JPS61283783A - スクロ−ル型真空ポンプ - Google Patents
スクロ−ル型真空ポンプInfo
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- JPS61283783A JPS61283783A JP12574685A JP12574685A JPS61283783A JP S61283783 A JPS61283783 A JP S61283783A JP 12574685 A JP12574685 A JP 12574685A JP 12574685 A JP12574685 A JP 12574685A JP S61283783 A JPS61283783 A JP S61283783A
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 27
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
- F04C29/124—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps
- F04C29/126—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type
- F04C29/128—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet with inlet and outlet valves specially adapted for rotary or oscillating piston pumps of the non-return type of the elastic type, e.g. reed valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
- F04C18/084—Toothed wheels
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はスクロール型真空ポンプに関するものであり、
例えば真空装置の排気用ポンプとして用いて有効である
。
例えば真空装置の排気用ポンプとして用いて有効である
。
（従来の技術）
一般に真空ポンプにおいて、より低い到達圧力を得よへ
とする場合、高い圧縮比が必要である。
とする場合、高い圧縮比が必要である。
そこで、可動スクロール部材のスクロール歯部と固定ス
クロール部材のスクロール歯部とが相互に噛み合い、可
動スクロール部材が公転運動することにより作動室容積
を順次減少させ、最外周より作動流体を吸入し固定スク
ロールの略中心部に配設された吐出口より吐出すること
によりポンプ作用を行うスクロール型ポンプを真空ポン
プとして用いる場合には、スクロール渦巻部の巻数を多
くすることにより圧縮比を上げる方法がとられている。
クロール部材のスクロール歯部とが相互に噛み合い、可
動スクロール部材が公転運動することにより作動室容積
を順次減少させ、最外周より作動流体を吸入し固定スク
ロールの略中心部に配設された吐出口より吐出すること
によりポンプ作用を行うスクロール型ポンプを真空ポン
プとして用いる場合には、スクロール渦巻部の巻数を多
くすることにより圧縮比を上げる方法がとられている。
尚、従来のスクロール型圧縮機を示すものとして実開昭
５８−８７８２号公報がある。
５８−８７８２号公報がある。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、吸入圧力が吐出圧力と等しい大気圧とな
っている起動時には、作動室が吐出口に開口するまでの
圧縮過程において、作動室の流体圧力が吐出圧力である
大気圧以上に上昇する。ここで前述の如く圧縮比を上げ
るべきスクロール巻数を多くしたスクロール型真空ポン
プでは、作動室内の流体圧力は吐出口に開口するまでに
相当な高圧となってしまい、駆動トルクの増大によるポ
ンプ駆動源への過負荷や、軸受部に対する過度な荷重に
よる発熱・焼付きが生じるという問題点があった。
っている起動時には、作動室が吐出口に開口するまでの
圧縮過程において、作動室の流体圧力が吐出圧力である
大気圧以上に上昇する。ここで前述の如く圧縮比を上げ
るべきスクロール巻数を多くしたスクロール型真空ポン
プでは、作動室内の流体圧力は吐出口に開口するまでに
相当な高圧となってしまい、駆動トルクの増大によるポ
ンプ駆動源への過負荷や、軸受部に対する過度な荷重に
よる発熱・焼付きが生じるという問題点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点に鑑み、スクロール型真空ポンプの
起動時等における内部過圧縮の防止を目的とし・次の様
な手段を講じた。つまり、それぞれの円板状基板に一条
以上の渦巻状スクロール歯部を有する可動スクロール部
材と固定スクロール部材を、互いに噛み合わせることに
よって閉塞された作動空間を形成し、前記可動スクロー
ル部材を公転運動させることによって前記作動空間の容
積を減少させポンプ作用を行うスクロール型真空ポンプ
において 前記作動空間は前記可動スクロール部材及び固定スクロ
ール部材のスクロール歯部によって区画される複数の空
間より構成され、この複数の空間のそれぞれを吐出側空
間と連通させる連通口を前記固定スクロール部材に穿設
し、前記作動空間内の圧力が吐出圧以上となった場合に
前記連通口を開く逆止弁を各連通口に配したことを特徴
とするスクロール型真空ポンプとした。
起動時等における内部過圧縮の防止を目的とし・次の様
な手段を講じた。つまり、それぞれの円板状基板に一条
以上の渦巻状スクロール歯部を有する可動スクロール部
材と固定スクロール部材を、互いに噛み合わせることに
よって閉塞された作動空間を形成し、前記可動スクロー
ル部材を公転運動させることによって前記作動空間の容
積を減少させポンプ作用を行うスクロール型真空ポンプ
において 前記作動空間は前記可動スクロール部材及び固定スクロ
ール部材のスクロール歯部によって区画される複数の空
間より構成され、この複数の空間のそれぞれを吐出側空
間と連通させる連通口を前記固定スクロール部材に穿設
し、前記作動空間内の圧力が吐出圧以上となった場合に
前記連通口を開く逆止弁を各連通口に配したことを特徴
とするスクロール型真空ポンプとした。
（発明の効果）
本発明のスクロール型真空ポンプを用いれば、固定スク
ロール歯部と可動スクロール歯部が互いに噛合して形成
される作動空間が、前記可動スクロール部材の公転運動
によって体積を減少した場合に、前記作動空間内の作動
流体圧力が吐出圧力以上の高圧となると、作動空間と大
気側とを連通ずる吐出口より作動流体が吐出される。こ
れにより作動空間内の作動流体が、吐出圧力を上回って
圧縮されるいわゆる過圧縮を起こすことが防止でき、駆
動トルクの増大によるポンプ駆動源への過負荷、及び軸
受部に対する過度な荷重による発熱、焼付き等を起こす
ことがない性能の優れた真空ポンプを提供するものであ
る。
ロール歯部と可動スクロール歯部が互いに噛合して形成
される作動空間が、前記可動スクロール部材の公転運動
によって体積を減少した場合に、前記作動空間内の作動
流体圧力が吐出圧力以上の高圧となると、作動空間と大
気側とを連通ずる吐出口より作動流体が吐出される。こ
れにより作動空間内の作動流体が、吐出圧力を上回って
圧縮されるいわゆる過圧縮を起こすことが防止でき、駆
動トルクの増大によるポンプ駆動源への過負荷、及び軸
受部に対する過度な荷重による発熱、焼付き等を起こす
ことがない性能の優れた真空ポンプを提供するものであ
る。
（実施例）
次に本発明の実施例を図に基づいて説明する。
第１図は本実施例の縦断面図であり、第２図は第１図の
ｎ−ｎ断面図である。外部駆動力を受けて回転するシャ
フト５は、フロントハウジングｄに軸受７、軸受８を介
して回転自在に軸支されている・このシャフト５の一端
には軸心より所定量ρだけ偏心した偏心部５ａが形成さ
れており、この偏心部５ａには軸受１０を介して可動ス
クロール部材９が配されている。
ｎ−ｎ断面図である。外部駆動力を受けて回転するシャ
フト５は、フロントハウジングｄに軸受７、軸受８を介
して回転自在に軸支されている・このシャフト５の一端
には軸心より所定量ρだけ偏心した偏心部５ａが形成さ
れており、この偏心部５ａには軸受１０を介して可動ス
クロール部材９が配されている。
この可動スクロール部材９は、前記偏心部５ａが挿入さ
れるボス部９ｃを有する円板状基板９ａと、この円板状
基板９ａの前記フロントハウジング６と反対側に形成さ
れる可動スクロール歯部９ｂと、この円板状基板９ａの
前記フロントハウジング６側に形成されている複数の円
形溝９ｄとからなる。
れるボス部９ｃを有する円板状基板９ａと、この円板状
基板９ａの前記フロントハウジング６と反対側に形成さ
れる可動スクロール歯部９ｂと、この円板状基板９ａの
前記フロントハウジング６側に形成されている複数の円
形溝９ｄとからなる。
１１は円板状のフロントプレートであり、このフロント
プレート１１の前記円形溝９ｄと対向する位置に前記円
形溝９ｄと同一形状の複数の円形溝１１ａが形成されて
いる。そしてこの円形溝１１ａと円形溝９ｄとの間には
複数の鋼球１２が配されており、前記可動スクロール部
材９に作用する第１図中左方への力を受けるとともに可
動スクロール部材９の自転を防止している。
プレート１１の前記円形溝９ｄと対向する位置に前記円
形溝９ｄと同一形状の複数の円形溝１１ａが形成されて
いる。そしてこの円形溝１１ａと円形溝９ｄとの間には
複数の鋼球１２が配されており、前記可動スクロール部
材９に作用する第１図中左方への力を受けるとともに可
動スクロール部材９の自転を防止している。
１はハウジングであり、その内部には固定スクロール部
材２が嵌合挿入されており、両者はボルト３によって固
定されている。そして、固定スクロール部材２の背面と
ハウジング１との間には、吐出室２０が形成される。ハ
ウジング１には作動流体を吸入するための吸入ボート１
４と作動流体を吐出するための吐出ボート１５が各々配
設されている。前記固定スクロール部材２は円板状基板
２ａと固定スクロール歯部２ｂより形成されており、こ
の固定スクロール歯部２ｂが前記可動スクロール９の可
動スクロール歯部９ｂと噛合するように前記ハウジング
１に固定されている。本実施例において固定スクロール
部材２の固定スクロール歯部２ｂと可動スクロール部材
９の可動スクロール歯部９ｂはともに４．５条形成され
ている。
材２が嵌合挿入されており、両者はボルト３によって固
定されている。そして、固定スクロール部材２の背面と
ハウジング１との間には、吐出室２０が形成される。ハ
ウジング１には作動流体を吸入するための吸入ボート１
４と作動流体を吐出するための吐出ボート１５が各々配
設されている。前記固定スクロール部材２は円板状基板
２ａと固定スクロール歯部２ｂより形成されており、こ
の固定スクロール歯部２ｂが前記可動スクロール９の可
動スクロール歯部９ｂと噛合するように前記ハウジング
１に固定されている。本実施例において固定スクロール
部材２の固定スクロール歯部２ｂと可動スクロール部材
９の可動スクロール歯部９ｂはともに４．５条形成され
ている。
第２図からもわかる様に前記固定スクロール２の円板条
基板２ａには、前記固定スクロール歯部２ｂと前記可動
スクロール歯部９ｂとによって形成される作動室１９を
前記吐出室２０に連通させる連通口４が固定スクロール
歯部２ｂに沿って９０℃おきに１７個穿設されている。
基板２ａには、前記固定スクロール歯部２ｂと前記可動
スクロール歯部９ｂとによって形成される作動室１９を
前記吐出室２０に連通させる連通口４が固定スクロール
歯部２ｂに沿って９０℃おきに１７個穿設されている。
この複数の連通口４の直径ｄは、第７図に示す様に前記
可動スクロール歯部９ｂの板厚をｔとすると、ｄｏｔと
なっている。また、前記固定スクロール部材２の円板状
基板２ａには、複数の連通口４に対して逆止弁１６と逆
止介挿え１７が配されており、それぞれの逆止弁１６と
逆止介挿え１７はボルト１８によ弓て円板状基板２ａに
固定されている。
可動スクロール歯部９ｂの板厚をｔとすると、ｄｏｔと
なっている。また、前記固定スクロール部材２の円板状
基板２ａには、複数の連通口４に対して逆止弁１６と逆
止介挿え１７が配されており、それぞれの逆止弁１６と
逆止介挿え１７はボルト１８によ弓て円板状基板２ａに
固定されている。
尚、第１図中符号２１は軸封装置であり、符号２２及び
２３はサークリップである。符号２４はバランスウェイ
トを示している。
２３はサークリップである。符号２４はバランスウェイ
トを示している。
次に本実施例の作動について述べる。
第３図、第４図、第５図および第６図は第１図の■−■
断面図であって、前記シャフト５の回転角がπ／２ （
ｒａｄ）ごとの作動状態を示すものである。第３図をシ
ャフト回転角θ−Ｑ（ｒａｄ）とし、第４図はθ−π／
２（ｒａｄ）、第５図はθ＝ｒｔ （ｒ ａ ｄ） 、
第６図はθ＝３／２π（ｒａｄ）の状態を示す０作動室
１９は第１空間１９ａと第２空間１９ｂとからなり、こ
の第１空間１９ａは前記可動スクロール歯部９ｂの内周
壁と前記固定スクロール歯部２ｂの外周壁とによって形
成され、第２空間１９ｂは前記可動スクロール歯部９ｂ
の外周壁と前記固定スクロール歯部２ｂの内周壁とによ
って形成される。
断面図であって、前記シャフト５の回転角がπ／２ （
ｒａｄ）ごとの作動状態を示すものである。第３図をシ
ャフト回転角θ−Ｑ（ｒａｄ）とし、第４図はθ−π／
２（ｒａｄ）、第５図はθ＝ｒｔ （ｒ ａ ｄ） 、
第６図はθ＝３／２π（ｒａｄ）の状態を示す０作動室
１９は第１空間１９ａと第２空間１９ｂとからなり、こ
の第１空間１９ａは前記可動スクロール歯部９ｂの内周
壁と前記固定スクロール歯部２ｂの外周壁とによって形
成され、第２空間１９ｂは前記可動スクロール歯部９ｂ
の外周壁と前記固定スクロール歯部２ｂの内周壁とによ
って形成される。
前記シャフト５が外部駆動力を受けて回転すると、偏心
部５ａに取付けられた可動スクロール部材９は自転運動
を防止されながら公転運動を行う。
部５ａに取付けられた可動スクロール部材９は自転運動
を防止されながら公転運動を行う。
この公転運動に伴い作動室１９に容積変動が生じる。こ
れにより前記吸入ボート１４より吸入された作動流体は
、前記第１空間１９ａおよび第２空間１９ｂ内に閉じ込
められる。そして第１空間１９ａおよび第２空間１９ｂ
内に閉じ込められた作動流体はシャフト５の回転に伴な
い体積を減少してゆく。
れにより前記吸入ボート１４より吸入された作動流体は
、前記第１空間１９ａおよび第２空間１９ｂ内に閉じ込
められる。そして第１空間１９ａおよび第２空間１９ｂ
内に閉じ込められた作動流体はシャフト５の回転に伴な
い体積を減少してゆく。
一般に真空ポンプにおいては吐出ポート１５における吐
出圧力は常に大気圧であり、吸入ボート１４における吸
入圧力は図示しない真空装置内の圧力と等しく起動時に
は大気圧となっている。そして、ポンプ作用が行われる
につれ、負圧となってゆく。今、起動時について考えて
みると、前記第１空間１９ａと第２空間１９ｂが作動流
体を閉じ込めた瞬間にはこの第１空間１９ａ内および第
２空間１９ｂ内の流体圧力は大気圧である。しかし、シ
ャフト５が回転し、前記第１空間１９ａおよび第２空間
１９ｂが体積を減少し始めると体積が減少した第１空間
１９ａおよび第２空間１９ｂ内の流体圧力は大気圧より
高い圧力となっている。
出圧力は常に大気圧であり、吸入ボート１４における吸
入圧力は図示しない真空装置内の圧力と等しく起動時に
は大気圧となっている。そして、ポンプ作用が行われる
につれ、負圧となってゆく。今、起動時について考えて
みると、前記第１空間１９ａと第２空間１９ｂが作動流
体を閉じ込めた瞬間にはこの第１空間１９ａ内および第
２空間１９ｂ内の流体圧力は大気圧である。しかし、シ
ャフト５が回転し、前記第１空間１９ａおよび第２空間
１９ｂが体積を減少し始めると体積が減少した第１空間
１９ａおよび第２空間１９ｂ内の流体圧力は大気圧より
高い圧力となっている。
このような場合には第１空間１９ａおよび第２空間ｔＱ
ｂ内の流体圧力が、大気圧である吐出圧力に打ち勝って
、逆止弁１６を押し開き作動流体は連通口４より吐出空
間２０へと吐出される。これにより第１空間１９ａおよ
び第２空間１９ｂ内の作動流体は大気圧と等しくなる。
ｂ内の流体圧力が、大気圧である吐出圧力に打ち勝って
、逆止弁１６を押し開き作動流体は連通口４より吐出空
間２０へと吐出される。これにより第１空間１９ａおよ
び第２空間１９ｂ内の作動流体は大気圧と等しくなる。
さらにシャフト５が回転し、第５図から第６図へと示さ
れる状態へと第１空間１９ａおよび第２空間の体積が減
少すると、この第１空間１９ａおよび第２寞間１９ｂ内
の流体圧力は再び大気圧よりも高い圧力となるが、これ
ら第１空間１９ａ及び第２空間１９ｂ内には常に少な（
とも１ケ所の連通口が開口しており、前述の如き作動が
繰り返し行われ第１空間１９ａおよび第２空間１９ｂ内
の流体圧力は常に大気圧以下に保たれる。
れる状態へと第１空間１９ａおよび第２空間の体積が減
少すると、この第１空間１９ａおよび第２寞間１９ｂ内
の流体圧力は再び大気圧よりも高い圧力となるが、これ
ら第１空間１９ａ及び第２空間１９ｂ内には常に少な（
とも１ケ所の連通口が開口しており、前述の如き作動が
繰り返し行われ第１空間１９ａおよび第２空間１９ｂ内
の流体圧力は常に大気圧以下に保たれる。
シャフト５の回転によりポンプ作用が行われると、図示
しない真空装置内の圧力は徐々に低下し大気圧よりも低
い負圧となる。この場合第３図において示される第１空
間１９ａおよび第２空間１９ｂが作動流体を閉じ込めた
瞬間の作動流体圧力も大気圧より低い負圧となっている
。そしてシャフト５の回転に伴い第１空間Ｌ９ａおよび
第２空間１９ｂの体積が減少し、大気圧よりも高い圧力
となった時に前述の如き逆止弁１６が開弁し、作動室１
９が連通口４を介して吐出室２０と連通し、第１空間１
９ａおよび第２空間１９ｂ内の流体圧力は常に大気圧以
下に保たれる。
しない真空装置内の圧力は徐々に低下し大気圧よりも低
い負圧となる。この場合第３図において示される第１空
間１９ａおよび第２空間１９ｂが作動流体を閉じ込めた
瞬間の作動流体圧力も大気圧より低い負圧となっている
。そしてシャフト５の回転に伴い第１空間Ｌ９ａおよび
第２空間１９ｂの体積が減少し、大気圧よりも高い圧力
となった時に前述の如き逆止弁１６が開弁し、作動室１
９が連通口４を介して吐出室２０と連通し、第１空間１
９ａおよび第２空間１９ｂ内の流体圧力は常に大気圧以
下に保たれる。
ここで前述したように連通口４の直径ｄを可動スクロー
ル歯部９ｂの板厚ｔに対してｄ＜ｔとしたのは作動流体
の吹き抜けによる効率低下を防ぐためである。また、前
記第１空間ｊ９ａ及び前記第２空間１９ｂ内の流体圧力
が大気圧以下の場合でも前記逆止弁１６の働きにより作
動空間１９内に吐出側作動流体が逆流することはなく、
これらの空間は作動室として有効に作動し、効率の低下
が防止される。
ル歯部９ｂの板厚ｔに対してｄ＜ｔとしたのは作動流体
の吹き抜けによる効率低下を防ぐためである。また、前
記第１空間ｊ９ａ及び前記第２空間１９ｂ内の流体圧力
が大気圧以下の場合でも前記逆止弁１６の働きにより作
動空間１９内に吐出側作動流体が逆流することはなく、
これらの空間は作動室として有効に作動し、効率の低下
が防止される。
本実施例においては可動不クロール部材９および固定ス
クロール部材２の巻き数は４．５条としたが、これは得
ようとする到達圧力によって適当な巻き数が選択可能で
あり、スクロール巻き数が本発明の技術的効果に何ら影
響を及ぼすものではない。また、吐出口の直径ｄを可動
スクロール部材９の可動スクロール歯部９ｂの板厚ｔに
対してｄくｔとすることにより作動流体の吹き抜けの防
止を図ったが、ｄがｔに対して大きい場合でも回転数が
高い時、即ち可動スクロール歯部９ｂが連通口４を第８
図の状態から第９図の状態へ短時間で通過する場合には
効率の低下はさほど大きくはないので、このような状況
で使用される真空ポンプにおいては可動スクロール歯部
９ｂの板厚ｔと、連通口４の径ｄとの関係がｄｏｔとな
ってもよい。
クロール部材２の巻き数は４．５条としたが、これは得
ようとする到達圧力によって適当な巻き数が選択可能で
あり、スクロール巻き数が本発明の技術的効果に何ら影
響を及ぼすものではない。また、吐出口の直径ｄを可動
スクロール部材９の可動スクロール歯部９ｂの板厚ｔに
対してｄくｔとすることにより作動流体の吹き抜けの防
止を図ったが、ｄがｔに対して大きい場合でも回転数が
高い時、即ち可動スクロール歯部９ｂが連通口４を第８
図の状態から第９図の状態へ短時間で通過する場合には
効率の低下はさほど大きくはないので、このような状況
で使用される真空ポンプにおいては可動スクロール歯部
９ｂの板厚ｔと、連通口４の径ｄとの関係がｄｏｔとな
ってもよい。
第１図は本発明の実施例を示す縦断面図、第２図は第１
図の■−■断面図、第３．４．５．６図は第１図のｍ−
ｍ断面図で作動を示す図、第７図は第１図の部分拡大図
、第８図、第９図は本発明の他の通用例を示す部分拡大
図である。 ２・・・固定スクロール部材、２ｂ・・・固定スクロー
ル歯部、４・・・連通口、９・・・可動スクロール部材
、９ｂ・・・可動スクロール歯部、１６・・・逆止弁、
１９・・・作動室。 代理人弁理士 岡 部 隆 第２図 第３図 第４図 ｂ ４ 第５図 ９ｂ 第６図
図の■−■断面図、第３．４．５．６図は第１図のｍ−
ｍ断面図で作動を示す図、第７図は第１図の部分拡大図
、第８図、第９図は本発明の他の通用例を示す部分拡大
図である。 ２・・・固定スクロール部材、２ｂ・・・固定スクロー
ル歯部、４・・・連通口、９・・・可動スクロール部材
、９ｂ・・・可動スクロール歯部、１６・・・逆止弁、
１９・・・作動室。 代理人弁理士 岡 部 隆 第２図 第３図 第４図 ｂ ４ 第５図 ９ｂ 第６図
Claims (2)
- １．それぞれの円板状基板に一条以上の渦巻状スクロー
ル歯部を有する可動スクロール部材と固定スクロール部
材とを、互いに噛み合わせることによって閉塞された作
動空間を形成し、前記可動スクロール部材を公転運動さ
せることによって前記作動空間の容積を減少させポンプ
作用を行うスクロール型真空ポンプにおいて 前記作動空間は前記可動スクロール部材及び固定スクロ
ール部材のスクロール歯部によって区画される複数の空
間より構成され、この複数の空間のそれぞれを吐出側空
間と連通させる連通口を前記固定スクロール部材に穿設
し、前記作動空間内の圧力が吐出圧以上となった場合に
前記連通口を開く逆止弁を各連通口に配したことを特徴
とするスクロール型真空ポンプ。 - ２．前記連通口は前記固定スクロール部材のスクロール
歯部に沿って９０℃おきに配されることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のスクロール型真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12574685A JPS61283783A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | スクロ−ル型真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12574685A JPS61283783A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | スクロ−ル型真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61283783A true JPS61283783A (ja) | 1986-12-13 |
Family
ID=14917776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12574685A Pending JPS61283783A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | スクロ−ル型真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61283783A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01147180A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | スクロール形流体機械 |
| JP2007023842A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Mitsubishi Electric Corp | スクロール圧縮機 |
| JP2010084593A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Ltd | スクロール式流体機械 |
| CN104989641A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-10-21 | 东北大学 | 一种涡旋干式真空泵 |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP12574685A patent/JPS61283783A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01147180A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | スクロール形流体機械 |
| JP2007023842A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-01 | Mitsubishi Electric Corp | スクロール圧縮機 |
| JP2010084593A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hitachi Ltd | スクロール式流体機械 |
| CN104989641A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-10-21 | 东北大学 | 一种涡旋干式真空泵 |
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