JPS61292911A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPS61292911A JPS61292911A JP13417285A JP13417285A JPS61292911A JP S61292911 A JPS61292911 A JP S61292911A JP 13417285 A JP13417285 A JP 13417285A JP 13417285 A JP13417285 A JP 13417285A JP S61292911 A JPS61292911 A JP S61292911A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- process tube
- tube
- bending strength
- heat treatment
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、熱処理技術、特に、プロセスチューブについ
ての改良技術に関し、例えば、半導体装置の製造におい
て、ウェハに拡散処理を施すのに利用して有効な技術に
関する。
ての改良技術に関し、例えば、半導体装置の製造におい
て、ウェハに拡散処理を施すのに利用して有効な技術に
関する。
半導体装置の製造において、ウェハに拡散処理を施す拡
散装置として、石英ガラスで円筒形状に形成されたプロ
セスチューブの内部にウェハを搬入して、プロセスチュ
ーブの内部をヒータにより加熱して所望の拡散反応を起
こさせるように構成されている装置が、考えられる。
散装置として、石英ガラスで円筒形状に形成されたプロ
セスチューブの内部にウェハを搬入して、プロセスチュ
ーブの内部をヒータにより加熱して所望の拡散反応を起
こさせるように構成されている装置が、考えられる。
しかし、このような拡散装置においては、ウェハの大径
化に伴ってプロセスチューブが大口径化すると、プロセ
スチューブの筒壁が加熱に伴うそれ自体の剛性強度の低
下により自重を支えきれなくなるため、プロセスチュー
ブの変形等が発生するという問題点があることが、本発
明者によって明らかにされた。
化に伴ってプロセスチューブが大口径化すると、プロセ
スチューブの筒壁が加熱に伴うそれ自体の剛性強度の低
下により自重を支えきれなくなるため、プロセスチュー
ブの変形等が発生するという問題点があることが、本発
明者によって明らかにされた。
なお、拡散装置を述べである例としては、株式％式％
〔発明の目的〕
本発明の目的は、大口径化に伴うプロセスチューブの変
形を防止することができる熱処理技術を提供することに
ある。
形を防止することができる熱処理技術を提供することに
ある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、プロセスチューブに曲げ強度増強部をその筒
壁自体を径方向に出入りするように蛇行成形することに
よって形成することにより、筒壁の剛性強度を増強し、
加熱による剛性強度の低下に抗して筒壁の自重を充分に
支持することができるようにしたものである。
壁自体を径方向に出入りするように蛇行成形することに
よって形成することにより、筒壁の剛性強度を増強し、
加熱による剛性強度の低下に抗して筒壁の自重を充分に
支持することができるようにしたものである。
〔実施例１〕
第１図は本発明の一実施例である拡散装置を示す縦断面
図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う拡大断面図である
。
図、第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う拡大断面図である
。
本実施例において、この拡散装置は、石英ガラス等から
略円筒形状に形成されているプロセスチューブ１を備え
ており、このプロセスチューブ１の内部室は処理室２を
実質的に形成している。プロセスチューブ１の外部には
ヒータ４が同心的に配設されており、ヒータ４はプロセ
スチューブ１を通して処理室２を均一に加熱するように
なっている。
略円筒形状に形成されているプロセスチューブ１を備え
ており、このプロセスチューブ１の内部室は処理室２を
実質的に形成している。プロセスチューブ１の外部には
ヒータ４が同心的に配設されており、ヒータ４はプロセ
スチューブ１を通して処理室２を均一に加熱するように
なっている。
プロセスチューブ１の一端開口部には被処理物としての
ウェハ５をボート形状の治具６に複数枚整列した状態で
出し入れするための炉口３が形成されており、炉口３は
キャンプ７により開閉されるようになっている。プロセ
スチューブ１の他端にはガス供給口８が開設されており
、ガス供給口８は拡散源としての不純物を流すキャリア
ガスやウェット酸素等のような処理ガスを導入するよう
になっている。
ウェハ５をボート形状の治具６に複数枚整列した状態で
出し入れするための炉口３が形成されており、炉口３は
キャンプ７により開閉されるようになっている。プロセ
スチューブ１の他端にはガス供給口８が開設されており
、ガス供給口８は拡散源としての不純物を流すキャリア
ガスやウェット酸素等のような処理ガスを導入するよう
になっている。
プロセスチューブ１には複数条の曲げ強度増強部９がそ
の筒壁１ａ自体を径方向に出入りするように波形形状に
蛇行成形されることによって形成されており、各曲げ強
度増強部９はプロセスチューブ１の中心線方向に略平行
に配されて周方向において蛇行されている。
の筒壁１ａ自体を径方向に出入りするように波形形状に
蛇行成形されることによって形成されており、各曲げ強
度増強部９はプロセスチューブ１の中心線方向に略平行
に配されて周方向において蛇行されている。
次に作用を説明する。
ヒータ４に通電されてプロセスチューブ１の処理室２が
所定の処理温度および雰囲気に設定されると、被処理物
としてのウェハ５が複数枚、石英ガラス製の治具６に載
置されてプロセスチューブｌの内部に炉口３から搬入さ
れる。
所定の処理温度および雰囲気に設定されると、被処理物
としてのウェハ５が複数枚、石英ガラス製の治具６に載
置されてプロセスチューブｌの内部に炉口３から搬入さ
れる。
このとき、治具６はプロセスチューブ１の内面上を滑動
されるが、プロセスチューブ１の筒壁１ａは曲げ強度増
強部９を設けられることによって波形に形成されている
ため、治具６とプロセスチューブ１内面との接触面積が
小さくなり、滑動による発塵が抑制されることになる。
されるが、プロセスチューブ１の筒壁１ａは曲げ強度増
強部９を設けられることによって波形に形成されている
ため、治具６とプロセスチューブ１内面との接触面積が
小さくなり、滑動による発塵が抑制されることになる。
処理室２にガス供給口８から所定のガスが供給されると
、ウェハ５は所定雰囲気において所定温度に加熱される
ことにより、所望の拡散処理を施される。
、ウェハ５は所定雰囲気において所定温度に加熱される
ことにより、所望の拡散処理を施される。
このとき、プロセスチューブ１の筒壁１ａが径方向に出
入りする波形に形成されているため、ガスの流れが乱流
になり、ガスはウェハ５問およびウェハ５内において均
一に接触することになり、均一な拡散処理が行われる。
入りする波形に形成されているため、ガスの流れが乱流
になり、ガスはウェハ５問およびウェハ５内において均
一に接触することになり、均一な拡散処理が行われる。
ところで、ウェハの大径化に伴ってプロセスチューブが
大口径化すると、プロセスチューブの筒壁が加熱に伴う
それ自体の剛性強度の低下により自重を支えきれなくな
るため、プロセスチューブ゛の変形等が発生するという
問題点があることが、本発明者によって明らかにされた
。
大口径化すると、プロセスチューブの筒壁が加熱に伴う
それ自体の剛性強度の低下により自重を支えきれなくな
るため、プロセスチューブ゛の変形等が発生するという
問題点があることが、本発明者によって明らかにされた
。
しかし、本実施例においては、プロセスチューブＩには
複数条の曲げ強度増強部９がその筒壁１ａ自体を径方向
に出入りするように波形形状に蛇行成形されることによ
って形成されているため、プロセスチューブ１が変形す
る事態は防止されることになる。
複数条の曲げ強度増強部９がその筒壁１ａ自体を径方向
に出入りするように波形形状に蛇行成形されることによ
って形成されているため、プロセスチューブ１が変形す
る事態は防止されることになる。
すなわち、プロセスチューブ１の筒壁１ａは径方向に出
入りする波形に形成されることにより、筒壁１ａが一枚
板形状に形成されている場合に比較して自重の曲げ応力
に対する強度を増強されるため、自重を充分に支持でき
ることになる。また、曲げ強度増強部９がプロセスチュ
ーブｌの中心線方向に略平行に配されて周方向において
蛇行されることにより、プロセスチューブ１全体におけ
るスパン方向の曲げ強度が充分に高められているため、
プロセスチューブ１が両端部において垂れ下がる危険は
確実に防止されることになる。
入りする波形に形成されることにより、筒壁１ａが一枚
板形状に形成されている場合に比較して自重の曲げ応力
に対する強度を増強されるため、自重を充分に支持でき
ることになる。また、曲げ強度増強部９がプロセスチュ
ーブｌの中心線方向に略平行に配されて周方向において
蛇行されることにより、プロセスチューブ１全体におけ
るスパン方向の曲げ強度が充分に高められているため、
プロセスチューブ１が両端部において垂れ下がる危険は
確実に防止されることになる。
したがって、プロセスチューブ１が大口径化しても、プ
ロセスチューブ１の変形等を防止することができる。
ロセスチューブ１の変形等を防止することができる。
〔実施例２〕
第３図は本発明の他の実施例を示すプロセスチューブの
正面図である。
正面図である。
本実施例２が前記実施例１と異なる点は、曲げ強度増強
部９ＡがプロセスチューブＩＡに対してスパイラル形状
に配されている点にある。
部９ＡがプロセスチューブＩＡに対してスパイラル形状
に配されている点にある。
本実施例２によれば、曲げ強度増強部９Ａがスパイラル
形状に形成されているため、プロセスチューブ筒１１ａ
の押し潰し応力に対する抗力およびプロセスチューブＩ
Ａのスパン方向の曲げ応力に対する抗力とが高められる
ことになる。
形状に形成されているため、プロセスチューブ筒１１ａ
の押し潰し応力に対する抗力およびプロセスチューブＩ
Ａのスパン方向の曲げ応力に対する抗力とが高められる
ことになる。
〔実施例３〕
第４図は本発明の他の実施例を示すプロセスチューブの
正面図である。
正面図である。
本実施例３が前記実施例１と異なる点は、曲げ強度増強
部９ＢがプロセスチューブＩＢの中心線に対して略直角
に配されて中心線方向において蛇行されている点にある
。
部９ＢがプロセスチューブＩＢの中心線に対して略直角
に配されて中心線方向において蛇行されている点にある
。
本実施例２によれば、曲げ強度増強部９Ｂが中心線に対
して略直角に配されているため、プロセスチューブ筒壁
１ａの押し潰し応力に対する抗力がきわめて増強される
ことになる。
して略直角に配されているため、プロセスチューブ筒壁
１ａの押し潰し応力に対する抗力がきわめて増強される
ことになる。
（１１プロセスチューブに複数条の曲げ強度増強部をそ
の筒壁自体を径方向に出入りするように波形形状に蛇行
成形されることによって形成することにより、筒壁が一
枚板形状に形成されている場合に比較して、筒壁および
プロセスチューブ全体としての曲げ強度を増強させるこ
とができるため、自重によってプロセスチューブ゛が変
形してしまう事態が発生するのを防止することができる
。
の筒壁自体を径方向に出入りするように波形形状に蛇行
成形されることによって形成することにより、筒壁が一
枚板形状に形成されている場合に比較して、筒壁および
プロセスチューブ全体としての曲げ強度を増強させるこ
とができるため、自重によってプロセスチューブ゛が変
形してしまう事態が発生するのを防止することができる
。
（２） 自重によるプロセスチューブの変形を防止す
ることにより、プロセスチューブの大口径化が可能にな
るため、ウェハ等の被処理物の大径化を推進することが
できる。
ることにより、プロセスチューブの大口径化が可能にな
るため、ウェハ等の被処理物の大径化を推進することが
できる。
（３） プロセスチューブの筒壁の厚さを増加させず
に曲げ強度を増強することができるため、プロセスチュ
ーブの自重の増加を抑制することができるとともに、省
資源が可能になる。
に曲げ強度を増強することができるため、プロセスチュ
ーブの自重の増加を抑制することができるとともに、省
資源が可能になる。
（４） プロセスチューブの筒壁を径方向に出入りす
る蛇行形状に形成することにより、プロセスチューブ内
を滑動するンへ具との接触面積を小さくすることができ
るため、滑動による発塵を抑制させることができる。
る蛇行形状に形成することにより、プロセスチューブ内
を滑動するンへ具との接触面積を小さくすることができ
るため、滑動による発塵を抑制させることができる。
（５ン プロセスチューブの筒壁を径方向に出入りす
る蛇行形状に形成することにより、プロセスチューブ内
を流れるガスの流れが乱流となるため、ガスを被処理物
に均一に接触させることができ、処理を均一化すること
ができる・ 以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
る蛇行形状に形成することにより、プロセスチューブ内
を流れるガスの流れが乱流となるため、ガスを被処理物
に均一に接触させることができ、処理を均一化すること
ができる・ 以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
例えば、曲げ強度増強部はプロセスチューブの筒壁を径
方向に出入りする波形に蛇行成形するに限らず、断面略
台形形状や断面略矩形形状に成形してもよい。
方向に出入りする波形に蛇行成形するに限らず、断面略
台形形状や断面略矩形形状に成形してもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である拡散製雪に適用した
場合について説明したが、それに限定されるものではな
く、低圧ＣＶＤ装置、アニリング装置、その他の熱処理
装置全般に通用することができる。
をその背景となった利用分野である拡散製雪に適用した
場合について説明したが、それに限定されるものではな
く、低圧ＣＶＤ装置、アニリング装置、その他の熱処理
装置全般に通用することができる。
第１図は本発明の一実施例である拡散装置を示す縦断面
図、 第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う拡大断面図、第３図は
本発明の池の実施例を示すプロセスチューブの正面図、 第４図は本発明の他の実施例を示すプロセスチューブの
正面図である。 １、ＩＡ、ＩＢ・・・プロセスチューブ、１ａ・・・ｍ
壁、２・・・処理室、３・・・炉口、４・・・ヒータ、
５・・・ウェハ（被処理物）６・・・治具、７・・・キ
ャップ、８・・・ガス供給口、９．９Ａ、９Ｂ・・・曲
げ強度増強部。 第 １ 図 第 ２ 図
図、 第２図は第１図のｎ−ｎ線に沿う拡大断面図、第３図は
本発明の池の実施例を示すプロセスチューブの正面図、 第４図は本発明の他の実施例を示すプロセスチューブの
正面図である。 １、ＩＡ、ＩＢ・・・プロセスチューブ、１ａ・・・ｍ
壁、２・・・処理室、３・・・炉口、４・・・ヒータ、
５・・・ウェハ（被処理物）６・・・治具、７・・・キ
ャップ、８・・・ガス供給口、９．９Ａ、９Ｂ・・・曲
げ強度増強部。 第 １ 図 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、プロセスチューブに複数条の曲げ強度増強部がその
筒壁自体を径方向に出入りするように蛇行成形されるこ
とによって形成されていることを特徴とする熱処理装置
。 ２、曲げ強度増強部の蛇行形状が、波形に形成されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱処理
装置。 ３、曲げ強度増強部が、プロセスチューブの中心線方向
に略平行になるようにそれぞれ配され、周方向において
蛇行されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の熱処理装置。 ４、曲げ強度増強部が、プロセスチューブに対してスパ
イラル形状になるようにそれぞれ配されていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱処理装置。 ５、曲げ強度増強部が、プロセスチューブの中心線に対
して略直角になるようにそれぞれ配され、中心線方向に
おいて蛇行されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13417285A JPS61292911A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13417285A JPS61292911A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61292911A true JPS61292911A (ja) | 1986-12-23 |
Family
ID=15122126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13417285A Pending JPS61292911A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61292911A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6437033U (ja) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP13417285A patent/JPS61292911A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6437033U (ja) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 |
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