JPS61267611A - 円板状部材の保持装置 - Google Patents
円板状部材の保持装置Info
- Publication number
- JPS61267611A JPS61267611A JP10598885A JP10598885A JPS61267611A JP S61267611 A JPS61267611 A JP S61267611A JP 10598885 A JP10598885 A JP 10598885A JP 10598885 A JP10598885 A JP 10598885A JP S61267611 A JPS61267611 A JP S61267611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disc
- pair
- shaped member
- slide bases
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Special Conveying (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、円板状の被搬送部材を１時的に保持する装置
に係シ、特に、別設の調節を要しないで径の異なる円板
状の被搬送部材を保持し得るように創作した保持装置に
関するものである。
に係シ、特に、別設の調節を要しないで径の異なる円板
状の被搬送部材を保持し得るように創作した保持装置に
関するものである。
例えば磁気ディスクの製造工程などの如く、中心孔を有
する円板状の部材をスピンドルで保持して搬送する場合
、該円板状の被搬送部材を１時的に保持しなければなら
ない場合が有る。
する円板状の部材をスピンドルで保持して搬送する場合
、該円板状の被搬送部材を１時的に保持しなければなら
ない場合が有る。
第３図は１時的に保持する必要性の説明図である。
スピンドル（イ）ｉａの先端に設けた吸着手段によって
円板状部材２を保持した状態において、図示の面２ｒは
加工や検査が容易であるが、その反対側の面２Ｉｔは加
工や検査が困難であるため、これをスピンドルＱ３）ｌ
ｂによシ、仮想線で示した２′の如く保持し直さねばな
らない。
円板状部材２を保持した状態において、図示の面２ｒは
加工や検査が容易であるが、その反対側の面２Ｉｔは加
工や検査が困難であるため、これをスピンドルＱ３）ｌ
ｂによシ、仮想線で示した２′の如く保持し直さねばな
らない。
第４図は上記の保持変換操作の説明図である。
円板状部材２を保持しているスピンドル（Ａ） ｌ ａ
を矢印Ｃの如く前進させ、該円板状部材２を１時保持手
段３によって２１位置に保持せしめた後、スピンドル（
Ａ） ｌ ａは矢印ｄ方向に後退させる。
を矢印Ｃの如く前進させ、該円板状部材２を１時保持手
段３によって２１位置に保持せしめた後、スピンドル（
Ａ） ｌ ａは矢印ｄ方向に後退させる。
次いでスピンドル［Ｆ］）１ｂを矢印ｅの如く前進せし
め、２′位置の円板状部材を吸着保持して矢印ｆの如く
後退させる。
め、２′位置の円板状部材を吸着保持して矢印ｆの如く
後退させる。
こうした操作のため、円板状の被搬送物を１時的に、垂
直姿勢に保持する必要が有る。しかも、この円板状部材
を１時的に保持する手段３は、（１）円板状部材の表面
にも裏面にも触れないこと、（Ｉｌｌ 径を異にする
複数種類の円板状部材に対して別設の調節を要せずに適
合し得ること、が望まれる。
直姿勢に保持する必要が有る。しかも、この円板状部材
を１時的に保持する手段３は、（１）円板状部材の表面
にも裏面にも触れないこと、（Ｉｌｌ 径を異にする
複数種類の円板状部材に対して別設の調節を要せずに適
合し得ること、が望まれる。
本発明は上述の要請に応えるべく為されたもので、円板
状の被搬送部材の表面にも裏面にも触れることなく１時
的に保持することができ、しかも該円板状部材の径が変
化しても直ちに順応することのできる保持装置を提供し
ようとするものである。
状の被搬送部材の表面にも裏面にも触れることなく１時
的に保持することができ、しかも該円板状部材の径が変
化しても直ちに順応することのできる保持装置を提供し
ようとするものである。
上記の目的を達成するため、本発明の円板保持装置は、
垂直に設置したガイド部材と、上記のガイド部材に案内
される上下１対のスライドベースと、上記１対のスライ
ドベースの内の上方のスライドベースに軸支した１個の
■溝ローラと、前記１対のスライドベースの内の下方の
スライドベースに軸支した２個のＶ溝ローラと、前記１
対のスライドベースを相互に接近せしめる方向に付勢す
るスプリング手段と、前記下方のスライドベースの上下
動をロックする手段と、前記１対のスライドベースを相
互に離間せしめる方向に駆動するシリンダ手段とを備え
、かつ、前記３個のＶ溝ローラはその中心軸を平行なら
しめて同一平面に沿って配設し、これら３個のＶ溝ロー
ラの溝底部によって前記円板状の被搬送部材を挾持し得
るように構成したことを特徴とする。
垂直に設置したガイド部材と、上記のガイド部材に案内
される上下１対のスライドベースと、上記１対のスライ
ドベースの内の上方のスライドベースに軸支した１個の
■溝ローラと、前記１対のスライドベースの内の下方の
スライドベースに軸支した２個のＶ溝ローラと、前記１
対のスライドベースを相互に接近せしめる方向に付勢す
るスプリング手段と、前記下方のスライドベースの上下
動をロックする手段と、前記１対のスライドベースを相
互に離間せしめる方向に駆動するシリンダ手段とを備え
、かつ、前記３個のＶ溝ローラはその中心軸を平行なら
しめて同一平面に沿って配設し、これら３個のＶ溝ロー
ラの溝底部によって前記円板状の被搬送部材を挾持し得
るように構成したことを特徴とする。
次に１本発明の１実施例を第１図及び第２図について説
明する。
明する。
第１図は本発明の１実施例を示す部分的断面図、第２図
は第１図のｉ−ｍ断面図である。
は第１図のｉ−ｍ断面図である。
第２図に示したｘ−ｘ’は、円板状被搬送物２を保持ス
るスピンドル（本図において図示せず、第３図及び第４
図に示したｌａ、 ｌｂ ）の中心軸である。
るスピンドル（本図において図示せず、第３図及び第４
図に示したｌａ、 ｌｂ ）の中心軸である。
第１図に示した軸Ｙ−Ｙ’と軸Ｙ−Ｙ’の交点０に対し
て軸ｘ−ｘ’は垂直である。即ち、第１図において軸ｘ
−ｘ’は点Ｏを通シ、紙面に垂直である。
て軸ｘ−ｘ’は垂直である。即ち、第１図において軸ｘ
−ｘ’は点Ｏを通シ、紙面に垂直である。
軸ｘ−ｘ’に対して垂直に、ガイド柱４を設置する。本
発明を実施する際、スピンドルの中心軸Ｘ−Ｘ′を水平
に設置すると共にガイド部材（本例におけるガイド柱４
）を地球に対して鉛直に設置すると好都合であるが、ス
ピンドルとガイド部材との垂直を保ったままで、これら
の部材を第１図の状態に比して回動させて設置しても良
い。本発明において、上方、下方とは、ガイド部材を地
球に対して鉛直に設置した場合の方向を表わす語である
。
発明を実施する際、スピンドルの中心軸Ｘ−Ｘ′を水平
に設置すると共にガイド部材（本例におけるガイド柱４
）を地球に対して鉛直に設置すると好都合であるが、ス
ピンドルとガイド部材との垂直を保ったままで、これら
の部材を第１図の状態に比して回動させて設置しても良
い。本発明において、上方、下方とは、ガイド部材を地
球に対して鉛直に設置した場合の方向を表わす語である
。
前記のガイド部材４によって、上下１対のスライドベー
ス５ａ、５ｂを摺動自在に支承する。
ス５ａ、５ｂを摺動自在に支承する。
上記のスライドベース５ ａ ＋ ５ ｂには、それぞ
れローラ支承アーム５ａ−１，５ｂ−１，および駆動ア
ーム５ａ−２，５ｂ−２を固着しテアル。
れローラ支承アーム５ａ−１，５ｂ−１，および駆動ア
ーム５ａ−２，５ｂ−２を固着しテアル。
前記のローラ支承アーム５ａ−１によシｖ溝ローラ６ａ
を軸支し、ローラ支承アーム５ｂ−１によ＃）■溝ロー
ラ５ｂ−１．同６ｂ−２を軸支する。詳しくは、これら
３個のローラはＸ軸方向の軸により、Ｙ−Ｚ平面に揃え
て軸支する。
を軸支し、ローラ支承アーム５ｂ−１によ＃）■溝ロー
ラ５ｂ−１．同６ｂ−２を軸支する。詳しくは、これら
３個のローラはＸ軸方向の軸により、Ｙ−Ｚ平面に揃え
て軸支する。
前記のガイド柱４にアーム４ａ、４ｂを固着し、前記の
アーム４ａとスライドベース５ａとの間にスプリング７
ａを圧縮介装すると共に、アーム４ｂとスライドベース
５ｂとの間にスプリング７ｂを圧縮介装して、双方のス
ライドベース５ａ、５ｂを相互に接近せしめる方向に付
勢する。
アーム４ａとスライドベース５ａとの間にスプリング７
ａを圧縮介装すると共に、アーム４ｂとスライドベース
５ｂとの間にスプリング７ｂを圧縮介装して、双方のス
ライドベース５ａ、５ｂを相互に接近せしめる方向に付
勢する。
シリンダ８ａはアーム５ａ−２を介してスライドベース
５ａを上方に駆動し得る構造であり、シリンダ８ｂハア
ーム５ｂ−２を介してスライドベース５ｂヲ下方に駆動
し得る構造である。本実施例はこのようにして１対のス
ライドベース５ａ、５ｂを相互に離間せしめる方向に駆
動するシリンダ手段を設けである。
５ａを上方に駆動し得る構造であり、シリンダ８ｂハア
ーム５ｂ−２を介してスライドベース５ｂヲ下方に駆動
し得る構造である。本実施例はこのようにして１対のス
ライドベース５ａ、５ｂを相互に離間せしめる方向に駆
動するシリンダ手段を設けである。
第１図に仮想線で示し、第２図に断面を示したように、
スライドベース５ｂの２軸方向摺動をロックする手段を
設ける。
スライドベース５ｂの２軸方向摺動をロックする手段を
設ける。
ブラケット９により、１対のシリンダ１０ａ、１０ｂを
アーム５ｂ−１を介して対向設置する。上記１対のシリ
ンダ１０ａ、１０ｂそれぞれのシリンダロッドの先端に
押圧パッドｌｌａ、ｌｌｂを固着し、双方のシリンＩＩ
” １０ａ 、 １０ｂを伸長させると１対の抑圧パッ
ド１１ａ。
アーム５ｂ−１を介して対向設置する。上記１対のシリ
ンダ１０ａ、１０ｂそれぞれのシリンダロッドの先端に
押圧パッドｌｌａ、ｌｌｂを固着し、双方のシリンＩＩ
” １０ａ 、 １０ｂを伸長させると１対の抑圧パッ
ド１１ａ。
１１ｂがアーム５ｂ−１を挟圧してその移動を制動する
ように構成する。
ように構成する。
本実施例の装置によって円板状部材２を１時的に保持す
るには、シリンダｆ３ａ、 ｇｂを収縮せしめてＶ溝ロ
ーラ６ａを上方に、■溝ローラ５ｂ−ｗ、 ５ｂ−ｚを
下方にそれぞれ駆動しておき、円板状部材２を図示の位
置に支承し、（第１図、第２図の位置に、スピンドル（
第３図、第４図）によって支承し）、シリンダ８ａ、ｇ
ｂを伸長させる。
るには、シリンダｆ３ａ、 ｇｂを収縮せしめてＶ溝ロ
ーラ６ａを上方に、■溝ローラ５ｂ−ｗ、 ５ｂ−ｚを
下方にそれぞれ駆動しておき、円板状部材２を図示の位
置に支承し、（第１図、第２図の位置に、スピンドル（
第３図、第４図）によって支承し）、シリンダ８ａ、ｇ
ｂを伸長させる。
すると、スライドベース５ａ、５ｂはそれぞれスプリン
グ７ａ、７ｂに付勢されて相互に接近し、これらのスラ
イドベースに軸支したＶ溝ローラ６ａと同５ｂ−１，５
ｂ−２によって円板状部材２を挾持する。
グ７ａ、７ｂに付勢されて相互に接近し、これらのスラ
イドベースに軸支したＶ溝ローラ６ａと同５ｂ−１，５
ｂ−２によって円板状部材２を挾持する。
上記のようにして円板状部材２を挾持すると、該円板状
部材２の径が若干変化しても３個のＶ＊フローラａ、
６ｂ−１，５ｂ−２が順応して当接挾持することができ
る。この状態で１対のシリンダ１０ａ。
部材２の径が若干変化しても３個のＶ＊フローラａ、
６ｂ−１，５ｂ−２が順応して当接挾持することができ
る。この状態で１対のシリンダ１０ａ。
１０ｂを伸長させてアーム５ｂ−１を挾持すると、スピ
ンドルによる円板状部材２の保持を解除しても、該円板
状部材２は図示の位置（第１図）に保持される。
ンドルによる円板状部材２の保持を解除しても、該円板
状部材２は図示の位置（第１図）に保持される。
スピンドルによる円板状部材２の支持を持ち変えた後、
１対のシリンダ１０ａｌｌＯｂ％及び、１対のシリンダ
８ａ、ｓｂを収縮させると、３個のＶ溝ローラ６ａ、
６ｂ−１，５ｂ−２が円板状部材２から離間して、その
保持を解除する。
１対のシリンダ１０ａｌｌＯｂ％及び、１対のシリンダ
８ａ、ｓｂを収縮させると、３個のＶ溝ローラ６ａ、
６ｂ−１，５ｂ−２が円板状部材２から離間して、その
保持を解除する。
以上詳述したように、本発明の保持装置によれば、円板
状の被搬送部材の表面にも裏面にも触れることなく１時
的に保持することができ、しかも該円板状部材の径が変
化しても直ちに順応することができるという優れた実用
的効果を奏する。
状の被搬送部材の表面にも裏面にも触れることなく１時
的に保持することができ、しかも該円板状部材の径が変
化しても直ちに順応することができるという優れた実用
的効果を奏する。
第１図は本発明の円板状部材保持装置の１実施例を示す
部分断面図、第２図は第１図のｌｌ−１断面図である。 第３図及び第４図は円板状部材の搬送方法の説明図であ
る。 ｌａ・・・スピンドル（至）、ｌｂ・・・スピンドル［
Ｆ］）、２…円板状被搬送物、３・・・１時保持手段、
４・・・ガイド柱、５ａ、５ｂ・−スライドベース、５
ａ−１，５ｂ−１−・−■溝ローラ支承用のアーム、
５ａ−２，５ｂ−２・・・駆動アー！、６ ａ、 ６ｂ
−ｘ 、 ５ｂ−２−・・Ｖ溝ローラ、７ａ１７ｂ・・
・スプリング、ｇａ、ｇｂ・・・シリンダ、９・・・ブ
ラケット、１０ａ、１０ｂ・・・シリンダ、ｌｌａ、
ｌｌｂ・・・抑圧パッド。 特 許 出 願 人 日立電子エンジニアリング株式会
社代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図 第２図 第３図
部分断面図、第２図は第１図のｌｌ−１断面図である。 第３図及び第４図は円板状部材の搬送方法の説明図であ
る。 ｌａ・・・スピンドル（至）、ｌｂ・・・スピンドル［
Ｆ］）、２…円板状被搬送物、３・・・１時保持手段、
４・・・ガイド柱、５ａ、５ｂ・−スライドベース、５
ａ−１，５ｂ−１−・−■溝ローラ支承用のアーム、
５ａ−２，５ｂ−２・・・駆動アー！、６ ａ、 ６ｂ
−ｘ 、 ５ｂ−２−・・Ｖ溝ローラ、７ａ１７ｂ・・
・スプリング、ｇａ、ｇｂ・・・シリンダ、９・・・ブ
ラケット、１０ａ、１０ｂ・・・シリンダ、ｌｌａ、
ｌｌｂ・・・抑圧パッド。 特 許 出 願 人 日立電子エンジニアリング株式会
社代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 円板状の被搬送部材を１時的に保持する装置において
、垂直に設置したガイド部材と、上記のガイド部材に案
内される上下１対のスライドベースと、上記１対のスラ
イドベースの内の上方のスライドベースに軸支した１個
のＶ溝ローラと、前記１対のスライドベースの内の下方
のスライドベースに軸支した２個のＶ溝ローラと、前記
１対のスライドベースを相互に接近せしめる方向に付勢
するスプリング手段と、前記下方のスライドベースの上
下動をロツクする手段と、前記１対のスライドベースを
相互に離間せしめる方向に駆動するシリンダ手段とを備
え、かつ、前記３個のＶ溝ローラはその中心軸を平行な
らしめて同一平面に沿つて配設し、これら３個のＶ溝ロ
ーラの溝底部によつて前記円板状の被搬送部材を挾持し
得るように構成したことを特徴とする円板状部材の保持
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10598885A JPS61267611A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 円板状部材の保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10598885A JPS61267611A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 円板状部材の保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61267611A true JPS61267611A (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=14422108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10598885A Pending JPS61267611A (ja) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | 円板状部材の保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61267611A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6652216B1 (en) | 1998-05-05 | 2003-11-25 | Recif, S.A. | Method and device for changing a semiconductor wafer position |
| US6961639B2 (en) | 2002-01-29 | 2005-11-01 | Recif, Societe Anonyme | Apparatus and process for identification of characters inscribed on a semiconductor wafer containing an orientation mark |
-
1985
- 1985-05-20 JP JP10598885A patent/JPS61267611A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6652216B1 (en) | 1998-05-05 | 2003-11-25 | Recif, S.A. | Method and device for changing a semiconductor wafer position |
| US7108476B2 (en) | 1998-05-05 | 2006-09-19 | Recif Technologies Sas | Method and device for changing a semiconductor wafer position |
| US6961639B2 (en) | 2002-01-29 | 2005-11-01 | Recif, Societe Anonyme | Apparatus and process for identification of characters inscribed on a semiconductor wafer containing an orientation mark |
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