JPS61286706A - 位置検出方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば半導体チップのマウント行程で用いら
れる半導体チップ等の微小物体の位置を検出する位置検
出方式に関する。

半導体素子を自動的に組立てる場合、機械的な手段を用
い容易に正確な位置合せが可能な部品と。

部品が微小であるため機械的な位置合せが不可能な部品
がある。

本発明はこのうち機械的な位置合せが不可能な明細書の
浄書（内容に変更なし）− 微小部品の位置ずれを光学的な手段で検出し１部品の組
立を自動化に適し、不良刻印の位置を正確に検出できる
位置検出方式を提供することを目的とするものでおる。

（以下余白） 以下本発明の一実施例として集積回路素子（以下ＩＣチ
ップと言う）のマウント工程をあげて詳部に引伸ばして
張られた合成樹脂製フィルム３の上へ１個ずつ離された
状態で配列されている。

この引伸し精度が良ければ、リング２を移動させる移動
機構であるＸ−Ｙステージ４で定量送シを行い基準地点
へ設定出来るが、現実には合成樹脂フィルム３の伸びが
一様ではないため、引伸し精度が悪く、ＩＣチップ１の
位置ずれの検出をしＸ−Ｙステージ４の駆動制御が必要
となる。

ＩＣチップ１は光源５の照明光５ａで照明され、撮像装
置６でＩＣチップ１の光学像を２次元の像に対応して電
気信号に変換する。撮像装置６には、たて３２ビツト、
横３２ビツトで１画面当り１０２４ビツトの映像信号を
得ることができるようなテレビカメラを用いればよい。

撮像装置６の映像信号７と同期信号８はアナログ−デジ
タル変換器（以下Ａ−Ｄ変換器と言う）９に入力され、
同期信号８の１画面信号と、−ライン走査信号と、−絵
素子信号に同期して１画面分の映像信号を順次７ビツト
のデジタル蓄に変換し、メモリ１０の映像番地、すなわ
ちＢＩＺＯ番地より１番地毎に最後にＢＩＺＯ＋１０２
３番地までデータバス１１を介して記憶する。メモリ番
地は、アドレスバス１２から得られる同期信号により、
アドレスバッファ（アドレス選択回路）１３が作動して
制御される。こうしてデジタル変換が終了するとＡ−Ｄ
変換器９より比較用基準信号を発生するためのしきい値
算出器１５へ終了信号１４が送られる。

しきい値算出器１５は終了信号１４を受信すると、メモ
リ１０のＥＩＺＯ番地乃至ＥＩＺＯ，＋１０２３番地の
映像信号のデジタル量を順次読み出しデジタル量に応じ
て決められた各カウンタの内容を１カウント増加させ積
算する。

第２図はしきい値算出器１５の具体的構成を示しており
、これを参照して対象ＩＣチップ選別のためのしきい値
算出方法を説明する。すでに述べたようにＡ−Ｄ変換が
終了すると、Ａ−Ｄ変換器９、より終了信号１４がアド
レス制御部２０１へ入力されアドレスバス１２、アドレ
スバッファ１３ヲ介シ、メモリ１０のＥＩＺＯ番地のデ
ータをデータバス１１を介し２進−１０進変換用デコー
ダ２０２へ出力される。このデータはそのデジタル量に
応じて制御部２０１からのタイミングパルス２０３に同
期してデコーダ２０２　　で変換される。そしてデコー
ダ２０２の各桁に接続された各カウンタ２０４（ｉ）い
＝１〜Ｎ）に入力され、そのカウンタ２ｏ４（ｉ）を１
カウントずつ増加させる。同じ動作なＥＩＺＯ＋１０２
３番地まで行う。

こうして映像信号の大きさく波高値レベル）の分類が終
ると、まず大きさの小さい映像信号の数を計数したカウ
ンターより順次計数値を累計する。

そして、その値が撮像装置６でチップの存在しな゛い引
伸しテープ３のみの部分を検出する撮像装置６の絵素子
数の平均値にほぼ等しい値ｆＬ　　になるまで計算器２
０５でカウンタ毎に決められている映像データの大きさ
とその計数値の積を累計し、これを値ｆＬ　　で割シ映
像信号の値の低い領域の信号レベル平均値ｅｌを計算す
る。

一方、大きさの高い映像信号数を計数したカウンタ【り
順次計数値を計数し、その値が４個より８個の間の任意
の値で、カウンタｚｏ＋（ｉ）　　のデータの大きさと
その計数値の積を累計し、その個数で割シ映像信号の高
い領域の平均値をｅＨを計算器２０５で計算する。

こうして求めた低い領域の平均値ら　は、引伸テープ３
の反射面による映像信号の平均値とほぼ等しいが、完全
にチップの存在による映像成分と分離するため、信号選
別のためのしきい値は、低い領域の平均値ε　に高い領
域の平均値晶　と低い領域の領均値ε　の差の５分の１
を加算した値、すなわち、しきい値を廓　とすれば Ｌ−ｅＨ ＢＢヨ　　　　　　　　　　　　　　＋ｅしに設定すれ
ば良いことが試行により見い出される。

この値をメモリー０のＢＩＡＳ　　番地に記憶させると
ともに、しきい値ＥＢ　　は信号線１６で対象物抽出装
置１７に入力される。

第３図に映像信号のデジタル値をしきい値ＥＢと比較し
、しきい値以上の映像信号のみを図示したものを示す。

図に於いて水平番地３００と垂直番地３０１でメモリ１
０のＢＩＺＯ＋　ｉ　　番地自体を表わしている。ＢＩ
ＺＯ番地はＸ＝ｏ、Ｙ−０と表わし、ＢＩＺＯ＋　１０
２３番地は、Ｘ＝３１、Ｙ＝３１と表わす。

つまシ番地の１＝３２・Ｙ十Ｘの関係を満たしている。

ここで以後の位置検出等に必要なチップは３０６であシ
、その他のチップ３０２〜３０５とチップ３０７〜３１
０は不要なチップである。

第３図のチップ３０６を抽出する第１の方法を第４図、
第５図、第６図を参照して説明する。

まず第４図で示す中心座標０の上下、左右に前記しきい
値ＥＢ　　以上の映像信号があるか否かを調べ、その番
地自体（内容値ではない）をＣＨＩＰ（ｉ）として後述
するメモリに登録し、さらに登録されたすべてのＣＨＩ
Ｐ（ｉ　）について調べる。尚第３図の３０６のように
θ〜４を調べた場合、すべてＥＢ　　より小さくなるこ
とがあるので５．６のような水平方向位置も調べる。

第５図にそれらの具体的抽出動作例を示す。対象物を調
べる最初の原点座標は、第３図の中心線３１１　、３１
２　　の交点Ｘ＝１５、Ｙ−１５であり、ＥＩ頷番地に
換算すればＢＩＺＯ＋４９５となる。

まず第５図の丸印はしきい値以上のＩＣチップであシ、
円内の数字はＣＨＩＰ（ｊ）番地の登録番地ｊである。

まず原点Ｏの映像信号がメモリ１０から読み出され、し
きい値ＥＢ　　と比較されるが、しきい値以下であるの
でＣＨＩＰ（ｊ）番地には登録されない。次に上下左右
を調べるとしきい値ＥＢ　　以上あるのでＣＨＩＰＩ）
番地に番地ｊの値１．２．３．４とその映像番地ＥＩＺ
Ｏ＋ｉが同時に登録される。次に１を中心に上下左右を
チェックし、しきい値以上の５６を登録する同様にＣＨ
Ｉ　Ｐ　（ｉ　）　　番地に登録されたＥＩＺＯ＋ｉ番
地のすべてについて行うと、円内に数字で示した部分の
み抽出できる。上下左右のチェックで登録された番地を
何回もチェックするが、二重登録を防ぐため登録したＥ
ＩＺＯ＋ｉ番地の存在するメモリの最高ビット（桁）す
なわち０ビツト目をチェックビットとして、”１”にセ
ットして、メモリの第Ｏビット目の値を調べることによ
りニ重登録を防いでいる。

第６図に示した具体的回路構成を参照して説明すると、
しきい値ＥＢ　　は上述したように信号線１６で設定部
６０２のＯビットを除いた部分に設定される。最初の原
点座標Ｘ−１５、Ｙ　−１５（ＥＩＺＯ＋４９５番地）
は制御部６００に記憶されており、アドレスバス１２、
アドレスバッファ１３を介してメモリｌＯのＥＩＺＯ＋
４９５番地の内容がデータバス１１を介し、レジスタ６
０４へ入力される。制御部６００より設定部６０２の登
録チェックビット６０２ａを信号線６０５で”１”レベ
ルとする。設定部６０２は、チェックビット６０２ａ　
　の大きさＣとしきい値ＥＢ　　の加算した値（０＋Ｅ
Ｂ）　　となり、レジスタ６０４の内容と比較される。

レジスタ６０４の内容が上記（０＋　ＢＢ　）より低け
れば制御部６００より比較指令信号６０６を発して比較
器６０３を作動させても信号線６０７にはには信号は発
生しない。すなわちレジスタ６０４の内容は初めて調べ
られた番地の内容である。次に制御部６００からの信号
でチェックピッ）　６０２ａを“Ｏ”レベルにしてレジ
スターの内容６０４と比較させるがしきい値以下である
ので比較指令信号６０６を発しても信号線６０７には信
号が依然として表われない。次に座標原点の上の番地を
レジスタ６０４に読み出し、設定部６０２の信号（０＋
ＥＢ）　　と比較し、それより小さければ、しきい値Ｅ
Ｂ　　と比較するレジスタ６０４の内容がＥ、　　より
大きい場合、比較指令信号６０６を発すると信号線６０
７に信号を発生し、レジスタ６０４のチェックビット６
０４ａヲ”１′″レベルに設定し、今までのＥＩＺＯ＋
ｉ番地の内容と交換すると共にチップ登碌部６０１のＣ
ＨＩＰ（ｊ）番地にＢ　Ｉ　ＺＯ＋　ｉが登録される。

次にＣＨＩＰ（ｊ）のＯ番地より順次登録された番地を
制御部６００に設定し、・メモリ１０のデータを読み出
し、上下左右を調べ対象チップを抽出する。

対象チップを抽出する第２の手段を説明する。

第３図で示す映像信号のしきい値以下の数をＸ番地、Ｙ
番地ごとに計数すれば第７図の様になる。

Ｘ番゛地では、原点Ｘ＝１５をはさんで７０１と７０２
が最大となシ、Ｙ番地では７０３と７０４が最大となる
。

すなわちＸ番地がＸ＝１０よｆｉＸ＝２０まで、Ｙ番地
がＹ＝８よ、りＹ＝２１までの範囲で囲まれた部分が対
象チップとなる。

次に第８図で具体的なチップ抽出装置の構成を説明する
。

しきい値ＥＢ　　は前述した信号線１６で設定されてい
る。メモリ１０のデータは制御器ＳＯＯ、アドレスバス
１２．アドレスバッファ１３を介しデータバスでレジス
タ８０１にＥＩＺＯ番地よりＥＩＺＯ＋１０２３番地ま
で順次読み出され比較器８０２で比較される。

制御器１０で指定するＥ　Ｉ　ＺＯ＋　ｉ番地は１０ビ
ツトの２進数で出力されるが、上位５ビツトを２進−１
０進変換用デコーダ８０４に、又下位５ビツトをデコー
ダ８０５に入力させればデコーダ８０４はＹ番地、デコ
ーダ８０５はＸ番地を出力する。各番人に１個ずつカウ
ンタ８０６〜８７０を接続し、　ＥＩＺＯ＋ｉ番地のデ
ータを読み出し、比較器８０２でしきい値と比較し、太
きければ制御器８００より比較指定パルス８７１を比較
器８０２に送ればデコーダ８０４　、８０５　　を介し
てＹ（ｉ）　　番地Ｘ（ｉ）　　番地に相当するカウン
タ８０６〜８７０の内容が１ガウントずつ増加する。同
様にしてＥＩＺＯ＋１０２３まで比較を行い、終了した
ら最大値検出部８７２で原点（Ｘ−１５，Ｙ−１５）を
はさむ最大値の番地すなわち、第７図の７０１．７０２
７０３．７０４に対応した番地を検出し、Ｘ番地はＸ−
１０より太き（Ｘ−２０より小さい範囲、Ｙ番地はＹ−
８より大き（Ｙ−２１より小さい範囲に対象チップがあ
ることを制御器８００に伝達する。制御器８００は再び
メモリ１０のＥＩＺＯよりＥＩＺＯ＋１０２３までを順
次読み出しＥＩＺＯ＋ｉ番地が１０＜Ｘ＜２０゜８＜Ｙ
＜２１の範囲にあればレジスタ８０１の最上位８０１ａ
　　を信号線８７３で“１２レベルに設定し、メモリ１
０のＥＩＺＯ−Ｎ番地のデータを書き替える。抽出が終
ると終了信号１８をチップ不良検出装置１９に発生する
。

対象物を抽出する方式の第３の方式として、第９図、第
１０図、第１１図を基に説明する。

まず第９図に示す任意の位置１４０１を中心に上下左右
の４方向で映像がしきい値ＥＢ　　以下になる番地を調
べそれより前の番地をそれぞれ１４ｏ２．１４０３．１
４０４　、１４０５　　とする。これらの番地と中心の
１４０１　　番地を比較して一番距離の離れている１４
０３　　番地を出発点ＳＰとして記憶する。

次に出発点ＳＰの１４０３　　番地とその左側１４０６
番地と左下側１４０７　　番地と下側の１４０８　　番
地で４分割された検出視野１０９を構成する。この４分
割された検出視野１０９でしきい値ＥＢ　　以上とし７
きい値ＥＢ　以下の境界線を調べる。

これら４分割された視野１４０３．１４０６．１４０７
．１４０８　　の各番地の映像信号がしきい値ＥＢ　以
上であるか否を調べそのしきい値ＥＢ　以上のバタンか
第１０図に示す基準バタン１５０１〜１５１３と比較し
、一致したバタンを探し、その番地を記憶すると共にそ
のバタンに示しである矢印の方向へ検出視野を１段移動
させ再び４分割された視野１４０３．１４０６．１４０
７、　１４０８の番地の映像信号がしきい値ＥＢ　以上
か否かを調べ、第１０図の基準バタンに基ずき視野１０
９を移動させると共に、しきい値以上の番地−を記憶す
る。これらの視野１４０３．１４０６．１４０７．１４
０８　　のいずれかの番地が出発点ＳＰに重なり　−致
するまで行う。

記憶されたしきい値ＥＢ　以上の番地で囲んだ部分が対
象物となる。

次に第１１図の具体的回路構成を参照して動作を説明す
る。

しきい値ＥＢ　　は上述した信号線１６で設定部１６０
１に設定される。

任意の中心位置１４０１　　よυ上、下、左、右に映像
信号を調べるがまず上方向に調べるすなわち中心位置１
４０１をＥＩＺＯ＋ｉ番地とすれば、撮像装置６の横一
列が３２番地で構成されているから、中心位置の上の番
地は（ＥＩＺＯ＋　ｉ　）−３２でその番地が制御部１
６００　　よりアドレスバス１２、アドレスバッファ１
３を介しメモリ１０よりデータバス１１でレジスタ１６
０３　　に入力され、コンパレータ１６０２　　でしき
い値ＥＢ　　と比較されしきい値以上ならばその番地（
ＥＩ　ＺＯ＋　ｉ　）−３２を上方向番地０ＲＧＵとし
てチップ登録部１６０６　　に記憶する。そして（ＥＩ
ＺＯ＋ｉ）番地の映像信号がしきい値ＥＢ　以下になる
までくシ返し、そのつど上方向番地０ＲＧＵを書き替え
る。

次に中心位ｆ＆　１４０１　　よυ下方向、左方向、右
方向で同じ様に境界を調べ、それぞれ下方向番地０ＲＧ
Ｄ　、左方向０ＲＯＬ、右方向０ＲＧＲ，をチップ登録
部１６０６に記憶する。

４方向の境界が求められたら制御部１６００　　で中心
位置との距離を計算し、最長位置１４０３　　の０１１
（ＯＤを、チップ登録部１６０６　　に出発点ＳＰとし
て記憶し、その他の０ＲＧｔＪ　、　ＯＲ，ＯＬ　、　
ＯＲＧ凡をチップ登録部１６０６　　から取シ消す。

出発点１４０３　　の左側１４０６、左下側１４０７、
下側１４０８　　のＥＩＺＯ＋ｉ番地をレジスタ１６０
３　　に読み出し、しきい値ＥＢ　　と比較する。そし
てしきい値以上であったらチップ登録部１６０６　　に
そのＥＩＺＯ＋ｉ番地自体を記憶すると共に、バタン登
録部１６０５に４分割視野のどの部分がしきい値以上か
を記憶し、４つの視野の比較が終ったらチップ登録部１
６０６　　の基準バタンと比較し、第１０図に示す進行
　・方向を信号線１６１０　で制御部１６００　　に伝
え、この進行方向の信号で次に比較するＥＩＺＯ，＋ｉ
番地を制御部１６００　　で設定する。

ＥＩＺＯ＋ｉ番地が出発点１４０３　　のｓｐ番地と一
致するまで映像信号としきい値の比較が行われる。

ＥＩＺＯ＋ｉ番地と出発点ＳＰ番地が一致すればチップ
登録部１６０６　　に記憶された番地が対象物の輪郭と
なる。

次に上述した種々の方法により検出された第１２図に示
すチップ９００が正常か否かを調べるチップ良否判定回
路１９の具体的構成について第１３図を参照して説明す
る。

まずメモリ１０のＥＩＺＯ＋ｉ番地よりそのデータの最
上位が“１”レベルの映像信号を演算機１ｏｏｏ　　に
読み込み、プログラム１００１　　にしたがい最上位の
“ビビットを取シ除き、取シ除いた後のディジタル映像
信号の緩和なＥＯとする。次に第１２図のチップ９００
を周辺１番地分ずつ取り除き残った部分すなわち線９０
１ａ　、　９０１ｂ　、　９０１Ｇ　、　９０１ｄ　　
で囲った部分の映像信号の総和なＥｉｎとして、そのと
きの絵素十数にでＥｉｎを割れば１絵素子当りの映像信
号の平均値ｅが求められる。

周辺を１番地分取除くのはチップ像の周辺は光電素子の
一部しか入力しないため映像信号電圧の差が大きいので
完全に光電素子に入力する中心部のみで平均値ｅを求め
る。

チップの大きさはパネル１００２　　より入力され、メ
モリ１０のＳＩＺｇ番地に絵素十数に換算され入力され
ているので、演算機１０００　　にその値Ｓを読み出し
、上述した平均値ｅに絵素十数Ｓを乗ずれば仮想映像信
号Ｅｓ　　が求凍る。とのＥｓとＥｏを演算機１０００
　　で比較して実測の映像信号の総和ｇｏがαＩＥｓ　
＜　Ｅｏ　＜α２Ｅｓ　　の転用ならばチップは良品、
それ以外は不良品である。α１１．〜は比例定数であシ
光学系の傾斜も考慮して実験的に求めると光学系の傾き
を３０度とすればα、−０．９７．α、＝１．０３尚、
第１２図の空白９０２は赤インキによる不良の刻印であ
シ、又第３図のチップ３０２．３０４　　の空白は欠は
割振である。

チップの良否の判定が終了すると終了信号２０が位置検
出装置２１へ入力される。

位置検出はチップの良否にかかわらずチップがあればか
ならず行う必要がある。第１４図の境界１１０１と１１
０２でチップを４分割すればＡ、Ｂ、ＣＤの領域に分け
られる。この領域のチップの映像信号を累計すればそれ
ぞれ値Ｅａ％Ｅｂ　、　Ｅｃ　、　Ｅｄ　が求まる。こ
の値よりＸ方向のずれ量をΔＸとすればＸ方向のずれ量
をΔｙ ただし、Ｅｏ　−Ｅａ　＋　Ｂｂ　＋　Ｂｅ　＋　Ｅｄ
　％ｌｘはチップのＸ方向の距離ｓ　ｌ’ｊはチップの
Ｙ方向の距離である。上記式では偏差を総和Ｅｏ　　で
割っているので、光源のドリフト、チップの反射率の変
化の影響を取シ除く効果もある。

第１５図は位置検出装置の具体的な回路構成であシ、制
御部１２００　　でアドレスバス１２、アドレスバッフ
ァ１３を介しメモＩＪ　１０のＥＩＺＯ＋ｉ番地は順次
読み出され、そのデーダの最上位が”１“ビットであれ
ばデコーダ１２０１　　にその番地の上位５ビツト（Ｙ
座標）を入力させ、デコーダ１２０２　　に下位５ビツ
ト（Ｘ座標）を入力させ境界を設定器１２ｏ５．１２０
６　　に設定する。すなわちいずれもＹ＝１５．Ｘ＝１
５とする。この設定値とＥＩＺＯ＋ｉ番地を比較すれば
比較器１２０３　　のＹｌ又はＹ２のいずれかに、１２
０４　はＸ、又はＸ２のいずれかに比較信号が出力され
る。ＢＩＺＯ＋ｉ番地のデータは最上位ビット”１”が
取シ除かれ、ＹＩ又は￥２とＸＩ又はＸ２の信号で加算
器１２０７〜１２１０に加算される。加算器１２０７に
はＥａ　十Ｅｂ　　１２０８にはＥｃ　＋　Ｅｄ　　１
２０９１ｅｔ　Ｅｂ　＋Ｅｃ　　１２１０　　にはＥａ
　＋　Ｅｄが累計される。

演ｊｌ［１２１１でＸ方向のずれをパルスモータのパル
ス数に変換した信号を計算し１２１２　　に出力する。

最上位のレベル”１”は−Ｘ方向、°０′は＋Ｘ方向と
して出力する。同様にＸ方向の信号を１２１３に出力す
る。

上述の説明は対象チップが存在している場合であったが
、対象チップが原点にない場合は、第４図に示す番号の
順に６ケ所のＥ　Ｉ　ＺＯ＋　ｒ番地でデー、りがしき
い値ＥＢ　　以上あるか調べいずれもしきい値Ｅ、　以
下であれば０ＨＩＰＬＥＳＳの信号を出す。

また、第７図の場合はチップが存在しないと７０１と７
０２．　７０３と７０４がつながるので、この場合もＣ
！ＨＩ　ＰＬＥＳ　Ｓの信号を出す。

第１図に説明をもどすと、マウンタの制御は良品チップ
に対しては位置補正を行ない、およびコレット３０を下
げチップ１を吸着してフレーム３１上にマウントする。

その後Ｘ−Ｙテーブル４をＸ方向に１チップ分ステップ
モータ４ｘで移動させ次のチップ１を撮像装置６の視野
に入れる。一方不良チツブに対しては、位置補正を行い
かっＸ−Ｙテーブル４をＸ方向に１チップ分ステッ°プ
宅−タ４Ｘで移動させる。

チップのない場合はＸ−Ｙテーブル４をＸ方、向に１チ
ップ分ステップモータ４Ｘで移動させる。

マウント制御機２４からは、Ｘ方向の、補正量と又゛方
向の補正量と、吸着コレラ）　３０の制御信号とＸ方向
、Ｙ方向の定量送シのステップ信号を送る。

マウンタ制御信号２５はパワーユニット２８でパワー増
巾し、各部へ供給される。

のでステップ信号のみを送る。

パネル部２６は、チップサイズの設定用デジタルスイッ
チと、補正用のオフセット値用デジタルスイッチを備え
ておシ、また、マウンターの動作すなわち自動及び停止
調整等のスイッチが付いておシこれらのスイッチにより
与えられた情報をデジタル信号に変換して、メモリ１０
のＰＡＮＥＬ（ｉ）番地へ記憶させ、必要に応じて他の
回路より読み出しが行なわれる。

以上本発明の一実施例を説明したが、変形例として第１
図に点線２７で囲んで示す部分を第１６図に示すとおシ
、入力インタフェース１３００　　マイクロプロセッサ
（゛中央処理ユニット）　１３０１　、メモリユニット
１３０２ｓパスライン１３０３　　および出力インタフ
ェース１３０４　　より構成し、ソフトウェアの手段で
、第１図の構成と同等の機能をもたせることができる。

以上詳述した本発明によれば、半導体マウントの自動化
に適した位置検出方式が得られる。

第１図は本発明実施例を示す配置図、第２図はしきい値
算出回路の構成を示すブロック図、第３図はしきい値以
上の映像信号とメモリ番地の関係を示す説明図、第４図
は対象物を抽出する第１の方法を説明するための説明図
、第５図は対象物を抽出５した結果を説明するための説
明図、第６図は対象物抽出回路の一例を示すブロック図
、第７図は対象物を抽出する第２の方法を説明するため
の説明図、第８図は対象物抽出回路の一例を示すブロッ
ク図、第９図は対象物を抽出する第３の方法を説明する
だめの説明図、第１０図は対象物抽出パターンを示す説
明図、第１１図は対象物抽出回路の一例を示すブロック
図、第１２図は抽出された対象物であるチップの像を示
す説明図、第１３図は不良チップ選別回路の一例を示す
ブロック図、第１４図はチップの位置ずれを検出する方
法を説明するための説明図、第１５図は位置検出装置の
一例を示すブロック図、第１６図は本発明他の実施例を
示す配置図である。

１・・・・・・半導体チップ　４・・・・・・Ｘ−Ｙス
テージ６・・・・・・撮像装置、　　　９・・・・・・
Ａ−Ｄ変換器１０・・・・・・メモリ、１５・・・・・
・しきい値算出回路１７・・・・・・対象物抽出回路、 １９・・・・・・チップ良否選別回路、２１・・・・・
・位置検出装置、２４・・・・・・マウント制御機２８
・・・・・・パワーユニット。

代理人　弁理士　　則　近　憲　佑 （ほか１名） 第　　４１２ 第５図 第　　６−図 第　　７　図 沓地 穿５１Ｏ図 第１１図 第１２図 第１３図 手　続　補　正　書（方式） 昭和６１年７．１ＪＩ　　　日

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）目標物を撮像装置で撮像して得られた映像信号を
   Ａ−Ｄ変換器により撮像装置の同期信号に同期してデジ
   タル量に変換し、このデジタル信号をメモリの２次元座
   標に対応した番地に記憶させた後、前記メモリより映像
   信号を順次読み出し、映像信号レベルの高い領域の平均
   値と低い領域の平均値よりしきい値を求めこのしきい値
   で前記目標物とその周辺の背景部分を区別し、さらに区
   別された目標物の中から特定の対象物を信号処理により
   抽出し、抽出された対象物に関するデータから前記対象
   物の位置ずれ信号を求める位置検出方式において、抽出
   された前記対象物の映像信号により対象物の形状の良否
   あるいは不良対象物に予め付けられた印を検出すること
   を特徴とする位置検出方式。
2. （２）上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検出方
   式において、あらかじめ不良品に設けたインキ又は塗料
   等の刻印の検出は、前記対象物の絵素子にしきい値以下
   があるか否かを調べ、そのしきい値以下の絵素子が、し
   きい値以上の絵素子で囲まれているかを調べて不良刻印
   を検出することを特徴とする位置横出方式。
3. （３）上記特許請求の範囲第２項に記載した位置検出方
   式において、前記インキ等の刻印が淡い場合の検出を、
   前記対象物では良く反射して、インキ等では小さい光波
   長領域の干渉フィルターを前記撮像装置の光光系の光路
   に組込み映像信号のＳ／Ｎ比を向上させたことを特徴と
   する位置検出方式。