗浄槽９は底部に圧電セ
ラミツク基板１０が設けられ、この圧電セラミツ
ク基板１０にの洗浄液１１が接触しない面に第１
図に示した複数の棒状電極１２及び櫛型電極１３
が形成され、この棒状電極１２と櫛型電極１３に
可変周波数発振器１４が接続されている。
このように構成された本実施例の超音波洗浄機
では、棒状電極１２及び櫛型電極１３に可変周波
数発振器１４から可変周波数の電力を供給する
と、洗浄液１１内に表面弾性波（ラム波）である
音波が発生するが、この音波は上記式で示したよ
うに発生角度が変わるので、洗浄液１１内に入れ
た被洗浄物が複雑な構造であつても隅々まで音波
が到達するので、洗浄ムラがなくなるという利点
がある。また従来の超音波洗浄機では低周波の超
音波が発生するが、本実施例では高周波の超音波
であり、この高周波化により洗浄能力が向上す
る。
では、棒状電極１２及び櫛型電極１３に可変周波
数発振器１４から可変周波数の電力を供給する
と、洗浄液１１内に表面弾性波（ラム波）である
音波が発生するが、この音波は上記式で示したよ
うに発生角度が変わるので、洗浄液１１内に入れ
た被洗浄物が複雑な構造であつても隅々まで音波
が到達するので、洗浄ムラがなくなるという利点
がある。また従来の超音波洗浄機では低周波の超
音波が発生するが、本実施例では高周波の超音波
であり、この高周波化により洗浄能力が向上す
る。
なお、上記実施例では、洗浄槽９の底部に圧電
セラミツク基板１０を設けたが、洗浄槽９全体を
圧電セラミツクで構成してもよい。その場合は、
洗浄槽９の底面ばかりでなく、側面にも棒状電極
１２及び櫛型電極１３を設けることができるの
で、あらゆる角度の音波が発生し、洗浄ムラがな
くなるという利点がある。また洗浄槽９全体を圧
電セラミツクで構成することにより、洗浄槽９が
耐蝕性、耐薬品性を有し、またコンパクトになる
という利点がある。また、上記実施例では、棒状
電棒を使用したが、この棒状電極の一端を接続し
たコ字状電極とすることもできる。
セラミツク基板１０を設けたが、洗浄槽９全体を
圧電セラミツクで構成してもよい。その場合は、
洗浄槽９の底面ばかりでなく、側面にも棒状電極
１２及び櫛型電極１３を設けることができるの
で、あらゆる角度の音波が発生し、洗浄ムラがな
くなるという利点がある。また洗浄槽９全体を圧
電セラミツクで構成することにより、洗浄槽９が
耐蝕性、耐薬品性を有し、またコンパクトになる
という利点がある。また、上記実施例では、棒状
電棒を使用したが、この棒状電極の一端を接続し
たコ字状電極とすることもできる。
考案の効果
以上の説明から明らかなように、本考案は、洗
浄槽の底部または洗浄槽全体を圧電セラミツクで
構成し、この圧電セラミツクに設けられた複数の
棒状電極またはコ字状電極と櫛型電極に可変周波
数信号を供給して発生した超音波ビームを振らせ
ることにより、洗浄ムラがなくなり、また周波数
を可変とすることにより洗浄槽内で固定した定在
波がなくなり、さらに洗浄槽全体を圧電セラミツ
クで作ることにより洗浄槽が耐蝕性及び耐薬品性
を有してコンパクトになり、また高周波化による
洗浄能力が向上するという利点がある。
浄槽の底部または洗浄槽全体を圧電セラミツクで
構成し、この圧電セラミツクに設けられた複数の
棒状電極またはコ字状電極と櫛型電極に可変周波
数信号を供給して発生した超音波ビームを振らせ
ることにより、洗浄ムラがなくなり、また周波数
を可変とすることにより洗浄槽内で固定した定在
波がなくなり、さらに洗浄槽全体を圧電セラミツ
クで作ることにより洗浄槽が耐蝕性及び耐薬品性
を有してコンパクトになり、また高周波化による
洗浄能力が向上するという利点がある。
第１図は本考案の原理を説明するための構成
図、第２図は第１図の構成により音波を発生する
ための説明図、第３図は本考案の第１実施例の超
音波洗浄機の断面図である。 １……圧電基板、９……洗浄槽、１０……圧電
セラミツク基板、１１……洗浄液、１２……棒状
電極、１３……櫛型電極、１４……可変周波数発
振器。
図、第２図は第１図の構成により音波を発生する
ための説明図、第３図は本考案の第１実施例の超
音波洗浄機の断面図である。 １……圧電基板、９……洗浄槽、１０……圧電
セラミツク基板、１１……洗浄液、１２……棒状
電極、１３……櫛型電極、１４……可変周波数発
振器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 洗浄槽の底部または洗浄槽全体を圧電基板で
構成し、上記洗浄槽の底部及び／または洗浄槽
全体に複数の棒状電極またはコ字状電極及び櫛
型電極を形成し、これらの棒状電極またはコ字
状電極と櫛型電極の間に可変周波数発振器を接
続して棒状電極またはコ字状電極と櫛型電極に
よつて発生する表面弾性波（ラム波）を使うこ
とを特徴とする超音波洗浄機。 ２ 上記棒状電極またはコ字状電極及び櫛型電極
は上記洗浄槽の外面に設けられたことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の超音
波洗浄機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985099616U JPH0334317Y2 (ja) | 1985-06-30 | 1985-06-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985099616U JPH0334317Y2 (ja) | 1985-06-30 | 1985-06-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6210090U JPS6210090U (ja) | 1987-01-21 |
| JPH0334317Y2 true JPH0334317Y2 (ja) | 1991-07-19 |
Family
ID=30968658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985099616U Expired JPH0334317Y2 (ja) | 1985-06-30 | 1985-06-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334317Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7133944B2 (ja) * | 2018-03-01 | 2022-09-09 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 超音波洗浄装置、洗浄方法および振動子 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56102977A (en) * | 1980-01-19 | 1981-08-17 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Ultrasonic washer |
| JPS56141888A (en) * | 1980-04-09 | 1981-11-05 | Shimada Rika Kogyo Kk | Ultrasonic washing device |
| JPS5842968A (ja) * | 1981-09-07 | 1983-03-12 | Hitachi Ltd | 超音波探触子 |
| JPS60111387A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Hitachi Ltd | 磁気バブルメモリ素子 |
-
1985
- 1985-06-30 JP JP1985099616U patent/JPH0334317Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6210090U (ja) | 1987-01-21 |
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