JPS6129633A - 移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、移送技術、特に、移送中における被移送物品
の防塵技術に関し、例えば、半導体装置の製造において
、ホトマスクの移送に使用して有効な技術に関する。

〔背景技術〕

半導体装置の製造において、ホトマスクに塵埃が付着し
ていると、欠除がウェハに転写されてしまうため、ホト
マスクに付着した塵埃を除去する作業を、露光装置によ
る転写を行う前にクリーンベンチにおいて行うことが、
考えられる。

しかし、塵埃除去作業を終了したホトマスクをクリーン
ベンチから取り出して、露光装置まで移送する間に塵埃
がホトマスクに再付着するという問題点があることが、
本発明者により明らかにされた。

なお、半導体装置製造におけるクリーン化技術を詳しく
述べである例としては、工業調査会発行「電子材料Ｊ　
１９８１年１１月号別冊、昭和５６年１１月１０日発行
、Ｐ９５〜１０２がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、移送中の塵埃等による汚染を防止する
ことができる移送技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴はζ本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、被移送物品をフードで覆うとともに、一方向
の流れの中に置いた状態で移送することにより、移送空
間に存在する塵埃が被移送物品に接近して付着すること
を抑止するようにしたものである。

〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例である移送装置を示す斜視図
、第２図はその作用を説明するための斜視図である。

本実施例において、この移送装置は、被移送物品として
のホトマスク１を覆うフード２を備えており、このフー
ド２は透明の合成樹脂やガラス等を用いて、下面が開口
した中空の略正方形の角錐に形成されている。フード２
の下面開口部３には、ホトマスク１を保持する保持手段
としての保持板４が一体的に嵌め込まれており、この保
持板４も合成樹脂やガラス等により透明に形成されてい
る。

保持板４の中央部には窓孔５が開設されており、窓孔５
はホトマスク１よりも若干大きめの相似形の略正方形に
形成されている。

フード２の頂点部には、フード内に一方向の流れを形成
させる手段としての給気路６が接続されており、給気路
６は可撓性のホース等からなり、清浄空気供給手段（図
示せず）に接続されて清浄空気をフード２の室内に吹き
出して一方向に流れる空気流を形成するように構成され
ている。

次に作用を説明する。

第２図に示されているように、ホトマスク１はクリーン
ヘンチアにおいて、治具８に四辺の中央部を保持された
状態で付着した塵埃を適当な器具を用いて除去される。

このようにして塵埃を除去されたホトマスク１をクリー
ンヘンチアから取り出して露光装置に移送する際、前記
構成にかかる移送装置が使用されることになる。

ホトマスク１を取り出す際、給気路６の根元付近を手で
持ってフード２をクリーンヘンチアの室内に挿入し、冶
具８に保持されたホトマスク１に窓孔５を整合してフー
ド２を被せる。続いて、フード２を水平旋回させると、
窓孔５とホトマスク１との位置がずれるため、ホトマス
ク１の四隅が保持板４の窓孔５の四辺に支持され、この
状態において、フード２を持ち上げると、ホトマスク１
は保持板４に保持されることになる。

この保持状態において、フード２をクリーンヘンチアか
ら取り出して露光装置へ移送する。このとき、給気路６
から清浄空気が吹き出され、第２図に示されているよう
に、空気流が給気路６から窓孔５への方向に形成されて
いるため、フード２の室外の塵埃がホトマスク１に接近
することはない。したがって、塵埃がホトマスク１に付
着することば防止され、移送中の汚染は回避されること
になる。

このようにして移送中における塵埃による汚染を防止さ
れた状態において、ホトマスク１は露光袋Ｗ９が設備さ
れているクリーンベンチ１０にそのまま搬入される。続
いて、露光ステージ１１上にフード２を被せてホトマス
ク１をステージ１１上に載せる。この状態において、フ
ード２を水平旋回させると、ホトマスク１と窓孔５との
位置が整合するため、フード２を持ち上げることにより
、ホトマスク１を窓孔５を潜り抜けさせることがでさる
。これにより、ホトマスク１は露光ステージ１１上に移
載されることになる。

〔実施例２〕 第３図は本発明の他の実施例を示す縦断面図である。

本実施例２が前記実施例１と異なる点は、フード２の内
部に保持手段として、複数の吸着ヘッド１２がホトマス
ク１の四隅を吸着し得るように設けられている点にある
。

すなわち、各吸着ヘッド１２には真空ポンプ（図示せず
）等に連通された負圧供給路１３がそれぞれ接続されて
おり、これら供給路１３はフード２の四隅に固定的に配
管されて給気路６において束ねられている。

本実施例２において、ホトマスク１はフード２の内部で
、各吸着ヘッド１２により四隅を吸着保持されることに
なる。

〔実施例３〕 第４図は本発明のさらに別の実施例を示す斜視図、第５
図はその作用を説明するための縦断面図である。

本実施例３が前記実施例１と異なる点は、保持手段がホ
トマスク１を空気流と略平行に保持し得るように構成さ
れている点にある。

すなわち、フード２の互いに対向する２つの側壁には、
略コ字形状の保持孔１４．１４が穿設されており、両保
持孔１４．１４間にはメインパイプ１．５が孔内に摺動
可能に挿通されて架設されている。メインパイプ１５の
フード２内における両端部にはサブパイプ１６．１６が
直交するようにそれぞれ配管されており、両サブパイプ
１６の各端部には吸着ヘッド１７がそれぞれ略直角に接
続されている。メインパイプ１５は真空ポンプ（図示せ
ず）等に連通されており、したがって、パイプ１５．１
６は負圧供給路を兼用していることになる。

本実施例において、ホトマスク１は、第４図に示されて
いるように、各吸着ヘッド１７により四隅を吸着保持さ
れ、続いて、第５図に示されているように、メインパイ
プ１５を保持孔１４を移動されることにより、略垂直に
保持される状態に移行されることになる。

本実施例によれば、第５図に示されているように、供給
路６からの空気がホトマスク１と略平行に流れるため、
乱気流が発生される危険性が抑制され、フード２の下面
開口部３から外部の塵埃が吸引されてしまうのを防止す
ることができる。したがって、ホトマスク１についての
塵埃付着防止効果を一層高めることができる。

〔効果〕

（１１被移送物品をフードで覆うとともに、一方向の流
れの中に置いた状態で移送することにより、移送空間に
存在する塵埃が被移送物品に接近して付着することを抑
止することができるため、移送中、被移送物品が塵埃等
で汚染されるのを防止することができる。

（２）　　フードを透明に構成することにより、内部を
観察することができるようになるため、被移送物品の保
持作業をし易くすることができるとともに、保持状態を
確認することができる。

（３）保持手段として、被移送物品と相憤形の窓孔を有
する保持板を用いることにより、保持構造を簡単化する
ことができる。

（４）保持手段として、吸着ヘッドで被移送物品を吸着
する構成を用いることにより、各種形状の被移送物品を
保持することができる。

（５）被移送物品を流れに平行に保持できるように、保
持手段を構成することにより、乱気流の発生を抑止する
ことができるため、塵埃付着防止効果を一層高めること
ができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、フードの形状は中空の略角錐形状に限らず、中
空の円錐、円筒、角筒形状等に形成してもよい。

流れを形成する気体は清浄空気に限らず、窒素等であっ
てもよい。

被移送物品は正方形の板体に限らず、円形の板体であっ
てもよい。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるホトマスクの移送装
置に適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、ウェハの移送装置等にも適用すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である移送装置を示す斜視図
、 第２図はその作用を説明するための斜視図、第３図は本
発明の他の実施例を示す縦断面図、第４図は本発明のさ
らに別の実施例を示す斜視図、 第５図はその作用を説明するための縦断面図である。 １・・・ホトマスク（被移送物品）、２・・・フード、
３・・・開口部、４・・・保持板、５・・・窓孔、６・
・・清浄空気供給路（流れ形成手段）、７．１０・・・
クリーンチャンバ、８・・・ホトマスク保持治具、９・
・・露光装置、１１・・・露光ステージ、１２．１７・
・・吸着ヘッド、１３・・・負圧供給路、１４・・・保
持孔、１５・・・メインパイプ、１６・・・サブパイプ
。 第　　１　　図 第　　２　　図 第　　３　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被移送物品を覆うフードと、被移送物品をフード内
   で保持する保持手段と、フード内に一方向の流れを形成
   させる流れ形成手段とを備えている移送装置。 ２、フードが、透明に構成されていることを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の移送装置。 ３、保持手段が、被移送物品よりも大きめの相似形の窓
   孔を有する保持板により構成されていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の移送装置。 ４、保持手段が、被移送物品を吸着保持する吸着ヘッド
   を備えていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の移送装置。 ５、保持手段が、被移送物品を流れに対し平行に保持す
   るように構成されていることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の移送装置。