JPS61284450A - 液体噴射記録ヘツド及び液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は液体噴射記録ヘッド及び該記録ヘッドを搭載し
た液体噴射記録？ｔａに関する。

［従来の技術Ｊ 現在知られている各種の記録法のなかでも、記録時に騒
音の発生がほとんどないノンインパクト記録方式であっ
て且つ高速記録が可能であり、しかも普通紙に特別の定
着処理を必要とせずに記録の行なえるいわゆるインクジ
ェット記録法は、極めて有用な記録方式であると認めら
れている。このインクジェット記録法については、これ
までにも様々な方式が提案され改良が加えられて商品化
されたものもあれば現在もなお実用化への努力が続けら
れているものもある。

インクジェット記録法は、インクと称される記録液の液
滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を種々の作用原理で飛翔させ、そ
れを紙等の被記録部材に付着サセて記録を行なうもので
ある。

そして、本件出願人もかかるインクジェット記録法に係
わる新規方式について既に提案を行なっている。この新
規方式は特開昭５２−１１８７９８号公報において提案
されており、その基本原理は次に概説する通りである。

つまり、このインクジェット記録方式は、記録液を収容
することのできる作用室中に導入された記録液に対して
情報信号として熱的パルスを与え、これにより記録液が
然気泡を発生し自己収縮する過程で生ずる作用力に従っ
て前記作用室に連通せる吐出口より前記記録液を吐出し
て小液滴として飛翔せしめ、これを被記録部材に付着さ
せて記録を行なう方式である。

ところで、この方式は高密度マルチアレー構成にして高
速記録、カラー記録に適合させやすく、実施装賃の構成
が従来のそれに比べて簡略であるため、記録ヘッドとし
て全体的にはコンパクト化が図れ且つ量産に向くこと、
半導体分野において技術の進歩と信頼性の向上が著しい
ＩＣ技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に利用する
ことで長尺化が容易であること等の利点があり、適用範
囲の広い方式である。

上記液体噴射記録装置の特徴的な記録ヘッドには、吐出
口より液体を吐出して飛翔的液滴を形成する手段として
の電気熱変換体が設けられている。

該電気熱変換体は１発生する熱エネルギーを効率良く液
体に作用させること、液体への熱作用の０Ｎ−ＯＦＦ応
答速度を高めること等のために。

液体に直接接触する様に吐出口が連通している熱作用部
に設けられる構造とするのが望ましいとされている。

しかしながら、前記の電気熱変換体は通電されることに
よって発熱する発熱抵抗体と該発熱抵抗体に通電するた
めの一対の電極とで基本的には構成されているために１
発熱抵抗体が直に液体に接触する状態であると、記録用
の液体の電気抵抗値如何によっては該液体を通じて電気
が流れたり、液体を通じての電気の流れによって液体自
体が電気分解したり、あるいは発熱抵抗体への通電、）
際に該発熱抵抗体と液体とが反応して、発熱抵抗体自体
の腐食による抵抗値の変化や発熱抵抗体の破損あるいは
破壊が起こったり、更には発熱抵抗体から発生される熱
の作用による熱の作用による液体の蒸気泡の発生から自
己消滅に至る状プロ変化に伴う機械的衝撃によって発熱
抵抗体の表面が破損したり、あるいは発熱抵抗体の一部
に亀裂が生ずる等して破壊されたりする場合があった。

そのために、従来においては、ＮｉＣｒ等の合金やＺｒ
Ｂ２．ＨｆＢ２等の金属ホウ化物等の比較的発熱抵抗体
材料としての特性に優れた無機材料で発熱抵抗体を構成
すると共に、該材料で構成された発熱抵抗体上に５ｉ０
２等の耐酸化性に優れた材料で構成された保護層（上部
層）を設けることで発熱抵抗体が液体に直に接触するの
を防止して、前記の諸問題を解決し信頼性と繰返し使用
耐久性の向上を図ろうとすることが提案されていた。

しかしながら、上記の様な構成の電気熱変換体が設けら
れた記録ヘッドを有する液体噴射記録装置は、記録用の
着色された液体として電気伝導度の比較的低い液体（例
えば液媒体として水やアルコールを用いたもの）を使用
する場合には、耐酸化性に優れ繰返し使用耐久性の点で
満足のいくものであるが、Ｎａイオン等の含有率が高く
電気伝導度の大きな記録用の液体や電界質の液体を使用
する場合には、ｔ＆返し使用耐久性、耐経時的変化性の
点で不十分であった。従って、使用する記録用液体の選
択に制約があって、ことに多色あるいは天然色のカラー
記録を行なう場合には障害となっていた。

また、上記の様に発熱抵抗体上に保護層を設ける場合に
おいても、例えば層形成時に生ずる保護層自体の欠陥に
基づく発熱抵抗体側方向への液体の侵入を実質上完全に
防止することは再現性、量産性の点で非常に困難である
。ましてや、高密度に多数の熱作用部をその構成の一部
とする液流路（ノズル）を設ける、いわゆる高密度マル
チオリアイス化の場合には、少なくとも液流路数だけ電
気熱変換体を一度に設ける必要性から、先の保護層の欠
陥による不良化の電気熱変換体の製造歩留りへの形容は
製造コストの面も含めて大きな問題である。また、前記
保護層の存在により熱応答性が犠牲になるという問題も
ある。更に、保ｗ！層の存在により所定の電気信号に対
する発熱応答性が犠牲になっている。従って、保護層が
なく、記録用の液体に発熱抵抗体が直に接触する状態で
あっても、耐熱性、耐酸化性、耐機械的衝撃性、耐電気
化学反応性、熱応答性に優れた電気熱変換体を具備する
液体噴射記録装置の開発が広く望まれている。

［発明の目的１ 本発明は、上記の諸点に鑑みてなされたものであって、
前記の従来における諸問題を解決した優れた液体噴射記
録ヘー、ド及び該記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装
置を提供することを主たる目的とする。

本発明の別の目的は、特に化学的安定性が高く、＃電気
化学反応性、耐酸化性に優れ・且つ耐機械的衝撃性、耐
熱性にも優れ、更に保護層をなくすことにより熱応答性
を向上させ得る発熱抵抗体を具備した液体噴射記録ヘッ
ド及び該記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装置を提供
することである。

［発明のＪ！！要Ｊ 本発明によれば、上記の目的は、液体を吐出して飛翔的
液滴を形成するために設けられた吐出口と前記飛翔的液
滴を形成するために利用される熱エネルギーを発生する
電気熱変換体とを具備する培体噴射記録ヘッドにおいて
、前記電気熱変換体を構成する発熱抵抗層が炭素原子を
母体とし水素原子を含有してなる非晶質材料からなり、
該発熱抵抗層において水素原子が膜厚方向に不均一に分
布していることを特徴とする。液体噴射記録ヘッド、及
び該液体噴射記録ヘッドを搭載した液体噴射記録装置に
よって達成される。

以下、図面を参照しながら本発明を具体的に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一実施態様例の
ａＩ＆を示す部分平面図であり、第２図はそのｆｆ−ｆ
ｆ断面図である。

図において、１２は電気熱変換体が設けられる支持体で
あり、１４は電気熱変換体を構成する発熱抵抗層であり
、１６．１７は電気熱変換体を構成する対をなす電極で
ある。第１図に示される様に、発熱抵抗層１４と該発熱
抵抗Ｎ１４に接続された１対の電極１６．１７との組が
複数個併設されており、これによって有効！５？！熱部
ｉｓ、ｉｓ’。

１８″、・・・・が所定の間隔をおいて配列されている
。尚、本実施態様例においては、一方の電極１６は複数
の電極がまとめられて共通の電極とされている。各発熱
部１８．１８’、１８″。

・・・拳を構成する発熱抵抗層１４に対してはそれぞれ
電極１６．１７を通じて電気信号が印加され、これに基
づき各発熱部が発熱する。

第２図に示５される様に、支持体１２と発熱抵抗層１４
と電極ｔｓ　、１７とを有する基板には支持体１２の発
熱部側に溝が形成された天板２ｏが接合されている。第
２図の［−１１１断面図を第３図に示す、第２図及び第
３図に示される様に、天板２０には各発熱部１８．１８
”、１８″、伽・−伽に対応する位置にそれぞれ第１図
のＩＩ−Ｉ！方向に沿う溝２２．２２’、２２″・・・
・が形成されている。これらの溝はそれぞれ支持体１２
どの間に記録液を収容する空間を形成する。これらの空
間は記録液に対し熱エネルギーを作用せしめる熱作用部
２４を有する。

第２図における左方において前記空間は外部に対し開口
しており、該開口が液体の吐出口２６となる。空間は第
２図における右方において記録液供給源と接続されてい
る。そして、空間において記録信号に基づき発熱部から
熱エネルギーが発生され空間内の記録液に作用すると該
記録液中において蒸気泡が発生し、その際の圧力で吐出
口２６付近の記録液が矢印Ｘの向きに吐出する。

尚、以上の説明から分る様に、第１図においては天板２
０の図示が省略されている。

本発明において、支持体１２の材料としては特に制限は
ないが、実際上はその表面上に形成される発熱抵抗層１
４を形成する際の熱及び使用時において該発８ＪＩ！、
抗層１４により発生される熱に対する耐久性の良好なも
のが好適に使用さレル、マた、支持体１ｚとしてはその
表面上に形成される発熱抵抗層１４よりも大きな電気抵
抗を有するのが好ましいが、支持体１２と発熱抵抗層１
４との間に絶縁層を介在せしめである場合には支持体１
２が発熱抵抗層１４よりも小さな電気抵抗を有する材料
からなるものであってもよい、更に、本発明においては
、液体噴射記録ヘッドの使用状況等に応じて、熱伝導性
の小さな或いは大きな支持体・１２を用いることができ
る。

本発明において使用される支持体１２としてはガラス、
セラミックス、シリコン、金属等の無機物からなるもの
やポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂等の有機物からなる
ものが例示できる。

本発明においては、発熱抵抗層１４は炭素原子を母体と
し水素原子を含有してなる非晶質材料からなる。

発熱抵抗層１４中における水素原子の含有率は・使用目
的の応じ所望の特性が得られる様に適宜選択されるが、
好ましくは０．０００１〜３０原子％であり、更に好ま
しくは０．０００５〜２０原子％であり、好適には０．
００１−１ｏ原子％である。

本発明においては、発熱抵抗層１４中における水素原子
の分布が膜厚方向に不均一となっている０発熱抵抗層１
４中における膜厚方向での水素原子の含有率変化は支持
体１２側から表面側へと次第に含有率が増加する様なも
のでもよいし、逆に含有率が減少する様なものでもよい
、更に、水素原子の含有率変化は発熱抵抗層１４中にお
いて極大値あるいは極小値をもつ様なものでもよい。

これら発熱抵抗層１４中における膜厚方向での水素原子
の含有率変化は所望の特性が得られる様に適宜選択され
る。

第４図〜第９図に、本発明記録ヘッド。発熱抵抗層１４
中における膜厚方向に関する水素原子。

含有率の変化の具体例を示す、これらの図において、縦
軸は支持体１２との界面からの膜厚方向の距離Ｔを表わ
し、ｔは発熱抵抗！１４の膜厚を表わす、また、横軸は
水素原子の含有率Ｃを表わす、尚、各図において、縦軸
Ｔ及び横軸Ｃのスケールは必ずしも均一ではなく、各図
の特徴が出る様に変化せしめられている。従って、実際
の適用に当っては各図につき具体的数値の差異にもとづ
く種々の分布が用いられる。

また、発熱抵抗層１４の厚さには特に制限がない。

本発明記録ヘッドにおける炭素を母体とし水素原子を含
有してなる非晶質材料（以下、ｒａ−Ｃ：Ｈ」と略記す
ることがある。からなる発熱抵抗層１４は、たとえばグ
ロー放電法の様なプラズマＣＶＤ法あるいはスパッタリ
ング法等の真空堆桔法によって形成される。

たとえば、グロー放電法によってａ−Ｃ：Ｈからなる抵
抗層１４を形成するには、基本的には支持体１２を減圧
下の堆積室内に配置し、該堆積室内に炭素原子（Ｃ）を
供給し得るＣ供給用の原料ガスと水素原子（Ｈ）を供給
し得るＨ供給用の原料ガスとを導入し、この際Ｈ供給用
原料ガスの導入量を変化させながら該堆積室内にて高周
波またはマイクロ波を用いてグロー放電を生起させ支持
体１２の表面上にａ−Ｃ：Ｈからなる層を形成させれば
よい。

また、スパッタリング法によってａ−Ｃ：Ｈからなる抵
抗層１４を形成するには、基本的には支持体１２を減圧
下の堆積室内に配置し、該堆積室内にてたとえばＡｒ、
Ｈｅ等の不活性ガスまたはこれらのガスをベースとした
混合ガスの雰囲気中でＣで構成されたターゲットをスパ
ッタリングする際、堆積室内にＨ供給用の原料ガスを導
入し、この際導入量を変化させればよい。

上記方法において、Ｃ供給用の原料ガス及びＨ供給用の
原料ガスとしては常温常圧においてガス状態のもののほ
かに減圧下においてガス化し得る物質を使用することが
できる。

Ｃ供給用の原料としては、たとえば炭素数１〜５の飽和
炭化水素、炭素数２〜５のエチレン系炭化水素、炭素数
２〜４のアセチレン系炭化水素、芳香族炭化水素等、具
体的には、飽和炭化水素としてはメタン（Ｃ）１４　）
　、エタン（Ｃ２Ｈｅ　）、プロパ７（Ｃ３Ｈ８）、ｎ
−ブタｙ（ｎ−Ｃ４Ｈ１ｏ）　、ペンタン（Ｃ５Ｈ１２
）　、エチレン系炭化水素としてはエチレン（Ｃ２Ｈ４
）　、プロピレン（Ｃ３Ｈ６）　、ブテン−１（Ｃ４Ｈ
８）、ブテン２　（Ｃ４Ｈａ　）　、　　インブチレン
（０４Ｈ８）、ペンテン（Ｃ５ＨＩＯ）　、アセチレン
系炭化水素としてはアセチレン（Ｃ２Ｈ２）　、メチル
アセチレン（Ｃ３Ｈ４）　、ブチン（Ｃ４Ｈｓ　）　、
芳香族炭化水素としてはベンゼン（Ｃａ　Ｈａ　）等が
あげられる。

Ｈ供給用の原料としては、たとえば水素ガス、及び上記
Ｃ供給用原料でもある飽和炭化水素、エチレン系炭化水
素、アセチレン系炭化水素、芳香族炭化水素等の炭化水
素があげられる。

これらの原料は単独で用いてもよいし・複数組合せて用
いてもよい。

以上の様な発熱抵抗層形成法において、形成される抵抗
層１４中に含まれる水素原子の量や抵抗層１４の特性を
制御するには、支持体温度、原料ガスの供給量、放電電
力、堆積室内の圧力等を適宜設定する。

特に、本発明の膜厚方向に水素原子の分布が不均一な発
熱抵抗層を１４を得るためには、堆積室内への水素原子
の導入量をたとえばバルブコントロール等により経時的
に変化させるのが好ましい。

支持体温度は好ましくは２０〜１５００℃、更に好まし
くは３０〜１２００℃、最適には５０〜１１００℃のう
ちから選ばれる。

原料ガスの供給量は目的とする発熱抵抗層性能や目標と
する成膜速度に応じ適宜決められる。

放電電力は好ましくは０．００１〜２０Ｗ／ｃｒｎ’、
より好ましくは０　、０１〜ｌ　５Ｗ／　ｃｒｎ’。

最適には０．０５〜ＩＯＷ／ｃｒｎ”のうちから選ばれ
る。

堆積室内の圧力は、好ましくは１０−４〜１０Ｔｏｒｒ
、より好ましくはには１Ｏ−２〜５Ｔｏｒｒとされる。

以上の様な発熱抵抗層形成法を用いて得られる本発明記
録ヘッドの抵抗層はダイヤモンドに近い特性を有する。

即ち、たとえばビッカース硬度１８００〜５０００のも
のが得られる。また、水素原子を含有するので特に成膜
が容易である。

本発明における発熱抵抗層は、機械的衝撃に対し高い耐
久性を有し且つ化学的安定性に優れているので、特別に
保護層を必要としない、したがって、本発明における発
熱抵抗層を用いた液体噴射記録ヘッドは信号入力にとも
なって発生される熱エネルギーが極めて効率よく液体に
付与されるので熱応答性が良好となる。このことは、液
体噴射記録ヘッドに入力される信号に対応して形成され
る飛翔液滴の吐出応答性の向上にもつながる。

但し、所望の応答性が発揮されるのであれば、上記した
様な発熱抵抗層上に保護層を形成しても一層にかまわな
い。

また、記録液が導電性の場合には電極間のショートを防
止する上で保護層が必要である。

上記実施態様例においては支持体上に発熱抵抗層及び電
極をこの順に設けた例が示されているが、本発明記録ヘ
ッドにおいては支持体上に電極及び発熱抵抗層をこの順
に設けてもよい、第１０図はこの様な記録ヘッドの電気
熱変換体を有する基板の部分断面図である。

尚１以上の実施態様例において、支持体１２は単一のも
のであるとされているが１本発明における支持体１２は
複合体であってもよい、その様な一実施態様例の構成を
第１１図に示す、即ち、支持体１２は基部１２ａと表面
層Ｌ２ｂとの複合体からなり、基部１２ａとしてはたと
えば上記第１〜３図に関し説明した支持体材料を使用す
ることができまた表面層１２ｂとしてはその上に形成さ
れる抵抗層１４との密着性のより良好な材料を使用する
ことができる０表面層１２ｂはたとえば炭素原子を母体
とする非晶質材料や従来より知られている酸化物等から
構成される。この様なＨＦａＲ１２ｂは５部１２ａ上に
上記発熱抵抗層形成法と類似の方法により適宜の原料を
用いて堆積させることにより得られる。また、表面層１
２ｂは通常のガラス質のグレーズ層であってもよく、あ
るいは基部１２ａが金属であればその表面を酸化させ形
成させた酸化物層であってもよい。

本発明記録ヘッドにおける電極１６．１７は所定の導電
性を有しているものであればよく、たとえばＡｕ、Ｃｕ
、Ａｌ、Ａｇ、Ｎｉ＄１）金属からなる。

次に１本発明の記録ヘッドの製造方法の概略について説
明する。

第１２図は支持体表面上に発熱抵抗層を形成する際に用
いられる堆積装置の一例を示す模式的説明図である。１
１０１は堆積室であり、１１０２〜１１０６はガスボン
ベであり、１１０７　Ｎ１１１１はマスフローコントロ
ーラーｔ’Ｊ！＋！Ｊ、１１１２〜１１１６は流入バル
ブであり、１１１７〜１１２１は流出バルブであり、１
１２２〜１１２６はガスボンベのバルブでア’ｌ、１１
２７〜１１３１は出口圧ゲージであり、１１３２は補助
バルブであり、１１３３はレバーであり、１１３４はメ
インバルブであり、１１３５はリークバルブであり。

１１３６は真空計であり、１１３７は製造すべき電気熱
変換体を有する基板を形成するための支持体材料であり
、１１３８はヒータであり、１１３９は支持体支持手段
であり、１１４０は高電圧電源であり、１１４１は電極
であり、１１４２はシャッタである。尚、１１４２−１
はスパッタリング法を行なう際に電極１１４１に取付け
られるターゲットである。

たとえば、１１０２にはＣＨ４ガス（純度９９゜９％以
上）が密封されており、１１０３にはＣ２Ｈ，ガス（純
度９９．９％以上）が密封されている。これらボンベ中
のガスを堆積室１１０１に流入させるに先立ち、各ガス
ボンベ１１０２〜１１０６のバルブ１１２２〜１１２６
及びリークバルブ１１３５が閉じられていることを確認
し、また流入バルブ１１１２〜１１１６．流出バルブ１
１１７〜１１２１及び補助バルブ１１３２が開かれてい
ることを確認して、先ずメインバルブ１１３４を開いて
堆積室１１０１及びガス配管内を排気する０次に真空計
１１３６の読みが１，５×１Ｏ−６Ｔｏｒｒになった時
点で、補助バルブ１１３２、流入バルブ１１１２〜１１
１Ｂ及び流出バルブ１１１７〜１１２１を閉じる。その
後、堆積室１１０１内に導入すべきガスのボンベに接続
されているガス配管のバルブを開いて所望のガスを堆積
室１１０１内に導入する。

次に、以上の装置を用いてグロー放電法によって本発明
記録へラドの抵抗層を形成する場合の手順の一例につい
て説明する。バルブ１．１２２を開いてガスボンベ１１
０２からＣＨ４ガスを流出させ、出口圧ゲージ１１２７
（７）圧力を１ｋｇ／ｃｒｎ’に調整し、次に流入バル
ブ１１１２を徐々に開いてマスフローコントローラ１１
０７内に流入させておく、続いて、流出バルブ１１１７
．ｍ助バルブ１１３２を徐々に開いてＣＨ４ガスを堆積
室１１０１内に導入する。この時、Ｃ・Ｈ４ガスの流量
が所望の値になる様にでスフローコントローラ１１０７
を調整し、また堆積室１１０１内の圧力力く所望の値に
なる様に真空計１１３６の読みを見ながらメインバルブ
１１３４の開度を調整する。そして、堆積室１１０１内
の支持手段１１３９により支持されている支持体重１３
７の温度が所望の温度になる様にヒータ１１３８により
加熱した上で・シャッタ１１４２を開き堆積室１ｌＯ１
内にてグロー放電を生起させる。そして、手動または外
部駆動モータ等により流出バルブ１１１７の開度を変化
させる操作を行なってＣＨ４ガスの流量を予め設計され
た変化率曲線に従って経時的に変化させ、これにより抵
抗層１４中におけるＨ原子の含有率を膜厚方向に変化さ
せる。

次に、以上の装置を用いてスパッタリング法によって本
発明記録ヘッドの抵抗層を形成する場合の手順の一例に
ついて説明する。高圧電源１１４０により高電圧が印加
される電極１１４１上には予め高純度グラファイト１１
４２−１をターゲットとして設置しておく。グロー放電
法の場合と同様にして、ガスポンベ１１０２からＣＨ４
ガスを所望のＦＩＬｉにて堆積室１１０１内に導入させ
る。

シャッタ１１４２を開いて、高圧電ｆｉｌ１４０を投入
することによりターゲラ）　１１４２−１をスパッタリ
ングする。尚、この際ヒータ１１３８により支持体１１
３７を所望の温度に加熱し、メインバルブ１１３４の開
度を調整することにより堆積室１１０１内を所望の圧力
とすることはグロー放電法の場合と同様である。そして
、上記グロー放電法の場合と同様に流出バルブ１１１７
の開度を変化させる操作を行なってＣＨ４ガスの流量を
予め設計された変化率曲線に　従って経時的に変化させ
、これにより抵抗層１４中におけるＨ原子の含有率を膜
厚方向に変化させる。

第１〜３図に示される様な液体噴射記録ヘッドの電気熱
変換体を有する基板の場合には、上記の様にして支持体
上に発熱抵抗層を形成した後に、該発熱抵抗層上に電極
形成のための導電層（たとえばＡｕ層、ＡＩＦＦｊ）を
形成し、その後フォトリソグラフィー技術を利用して導
電層及び発熱抵抗層のバターニングを行なう、そして、
更に必要ならば絶縁性材料等からなる保護層を積層して
もよい。

また、第１Ｏ図に示される様な液体噴射記録ヘッドの電
気熱変換体を有する基板の場合には。

予め支持体上に導電層を形成し、フォトリングラフイー
技術を用いて該導電層のパターニングを行なった後に、
以上の様なグロー放電法またはスパッタリング法による
発熱抵抗層の形成が行なわれる。

溝付の天板としては、たとえば上記支持体と同様な材質
からなり、適宜の手段たとえばマイクロカッターによる
機械的切削や化学的エツチング等により、また天板が感
光性ガラス等の場合には所望のパターンの露光、現像に
より溝を形成しえものを利用することができる。

電気熱変換体を有する基板と天板との接合は位置合せを
十分に行なった上でたとえば接着剤による接着や天板の
材質によっては熱融着によって行なうことができる。

以上の実施悪様例においては、！８１３図に部分斜視図
を示す様なタイプの液体噴射記録ヘッド即ち記録液吐出
口２６が天板２０に形成された溝２２の方向に開口して
いるヘッドについて説明したが１本発明においては第１
４図に示される様に液体吐出口２６が天板２０に直接設
けられていてもよい、第１４図のタイプ−ヘッドにおい
ては天板２０に形成された溝２２の端部の開口は記録液
導入・口として利用され、記録液は吐出口２６から矢印
Ｙの方向に吐出する。もちろん、溝２２の端部は一方が
閉じられた形状となっていてもよく、記録液の導入も少
なくとも一方の開口から行なわればよい。

次に、本発明液体噴射記録ヘッドの変形例を示゛す。

第１５図は上記第１４図におけるＩＸ−ＩＸ断面図であ
る。この場合には天板２０の溝２２の部分以外は電気熱
変換体を有する基板と密着している。

従って、天板２０の６溝２２に対応して形成される各熱
作用部２４は支持体１２との密着部分よりなるバリヤ部
３０により互いに遮断されている。

尚、第１５図において各発熱部１８は各吐出口２６に対
応して設けられている。

第１６〜１８図はその他の例を示す第１５図に対応する
断面図である。

第１６図の場合にはバリヤ部３０が支持体１２とは完全
には密着しておらず、各発熱部１８に対応する熱作用部
２４は互いに連通している。

第１７図の場合にはバリヤ部３０が天板２０ではなく基
板に形成されており、上記第１６図の場合と同様６発熱
部１８に対応する熱作用部２４は互いに連通している。

第１８図の場合には第１５〜１７図の場合の様なバリヤ
部は形成されていない。

ＪＬｈ。第１５〜１８図は第１４図に示されるタイプの
液体噴射記録ヘッドについてのものであるが、第１３図
に示されるタイプのものについても同様である。

バリヤ部（壁）３０は上記した様に必ず設けなければな
らないというものではない、隣接する吐出口から吐出さ
れる液体の吐出方向や吐出速度、または吐出量等に影響
を与えても飛翔液滴の被記録部材への着弾点に許容範囲
を越える誤差がでなければバリヤ部は必ずしも設ける必
要はない、しかし、吐出口間相互の影響を一層少なくす
るためやエネルギー効率（液体の吐出効率）を向上させ
るためにはバリヤ部を設けることは好ましい、また、バ
リヤ部は天板に一体的に形成されてもよいしバリヤ部の
みが別部材とされていてもよいのはもちろんである。平
板な天板としては前記溝付き天板と同様の材質を用いる
ことができる。また。

バリヤ部及び天板としては感光性樹脂を用いることもで
きる。

以下に、本発明液体噴射記録へ−Ｉドの具体的実施例を
示す。

［実施例］ 先ず、以下の実施例及び比較例において使用される電気
熱変換体を有する基板を次の要憤で作成した。

支持体としては、コーニング社製の＄７０５９ガラス、
表面層として熱酸化Ｓ・＋０２蓄熱層（厚さ５ｐｍ）を
設けたＳｉ板を用いた。

支持体上に発熱抵抗層及び電極、ならびに場合により更
に保護層を形成する。これら発熱抵抗層、電極及び保護
層の層構成は以下のＡ、Ｂ、Ｃの３種類のタイプとした
。

タイプＡ 支持体上に第１２図に示される堆積装置を用いて発熱抵
抗層を形成した。堆積の際の条件は第１表及び第２表に
それぞれ示される通りである。

尚、第１表記載の実施例はグロー放電法で行なわれ、ま
た第２表記載の実施例及び比較例はスパッタリング法に
より行なわれた。スパッタリングの際のターゲットとし
ては比較例を除いてグラフアイ）（９９，９９％）が用
いられ、比較例はＨｆＢ２が用いられた。

堆積中において各ガスの流量及びその他の条件は第１表
及び第２表にそれぞれ示されるとおりに保たれ、第３表
に示される厚さの発熱抵抗層が形成された３次に、その
発熱抵抗層上に電子ビーム法によりＡ１層を形成しフォ
トリソグラフィー技術によりレジストパターンを形成し
、Ａ１層を所望の形状にエツチングして複数対の電極を
形成した。続いて、フォトリソグラフィー技術によりレ
ジストパターンを形成してＨＦ系エツチング液を用いて
所定の部分の発熱抵抗層を除去した。その−例として、
４０ＪＬｍＸ２００ルｍの発熱抵抗層。

の部分からなる発熱部に上記電極が付されている発熱抵
抗素子を形成した。この発熱部は８個／ｍｍピッチで配
列した。

次に、感光性ポリイミド（商品名フォトニース）をスピ
ンコードする。そして、８０℃で１時間プリベークし、
アライナ−で露光後、現像し。

発熱部を窓あけ構造とした構成にする。そして、１４０
℃で３０分更に４００℃で１時間ポストベークをして電
気熱変換体を有する基板が完成する。

尚、かくして得られた電気熱変換体の各発熱部の抵抗は
第３表に示される通りであった。

尚、感光性ポリイミドはＡＩ主電極インク中における電
解を防ぐためのものである。

完成した電気熱変換体を有する基板の模式的斜視図を第
１９図に、模式的断面図を第２０図に示す０図において
、２Ｂはポリイミド層である。

タイプＢ タイプＡの場合と同様にして支持体上に発熱抵抗層を形
成した。堆積の条件は第１表及び第２表にそれぞれ示さ
れる通りである０、なお、堆積中において各ガスの流量
及びその他の条件は第１表及び第２表にそれぞれ示され
るとおりに保たれ、第３表に示される厚さの発熱抵抗層
をか形成された０次に、その発熱抵抗層上に電子ビーム
法によりＡｕ層を形成しフォトリソグラフィー技術によ
りレジストパターンを形成しＡｕ層を所望の形状にエツ
チングして複数対の電極を形成した。続いて、７オトリ
ソグラフイー技術によりレジストパターンを形成してＨ
Ｆ系エツチング液を用い−Ｃ所定の部分の発熱抵抗層を
除去した。その−例として４０　ＩＬｍＸ　２００ルｍ
の発熱抵抗層の部分からなる発熱部に上記電極が付され
ている発熱抵抗素子を形成した。この発熱部は８個／ｍ
ｍピッチで配列した。かくして、電気熱変換体を有する
基板が完成する。

尚、かくして得られた電気熱変換体の各発熱部の抵抗は
第３表に示される通りであった。

完成した電気熱変換体を有する基板の模式的斜視図を第
２１図に、模式的断面図を第２２図に示す。

タイプＣ 支持体上に電子ビーム法によりＡ１層を形成しフォトリ
ソグラフィー技術によりレジストパターンを形成しＡｔ
層を所望の形状にエツチングして複数対の電極を形成し
た０次に、パターンが形成されたＡ１層の上に発熱抵抗
層を形成した。

発熱抵抗層はタイプＡの場合と同様にして形成された。

堆積の条件は第１表及び第２表にそれぞれ示される通り
に保たれ、第３表に示される厚さの発熱抵抗層が形成さ
れた。続いて、フォトリソグラフィー技術によりレジス
トパターンを形成してＨＦ系エツチング液を用いて所定
の部分の発熱抵抗層を除去した。その−例として４０ｇ
ｍＸ２００終ｍの発熱抵抗層の部分からなる発熱部に上
記電極が付されている発熱抵抗素子を形成した。

この発熱部は８個／　ｍ　ｍピッチで配列した。尚、Ａ
Ｉ主電極この発熱抵抗層によって保護されているので保
護膜を形成する必要はない、かくして。

電気熱変換体を有する基板が完成する。

尚、かくして得られた電気熱変換体の各発熱部の抵抗は
第３表に示される通りであった。

完成した電気熱変換体を宥する基板の模式的斜視図を第
２３図に、模式的断面図を第２４図に示す。

以上の様にして完成した電気熱変換体を有する基板を用
いて液体噴射記録ヘッドを作成する０作成されるヘッド
には上記第１３図に示されるタイプ（以下、タイプｌと
いう）及び上記第１４図に示されるタイプ（以下、タイ
プ２という）がある。

タイプ１については２種類の作成方法により、またタイ
プ２については１種類の作成方法により作成が行なわれ
た。以下、それらの作成方法について述べる。

タイプ１−１ 先ず、第２５図の模式的斜視図に示す様に、ガラス板４
０に複数本の溝２２（輻４０ルｍ、深さ４０ｇｍ）と共
通インク室となる溝４２とをマイクロカッターを用いて
切削形成してなる溝付きの天板２０を作成する。

次に、上記で完成した基板と天板２０とを発熱部と溝２
２との位置合せをした上で接合し、更に第２６図の模式
的斜視図に示す様に不図示のインク供給部から共通イン
ク室にインクを導入するためのインク導入管４４を接続
して記録へラド４６を一体的に完成した。

タイプ１−２ 上記で完成した基板上に感光性フィルム５０（商品名オ
ーディール、東京応化）をラミネートする。そして、ア
ライナ−で露光し、現像し、所望のパターン形状に作成
する０次に、感光性樹脂フィルム５２（商品名オーディ
ール、東京応化〕をラミネートしたガラス板５４を上記
のパターン形成したフィルム上にはりあわせ接合する。

そして、この接合体をたとえばダイシング切断等の機械
加工により整形して吐出口２６を形成し、更に不図示の
インク供給部から共通インク室にインク導入管４４を接
続して、第２７図の模式的斜視図に示す様な記録ヘッド
５６が一体的に完成した。

タイプ２ 先ず、吐出口２６が形成された天板２０を作成する。天
板２０はエツチングなどで溝をつけたステンレス板上に
感光性フィルム（商品名ＰＨＴ−１４５ＦＴ−５０．１
１立化成）のパターンを形成し、そしてその上にＮｉメ
ッキで電鋳をして作成する、吐出口２６として穴があく
部分は感光性フィルムのパターンがあるところである。

この様にして作成した天板２０と上記で完成した基板と
を発熱部とこれに対応した吐出口２６とで位置合せをし
て接着剤で接合する。尚、基板は天板２０、内にインク
が供給できる様に１機械加工で穴をあけである０次に、
接合した基板の背面に不図示のインク供給部から共通イ
ンク室にインクを導入するための導入管６０を接合して
第２８図の模式的斜視図に示す様な記録へラド６２を一
体的に完成した。尚、６４は天板２０の凹部であリバリ
ャ部を構成する。

電気熱変換体を有する基板の層構成のタイプＡ、タイプ
Ｂ、タイプＣとヘッド作成方法のタイプ１−１．タイプ
ｌ−２，タイプ２との組合せがあるが、以下の耐久性実
験においてはタイプＡとタイプ１−１との組合せが用い
られた。

以下、作成された記録ヘッドの耐久性についての実験に
ついて述べる。

以上において作成された記録ヘッドには各発熱部に関す
る個別の電極１７と各発熱部に共通の電極１６とにそれ
ぞれ接続されている電極リード（個別電極リード及び共
通電極り−ド：不図示）を有するリード基板が付設され
、記録ヘッドユニットが完成した。

これら記録へラドユニットを用いて、第２９図に概略斜
視図の示される様な液体噴射記録装置を構成した。

１５２９図において、７０は記録ヘッドユニットであり
、７２は該記録ヘッドユニット７０の蔵置されているキ
ャリッジであり、７４は該キャリッジ７２の往復移動の
ためのガイド部材である。また、７６はプラテンであり
、７８は該プラテン７６上に保持されている被記録部材
たとえば紙である。

記録ヘッドユニット７０の記録液吐出口は矢印Ｚの方向
を向いており、記録液は該矢印方向に液滴となって吐出
せしめられ、プラテン７６上の被記録部材７８上にドツ
ト状に付着する。適宜の駆動手段により記録ヘッドユニ
ット７０をガイド部材７４に沿って移動させることによ
り主走査が行なわれ、一方適宜の駆動手段によりプラテ
ン７６を回転軸７７のまわりに回転させることにより副
走査が行なわれ、これにより被記録部材７８上に記録が
行なわれる。

実験条件は次の通りであった。

発熱部にＬＯｐ、ｓｅｃのパルス幅、２０ＱＪＬＳｅＣ
のパルス入力周期で最低発泡電圧（インク中で発泡しは
じめる電圧）の１．２倍の電圧（たとえば最低発泡電圧
が２０Ｖであれば２４ｖ）の矩形パルスを印加した。用
いたインクの組成は以下の通りであった。

水　　　　　　　　　　６８重量部 ＤＥＣ３０重量部 黒色染料　　　　　　　　２重量部 上記実験条件及びインクを用いてインク滴吐出実験を行
なったところ、第３表に示す様な耐久性評価が得られた
。

なお、このらの実施例及び比較例における耐久性の評価
は次の通り電気的パルスの繰返し印加可能回数により行
なった。即ち、第３表中の耐久性の欄に示されている「
○」、「×」は、以下の通り電気的パルスの繰返し印加
回数が何回であったかを示している。

Ｑ　　　　　　ｌｏ’１回以上 ×　　　　　１０ａ回以下 以上の結果から１本発明の実施例においては比較例に比
べて著しく優れた耐久性を有する記録ヘッドが得られた
ことが分る。また、本発明実施例においては記録性も優
れていいるものであった。

上記耐久性実験においては上記タイプＡとタイプ１−１
との組合せが用いられたが、他の組合せにおいても同様
の結果が得られた。

第　　　　　３　　　　　表 次に１本発明液体噴射記録装置の一実施態様例一部切欠
斜視図を第３０図に示す。

本実施態様例においては、２個の記録へッドユーッ）７
０がそれぞれ押え部材７１により並列に一ヤリッジ７２
に固定されて載置されている。記録へ７ドユニツト７０
はいわゆる使い捨てタイプ・ものであり、記録液を内蔵
している。キャリツー７２のガイド部材７４に沿っての
移動は、ブーｓｏ、ａｉ間に巻回されたワイヤ８２の一
部を二足キャリッジ７２に固定しておき、モータ８４−
よりプーリ８１を駆動回転させることにより行：われる
。

一方、プラテン７６の回転軸７７はモータ８６−びギヤ
機構８８により駆動回転せしめられ、こ−により被記録
部材７８が送られる。

９０はキャリッジ７２を介して記録へッドユーツ）７０
に対しＺ方向への記録液の吐出の電気ｚ号を供給するた
め、キャリッジ７２に接続され二いるフレキシブル配線
板である。

：発明の効果］ 以上の様な本発明によれば、発熱抵抗層として炭素原子
を母体とし水素原子を含有してなる非晶質材料を用いて
いることにより、化学的安定性が高く、＃電気化学反応
性、耐酸化性に優れ、且つ耐機械的衝撃性、耐熱性に優
れた電気熱変換体を有し、従って熱応答性及び繰返し使
用耐久性が極めて良好な液体噴射記録ヘッド及び液体噴
射記録装置が提供される０本発明によれば特に発熱抵抗
層の成膜が容易である。

よって、本発明により高周波数応答でしかも信頼性の高
い液体噴射記録を実現することが可能となる。

更に１本発明によれば、発熱抵抗層中における水素原子
の含有率を膜厚方向に不均一分布となしているので、蓄
熱性や放熱性や支持体と抵抗層との密着性や記録液との
耐化学反応性等の種々の特性を容易に実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明記録ヘッドの部分平面図であり、第２図
はその■−■断面図であり、第３図は第２図のｍ−ｍ断
面図である。 第４〜９図は発熱抵抗層中における水素原子の含有率の
分布を示すグラフである。 第１０図及び第１１図は本発明記録ヘッドの電気熱変換
体を有する基板の部分断面図である。 第１２図は堆積装置の模式的説明図である。 第１３図及びｆｊＳ１４図は本発明記録ヘッドの部分斜
視図である。 第１５図〜第１８図は本発明記録ヘッドの部分断面図で
ある。 第１９図、第２１図及び第２３図は本発明記録ヘッドの
電気熱変換体を有する基板の斜視図であり、第２０図、
第２２図及び第２４図はそれぞれそれらの断面図である
。 第２５図は本発明記録ヘッドの天板の斜視図である。 第２６図、第２７図及び第２８図は本発明記録ヘッドの
斜視図である。 第２９図は本発明記録装置の斜視図である。 第３０図は本発明記録装置の一部切欠斜視図である。 １２：支持体　　　　２４：発熱抵抗層１５．１７：電
極　　１８：発熱部 ２０：天板　　　　　２４：熱作用部 ２６：吐出口 代理人　　弁理士　　山　下　穣　平 方１　図 どｌ＋　　　　２４　　　２４ 第４図 第５図 第６図 第７図 Ｃ 第８図 第７図 ＯＣ 第１３図 第１４図 第１９図 第１ＣＩ！１ 第２１図 第２λ図 υ２１ 第２３図 第２−４ス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）液体を吐出して飛翔的液滴を形成するために設け
   られた吐出口と前記飛翔的液滴を形成するために利用さ
   れる熱エネルギーを発生する電気熱変換体とを具備する
   液体噴射記録ヘッドにおいて、前記電気熱変換体を構成
   する発熱抵抗層が炭素原子を母体とし水素原子を含有し
   てなる非晶質材料からなり、該発熱抵抗層において水素
   原子が膜厚方向に不均一に分布していることを特徴とす
   る、液体噴射記録ヘッド。
2. （２）液体を吐出して飛翔的液滴を形成するために設け
   られた吐出口と前記飛翔的液滴を形成するために利用さ
   れる熱エネルギーを発生する電気熱変換体とを具備する
   液体噴射記録ヘッドを搭載してなる液体噴射記録装置に
   おいて、前記電気熱変換体を構成する発熱抵抗層が炭素
   原子を母体とし水素原子を含有してなる非晶質材料から
   なり、該発熱抵抗層において水素原子が膜厚方向に不均
   一に分布していることを特徴とする、液体噴射記録装置
   。