JPS61265219A - 基板位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、真空吸着ヘッドを設けたテーブルの上に、２
枚の同種の配線基板を載置して、上記２枚の配線基板に
設けられている双方のパターンが平行となるように該基
板を位置決めする方法に関するものである。

〔発明の背景〕

上に述べた位置決め操作は、例えば配線基板の比較検査
などに用いられる。

第５図はこの種の比較検査の説明図である。

テーブルｌの上面には真空吸着ベア　Ｆ’２ｍ、　２ｂ
が設けられている。即ち、破線で示した２つの区域２ｍ
、　２ｂｌＣはそれぞれ多数の小穴が配列されていて、
それぞれ開閉弁（図示せず）を介して真空？ンデ（図示
せず）に接続されている。

上記の２個の真空吸着ベッド２ｍ、　２ｂの上にそれぞ
れ配線基板３ｍ、　３ｂが載置される。鎖線で示した３
ａ−ｘ、３ｂ−ｒは、それぞれの基板３ｍ、　３ｂｌＣ
設けられた配線・リーンを表わしている。

双方の配線ノ４ターン３ａ−＋　、　３ｂ−＋はＴＶ左
カメラ図示せず）で撮像され、モニタ４の画面に重ね合
わせて写し出される。

上記のように双方の配線・ぐターフ３ｍ−１，３ｂ−１
をモニタ４の画面上で重ね合わせるには、双方の配線・
母ターン３ｍ−１，３ｂ−ｘが互いに平行に載置されて
いることが必要である。

上記の配線・やターンが平行に載置されると、前記の真
空吸着ベッド２ｍ、　２ｂＫよって２枚の配線基板３ｍ
、　３ｂがテーブル１上に吸着保持され、自動装置（図
示せず）によって比較検査が行われる。

上に説明したように１自動装置による比較検査を行うに
は、その準備工程として双方の配線基板３ｍ、　３ｂの
配線ノ苧ターン３ａ−１，３ｂ−１を手動操作で平行に
揃えなければならない。

ここに、配線基板３ｍ、　３ｂの周囲の縁と、配線・ぐ
ターン３ａ−１，３ｂ−ｔとは必ずしも平行に製造され
ていないので、第５図に例示したように２枚の配線基板
３ｍ、　３ｂを平行く並べても、それぞれの配線ノｆタ
ーン３ａ−ｔ　、　３ｂ−ｔは必ずしも平行にならない
。（ただし、本第５図は説明および脱色の便宜のために
、配線・ぐターフ　３ａ−１，３ｂ−ｘの平行度狂いを
誇張して描いである）。

第５図に大文字で示した直交座標Ｘ、Ｙはテーブル１の
座標を表わしている。また、小文字で示した直交座標”
＋ｒｙ、は配線・ぐターン３ａ−ｔの座標を表わし、”
ｌ＋）’！は配線・母ターン３ｂ−１の座標を表わして
いる。

第６図は、前記双方の配線パターン３ト１の座標ｘｌ＋
７１と、配線・量ターン３ｂ−１の座標Ｘ＊ｒＶｔとの
重ね合わせ状態の説明図である。

双方の座標の原点はＹ軸方向にΔＹだけズしているが、
このズレは映像信号の演算処理によって比較的容易に補
正できるので実害は無い。

ところが、双方の座標が角Δθだけ回動方向に偏ってい
ることは演算処理で補正することが困難である。このた
め、第５図において何れか一方の配線基板（例えば３ｍ
）を真空吸着しておいて、他方の配線基板（例えばａｂ
）を回動力向に手動で調節し、モニタ４の画面に映し出
された双方の・母ターンが重なり合うようにしなければ
ならない。この調節は極めて微小な角度を高精度で合わ
さなければならないので、高度の熟練と多大の時間とを
必要とする。

〔発明の目的〕

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、真空吸着
ベッドを設けたチーゾルの上に、２枚の同種の配線基板
を載置して、上記２枚の配線基板に設けられている双方
のノＪ？ターンが平行となるように該基板を位置決めす
る場合、格別の熟練を要せずに、迅速かつ容易に前記双
方の・量ターンを平行に揃えることのできる位置決め方
法を提供しようとするものである。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成するため、本発明の方法は、前記の基
板に予め位置決めビン孔を設けておき、前記吸着ベッド
の真空吸着孔の少なくとも何れか１個に位置決めピンを
嵌合して植設し、上記の位置決めピンに対して前記の位
置決めビン孔を嵌合して２枚の基板の内の少なくとも何
れか一方を回動可能に支承し、該基板を位置決めピンの
回りに回動させて前記双方のパターンを平行ならしめて
、２枚の基板を真空吸着によりテーブルに対して固定的
に保持することを特徴とする。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の位置決め方法の実施例について、第１図
乃至第４図を順次に参照しつつ説明する。

第１図は、第５図で説明した従来技術の位置合わせ方法
に本発明を適用して位置合わせを行っている状態の説明
図である。本第１図において第５図におけると同一の図
面参照番号を付した部材は従来における位置合わせ用装
置の構成部材と同様乃至は類似の部材である。

相互に位置合わせすべき配線基板３ｍ、　３ｂの、少な
くとも何れか一方に位置決めビン孔５ａを設けておく、
本実施例においては双方の配線基板３ｍ、　３ｂのそれ
ぞれに、同じ位置に位置決めビン孔５ａを設けである。

第２図は上記の位置決めピン孔５ａ付近の拡大断面を描
いた説明図である。

１は前述のテーブルである。２ａはテーブルｌの上に設
けた真空吸着ベッドで、多数の吸着孔６゜６、・・・が
設けられている。

上記の吸着孔６に嵌合する位置決めピン７ａを設けて、
その上端を吸着ベッド２ｍの上面から突出させる。

一方、配線基板３ａに設けた位置決めビン孔５ａ（第１
図について既述）は、上記の位置決めピン７ａｌＣ対し
て摺動自在に嵌合するように構成しである。

第２図は真空吸着ベッド２ａと配線基板３ａとを位置決
めピン７ａｌＣよって回動自在に連結した状態を示した
が、真空吸着ペッド２ｂと配線基板３ｂとも、本第２図
と同様にして位置決めピン７ａを介して回動自在に連結
する。

以上のように準備を整え、第１図に示したｈ枚の配線基
板の何れか一方（例えば３ｂ）を真空吸着してチーゾル
１の座標Ｘ−ＹＫ対して固定し、この状態で他方の配線
基板（この例では３ｍ）を指先で往復矢印Ｒ方向に回し
ながらモニタ４の画面上で２つの・リーン儂が重なり合
う位置を求め、重なったところで真空吸着ペッド２ａに
よって配線基板３ａを吸着固定して次工程（自動装置に
よる双方の／ンターｙ　３ｍ−１，３ｂ−ｔの比較検査
）Ｋ進む。

上記の操作において配線基板３息が位置決めピン７ａに
よってＸ軸方向、Ｙ軸方向の移動を係止され、θ方向の
回動のみを許容されているので、平行を合わせるように
往復矢印Ｒの操作（ただし、実際の操作は図示の矢印Ｒ
の如く大きい角度ではなく微小角の精密操作である。本
図の往復矢印は角度の大きさを意味するものではなく、
回動の方向のみを表わしている）をすることが容易であ
る。

第１図について以上に説明した実施例においては、配線
基板３ｍ、　３ｂの１辺の中央付近に位置決めビン孔５
ａを設けたが、本発明方法を実施する場合、配線基板３
ｍ、　３ｂの隔の部分に位置決めビン孔（仮想線で示す
）５ｂ、又は同５ｃを設けても良い。

第３図は前記と異なる実施例の説明図である。

例えば配線基板３ａＫ既設のビン孔５ｍ’が有って、こ
のビン孔５ｍ’の径が真空吸着ペッド２ａの吸着孔６の
径よシも大きい場合、本第３図に示す位置決めピン７ｍ
’のように、小径の吸着孔６に嵌合する部分と大径のビ
ン孔５ｍ’に嵌合する部分とを設けた段付軸状の位置決
めピン７ｍ’を構成して前例（第１図及び第２図）と同
様に操作すれば前例と同様の作用。

効果が得られる。

また、第４図に示すように吸着孔６の径に比してビン孔
５ａが小さいときは、同図に示すような段付軸状の位置
決め一ン７ａを構成して前記と同様に操作すれば良い。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明の位置決め方法によれば格
別の熟練を要しないで２枚の配線基板にそれぞれ設けら
れた配線ノターンを迅速かつ容易に平行に揃えることが
できるという優れた実用的効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の１実施例を示す説明図、第２図は
上記の実施例における位置決めピン付近の拡大断面図で
ある。第３図及び第４図はそれぞれ上記と異なる実施例
における位置決めピン付近の拡大断面図である。 第５図及び第６図は基板の位置決め操作における問題点
の説明図である。 １・・・テーブル、２ａ、　２ｂ・・・真空吸着ペッド
、３ａ。 ３ｂ・・・配線基板、３ａ−ｔ　、　３ｂ−１・・・配
線ノぐターン、５ｍ。 ５ｂ、　５ｅ・・・位置決めビン孔、６・・・吸着孔、
７ａ・・・位置決めピン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　真空吸着ベッドを設けたテーブルの上に、２枚の同種
   の配線基板を載置して、上記２枚の配線基板に設けられ
   ている双方のパターンが平行となるように該基板を位置
   決めする方法において、前記の基板に予め位置決めピン
   孔を設けておき、前記吸着ベッドの真空吸着孔の少なく
   とも何れか１個に位置決めピンを嵌合して植設し、上記
   の位置決めピンに対して前記の位置決めピン孔を嵌合し
   て２枚の基板の内の少なくとも何れか一方を回動可能に
   支承し、該基板を位置決めピンの回りに回動させて前記
   双方のパターンを平行ならしめて、２枚の基板を真空吸
   着によりテーブルに対して固定的に保持することを特徴
   とする基板位置決め方法。