JPH035020B2 - - Google Patents
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- JPH035020B2 JPH035020B2 JP59125743A JP12574384A JPH035020B2 JP H035020 B2 JPH035020 B2 JP H035020B2 JP 59125743 A JP59125743 A JP 59125743A JP 12574384 A JP12574384 A JP 12574384A JP H035020 B2 JPH035020 B2 JP H035020B2
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- electron beam
- scanning
- supplied
- electron
- circuits
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 22
- 230000005465 channeling Effects 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 9
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 7
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/2955—Electron or ion diffraction tubes using scanning ray
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はエレクトロンチヤンネリングパターン
を表示することのできる電子線装置に関する。
を表示することのできる電子線装置に関する。
［従来の技術］
第１図に示すように、試料Ｓに対する電子線の
照射点を入射点Ｐを固定した状態において、電子
線をθx，θyの方向に順次角度走査すれば、ブラ
ツグ条件を満す角度の軌跡として表示画面上に結
晶面と平行な２本の線が表示される。尚、OLは
対物レンズを示している。このような２本の線の
集合から成る像はエレクトロンチヤンネリングパ
ターンと呼ばれており、このエレクトロンチヤン
ネリングパターンを解析することにより結晶の面
癖、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知るこ
とができるため、近時エレクトロンチヤンネリン
グパターンの観察が広く行なわれるようになつ
た。
照射点を入射点Ｐを固定した状態において、電子
線をθx，θyの方向に順次角度走査すれば、ブラ
ツグ条件を満す角度の軌跡として表示画面上に結
晶面と平行な２本の線が表示される。尚、OLは
対物レンズを示している。このような２本の線の
集合から成る像はエレクトロンチヤンネリングパ
ターンと呼ばれており、このエレクトロンチヤン
ネリングパターンを解析することにより結晶の面
癖、結晶粒界や異相間の結晶方位関係等を知るこ
とができるため、近時エレクトロンチヤンネリン
グパターンの観察が広く行なわれるようになつ
た。
第２図はエレクトロンチヤンネリングパターン
の観察を行なうための従来装置を示すためのもの
で、図中１は電子銃であり、この電子銃１よりの
電子線EBは集束レンズ２，３により集束された
後、対物絞り４を通過して偏向系に入射する。偏
向系はＸ（水平）及びＹ（垂直）方向走査用の第１
段の走査コイル５ax，５ayと、第２段のＸ及び
Ｙ方向走査用の走査コイル５bx，５by及び走査
コイル５ax，５ayのすぐ外側に配置された第１
段のアライメント用コイル６ax，6ay及び走査コ
イル５bx，５byのすぐ外側に配置されたアライ
メント用コイル６bx，６byより成つている。こ
れらアライメントコイル６ax，６ay，６bx，６
byには、偏向電源７ax，７ay，７bx，７byより
の偏向電流が供給できるようになつている。各走
査コイル及びアライメントコイルによつて偏向さ
れた電子線EBはダイナミツクフオーカスレンズ
８及び対物レンズ９を経て試料１０上に照射され
る。１１Ｘは第３図ａに示す如きＸ方向の走査信
号を発生する走査信号発生回路であり、この走査
信号発生回路１１Ｘよりの走査信号はスイツチ回
路１２Ｘを介して走査コイル5ax及び5bxに供給
できるようになつている。１１Ｙは第３図ｂに示
す如きＹ方向の走査信号を発生する走査信号発生
回路であり、この走査信号発生回路１１Ｙよりの
走査信号はスイツチ回路１２Ｙを介して走査コイ
ル５ay及び５byに供給できるようになつている。
この走査信号発生回路１１Ｘ，１１ＹよりのＸ及
びＹ方向走査信号は陰極線管CRの走査コイル
CRx，CRyにも供給されており、陰極線管CRは
電子線EBの走査に同期して走査されるようにな
つている。又、走査信号発生回路１１Ｘ，１１Ｙ
よりの走査信号は各々スイツチSx，Syを介して
加算回路１３Ｘ，１３Ｙに供給されている。これ
ら加算回路１３Ｘ，１３Ｙには各々ポテンシヨメ
ーター１４Ｘ，１４Ｙよりの信号が供給されてい
る。加算回路１３Ｘ，１３Ｙの出力信号は各々二
乗回路１５Ｘ，１５Ｙに供給されている。これら
二乗回路１５Ｘ，１５Ｙの出力信号は加算回路１
６に供給されており、加算回路１６の出力信号は
増幅率可変増幅器１７を介して前記ダイナミツク
フオーカスレンズ８に供給されている。このダイ
ナミツクフオーカスレンズ８は、Csを対物レン
ズの球面収差係数とするとき、対物レンズの焦点
距離Ｆが球面収差のため見かけ上 ΔF∝Cs（Xi2＋Yi2） ……(1) だけずれてしまうため、(1)式で与えられる量だけ
焦点距離を電子線の走査に同期させてシフトさ
せ、このずれを補正するためのものである。１８
は二次電子検出器であり、この検出器１８よりの
出力信号は増幅器１９を介して陰極線管CRのグ
リツドCRgに供給されている。
の観察を行なうための従来装置を示すためのもの
で、図中１は電子銃であり、この電子銃１よりの
電子線EBは集束レンズ２，３により集束された
後、対物絞り４を通過して偏向系に入射する。偏
向系はＸ（水平）及びＹ（垂直）方向走査用の第１
段の走査コイル５ax，５ayと、第２段のＸ及び
Ｙ方向走査用の走査コイル５bx，５by及び走査
コイル５ax，５ayのすぐ外側に配置された第１
段のアライメント用コイル６ax，6ay及び走査コ
イル５bx，５byのすぐ外側に配置されたアライ
メント用コイル６bx，６byより成つている。こ
れらアライメントコイル６ax，６ay，６bx，６
byには、偏向電源７ax，７ay，７bx，７byより
の偏向電流が供給できるようになつている。各走
査コイル及びアライメントコイルによつて偏向さ
れた電子線EBはダイナミツクフオーカスレンズ
８及び対物レンズ９を経て試料１０上に照射され
る。１１Ｘは第３図ａに示す如きＸ方向の走査信
号を発生する走査信号発生回路であり、この走査
信号発生回路１１Ｘよりの走査信号はスイツチ回
路１２Ｘを介して走査コイル5ax及び5bxに供給
できるようになつている。１１Ｙは第３図ｂに示
す如きＹ方向の走査信号を発生する走査信号発生
回路であり、この走査信号発生回路１１Ｙよりの
走査信号はスイツチ回路１２Ｙを介して走査コイ
ル５ay及び５byに供給できるようになつている。
この走査信号発生回路１１Ｘ，１１ＹよりのＸ及
びＹ方向走査信号は陰極線管CRの走査コイル
CRx，CRyにも供給されており、陰極線管CRは
電子線EBの走査に同期して走査されるようにな
つている。又、走査信号発生回路１１Ｘ，１１Ｙ
よりの走査信号は各々スイツチSx，Syを介して
加算回路１３Ｘ，１３Ｙに供給されている。これ
ら加算回路１３Ｘ，１３Ｙには各々ポテンシヨメ
ーター１４Ｘ，１４Ｙよりの信号が供給されてい
る。加算回路１３Ｘ，１３Ｙの出力信号は各々二
乗回路１５Ｘ，１５Ｙに供給されている。これら
二乗回路１５Ｘ，１５Ｙの出力信号は加算回路１
６に供給されており、加算回路１６の出力信号は
増幅率可変増幅器１７を介して前記ダイナミツク
フオーカスレンズ８に供給されている。このダイ
ナミツクフオーカスレンズ８は、Csを対物レン
ズの球面収差係数とするとき、対物レンズの焦点
距離Ｆが球面収差のため見かけ上 ΔF∝Cs（Xi2＋Yi2） ……(1) だけずれてしまうため、(1)式で与えられる量だけ
焦点距離を電子線の走査に同期させてシフトさ
せ、このずれを補正するためのものである。１８
は二次電子検出器であり、この検出器１８よりの
出力信号は増幅器１９を介して陰極線管CRのグ
リツドCRgに供給されている。
このような構成の従来装置において、ダイナミ
ツクフオーカスレンズによる補正の効果を発揮さ
せて、極微小領域のエレクトロンチヤンネリング
パターンを観察するため、まず偏向電源７ax，
７ay，７bx，７byより各偏向コイル６ax，６
ay，６bx，６byに供給する偏向電流を調整して、
ダイナミツクフオーカスレンズ８の軸と対物レン
ズ９の軸とを軸合せする。しかる後、試料１０と
して例えばメツシユをセツトし、更に集束レンズ
３の励磁強度とスイツチ回路１２Ｘ，１２Ｙを調
整して、第２図において点線で示すように電子線
EBが対物レンズ９の中心を偏向支点として偏向
され、それにより試料１０は二次元的に走査され
て通常の走査像が得られるようにする。その結
果、陰極線管CRの画面には第４図ａに示す如き
メツシユ像が得られる。そこで、このメツシユを
構成する格子線の交差点が画面中心に位置するよ
うに試料１０を移動した後、集束レンズ３の励磁
強度を切換えると共にスイツチ回路１２Ｘ，１２
Ｙを介して走査コイル5ax，５ayに走査信号を供
給し、第２図において細線で示されるように電子
線EBが対物レンズ９の前焦点面Ｓを走査するよ
うにする。その結果、電子線EBは試料１０上の
狭い領域に照射された状態で角度走査される。そ
のため、陰極線管CRには第４図に示す如き画像
が表示される。この第４図ｂ及び後述する第４図
ｃにおいて、イはメツシユを構成している格子線
を示している。そこで、スイツチSx，Syを閉じ
れば、Ｘ及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ，１
１Ｙより第３図ａ，ｂに示す如き走査信号が各々
加算回路１３Ｘ，１３Ｙに供給される。この加算
回路１３Ｘ，１３Ｙには、各々ポテンシヨメータ
ー１４Ｘ，１４Ｙより値ａ、ｂに対応した信号が
供給されているため、二乗回路１５Ｘ，１５Ｙの
出力信号は各々（Xi−ａ）2、（Yi−ｂ）2に比例し
たものとなる。従つて、増幅率可変増幅器１７を
介してダイナミツクフオーカスレンズ８にはＫを
比例定数とするとき、 Ｋ｛（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2｝ なる信号が供給される。そのため、対物レンズの
球面収差に基づく電子線EBの照射領域の移動は
完全にではないが補正され、陰極線管CRに表示
される画像は第４図ｃに示す如きものとなる。こ
の図から明らかなように、一般に前記ダイナミツ
クフオーカスレンズ８と対物レンズ９の軸合せは
完全に行なうことはできないため、電子線EBを
ロツキングした際の中心点Ｑ（実際には表示され
ない）は画面の中心からずれた種々の位置をと
る。一方、ダイナミツクフオーカスレンズ８によ
る補正の中心点は、前記位相値ａ、ｂに対応した
位置にあるから、最初の状態においては、一般に
ロツキング中心点と補正の中心点は一致してい
ず、このまま増幅率可変増幅器１７の増幅率を増
大させてもダイナミツクフオーカスレンズ８によ
る補正を有効に行なうことができない。そこで、
ポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力を調節
して、Ｋ｛（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2｝が０となる補
正の中心をロツキング中心Ｑに一致させるように
している。
ツクフオーカスレンズによる補正の効果を発揮さ
せて、極微小領域のエレクトロンチヤンネリング
パターンを観察するため、まず偏向電源７ax，
７ay，７bx，７byより各偏向コイル６ax，６
ay，６bx，６byに供給する偏向電流を調整して、
ダイナミツクフオーカスレンズ８の軸と対物レン
ズ９の軸とを軸合せする。しかる後、試料１０と
して例えばメツシユをセツトし、更に集束レンズ
３の励磁強度とスイツチ回路１２Ｘ，１２Ｙを調
整して、第２図において点線で示すように電子線
EBが対物レンズ９の中心を偏向支点として偏向
され、それにより試料１０は二次元的に走査され
て通常の走査像が得られるようにする。その結
果、陰極線管CRの画面には第４図ａに示す如き
メツシユ像が得られる。そこで、このメツシユを
構成する格子線の交差点が画面中心に位置するよ
うに試料１０を移動した後、集束レンズ３の励磁
強度を切換えると共にスイツチ回路１２Ｘ，１２
Ｙを介して走査コイル5ax，５ayに走査信号を供
給し、第２図において細線で示されるように電子
線EBが対物レンズ９の前焦点面Ｓを走査するよ
うにする。その結果、電子線EBは試料１０上の
狭い領域に照射された状態で角度走査される。そ
のため、陰極線管CRには第４図に示す如き画像
が表示される。この第４図ｂ及び後述する第４図
ｃにおいて、イはメツシユを構成している格子線
を示している。そこで、スイツチSx，Syを閉じ
れば、Ｘ及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ，１
１Ｙより第３図ａ，ｂに示す如き走査信号が各々
加算回路１３Ｘ，１３Ｙに供給される。この加算
回路１３Ｘ，１３Ｙには、各々ポテンシヨメータ
ー１４Ｘ，１４Ｙより値ａ、ｂに対応した信号が
供給されているため、二乗回路１５Ｘ，１５Ｙの
出力信号は各々（Xi−ａ）2、（Yi−ｂ）2に比例し
たものとなる。従つて、増幅率可変増幅器１７を
介してダイナミツクフオーカスレンズ８にはＫを
比例定数とするとき、 Ｋ｛（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2｝ なる信号が供給される。そのため、対物レンズの
球面収差に基づく電子線EBの照射領域の移動は
完全にではないが補正され、陰極線管CRに表示
される画像は第４図ｃに示す如きものとなる。こ
の図から明らかなように、一般に前記ダイナミツ
クフオーカスレンズ８と対物レンズ９の軸合せは
完全に行なうことはできないため、電子線EBを
ロツキングした際の中心点Ｑ（実際には表示され
ない）は画面の中心からずれた種々の位置をと
る。一方、ダイナミツクフオーカスレンズ８によ
る補正の中心点は、前記位相値ａ、ｂに対応した
位置にあるから、最初の状態においては、一般に
ロツキング中心点と補正の中心点は一致してい
ず、このまま増幅率可変増幅器１７の増幅率を増
大させてもダイナミツクフオーカスレンズ８によ
る補正を有効に行なうことができない。そこで、
ポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力を調節
して、Ｋ｛（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2｝が０となる補
正の中心をロツキング中心Ｑに一致させるように
している。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら従来装置におけるこの調節は、ポ
テンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力を変化さ
せる毎に増幅率可変増幅器１７の増幅率を増大さ
せて、それによつて得られる画像が第４図ｄに示
す如き輝度のムラのあるものから、第４図ｅに示
す如き輝度ムラの無いものになるまで、繰り返し
試行錯誤により行なわざるを得ず、調節に時間と
熟練を要した。
テンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力を変化さ
せる毎に増幅率可変増幅器１７の増幅率を増大さ
せて、それによつて得られる画像が第４図ｄに示
す如き輝度のムラのあるものから、第４図ｅに示
す如き輝度ムラの無いものになるまで、繰り返し
試行錯誤により行なわざるを得ず、調節に時間と
熟練を要した。
本発明はこのような従来の欠点を解決して、簡
単且つ短時間に上記調節を行なうことのできる電
子線装置を提供することを目的としている。
単且つ短時間に上記調節を行なうことのできる電
子線装置を提供することを目的としている。
［発明の構成］
本発明のＸ方向及びＹ方向走査信号を各々Xi，
Yiとするとき、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にXi，
Yiを供給して対物レンズの前焦点面を電子線に
より走査すると共に、該対物レンズの近傍に配置
されたダイナミツクフオーカスレンズに、位相値
ａ、ｂを含んだ（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2になる補
正信号を供給して対物レンズの球面収差に基づく
電子線の照射位置の移動を補正して電子線を角度
走行し、該角度走査に伴う検出信号を該走査に同
期走査されている表示手段に導いてエレクトロン
チヤンネリングパターンを表示するようにした装
置において該位相値ａ、ｂの調節に伴つて該表示
手段の画面上の該ａ及びｂの値に対応した位置に
マークを表示するための手段を具備することを特
徴としている。
Yiとするとき、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にXi，
Yiを供給して対物レンズの前焦点面を電子線に
より走査すると共に、該対物レンズの近傍に配置
されたダイナミツクフオーカスレンズに、位相値
ａ、ｂを含んだ（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2になる補
正信号を供給して対物レンズの球面収差に基づく
電子線の照射位置の移動を補正して電子線を角度
走行し、該角度走査に伴う検出信号を該走査に同
期走査されている表示手段に導いてエレクトロン
チヤンネリングパターンを表示するようにした装
置において該位相値ａ、ｂの調節に伴つて該表示
手段の画面上の該ａ及びｂの値に対応した位置に
マークを表示するための手段を具備することを特
徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。
る。
第５図は本発明の一実施例を示すためのもの
で、第５図においては第２図と同一の構成要素に
対して同一番号を付している。従来と異なり、前
記ポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力信号
は各々比較回路２０Ｘ，２０Ｙに供給されてい
る。この比較回路２０Ｘ，２０Ｙには各々前記Ｘ
方向及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ，１１Ｙ
よりの走査信号も供給されている。この比較回路
１４Ｘ，１４Ｙの出力信号は加算回路２１に供給
されている。この加算回路２１には増幅器１９の
出力信号も供給されている。加算回路２１の出力
信号は陰極線管CRのグリツドCRgに供給されて
いる。
で、第５図においては第２図と同一の構成要素に
対して同一番号を付している。従来と異なり、前
記ポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力信号
は各々比較回路２０Ｘ，２０Ｙに供給されてい
る。この比較回路２０Ｘ，２０Ｙには各々前記Ｘ
方向及びＹ方向走査信号発生回路１１Ｘ，１１Ｙ
よりの走査信号も供給されている。この比較回路
１４Ｘ，１４Ｙの出力信号は加算回路２１に供給
されている。この加算回路２１には増幅器１９の
出力信号も供給されている。加算回路２１の出力
信号は陰極線管CRのグリツドCRgに供給されて
いる。
このような構成において、走査信号発生回路１
１Ｘ，１１Ｙには第３図ａ及びｂに示す如き走査
信号が供給されているが、これら比較回路２０
Ｘ，２０Ｙはポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙ
の出力信号値とＸ及びＹ方向走査信号値が一致し
た際に一致パルスを発生する。この一致パルスは
加算回路１９において二次電子検出器２０よりの
画像信号と加算されて陰極線管CRのグリツド
CRgに供給されるため、陰極線管CRの画面上に
ポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力信号値
ａ，ｂに対応した位置に第６図においてLx，Ly
で示す如き輝線が像に重畳して表示される。そこ
で、スイツチSx，Syを閉じてＸ及びＹ方向走査
信号発生回路１１Ｘ，１１Ｙよりの第３図ａ，ｂ
に示す如き走査信号を各々加算回路１３Ｘ，１３
Ｙに供給すれば、増幅率可変増幅器１７を介して
ダイナミツクフオーカスレンズ８にはＫを比例定
数とするときＫ｛（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2｝なる信
号が供給されるため、前記第４図Ｃに示す像と同
様の像を陰極線管１０に表示することができる。
そので、この画面が得られたら、ポテンシヨメー
ター１４Ｘ，１４Ｙの出力信号を調節して、第６
図において点線で示すように、輝線の交点Ｕがロ
ツキング中心点Ｑに一致するようにする。その結
果、ロツキング中心点Ｑにおいて、ダイナミツク
フオーカスレンズ９に供給される補正信号値は０
となり、このロツキング中心を補正中心として対
物レンズ８の球面収差が補正される。そこで、増
幅率可変増幅器１７の増幅率を増大させれば、第
４図ｅに示した像と同様の明るさムラのない像が
得られる。このようにして調節が完了できるの
で、試料を観察すべき試料に交換すれば、ダイナ
ミツクフオーカスレンズ８による補正の中心をロ
ツキングの中心点に一致させて補正が行なわれる
ため、試料上の極めて狭い領域にのみ電子線を照
射した状態でロツキングを行なうことができ、極
微小領域のエレクトロンチヤンネリングパターン
を陰極線管１０上に表示することができる。
１Ｘ，１１Ｙには第３図ａ及びｂに示す如き走査
信号が供給されているが、これら比較回路２０
Ｘ，２０Ｙはポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙ
の出力信号値とＸ及びＹ方向走査信号値が一致し
た際に一致パルスを発生する。この一致パルスは
加算回路１９において二次電子検出器２０よりの
画像信号と加算されて陰極線管CRのグリツド
CRgに供給されるため、陰極線管CRの画面上に
ポテンシヨメーター１４Ｘ，１４Ｙの出力信号値
ａ，ｂに対応した位置に第６図においてLx，Ly
で示す如き輝線が像に重畳して表示される。そこ
で、スイツチSx，Syを閉じてＸ及びＹ方向走査
信号発生回路１１Ｘ，１１Ｙよりの第３図ａ，ｂ
に示す如き走査信号を各々加算回路１３Ｘ，１３
Ｙに供給すれば、増幅率可変増幅器１７を介して
ダイナミツクフオーカスレンズ８にはＫを比例定
数とするときＫ｛（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2｝なる信
号が供給されるため、前記第４図Ｃに示す像と同
様の像を陰極線管１０に表示することができる。
そので、この画面が得られたら、ポテンシヨメー
ター１４Ｘ，１４Ｙの出力信号を調節して、第６
図において点線で示すように、輝線の交点Ｕがロ
ツキング中心点Ｑに一致するようにする。その結
果、ロツキング中心点Ｑにおいて、ダイナミツク
フオーカスレンズ９に供給される補正信号値は０
となり、このロツキング中心を補正中心として対
物レンズ８の球面収差が補正される。そこで、増
幅率可変増幅器１７の増幅率を増大させれば、第
４図ｅに示した像と同様の明るさムラのない像が
得られる。このようにして調節が完了できるの
で、試料を観察すべき試料に交換すれば、ダイナ
ミツクフオーカスレンズ８による補正の中心をロ
ツキングの中心点に一致させて補正が行なわれる
ため、試料上の極めて狭い領域にのみ電子線を照
射した状態でロツキングを行なうことができ、極
微小領域のエレクトロンチヤンネリングパターン
を陰極線管１０上に表示することができる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明に基
づく装置によれば、ダイナミツクフオーカスレン
ズによる補正の中心をロツキングの中心に一致さ
せるための調節を簡単且つ短時間に行なうことが
でき、この種の電子線装置の操作性を向上させる
ことができる。
づく装置によれば、ダイナミツクフオーカスレン
ズによる補正の中心をロツキングの中心に一致さ
せるための調節を簡単且つ短時間に行なうことが
でき、この種の電子線装置の操作性を向上させる
ことができる。
第１図は、エレクトロンチヤンネリングパター
ンを得るための装置の基本的な構成を示すための
図、第２図は従来装置を例示するための図、第３
図は第２図及び第５図に示す装置の各回路よりの
出力信号を例示するための図、第４図は従来にお
ける陰極線管の表示像を説明するための図、第５
図は本発明の一実施例を説明するための図であ
る。第６図は一実施例装置の動作を説明するため
の図である。 １：電子銃、EB：電子線、２，３：集束レン
ズ、４：対物絞り、５ax，５ay，５bx，５by：
走査コイル、６ax，６ay，６bx，６by：アライ
メント用コイル、７ax，７ay，７bx，７by：偏
向電源、８：ダイナミツクフオーカスレンズ、
９：対物レンズ、１０：試料、１１Ｘ，１１Ｙ：
走査信号発生回路、１２Ｘ，１２Ｙ：スイツチ回
路、CR：陰極線管、Sx，Sy：スイツチ、１３
Ｘ，１３Ｙ，１６，２１：加算回路、１４Ｘ，１
４Ｙ：ポテンシヨメーター、１５Ｘ，１５Ｙ：二
乗回路、１７：増幅率可変増幅器、１８：二次電
子検出器、１９：増幅器、２０Ｘ，２０Ｙ：比較
回路。
ンを得るための装置の基本的な構成を示すための
図、第２図は従来装置を例示するための図、第３
図は第２図及び第５図に示す装置の各回路よりの
出力信号を例示するための図、第４図は従来にお
ける陰極線管の表示像を説明するための図、第５
図は本発明の一実施例を説明するための図であ
る。第６図は一実施例装置の動作を説明するため
の図である。 １：電子銃、EB：電子線、２，３：集束レン
ズ、４：対物絞り、５ax，５ay，５bx，５by：
走査コイル、６ax，６ay，６bx，６by：アライ
メント用コイル、７ax，７ay，７bx，７by：偏
向電源、８：ダイナミツクフオーカスレンズ、
９：対物レンズ、１０：試料、１１Ｘ，１１Ｙ：
走査信号発生回路、１２Ｘ，１２Ｙ：スイツチ回
路、CR：陰極線管、Sx，Sy：スイツチ、１３
Ｘ，１３Ｙ，１６，２１：加算回路、１４Ｘ，１
４Ｙ：ポテンシヨメーター、１５Ｘ，１５Ｙ：二
乗回路、１７：増幅率可変増幅器、１８：二次電
子検出器、１９：増幅器、２０Ｘ，２０Ｙ：比較
回路。
Claims (1)
- １ Ｘ方向及びＹ方向走査信号を各々Xi，Yiと
するとき、Ｘ及びＹ方向電子線偏向器にXi，Yi
を供給して対物レンズの前焦点面を電子線により
走査すると共に、該対物レンズを近傍に配置され
たダイナミツクフオーカスレンズに、位相値ａ、
ｂを含んだ（Xi−ａ）2＋（Yi−ｂ）2なる補正信号
を供給して対物レンズの球面収差に基づく電子線
の照射位置の移動を補正して電子線を角度走査
し、該角度走査に伴う検出信号を該走査に同期走
査されている表示手段に導いてエレクトロンチヤ
ンネリングパターンを表示するようにした装置に
おいて、該位相値ａ、ｂの調節に伴つて該表示手
段の画面上の該ａ及びｂの値に対応した位置にマ
ークを表示するための手段を具備することを特徴
とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59125743A JPS614145A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59125743A JPS614145A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614145A JPS614145A (ja) | 1986-01-10 |
| JPH035020B2 true JPH035020B2 (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=14917693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59125743A Granted JPS614145A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614145A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112236837B (zh) | 2018-06-04 | 2024-03-15 | 株式会社日立高新技术 | 电子束装置 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP59125743A patent/JPS614145A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS614145A (ja) | 1986-01-10 |
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