JPH0749791Y2 - 枚葉式スピン乾燥装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、板状体ワークの枚葉式スピン乾燥装置におけ
るワークチャックの構造に関するものである。

（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、例えば以下に示
すようなものがあった。

第４図はかかる従来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状の
ワークチャック機構の平面図、第５図はそのＡ−Ａ線断
面図である。

これらの図に示すように、１は主軸であり、この主軸１
は駆動モータ（図示なし）に回転自在に接続されてお
り、主軸１の先端部にフランジ形テーブル２が取り付け
られ、このテーブル２上にワークガイド３が取り付けら
れている。このワークガイド３上に円板状の被乾燥物
（ワーク）４が載置される。このワーク４は、回転によ
る遠心力で表面の水分が飛ばされ、乾燥される。本装置
は、回転時に、バキューム力によってワーク４を吸着固
定するか、又はワークガイド３に固定用の爪等を設ける
ことにより、ワーク４の飛び出しを防止するように構成
されている。

この種のスピン乾燥装置は、主にIC組立工程の中でダイ
シング後のウエハの乾燥に用いられるものであり、回転
中にノズル（図示なし）により純水、N₂等がワーク４の
表面に吹きつけられ、後に3000rpm以上の高速回転に
て、表面に付着した水分を除去、乾燥させる。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら、上記した乾燥方法においては、下記に示
すような問題点がある。

（１）ワークの固定・保持にバキューム力を用いる場合
には、ワークの傷、変形等によってその吸着力に差異が
生じ、回転時、保持部からワークが飛び出してワーク及
び周囲を破損することがある。また、ワークの裏面が保
持部に接触するため、裏面の乾燥が十分に行われない。

（２）ワークを機構的に爪等で固定する場合には、ワー
クは完全に固定されるが、ワークセットの際に余分な工
数及び時間を費やすことになるため、スループットの低
減、コストアップにつながり、更に、自動化を阻害す
る。

本考案は、以上述べたワークのスピン乾燥時における
（１）ワークの変形等による飛び出し、（２）ワーク接
触による乾燥不良、（３）ワーク保持機構の複雑化等の
問題点を除去し、簡便な構成で、しかも確実なスピン乾
燥を行い得る枚葉式スピン乾燥装置を提供することを目
的とする。

（課題を解決するための手段） 本考案は、上記問題点を開設するために、 （１）枚葉式スピン乾燥装置において、テーブルと、こ
のテーブルの周辺部に設けられ、周囲部のみにワークを
載置する複数の周囲ガイドと、この周囲ガイドに取り付
けられるとともに、前記テーブルの中心に向かう前記周
囲ガイドの中心線を直交する方向に配置される枢支軸
と、この枢支軸に揺動自在に枢支され、上部にワーク押
さえ部と、下部に前記テーブルの停止時に垂下し、この
テーブルの回転時にこのテーブルの外方向へと開く垂下
部とを有し、このテーブルの停止時には前記ワーク押さ
え部は前記周囲ガイドに載置されたワークの周辺上面か
ら離脱し、このテーブルの回転時に前記周囲ガイドに載
置されたワークの周辺上面を前記ワーク押さえ部で押さ
えるワーククランプ爪を設けるようにしたものである。

（２）上記（１）記載の枚葉式スピン乾燥装置におい
て、前記テーブルの回転中心方向に向かって底面が低く
なる傾斜部を設けるようにしたものである。

（作用） 本考案によれば、第１図乃至第３図に示すように、枚葉
式スピン乾燥装置において、ワーククランプ爪（15）
は、スピン乾燥時は、このワーククランプ爪（15）の重
心が受ける遠心力により、第２図に示すように、垂下部
（15b）がデーブル（12）の外方向へと開き、自立し、
その押さえ部（15a）により板状体ワーク（16）は押さ
えつけられ、自動的にチャックが行われる。また、静止
時には、ワーククランプ爪（15）は、重心の作用によ
り、第３図に示すように、ワーククランプ爪（15）の押
さえ部（15a）は板状体ワーク（16）から離脱して、そ
の脱着が可能となる。

（実施例） 以下、本考案の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本考案の実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式ス
ピン乾燥装置の平面図、第２図はそのＢ−Ｂ線断面図、
第３図はその枚葉式スピン乾燥装置の停止時の断面図で
ある。

これらの図において、11は主軸であり、下部に位置する
駆動モータ（図示なし）に回転自在に接続されている。
この主軸11の先端部にはフランジ形テーブル12が取り付
けられている。このテーブル12の上面に、周囲ガイド13
が同心状に４箇所に取り付けられ、その上に板状体ワー
ク16が載置される。周囲ガイド13は、図示のように、回
転中心に向かって、底辺が若干傾斜しており、板状体ワ
ーク16の周囲のみが周囲ガイド13に接触するような形状
になっている。

また、周囲ガイド13にはワーククランプ爪15が枢支軸14
を中心に回転自在に取り付けられ、ワーククランプ爪15
は下部に重心を持ち、上部に鉤状の押さえ部15aと、下
部に前記テーブル12の停止時に垂下し、このテーブル12
の回転時にこのテーブル12の外方向へと開く垂下部15b
とを具備している。

更に、周囲ガイド13には、フランジ形テーブル12の半径
方向に調整可能なように切り溝17が形成され、そこにフ
ランジ形テーブル12を貫通する調整部材18が設けられ
る。このように構成することにより、板状体ワーク16の
大きさに適合するように、周囲ガイド13の位置を調整す
ることにより、各種寸法の板状体ワークをセットするこ
とが可能である。

そこで、ワーククランプ爪15は、スピン乾燥時は、その
下部に位置するワーククランプ爪の重心が受ける遠心力
により、第２図に示すように自立し、押さえ部15aによ
り板状体ワーク16は押さえつけられ、自動的にチャック
が行われる。また、静止時には、ワーククランプ爪15
は、重心の作用により、第３図に示すように、ワークク
ランプ爪15の押さえ部15aは板状体ワーク16から離脱し
て、板状体ワーク16の脱着が可能となる。

なお、上記実施例においては、周囲ガイドを４箇所に設
けるようにしたが、３箇所以上であれば、その個数を任
意に選定することができる。

また、本考案は上記実施例に限定されるものではなく、
本考案の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本考案の範囲から排除するものではない。

（考案の効果） 以上、詳細に説明したように、本考案によれば、枚葉式
スピン乾燥装置のワークチャック機構として、遠心力に
よる自立式のワーククランプ爪、及び裏面非接触式のワ
ークステージを設けるようにしたので、回転時のワーク
の飛び出しがなく、しかも完全な乾燥処理を行うことが
できる。

また、ワークの着脱が容易であり、工数及び手間を省く
ことができ、スループットの向上を図ることができる。

更に、ワーククランプ爪は、ワーク押さえ部と垂下部か
らなる簡単な構造でありながら、確実にワークのチャッ
クを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示すスピン乾燥時の枚葉式ス
ピン乾燥装置の平面図、第２図は第１図のＢ−Ｂ線断面
図、第３図は本考案の枚葉式スピン乾燥装置の停止時の
断面図、第４図は従来の枚葉式スピン乾燥装置の円板状
のワークチャック機構の平面図、第５図は第４図のＡ−
Ａ線断面図である。 11……主軸、12……フランジ形テーブル、13……周囲ガ
イド、14……枢支軸、15……ワーククランプ爪、15a…
…押さえ部、15b……垂下部、16……板状体ワーク、17
……切り溝、18……調整部材。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】（ａ）テーブルと、 （ｂ）該テーブルの周辺部に設けられ、周囲部のみにワ
   ークを載置する複数の周囲ガイドと、 （ｃ）該周囲ガイドに取り付けられるとともに、前記テ
   ーブルの中心に向かう前記周囲ガイドの中心線と直交す
   る方向に配置される枢支軸と、 （ｄ）該枢支軸に揺動自在に枢支され、上部にワーク押
   さえ部と、下部に前記テーブルの停止時に垂下し、該テ
   ーブルの回転時に該テーブルの外方向へと開く垂下部と
   を有し、該テーブルの停止時には前記ワーク押さえ部は
   前記周囲ガイドに載置されたワークの周辺上面から離脱
   し、該テーブルの回転時に前記周囲ガイドに載置された
   ワークの周辺上面を前記ワーク押さえ部で押さえるワー
   ククランプ爪を具備することを特徴とする枚葉式スピン
   乾燥装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の枚葉式スピン乾燥装置にお
   いて、前記テーブルの回転中心方向に向かって底面が低
   くなる傾斜部を設けてなる枚葉式スピン乾燥装置。