JPS6132948A - 透過形電子顕微鏡 - Google Patents
透過形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6132948A JPS6132948A JP15306384A JP15306384A JPS6132948A JP S6132948 A JPS6132948 A JP S6132948A JP 15306384 A JP15306384 A JP 15306384A JP 15306384 A JP15306384 A JP 15306384A JP S6132948 A JPS6132948 A JP S6132948A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- electron lens
- current value
- magnifications
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、透過形電子顕微鏡に係り、特に倍率制御の改
良に関するものである。
良に関するものである。
従来、透過形電子顕微鏡の倍率は、選択可能な倍率にそ
れぞれ対応する結像レンズの電流値をメモＩＪ Ｋ予め
記憶させておき、倍率選択時の倍率切換信号によってこ
めメモリに記憶している電流値を読出し、この電流値に
対応する電流を結像レンズに出力することにより制御し
ていた（例えば公昭４９−２２５７７号）。
れぞれ対応する結像レンズの電流値をメモＩＪ Ｋ予め
記憶させておき、倍率選択時の倍率切換信号によってこ
めメモリに記憶している電流値を読出し、この電流値に
対応する電流を結像レンズに出力することにより制御し
ていた（例えば公昭４９−２２５７７号）。
しかし、このような倍率制御方式では選択可能な倍率の
数を多くすると、メモリ容量を増加させなければならす
２、構成が大きくなるという欠点がある。また、逆に選
択可能な倍率の数がメモリに記憶されている電流値の数
で制限されてしまい、操作者が任意に倍率を設定するこ
とができないという欠点がある。
数を多くすると、メモリ容量を増加させなければならす
２、構成が大きくなるという欠点がある。また、逆に選
択可能な倍率の数がメモリに記憶されている電流値の数
で制限されてしまい、操作者が任意に倍率を設定するこ
とができないという欠点がある。
本発明の目的は、任意の倍率を設定可能とし、しかも小
容量のメモリで多くの倍率を選択設定し得る透過形電子
顕微鏡を提供することにある。
容量のメモリで多くの倍率を選択設定し得る透過形電子
顕微鏡を提供することにある。
本発明は、所定種類の倍率にそれぞれ対応して設定され
ている電子レンズの電流値をもとに補間演算することに
よシ隣り合う倍率の中間の倍率における電子レンズの電
流値を算出し、この電流値によって電子レンズ電流を制
御することによシ、連続的な倍率を設定可能としたもの
である。
ている電子レンズの電流値をもとに補間演算することに
よシ隣り合う倍率の中間の倍率における電子レンズの電
流値を算出し、この電流値によって電子レンズ電流を制
御することによシ、連続的な倍率を設定可能としたもの
である。
第１図は、本発明の一実施例を示す構成図であシ、電子
銃１よシ発射された電子線は照射レンズ系２〜３によっ
て収束され、試料４を照射する。
銃１よシ発射された電子線は照射レンズ系２〜３によっ
て収束され、試料４を照射する。
試料４を透過した電子線は、結像レンズ系５〜９によっ
て拡大され、蛍光板１０上に試料の拡大像を形成する。
て拡大され、蛍光板１０上に試料の拡大像を形成する。
各電子レンズ２〜３，５〜９の電流は、ＤＡ変換器１１
〜１７を介してマイクロプロセッサ１８によって制御さ
れる。マイクロプロセッサ１８は、倍率が選択されると
記憶素子１９に記憶されている各電子レンズ２〜３，５
〜９の電流値を読出し、各ＤＡ変換器１１〜エフに出力
する。このとき、記憶素子１９に記憶されている電流値
をそのままＤＡ変換器１３〜１７に出力すれば、予め選
択設定された倍率での拡大像が蛍光板１０上で観察され
る。従って、記憶素子１９に記憶されている電流値をも
とに演算素子２０を用いて補間演算を施し、その結果を
ＤＡ変換器１３〜１７に出力すれば、予め選択設定され
た倍率ではなく任意の倍率を設定することが可能となる
。
〜１７を介してマイクロプロセッサ１８によって制御さ
れる。マイクロプロセッサ１８は、倍率が選択されると
記憶素子１９に記憶されている各電子レンズ２〜３，５
〜９の電流値を読出し、各ＤＡ変換器１１〜エフに出力
する。このとき、記憶素子１９に記憶されている電流値
をそのままＤＡ変換器１３〜１７に出力すれば、予め選
択設定された倍率での拡大像が蛍光板１０上で観察され
る。従って、記憶素子１９に記憶されている電流値をも
とに演算素子２０を用いて補間演算を施し、その結果を
ＤＡ変換器１３〜１７に出力すれば、予め選択設定され
た倍率ではなく任意の倍率を設定することが可能となる
。
次に、第２図（ａ）、 （ｂ）を用いてこの補間演算に
ついて説明する。
ついて説明する。
第２図（功は予め設定された倍率に対する結像レンズ系
５〜９の電流値を示すものである。図中の黒丸印の点に
対応する電流値が記憶素子１９に予め記憶されている。
５〜９の電流値を示すものである。図中の黒丸印の点に
対応する電流値が記憶素子１９に予め記憶されている。
ここで、倍率Ａと倍率Ｂに注目して考える。第２図（ｂ
）はこの倍率ＡとＢとの間を拡大して示したもので、倍
率Ａに対して各結像レンズ５〜９の電流がａｌ−ａ５、
倍率Ｂに対してはｂｌ−ｂ５という値で記憶されている
。ここで仮シにこの倍率Ａ、Ｈの間に新たに倍率Ｃを設
定しようとすれば、各結像レンズ５〜９の電流値は次の
ような補間演算を施して求めればよい。
）はこの倍率ＡとＢとの間を拡大して示したもので、倍
率Ａに対して各結像レンズ５〜９の電流がａｌ−ａ５、
倍率Ｂに対してはｂｌ−ｂ５という値で記憶されている
。ここで仮シにこの倍率Ａ、Ｈの間に新たに倍率Ｃを設
定しようとすれば、各結像レンズ５〜９の電流値は次の
ような補間演算を施して求めればよい。
但し、ＣＩ＝結像レンズの電流値
ｉ＝結像レンズの種類（ｉ＝１〜５）
である。これによシ、倍率Ｃに対する結像レンズ５〜９
の電流値が求められ、この電流値を結像レンズ５〜９に
流すことによって倍率Ｃの拡大像を得ることができる。
の電流値が求められ、この電流値を結像レンズ５〜９に
流すことによって倍率Ｃの拡大像を得ることができる。
なお、第１式は簡単な一次補間式であるが、複雑な補間
式を用いればさらに倍率の制御精度を上げることができ
る。
式を用いればさらに倍率の制御精度を上げることができ
る。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、任意の
倍率を設定することができるので、連続的な倍率可変が
可能となる。さらに倍率ごとに記憶しなければならない
電子レンズの電流値を補間演算処理によって算出できる
ので、予め設定する倍率の数が少なくて済み、メモリの
記憶容量を少なくできるという効果がある。
倍率を設定することができるので、連続的な倍率可変が
可能となる。さらに倍率ごとに記憶しなければならない
電子レンズの電流値を補間演算処理によって算出できる
ので、予め設定する倍率の数が少なくて済み、メモリの
記憶容量を少なくできるという効果がある。
すなわち、小容量のメモリ構成で多くの倍率を選択設定
することができるという効果がある。
することができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図の（ａ
）、（ｂ）は実施例の基本原理を説明するための電子レ
ンズ電流値と倍率との関係を示す図である。
）、（ｂ）は実施例の基本原理を説明するための電子レ
ンズ電流値と倍率との関係を示す図である。
Claims (1)
- １、選択可能な複数の倍率にそれぞれ対応した電子レン
ズの電流値を記憶したメモリ手段と、このメモリ手段に
記憶された電子レンズ電流値のうち選択された倍率に対
応する電子レンズ電流値を読出して電子レンズ電流を制
御する制御手段とを備えた透過形電子顕微鏡において、
隣り合う倍率における電子レンズ電流値を補間演算し、
隣り合う倍率の間における任意の倍率の電子レンズ電流
を算出する補間演算手段を設け、この補間演算手段の演
算結果により電子レンズの電流値を制御するように構成
して成る透過形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15306384A JPS6132948A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 透過形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15306384A JPS6132948A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 透過形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132948A true JPS6132948A (ja) | 1986-02-15 |
Family
ID=15554170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15306384A Pending JPS6132948A (ja) | 1984-07-25 | 1984-07-25 | 透過形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132948A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193446A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-10 | Hitachi Ltd | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 |
| JPS63200450A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビ−ムの自動制御装置 |
| JPS63231856A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の制御方法 |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495663A (ja) * | 1972-05-02 | 1974-01-18 | ||
| JPS5117638A (ja) * | 1974-08-02 | 1976-02-12 | Nippon Bunko Kogyo Kk | Kansuhatsuseiki |
-
1984
- 1984-07-25 JP JP15306384A patent/JPS6132948A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495663A (ja) * | 1972-05-02 | 1974-01-18 | ||
| JPS5117638A (ja) * | 1974-08-02 | 1976-02-12 | Nippon Bunko Kogyo Kk | Kansuhatsuseiki |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193446A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-10 | Hitachi Ltd | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 |
| JPS63200450A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビ−ムの自動制御装置 |
| JPS63231856A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の制御方法 |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
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