JPS61296304A - 多層膜干渉フイルタ - Google Patents
多層膜干渉フイルタInfo
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- JPS61296304A JPS61296304A JP60140063A JP14006385A JPS61296304A JP S61296304 A JPS61296304 A JP S61296304A JP 60140063 A JP60140063 A JP 60140063A JP 14006385 A JP14006385 A JP 14006385A JP S61296304 A JPS61296304 A JP S61296304A
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- 238000013461 design Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 11
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多層膜干渉フィルタ、特に光通信等において
用いられる多層膜干渉フィルタに関する。
用いられる多層膜干渉フィルタに関する。
一般に、多層膜干渉フィルタはその層数が多くなると、
分光特性における立上がりが急峻となり弁別精度が向上
する。しかしその反面、リップルが増加するという欠点
を有している。又、層数の多いもの程その製造が困難と
なる。
分光特性における立上がりが急峻となり弁別精度が向上
する。しかしその反面、リップルが増加するという欠点
を有している。又、層数の多いもの程その製造が困難と
なる。
従って、多層膜干渉フィルタの製造に際しては上記の利
害得失を十分に考慮した上で行うことが好ましい。
害得失を十分に考慮した上で行うことが好ましい。
多層膜干渉フィルタは、近年光通信等において用いられ
ており、その１つにＢに一７／１．２５Ｍ、 １．２５
Ｌ。
ており、その１つにＢに一７／１．２５Ｍ、 １．２５
Ｌ。
（Ｈ／ｚ Ｌ Ｈ／ｌ）”、１．２ＳＬ、１□、２５Ｍ
／ＢＫ−７なる構造のものが公表されている。ここに、
Ｂに−７は基板の材質、Ｈは高屈折率物質層としてのＴ
ｉＯ□、Ｌは低屈折率物質層としてのＳｉＯ□１ＭはＡ
１□０．である。
／ＢＫ−７なる構造のものが公表されている。ここに、
Ｂに−７は基板の材質、Ｈは高屈折率物質層としてのＴ
ｉＯ□、Ｌは低屈折率物質層としてのＳｉＯ□１ＭはＡ
１□０．である。
しかしながら、上記構造の多層膜干渉フィルタにあって
は、殆ど設計波長のみから成るので、モニタリング上は
有利であるが、三種類の蒸発物質を使用しなければなら
・ず製造上不利であると共に、第２図において仮想線Ｂ
で示すように、立上がり特性がよくなく、又、リップル
が大きい等分光特性が必ずしも十分でないという欠点が
ある。
は、殆ど設計波長のみから成るので、モニタリング上は
有利であるが、三種類の蒸発物質を使用しなければなら
・ず製造上不利であると共に、第２図において仮想線Ｂ
で示すように、立上がり特性がよくなく、又、リップル
が大きい等分光特性が必ずしも十分でないという欠点が
ある。
本発明は上述の事柄に留意してなされたもので、その目
的とするところは分光特性に優れかつ製造し易い多層膜
干渉フィルタを提供することにある。
的とするところは分光特性に優れかつ製造し易い多層膜
干渉フィルタを提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明者は、使用する蒸発材
料は二種類のみを考え、なるべく設計波長からずらせる
層数を少なくすることを念頭におき、数々の試行錯誤の
試作を繰り返した後、下記のような本発明の構成に達す
るに至った。
料は二種類のみを考え、なるべく設計波長からずらせる
層数を少なくすることを念頭におき、数々の試行錯誤の
試作を繰り返した後、下記のような本発明の構成に達す
るに至った。
即ち、基板と、高屈折率物質層と低屈折率物質層の交互
層より成る第１スタック、第２スタック。
層より成る第１スタック、第２スタック。
第３スタックとより成り、前記三スタックのうち中央の
第１スタックはその層数が全層数の約２でかつ個々の層
が所望の設計波長となるように設定され、前記第１スタ
ックの両側の第２スタック及び第３スタックはそれぞれ
その暦数が全層数の約Ａでかつ個々の層が所望の設計波
長からずらして設定されてなることを特徴どしている。
第１スタックはその層数が全層数の約２でかつ個々の層
が所望の設計波長となるように設定され、前記第１スタ
ックの両側の第２スタック及び第３スタックはそれぞれ
その暦数が全層数の約Ａでかつ個々の層が所望の設計波
長からずらして設定されてなることを特徴どしている。
上記特徴的構成において、基板に蒸着される蒸発物質は
高屈折率物質と低屈折率物質の２種類であるため、製造
が従来のものに比較して一段と容易になる。又、中央の
スタックの層数を全層数の約２とすると共に、設計波長
となるように設定し、前記スタックの両サイドに設けら
れる各スタックの層数をそれぞれ全層数の約Ａにしかつ
設計波長からずらしているので、立上り特性が改善され
、リップルの少ない分光特性が得られる。
高屈折率物質と低屈折率物質の２種類であるため、製造
が従来のものに比較して一段と容易になる。又、中央の
スタックの層数を全層数の約２とすると共に、設計波長
となるように設定し、前記スタックの両サイドに設けら
れる各スタックの層数をそれぞれ全層数の約Ａにしかつ
設計波長からずらしているので、立上り特性が改善され
、リップルの少ない分光特性が得られる。
第１図は、本発明に係る多層膜干渉フィルタの構成を示
し、図において、１は基板で例えばＢＫ−７゜石英等よ
り成る。２は基板１の片面に形成される多層膜で、高屈
折率物質層Ｈと低屈折率、物質層りの交互層よりなる３
つのスタック２１．２２．２３から構成されている。各
スタック２１．２２．２３をそれぞれ構成する高屈折率
物質ＮＨ及び低屈折率物質層りはそれぞれＴｉ０ｚ及び
ＳｉＯ□を蒸発物質として公知の真空蒸発法によって形
成され、多層膜２の全層数は４１層である。
し、図において、１は基板で例えばＢＫ−７゜石英等よ
り成る。２は基板１の片面に形成される多層膜で、高屈
折率物質層Ｈと低屈折率、物質層りの交互層よりなる３
つのスタック２１．２２．２３から構成されている。各
スタック２１．２２．２３をそれぞれ構成する高屈折率
物質ＮＨ及び低屈折率物質層りはそれぞれＴｉ０ｚ及び
ＳｉＯ□を蒸発物質として公知の真空蒸発法によって形
成され、多層膜２の全層数は４１層である。
第１表は上記多層膜２における各スタック２１゜２２、
２３の構成例を示すものである。
２３の構成例を示すものである。
第１表
隘 屈折率 膜厚理論値（μｍ）上記第１表に示
すように、第１スタック２１は多層膜２の略中心部を形
成し、その層数は２０層（魚１１〜Ｎａ３０）で全層数
の約〃を占める。そして、この第１スタック２１の個々
の層は、設計波長となるように各層膜限値が設定されて
いる。この第１スタック２１の両側にそれぞれ隣接して
設けられる第２スタック２２．第３スタック２３はそれ
ぞれその暦数が１０層（Ｎａｌ 〜Ｎａ１Ｏ） 、１１
層（Ｎａ３１〜ｍ４１）で、いずれも全暦数の約Ａであ
る。そしてこれら両スタック２２．２３の個々の層は、
第１スタック２１のそれと異なり、設計波長よりずらし
て各層膜限値が設定されている。実際にいくらずらせる
かは、当業者が用いる最適化手法を使って計算すればよ
い。
すように、第１スタック２１は多層膜２の略中心部を形
成し、その層数は２０層（魚１１〜Ｎａ３０）で全層数
の約〃を占める。そして、この第１スタック２１の個々
の層は、設計波長となるように各層膜限値が設定されて
いる。この第１スタック２１の両側にそれぞれ隣接して
設けられる第２スタック２２．第３スタック２３はそれ
ぞれその暦数が１０層（Ｎａｌ 〜Ｎａ１Ｏ） 、１１
層（Ｎａ３１〜ｍ４１）で、いずれも全暦数の約Ａであ
る。そしてこれら両スタック２２．２３の個々の層は、
第１スタック２１のそれと異なり、設計波長よりずらし
て各層膜限値が設定されている。実際にいくらずらせる
かは、当業者が用いる最適化手法を使って計算すればよ
い。
第２図に、上記構成による多層膜干渉フィルタの理論分
光特性を、実線Ａによって表わす０本発明に係る多層膜
干渉フィルタは４１層と暦数が多いにも拘らず、暦数の
少ない（２４層）従来例よりも立上り特性が急峻であり
、又、リップルが少ない等分光特性が改善されている。
光特性を、実線Ａによって表わす０本発明に係る多層膜
干渉フィルタは４１層と暦数が多いにも拘らず、暦数の
少ない（２４層）従来例よりも立上り特性が急峻であり
、又、リップルが少ない等分光特性が改善されている。
第３図は、前記第１表に基づいて製作した多層膜干渉フ
ィルタを測定して得られた分光特性を示すもので、第２
図に示す理論値より透過率は若干低下しているものの立
上り特性、リップル状況は極めて良好である。
ィルタを測定して得られた分光特性を示すもので、第２
図に示す理論値より透過率は若干低下しているものの立
上り特性、リップル状況は極めて良好である。
なお、上述の実施例においては、多層膜の全層数を４１
層としたが、本発明はこれに限られるものではないこと
は言うまでもない、又、膜厚理論値も第１表に示すもの
に限られるものではないことは勿論である。
層としたが、本発明はこれに限られるものではないこと
は言うまでもない、又、膜厚理論値も第１表に示すもの
に限られるものではないことは勿論である。
以上詳述したように、本発明においては多層膜を形成す
るのに高屈折率物質と低屈折率物質の２種のみを用いて
いるため製造が極めて容易に行える。又、多層膜の全層
数の約〃の暦数からなる第１スタックを中心にしてその
両側にそれぞれ約Ａの層数からなる第２．第３スタック
を設け、第１スタンクは個々の層が所望の設計波長（そ
の分モニタリング上有利である）となるように、又、第
２．第３スタックは個々の層が所望の設計波長からずら
してそれぞれ設定されているので、従来の多層膜干渉フ
ィルタに比して分光特性が向上されるに至った。
るのに高屈折率物質と低屈折率物質の２種のみを用いて
いるため製造が極めて容易に行える。又、多層膜の全層
数の約〃の暦数からなる第１スタックを中心にしてその
両側にそれぞれ約Ａの層数からなる第２．第３スタック
を設け、第１スタンクは個々の層が所望の設計波長（そ
の分モニタリング上有利である）となるように、又、第
２．第３スタックは個々の層が所望の設計波長からずら
してそれぞれ設定されているので、従来の多層膜干渉フ
ィルタに比して分光特性が向上されるに至った。
第１図は本発明に係る多層膜干渉フィルタを示す側面図
、第２図は理論分光特性比較図、第３図は本発明の実施
例による分光特性図である。 １・・・基板、２・・・多層膜、２１・・・第１スタッ
ク、２２・・・第２スタック、２３・・・第３スタック
。 第１図 １一基板 ２−り１謀 ２１−’−°第１スタック ２２−−一纂２スタック ２３−４３ スｙ −ｔ ｙ
、第２図は理論分光特性比較図、第３図は本発明の実施
例による分光特性図である。 １・・・基板、２・・・多層膜、２１・・・第１スタッ
ク、２２・・・第２スタック、２３・・・第３スタック
。 第１図 １一基板 ２−り１謀 ２１−’−°第１スタック ２２−−一纂２スタック ２３−４３ スｙ −ｔ ｙ
Claims (1)
- 基板と、高屈折率物質層と低屈折率物質層の交互層より
成る第１スタック、第２スタック、第３スタックとより
成り、前記三スタックのうち中央の第１スタックはその
層数が全層数の約１／２でかつ個々の層が所望の設計波
長となるように設定され、前記第１スタックの両側の第
２スタック及び第３スタックはそれぞれその層数が全層
数の約１／４でかつ個々の層が所望の設計波長からずら
して設定されてなることを特徴とする多層膜干渉フィル
タ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60140063A JPS61296304A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 多層膜干渉フイルタ |
| US06/875,873 US4747666A (en) | 1985-06-25 | 1986-06-18 | Multi-layer interference filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60140063A JPS61296304A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 多層膜干渉フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61296304A true JPS61296304A (ja) | 1986-12-27 |
Family
ID=15260117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60140063A Pending JPS61296304A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 多層膜干渉フイルタ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4747666A (ja) |
| JP (1) | JPS61296304A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03129304A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-06-03 | General Electric Co <Ge> | 光学干渉被膜およびそれを用いたランプ |
| JP2002509280A (ja) * | 1998-01-13 | 2002-03-26 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | 急峻な帯域端部を有する光学フィルム |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4904083A (en) * | 1987-09-11 | 1990-02-27 | Litton Systems, Inc. | Partially transparent mirror for a ring laser |
| US5246803A (en) * | 1990-07-23 | 1993-09-21 | Eastman Kodak Company | Patterned dichroic filters for solid state electronic image sensors |
| US5275053A (en) * | 1991-08-21 | 1994-01-04 | Fiberoptic Sensor Technologies, Inc. | Fiber optic pressure sensor systems |
| US5252831A (en) * | 1991-11-04 | 1993-10-12 | Eastman Kodak Company | Redirecting light from a fluorescent coating by a mirror layer |
| US6967778B1 (en) | 1998-01-13 | 2005-11-22 | 3M Innovative Properties Co. | Optical film with sharpened bandedge |
| US6391400B1 (en) | 1998-04-08 | 2002-05-21 | Thomas A. Russell | Thermal control films suitable for use in glazing |
| WO2000063728A1 (en) * | 1999-04-20 | 2000-10-26 | Ciena Corporation | Dual transmission band interference filter |
| US6407863B1 (en) | 1999-04-20 | 2002-06-18 | Ciena Corporation | Dual transmission band interference filter |
| WO2002059658A2 (en) * | 2001-01-26 | 2002-08-01 | Ciena Corporation | Multi-channel optical filter |
| US6611378B1 (en) | 2001-12-20 | 2003-08-26 | Semrock, Inc. | Thin-film interference filter with quarter-wavelength unit sub-layers arranged in a generalized pattern |
| DE10205250B4 (de) * | 2002-02-08 | 2006-11-09 | Funkwerk Plettac Electronic Gmbh | Optisches Bandsperrenfilter und elektronische Überwachungskamera mit einem solchen Filter |
| DE102004021494B4 (de) * | 2004-04-30 | 2006-04-06 | Man Roland Druckmaschinen Ag | Vorrichtung zum Auf- und Abziehen einer Hülse |
| US7903338B1 (en) | 2006-07-08 | 2011-03-08 | Cirrex Systems Llc | Method and system for managing light at an optical interface |
| US20150244958A1 (en) * | 2014-02-27 | 2015-08-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Solid-state imaging device |
| US10168459B2 (en) * | 2016-11-30 | 2019-01-01 | Viavi Solutions Inc. | Silicon-germanium based optical filter |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2890624A (en) * | 1952-10-07 | 1959-06-16 | Rca Corp | Interference color filter with blue absorbing layers |
| US4147409A (en) * | 1976-11-22 | 1979-04-03 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Laser reflector with reduced electric field intensity |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60140063A patent/JPS61296304A/ja active Pending
-
1986
- 1986-06-18 US US06/875,873 patent/US4747666A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03129304A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-06-03 | General Electric Co <Ge> | 光学干渉被膜およびそれを用いたランプ |
| US5982078A (en) * | 1989-07-19 | 1999-11-09 | General Electric Company | Optical interference coatings and lamps using same |
| JP2002509280A (ja) * | 1998-01-13 | 2002-03-26 | ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー | 急峻な帯域端部を有する光学フィルム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4747666A (en) | 1988-05-31 |
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