JPS61267728A - 高速作動に好適な投光用光学装置 - Google Patents
高速作動に好適な投光用光学装置Info
- Publication number
- JPS61267728A JPS61267728A JP10932985A JP10932985A JPS61267728A JP S61267728 A JPS61267728 A JP S61267728A JP 10932985 A JP10932985 A JP 10932985A JP 10932985 A JP10932985 A JP 10932985A JP S61267728 A JPS61267728 A JP S61267728A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- vibrated
- scanner
- laser
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、被検査面にレーザー光を投光して走査する装
置に関するものである。
置に関するものである。
被検査面にレーザー光を投光し、その反射光若しくは透
過光を検出して被検査物の欠陥の有無を検出する技術は
、例えば半導体ウェハやマスク基板を検査する場合に広
く用いられている。
過光を検出して被検査物の欠陥の有無を検出する技術は
、例えば半導体ウェハやマスク基板を検査する場合に広
く用いられている。
第４図は前記のレーザー光走査におけるレーザースポッ
トＳの径φ１と走査ピッチ寸法ｐとの関係の説明図であ
る。
トＳの径φ１と走査ピッチ寸法ｐとの関係の説明図であ
る。
被検査面に直交２軸Ｘ−Ｘ’、Ｙ−Ｙ’を設定する。た
だし、本発明においてＸ軸をＹ軸とは置換可能である。
だし、本発明においてＸ軸をＹ軸とは置換可能である。
レーザースポットＳは矢印ａ、ｂ、ｃ、ｄの如く、Ｘ軸
方向に走査され、これと共に被検査物はＹ軸方向にピッ
チ寸法ｐで動かされ、被検査面の全面がレーザースポッ
トＳでカバーされる。
方向に走査され、これと共に被検査物はＹ軸方向にピッ
チ寸法ｐで動かされ、被検査面の全面がレーザースポッ
トＳでカバーされる。
上記のようにして被検査面を漏れなく検査するびφ、が
設定される。
設定される。
ここにおいて、検査能率を上げようとすると走査ピッチ
寸法を拡大することが有効である。しかし、走査ピッチ
寸法を大きくしてスポット径を大きくすると検査精度が
悪くなる。
寸法を拡大することが有効である。しかし、走査ピッチ
寸法を大きくしてスポット径を大きくすると検査精度が
悪くなる。
検査精度を上げるために第５図に示す如くレーザースポ
ットＳ′の径φ、をピッチ寸法ｐよりも小さくすると、
走査を受けない区域Ｖができる。
ットＳ′の径φ、をピッチ寸法ｐよりも小さくすると、
走査を受けない区域Ｖができる。
その上、レーザースポットの径を小さくするにはスキャ
ンレンズへの入射ビーム径を大きくしなければならず、
スキャナーの反射面が大きくなって走査周波数を高くす
ることが困難になるという問題もある。
ンレンズへの入射ビーム径を大きくしなければならず、
スキャナーの反射面が大きくなって走査周波数を高くす
ることが困難になるという問題もある。
以上のような理由により、従来技術においては検査精度
を上げるためにレーザースポット径を小さくすることと
、検査能率を上げるために被検査物の移動ピッチ（走査
ピッチＰに相当する）を大きくすることとが両立しなか
った。
を上げるためにレーザースポット径を小さくすることと
、検査能率を上げるために被検査物の移動ピッチ（走査
ピッチＰに相当する）を大きくすることとが両立しなか
った。
本発明の目的は、レーザースポットの径を小さくして検
査精度を上げることができ、しかも検査所要時間を短縮
して検査能率を向上せしめ得る、高速作動（被検査物の
ピッチ送りを高速ならしめる意）に好適な投光用の光学
装置を提供するにある。
査精度を上げることができ、しかも検査所要時間を短縮
して検査能率を向上せしめ得る、高速作動（被検査物の
ピッチ送りを高速ならしめる意）に好適な投光用の光学
装置を提供するにある。
上記の目的を達成するため、本発明の光学装置は、レー
ザービームをＹ軸方向に往復させながらＸ軸方向に移動
せしめるように構成し、Ｙ軸方向の走査ピッチ寸法をレ
ーザービームのスポット径の１／２以上に設定しても被
検査面の少なくとも大部分を走査し得るようにしたこと
を特徴とする。
ザービームをＹ軸方向に往復させながらＸ軸方向に移動
せしめるように構成し、Ｙ軸方向の走査ピッチ寸法をレ
ーザービームのスポット径の１／２以上に設定しても被
検査面の少なくとも大部分を走査し得るようにしたこと
を特徴とする。
第１図は本発明の一実施例を模式的に描いた斜視図であ
る。Ｘ−Ｘ’、Ｙ−Ｙ’は被検査面に設定した直交２軸
を表わしている。
る。Ｘ−Ｘ’、Ｙ−Ｙ’は被検査面に設定した直交２軸
を表わしている。
レーザー発振器１から出たレーザービーム矢印ｅは微小
振動用スキャナ２によって微小振動を与えられる。この
振動はレンズ（Ａ）３を通過した後。
振動用スキャナ２によって微小振動を与えられる。この
振動はレンズ（Ａ）３を通過した後。
焦点Ｆｉで光軸と交差し、再び振動してミラー４で反射
され、レンズ（Ｂ）５に入射する。
され、レンズ（Ｂ）５に入射する。
上記のレンズ（Ａ）３とレンズ（Ｂ）５とはビームエク
スパンダを構成していて、レンズ（Ｂ）５を通過したビ
ームは拡大される。そしてこのレンズ（Ｂ）５を通過し
たビームは前述のスキャナ２によってＹ軸方向の振動を
与えられている。そして、走査用スキャナ６によってＸ
軸方向に走査され、スキャンレンズ７を通ってミラー８
で反射され、被検査面に収束する。図示の寸法ＷはＸ軸
方向の走査幅である。
スパンダを構成していて、レンズ（Ｂ）５を通過したビ
ームは拡大される。そしてこのレンズ（Ｂ）５を通過し
たビームは前述のスキャナ２によってＹ軸方向の振動を
与えられている。そして、走査用スキャナ６によってＸ
軸方向に走査され、スキャンレンズ７を通ってミラー８
で反射され、被検査面に収束する。図示の寸法ＷはＸ軸
方向の走査幅である。
第２図は、径φ、のレーザースポットＳ′が前記の実施
例の装置（第１図）によって走査される軌跡を示す図表
である。
例の装置（第１図）によって走査される軌跡を示す図表
である。
レーザースポットＳ′は矢印ａ′の如く、Ｙ軸方向の往
復（即ち振動）を与えられつつＸ軸方向に走査される。
復（即ち振動）を与えられつつＸ軸方向に走査される。
被検査物はピッチ寸法ｐでＹ軸方向にピッチ送りされる
。
。
第３図は、前記の１段目の走査矢印ａ′によってカバー
される区域に斑点を付して示しである。
される区域に斑点を付して示しである。
斑点を付しである区域（走査された面）の隙間部分は第
２段目の走査矢印ｂ′によってカバーされる。本第３図
から明らかなように、レーザースポットＳ′をＹ軸方向
に振幅Ｗで振動させると、Ｙ設定しても被検査面のほぼ
全面が走査される。
２段目の走査矢印ｂ′によってカバーされる。本第３図
から明らかなように、レーザースポットＳ′をＹ軸方向
に振幅Ｗで振動させると、Ｙ設定しても被検査面のほぼ
全面が走査される。
以上詳述したように、本発明を適用すると、レーザース
ポットの径を小さくして検査精度を上げることと、被検
査物の送りピッチ寸法を大きくすることとが両立し、検
査精度の向上と検査能率の向上とが達成される。
ポットの径を小さくして検査精度を上げることと、被検
査物の送りピッチ寸法を大きくすることとが両立し、検
査精度の向上と検査能率の向上とが達成される。
第１図は本発明の一実施例を模式的に描いた斜視図であ
る。第２図及び第３図は上記実施例の作用、効果の説明
図表である。第４図及び第５図は従来装置における技術
的困戴の説明図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・微小振動用スキャナ。 ３・・・レンズ（Ａ）、４・・・ミラー、５・・・レン
ズ（Ｂ）、６・・・走査用スキャナ、７・・・スキャン
レンズ、８・・・ミラー、ｓ、ｓ’・・・レーザースポ
ット。 特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理人
弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 Ｙ′ 第 ３ 図
る。第２図及び第３図は上記実施例の作用、効果の説明
図表である。第４図及び第５図は従来装置における技術
的困戴の説明図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・微小振動用スキャナ。 ３・・・レンズ（Ａ）、４・・・ミラー、５・・・レン
ズ（Ｂ）、６・・・走査用スキャナ、７・・・スキャン
レンズ、８・・・ミラー、ｓ、ｓ’・・・レーザースポ
ット。 特許出願人 日立電子エンジニアリング株式会社代理人
弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 Ｙ′ 第 ３ 図
Claims (1)
- 被検査面に投光するレーザービームをＸ軸方向に走査し
つつ、被検査物をＹ軸方向に移動せしめる投光用光学装
置において、前記のレーザービームをＹ軸方向に往復さ
せながらＸ軸方向に移動せしめるように構成し、Ｙ軸方
向の走査ピッチ寸法をレーザービームのスポット径の１
／２以上に設定しても被検査面の少なくとも大部分を走
査し得るようにしたことを特徴とする、高速作動に好適
な投光用光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10932985A JPS61267728A (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | 高速作動に好適な投光用光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10932985A JPS61267728A (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | 高速作動に好適な投光用光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61267728A true JPS61267728A (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=14507463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10932985A Pending JPS61267728A (ja) | 1985-05-23 | 1985-05-23 | 高速作動に好適な投光用光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61267728A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428837A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Hitachi Ltd | Defect inspection device |
| WO2005083492A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 照明光源及びそれを用いた２次元画像表示装置 |
| JP2011179891A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Nikon Corp | 計測装置および計測方法 |
-
1985
- 1985-05-23 JP JP10932985A patent/JPS61267728A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428837A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Hitachi Ltd | Defect inspection device |
| WO2005083492A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 照明光源及びそれを用いた２次元画像表示装置 |
| JPWO2005083492A1 (ja) * | 2004-02-27 | 2007-11-22 | 松下電器産業株式会社 | 照明光源及びそれを用いた２次元画像表示装置 |
| US7679799B2 (en) | 2004-02-27 | 2010-03-16 | Panasonic Corporation | Illuminating light source including a light intensity modulator that oscillates a light from a coherent light source in a non-integral multiple of one cycle and two- dimensional image display using the same |
| JP2011179891A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Nikon Corp | 計測装置および計測方法 |
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