JPS6136700B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は遠心脱水機に関するものである。周
知の如く、IC、トランジスタなどの半導体装置
は、円形の半導体基板に不純物拡散、写真製版な
どの処理を繰返し行つて作られ、この製造過程に
は水洗、乾燥処理が数多く含まれている。

従来、これらの乾燥は、第１図に示すように、
カセツトのような被処理物支持部材２の溝３に半
導体基板などの被処理物１を収納し、第２図に示
す遠心脱水機を用いて行つていた。

第２図において、９は上記被処理物支持部材２
を収納するカセツトホルダーで被処理物支持部材
２が接触する部位には抜き穴Ａ７と抜き穴Ｂ８お
よび抜き穴Ｃ１０が設けられ、軸１１で固定板１
２に吊持されている。上記固定板１２はカセツト
ホルダー９を狭むように相対してターンテーブル
２１上に溶接され、上記カセツトホルダー９はタ
ーンテーブル２１上に所定の間隔を存してたとえ
ば４個取付けられている。

１７はカツプリング１８を介してモータ１９に
連結された回転軸で、タンク２３の底部に設けら
れたハウジング１６中の軸受２０によつて回転自
在に支持されている。

軸１７の上部には、テーパ部１５があり、この
テーパ部１５に上記ターンテーブル２１の中心部
が嵌合され、座金１４を介して締付ボルト１３で
固定されている。

５は蓋体で上記タンク２３の上部に蝶番２４に
よつて開閉自在に取付けられ、蓋体５が閉じたと
き、タンク２３に対してパツキン６を介して密閉
される。

以上のように構成されている遠心脱水機を用い
て、被処理物１を乾燥する場合、第２図に示した
ように、カセツトホルダー９を矢印ａの方向に約
90゜回転させ、被処理物支持部材２をカセツトホ
ルダー９にセツトし、しかる後カセツトホルダー
９を元の位置に戻す。同様の作業を４回繰返して
４個の被処理物支持部材２をセツトし、蓋体５を
押し下げてタンク２３を密閉する。

以上で準備作業を完了し、モーター１９を起動
させてターンテーブル２１を回転させ、遠心力に
よつて被処理物支持部材２および被処理物１を乾
燥させる。遠心力によつて吹飛ばされた水は、タ
ンク２３の底部に設けられた排水口２２を通つて
外部に排出される。乾燥が終了すれば被処理物支
持部材２を１個づつ取出す。

このような従来の遠心脱水機においては、上記
のカセツト被処理物支持部材２の出し入れは人手
により行なわねばならないし、さらに不都合なこ
とは、被処理物支持部材２を１個もしくは３個乾
燥させたとき、遠心力バランスが崩れ使用不可と
なる。

人手で処理する不便さを解消するために、カセ
ツトホルダー９を位置決めし被処理物支持部材２
を上記カセツトホルダー９に出し入れする自動遠
心脱水機が実用されているけれど、上記のよう
に、遠心力バランスが崩れた場合の欠点には対処
できない。したがつて、完全に自動で運転でき
ず、２個もしくは４個の被処理物支持部材２をカ
セツトホルダー９に収納した場合に限られるとい
う欠点がある。

この発明は以上のような欠点を除去し、完全に
自動運転できる遠心脱水機を提供することを目的
とする。

以下、この発明の一実施例を図面にしたがつて
説明する。

第３図および第４図において、カセツトホルダ
ー９および固定板１２は従来の遠心脱水機と同じ
構造であり、両者は軸３２によつて連結されてい
る。３３は上記軸３２に一端を連結したレバー
で、このレバー３３の他端には回転自在なローラ
３４が取付けられている。３５は一部が歯切りさ
れた歯切棒で、歯切されていない部分はタンク３
８の外周に設けられた軸受部材３７に摺動自在に
嵌合し、歯切りされている部分は、回転シリンダ
（図示せず）によつて回転駆動されるピニオン３
６と噛合して矢印ａ，ｂ方向に往復運動する。

４７はターンテーブルで、上記カセツトホルダ
ー９が所定間隔を存してたとえば４個取付けられ
ており、その中心部で回転軸４６にボス２８と共
に締付ボルト１３で固定されている。上記回転軸
４６は、タンク３８の底部に設けられたハウジン
グ１６中の軸受２０に支持され、カツプリング１
８を介してモータ１９により高速回転される。４
２はスイツチ円板で外周に等角度で４個所の切欠
４０が設けられており、このスイツチ円板４２を
狭むように固定された光電スイツチ３９が上記の
切欠４０を検知する。

４１は電磁クラツチで、その従動部４３は上記
スイツチ円板４２とともに回転軸４６に固定され
ている。４５は上記電磁クラツチ４１の原動部
で、位置決め用モータ（図示せず）の回転力はベ
ルト４４を介して伝達される。なおこの原動部４
５は電磁クラツチ４１が通電されない時は従動部
４３および回転軸４６とは機械的に結合されず通
電時に結合する。

３０はバランスウエイトで、たとえば４個設け
られており、それぞれに角形の貫通孔４８が設け
られ、この貫通孔４８にターンテーブル４７の中
心部に位置するボス２８の外周から所定間隔を存
して放射状に延出させた４本の角形の案内棒２９
を嵌合して、その軸線方向に往復移動できるよう
になつている。また、上記案内棒２９の先端部に
カセツトホルダー９が対応し、このカセツトホル
ダー９にカセツト、つまり半導体基板などの被処
理物１を収納した被処理物支持部材２が支持され
る。さらに、上記バランスウエイト３０には当り
部３１が設けられ、この当り部３１は被処理物支
持部材２の上縁４と接触するようになつており、
かつ上記ボス２８に対してたとえば引張ばねのよ
うな復帰部材２７によつて連結され、常時はター
ンテーブル４７の中心側に寄せるようにしてい
る。なお２６ａ，２６ｂは上記引張ばねをバラン
スウエイト３０とボス２８に固定するためのばね
掛である。

上記構成において、まず蓋体５をエアーシリン
ダ（図示せず）によつて開き、位置決め用モータ
（図示せず）を回転させる。これと同時に電磁ク
ラツチ４１に通電して回転軸４６を回転させる。
この回転軸４６に取付けられているスイツチ円板
４２に設けられた切欠４０が、光電スイツチ３９
の位置まで回転すると、光電スイツチ３９が動作
し、電磁クラツチ４１の通電が解かれて回転軸４
６が停止する。これでターンテーブル４７上の固
定板１２に取付けられたカセツトホルダー９は歯
切棒３５が取付けられた位置に位置決めされる。
次にピニオン３６を時計方向に回転させて歯切棒
を第３図の矢印ａ方向レバー３３は軸３２を中心
として左方向に回転しカセツトホルダー９は第３
図において一点鎖線で示した位置まで90゜回転す
る。このように回転されたカセツトホルダー９に
対して別設されたロボツト（図示せず）によつて
運ばれたカセツト、つまり被処理物１を収納して
いる被処理物支持部材２が収納され、しかる後歯
切棒３５を矢印ｂ方向に移動させるとカセツトホ
ルダー９は被処理物支持部材２を収納したまゝ元
の位置に復帰する。このようにして、全てのカセ
ツトホルダー９被処理物１を収納している被処理
物支持部材２を収納し蓋体５を閉じてモーター１
９を回転させ、遠心脱水を施す。

モーター１９が回転して高速領域になると、遠
心力が生じ、各バランスウエイト３０は復帰部材
２７の復帰力、つまり引きばねのばね力に抗して
ターンテーブル４７の外周側へ移動し、被処理物
支持部材２の上縁４に当り部３１が押付けられ
て、上記外周方向への移動量が制限される。

一方、被処理物支持部材２が全てのカセツトホ
ルダー９に収納されていない場合には、バランス
ウエイト３０はモーター１９の回転数が増すにし
たがい外周側に移動し、遂にはカセツトホルダー
９の奥端にある当て板にあたる。この時のバラン
スウエイト３０の遠心力を被処理物１を収納した
被処理物支持部材２の遠心力とが等しくなるよう
に、バランスウエイト３０の形状及び重量を決定
しておくことによつて、常に良好な回転バランス
が維持できるから、被処理物１を収納した被処理
物支持部材２が、４個のカセツトホルダー９の全
てに収納されず、たとえば、１個だけの場合や２
個収納される場合、もしくは３個収納される場合
のいずれの場合でも、バランスの良い回転を得る
ことができる。

なお上記実施例では、カセツトホルダー９の数
を４個として説明しているけれど、この数を増す
ことは勿論可能である。さらに、バランスウエイ
ト３０の復帰手段として、この実施例では引張ば
ねを用いたが、圧縮ばねを用いる手段もしくは、
ばねを用いずに行う手段によつてバランスウエイ
ト３０を復帰させることができるし、上記実施例
で述べているように、被処理物１が半導体基板に
限定されるものでなく、他の物の脱水にも適用す
ることができる。したがつて、この発明によれ
ば、被処理物支持部材がターンテーブルのセツト
位置に全てセツトされた場合は勿論のこと、例
え、ターンテーブルのセツト位置のいくつかがあ
いておりつまりセツトされないセツト位置があつ
ても、そのない分に見合つただけバランスウエイ
トがターンテーブルの中心から放射方向に移動し
て、良好な回転バランスを維持できる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は被処理物と被処理物支持部材を示す斜
視図、第２図は従来の遠心脱水機を示す断面図、
第３図は本発明の一実施例を示す断面図、第４図
はバランスウエイトと案内棒を示す斜視図であ
る。 １……被処理物、２……被処理物支持部材、９
……カセツトホルダー、２７……復帰部材、２９
……案内棒、３０……バランスウエイト、４７…
…ターンテーブル。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ターンテーブル、このターンテーブルの周縁
   部に取り外し可能に取り付けられる複数個の被処
   理物支持部材、上記ターンテーブルに、これの中
   心から被処理支持部材取り付け部に向つて放射状
   に延出するよう設けられた案内棒、これらの案内
   棒に、これらの軸線方向に往復移動可能に嵌合さ
   れたバランスウエイト、このバランスウエイトを
   常時はターンテーブルの中心側に寄せるようにバ
   ランスウエイト側とターンテーブル側との間に付
   勢された復帰部材を備え、上記ターンテーブルの
   回転時、上記バランスウエイトが遠心力によつて
   上記復帰部材の復帰力に抗してターンテーブルの
   外周側へ移動されるように構成して成る遠心脱水
   機。 ２ 上記被処理物支持部材もしくは被処理物に
   は、上記バランスウエイトの外周方向への移動を
   制限する面を設けて成る特許請求の範囲第１項記
   載の遠心脱水機。