JPS61277143A

JPS61277143A - 電子顕微鏡の試料移動装置

Info

Publication number: JPS61277143A
Application number: JP60116624A
Authority: JP
Inventors: Tsugio Kurata; 倉田　次男; Shigeki Kamata; 鎌田　茂機
Original assignee: Akashi Seisakusho KK
Current assignee: Akashi Seisakusho KK
Priority date: 1985-05-31
Filing date: 1985-05-31
Publication date: 1986-12-08
Also published as: JPH0256773B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、電子顕微鏡において、試料左微動させる試
料移動装置に係り、特に試料を対物レンズの内部で観察
するタイプの電子顕微鏡に用いられる試料移動装置に関
する。

〔従来の技術〕

一般に電子顕微鏡の試料移動装置として電子顕微鏡の鏡
筒の下方に設けられた試料室内に位置し、試料を載置す
る試料台と、この試料台を互いに直交する３方向、ｘ、
ｙ、ｚ方向への移動する移動装置及び対物レンズの光軸
に直交する回転軸Ｔを中心とする回転を可能とする傾斜
装置からなる試料移動装置１３とを備えたものがある。

ここでＸ方向は対物レンズの中心を通シ光軸Ｏと垂直な
方向、Ｙ方向は光軸０に垂直でかつＸ軸に垂直な方向、
２方向は光軸と平行な方向、また回転軸Ｔは光軸Ｏと垂
直な方向であシ、通常Ｘ方向と同一方向かつ試料の電子
線照射位置を通るものとしている。

従来この電子顕微鏡の試料移動装置１３として第１１図
に示すようなものがある。これは、試料１を載置する試
料台２を第１の移動台３上に設けている。この第１の移
動台３は、第２の移動台６にＹ方向に沿って設けられた
第１のレール４上を移動可能としている。そして、この
第２の移動台６は、第１の移動台３と同様に、第３の移
動台１９上にＸ方向に沿って設けられた第２のレール５
上を移動可能としておシ、この第３の移動台１９は上述
した回転軸Ｔを中心として、回転動可能でかつ２方向に
沿って設けられた第３のレールＴ上音移動可能な第４の
移動台８に設置されている。そして、これらの移動台は
手動又はモータ（図示していない）で移動するようにし
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、電子顕微鏡において、性能を高めるためには
、ワーキングディスタンスＷｄを−できるだけ小さくす
ることが望ましく、近年にあっては試料を対物レンズの
内部に入れて観察を行なう装置がある。この場合には、
試料台の移動可能範囲は狭いものとなシ、試料台と対物
レンズとを干渉させて試料等を破損させるおそれがある
。このため観察者は試料の移動に際しては細心の注意を
はられなければならず、大きな負担となる。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本出願に係る発明は、上述の問題点を解決して、試料の
移動を容易に行えるようにするため、第１の発明にあっ
ては、電子顕微鏡の試料移動装置を電子顕微鏡の対物レ
ンズの内部に試料を載置する試料台と、この試料台を直
交する３方向に移動しうる移動装置と、対物レンズの光
軸に対して垂直な回転軸で回転させる傾斜装置と、対物
レンズの内部と略同一の内部形状を有する第１の干渉部
材と、上記試料を載置した試料台と略同一形状を有し第
１の干渉部材内を試料と対物レンズとの位置関係で移動
して試料と対物レンズとの干渉を防止する第２の干渉部
材とで構成するようにした。

また本願に係る第２発明にあっては、上述した第１発明
の構成に加えて、第１及び第２の干渉部材の当接位置を
表示する干渉位置表示装置を設けるようにしたものであ
る。

更に第３発明にあっては、第１発明の構成に加えて、試
料をどの方向に移動可能かを表示する移動方向表示装置
を設けるようにしたものである。

〔実施例〕

以下本願発明に係る電子顕微鏡の試料移動装置の実施例
を説明する。

第１図乃至第３図は、本願の第１発明に係る電子顕微鏡
の試料移動装置の実施例を示すものである。本実施例に
おいて、試料１０は対物レンズ１１内に位置するように
試料台１２上に載置されており、この試料１０には対物
レンズ１１から電子線Ｅが対照される。

そしてこの試料台１２は従来と同様にｘ、ｙ。

２、方向への移動及び回転軸Ｔを中心として回この試料
移動装置１３は従来に示したものと同一構造であるため
、同一の部材には同一の符号を付して、その詳細な説明
は省略する。そしてこれらの試料移動装置等が収納され
ている試料室１５内であって、回転軸Ｔと対物レンズ１
１との間には、試料１０が入れられている対物レンズ１
１の内部形状と同一の内部形状を有する第１の干渉部＃
、１６が設けられている。この第１の干渉部材１６は、
回転４１］ＴとＹ、ｚ方向に対しては、対物レンズ１１
と同位置となるように試料室１５に固定される。

また、試料移動装置１３の第１の移動台３には、試料台
１２に試料１０を載置した形状よりや中大きい相似形状
の第２の干渉部材１１が腕１１介して取り付けられてい
る。この第２の干渉部材１１は、第１の干渉部材１６と
同様に、回転軸Ｔの延長上であって、試料台１２とＹ、
ｚ方向において同位置となり、かつ第１の干渉部材１６
内に位置して、対物レンズ１１と試料台１２との位置関
係と同一の位置関係となるよう腕１８で支承されている
。

従って本実施例によれば、第２図及び第３図に示したよ
うに、試料移動装置１３を作動させて、試料１０を対物
レンズ内で移動、傾斜させた場合、第２の干渉部材１７
は第１の干渉部材１６内で同様に移動、傾斜する。そし
て試料１０及び試料台１２が対物レンズ１１に近ずくと
、第２の干渉部材は試料１０及び試料台よυ大きく形成
されているから、第２の干渉部材１７は第１の干渉部材
１６に当接し、試料１０及び試料台１２は対物レンズ１
１には干渉しない。

従って、本実施例によれば、試料１０及び試料台１２と
対物レンズ１１との干渉は発生しないため、試料の移動
を容易に行なうことができる。

次に本願の第２発明の実施例について説明する。第４図
乃至第７図は本願第２発明の実施例を示すものである。

本実施例においては、試料移動装置の構造及び第１及び
第２の干渉部材を設けている点については上述した第１
発明の実施例と同様であるためその説明は省略する。本
発明にあっては、上述した第１発明の構成に加えて、第
１の干渉部材が第２の干渉部材に当接した場合、第２の
干渉部材が第１の干渉部材のどの位置に当接したかを表
示する干渉位置表示装置を設けている。この干渉位置表
示装置は、第１の干渉部材２０及び第２の干渉部材２１
に電極を設け、第１及び第２の干渉部材２０．２１が接
触した場合において、第１の干渉部材２０のどの位置に
接触しているかを表示盤に表示するようにしたものであ
る。

干渉部材に設けた電極は、第４図乃至第６図に示すよう
に、第１の干渉部材２０にあっては、側壁２０ａ内面に
等角度ごとに長方形状の電極２２を全周にわたり設ける
他、天板２０ｂ内面には、中心から放射状に等角度ごと
に扇形の電極２３を設けている。また第２の干渉部材２
１には略全面にわたって一体となった電極２４を設けて
いる。

そして表示盤は第７図に示すように第１の干渉部材２０
に設けられた電極２２に対応した発光ダイオード等の表
示装置２５と、電極２３に対応した同様の表示装置２６
とで構成される。そしてこれらの表示装置２５　、２６
は、夫々の対応する電極と第２の干渉部材２１に設けら
れた電極２４とが接触した場合に点灯するものとしてい
る。

従って観察者は、試料１０及び試料台１２が対物レンズ
１１内壁のどの位置に近接しているかを知ることができ
、試料１０の移動等を容易に行なうことができる。

尚本実施例においては、接触個所の検出は、両干渉部材
に設けた電極によシ行なうよりにしたが、これは他の七
ン丈−等によシ検出するようにしてもよい。

次に本願の第３発明の詳細な説明する。第８図乃至第１
０図は本願の第３発明の実施例を示すものであシ、本実
施例において、試料移動装置の構造及び第１及び第２の
干渉部材を設けている点については上述した第１発明の
実施例と同様であるため、その詳細な説明は省略する。

本発明にあっては、上述した第１発明の構成に加えて、
試料をどの方向に移動可能かを示す移動方向表示装置を
設けている。この移動方向表示装置は、上述した第２発
明と同様に第１及び第２の干渉部材に電極を設け、これ
を第９図に示すように、第２の干渉部材の側壁を前後（
Ｘ軸方向）左右（Ｙ軸方向）に４つに分割し、左前、左
後、右前、右後として、夫々スイッチＳ１゜Ｓ２．Ｓ３
．Ｓ４とし、また天板２０ｂの電極２３は左上、右上と
して夫々スイッチＳ５．Ｓ６として構成している。そし
て第２の干渉部材１７の電極がどの位置に接触したかに
よって、いずれかのスイッチ（接触個所が前、後、左右
端のときは２つ）が作動して試料台１２をどちらの方向
に移動することができるかを表示する。これは例えば第
８図に表すように、操作盤の夫々の方向への移動スイッ
チ３０を移動可能な方向のみ点灯すると共にその点灯し
たスイッチのみを作動でちるようにしている。

このような操作盤を実現するためには、第１０図に示す
ような回路構成とすればよい。図において、Ｍは試料台
１２を各方向に移動するモータを、またＲ８ｚ・・・Ｒ
８５は、スイッチＳ】・・・Ｓ６の作動によりオフ状態
となるスイッチを、ＰＢは操作盤の移動スイッチ３０を
、またＬは各々の移動スイッチのライトラ、更にＬＳは
２方向の下限に設けられたリミットスイッチを示してい
る。

この回路によれば、例えば、スイッチＳｌが作動すれば
、左、前、上、右回転、下、左回転の移動は禁止され、
操作スイッチのライトは右、後、だけ点灯する他これら
の操作スイッチのみ操作できることとなる。

従って本実施例によれば、観察者は、操作盤の点灯した
操作ボタンをみて試料の移動可能方向を！＆！識するこ
とができる他、誤って点灯していない操作スイッチを押
しても試料は移動しないから、極めて容易に試料を移動
させることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本出願の各発明によれば、試料が
対物レンズに干渉することを有効に防止しているから、
試料及び試料台の移動が容易になる他、第２発明にあっ
ては試料の対物レンズへの最近接個所が、また第３発明
にあっては試料及び試料台の移動可能方向を知ることか
できるから、更に容易に試料の移動を行なうことができ
るという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本願の第１発明に係る試料移動装置の実施例を
示す一部断面図、第２図は第１図に示した試料移動装置
の対物レンズ及び試料台を示す第１図中ＩＦ−ｆｆ線断
面図、第３図は第１図に示した試料移動装置の第１及び
第２の干渉部材を示す第１図中■−■線断面図、第４図
乃至第６図は本願の第２発明に係る試料移動装置の実施
例に用いられる第１及び第２の干渉部材の電極を示す図
、第７図は本願の第２発明に係る試料移動装置の表示盤
を示す図、第８図は本願の第３発明に係る試料移動装置
の実施例に用いられる操作盤を示す図、第９図は本願の
第３発明の実施例の第１の干渉部材の電極分割を示す図
、第１０図は第８図に示した操作盤を作動させる回路を
示す回路図、第１１図は従来の試料移動装置を示す斜視
図である。１０・・・試料　　　　　　１１・・・対物レンズ１２
・・・試料台　　　　　１３・・・試料移動装置１６・
・・第１の干渉部材　１７・・・第２の干渉部材特許出
願人　　株式会社明石製作所第２図　　　　　　第３図第１図第！５図ＩＩＢ図第８図第９図第１０図第１１図

Claims

【特許請求の範囲】１）電子顕微鏡の対物レンズの内部に試料を載置する試
料台と、この試料台を直交する３方向に移動しうる移動
装置と、対物レンズの光軸に対して垂直な回転軸で回転
させる傾斜装置と、対物レンズの内部と略同一の内部形
状を有する第１の干渉部材と、上記試料を載置した試料
台と略同一形状を有し第１の干渉部材内を試料と対物レ
ンズとの位置関係で移動して試料と対物レンズとの干渉
を防止する第２の干渉部材とからなることを特徴とする
電子顕微鏡の試料移動装置。２）電子顕微鏡の対物レンズの内部に試料を載置する試
料台と、この試料台を直交する３方向に移動しうる移動
装置と、対物レンズの光軸に対して垂直な回転軸で回転
させる傾斜装置と、対物レンズの内部と略同一の内部形
状を有する第１の干渉部材と、上記試料を載置した試料
台と略同一形状を有し第１の干渉部材内を試料と対物レ
ンズとの位置関係で移動して試料と対物レンズとの干渉
を防止する第２の干渉部材と、第２の干渉部材が第１の
干渉部材のどの部位に当接しているかを表示する干渉位
置表示装置とからなることを特徴とする電子顕微鏡の試
料移動装置。３）電子顕微鏡の対物レンズの内部に試料を載置する試
料台と、この試料台を直交する３方向に移動しうる移動
装置と、対物レンズの光軸に対して垂直な回転軸で回転
させる傾斜装置と、対物レンズの内部と略同一の内部形
状を有する第１の干渉部材と、上記試料を載置した試料
台と略同一形状を有し第１の干渉部材内を試料と対物レ
ンズとの位置関係で移動して試料と対物レンズとの干渉
を防止する第２の干渉部材と、試料をどの方向に移動可
能かを表示する移動方向表示装置とからなることを特徴
とする電子顕微鏡の試料移動装置。