JPS6142126A - ウエハボ−トの搬送機構 - Google Patents
ウエハボ−トの搬送機構Info
- Publication number
- JPS6142126A JPS6142126A JP16342284A JP16342284A JPS6142126A JP S6142126 A JPS6142126 A JP S6142126A JP 16342284 A JP16342284 A JP 16342284A JP 16342284 A JP16342284 A JP 16342284A JP S6142126 A JPS6142126 A JP S6142126A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- wafer
- elevator
- setter
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、半導体装置の製造過程に於いて、ウェハの拡
散工程に使用されるウェハボートの搬送機構に関する。
散工程に使用されるウェハボートの搬送機構に関する。
［発明の技術的背景］
通常、ウェハの拡散工程に於いては、前工程に於いて処
理がなされたウェハは、キャリアによりウェハ移し替え
部まで運ばれ、そこでボートに移し替えられる。その後
、このボートは搬送機構により受け皿に載置された状態
でウェハエレベータまで運ばれ、さらにこのエレベータ
により拡散炉の所定の位置まで運ばれて拡散処理が行わ
れる。
理がなされたウェハは、キャリアによりウェハ移し替え
部まで運ばれ、そこでボートに移し替えられる。その後
、このボートは搬送機構により受け皿に載置された状態
でウェハエレベータまで運ばれ、さらにこのエレベータ
により拡散炉の所定の位置まで運ばれて拡散処理が行わ
れる。
ところで、上記ウェハのボートへの移し替え及びこのボ
ートのウェハエレベータへの受け渡しは、従来、作業者
が手作業で行なっていたが、近時の各種製造装置の自動
化に伴い、この移し替え等の作業も自動化が要望されて
いる。
ートのウェハエレベータへの受け渡しは、従来、作業者
が手作業で行なっていたが、近時の各種製造装置の自動
化に伴い、この移し替え等の作業も自動化が要望されて
いる。
［背景技術の問題点］
しかしながら、自動化を図ろうとすると、従来のウェハ
搬送機構では、次のような問題があった。
搬送機構では、次のような問題があった。
すなわち、ボートと受け厘の間りは、必ずある程度の隙
間が存在する。これは、拡散炉内が千数百℃という高温
のため、ボートとして石英を使用しなければならず、石
英の加工精度上、余裕を持たせる必要があるからである
。この隙間があるため、第５図に示すように、ボート１
１は搬送中に受け皿１２内に於いてその位置がずれるこ
とがある。同図（ａ）は正常な状態、同図（ｂ）は位置
ずれが生じた状態をそれぞれ示している。
間が存在する。これは、拡散炉内が千数百℃という高温
のため、ボートとして石英を使用しなければならず、石
英の加工精度上、余裕を持たせる必要があるからである
。この隙間があるため、第５図に示すように、ボート１
１は搬送中に受け皿１２内に於いてその位置がずれるこ
とがある。同図（ａ）は正常な状態、同図（ｂ）は位置
ずれが生じた状態をそれぞれ示している。
このように、ボート１１の位置ずれが生じていると、ウ
ェハ１３のボート１１への移し替え不良、及びボート１
１のウェハエレベータへの受け渡し不良を招き、その結
果ウェハ１３に割れが生じたり、欠陥が発生したりする
ことがある。
ェハ１３のボート１１への移し替え不良、及びボート１
１のウェハエレベータへの受け渡し不良を招き、その結
果ウェハ１３に割れが生じたり、欠陥が発生したりする
ことがある。
［発明の目的］
本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、その目的は
、ウェハのキャリアとボートとの間の移し替え、及びボ
ート自体の搬送機構とウェハエレベータとの間の受け渡
しを精度良く行なうことができ、ウェハ搬送の自動化を
可能としたウェハボートの搬送機構を提供することにあ
る。
、ウェハのキャリアとボートとの間の移し替え、及びボ
ート自体の搬送機構とウェハエレベータとの間の受け渡
しを精度良く行なうことができ、ウェハ搬送の自動化を
可能としたウェハボートの搬送機構を提供することにあ
る。
［発明の概要］
本発明は、ウェハ移し替え部とウェハエレベータとの間
に於いて、複数のウェハを保持したボートを搬送するウ
ェハボートの搬送ａｍに於いて、前記ウェハ移し替え部
及びウェハエレベータの各位置にボートセッタめ機構を
設けるもので、このボートセッタめ機構は、ばねの弾性
力により、前記ボートを受け皿の一定の位置に押し付け
てなる。
に於いて、複数のウェハを保持したボートを搬送するウ
ェハボートの搬送ａｍに於いて、前記ウェハ移し替え部
及びウェハエレベータの各位置にボートセッタめ機構を
設けるもので、このボートセッタめ機構は、ばねの弾性
力により、前記ボートを受け皿の一定の位置に押し付け
てなる。
［発明の実施例］
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第
１図及び第２図に於いて、２１はボートセッタであり、
このボートセッタ２１の上には受け皿２２が載置されて
いる。この受け皿２２内には複数のウェハ２３を保持し
たボート２４が載置されている。
１図及び第２図に於いて、２１はボートセッタであり、
このボートセッタ２１の上には受け皿２２が載置されて
いる。この受け皿２２内には複数のウェハ２３を保持し
たボート２４が載置されている。
このように受けＩＩ［１２２を介してボート２４が載置
されたボートセッタ２１は、第２図及び第３図に矢印Ａ
で示すように、ベース２５に沿ってウェハ移し替え部２
６と、ウェハエレベータ２７との闇を往復移動するよう
になっている。ウェハ移し替え部２６に於いては、前工
程に於いて処理されキャリアにより運ばれてきた複数の
ウェハ２３が、受け皿２２上のボート２４に移し替えら
れる。一方、ウェハエレベータ２１部に於いては、搬送
されてきたボート２４が多段構成の拡散炉の所定の段ま
で持ち上げられる。
されたボートセッタ２１は、第２図及び第３図に矢印Ａ
で示すように、ベース２５に沿ってウェハ移し替え部２
６と、ウェハエレベータ２７との闇を往復移動するよう
になっている。ウェハ移し替え部２６に於いては、前工
程に於いて処理されキャリアにより運ばれてきた複数の
ウェハ２３が、受け皿２２上のボート２４に移し替えら
れる。一方、ウェハエレベータ２１部に於いては、搬送
されてきたボート２４が多段構成の拡散炉の所定の段ま
で持ち上げられる。
上記ウェハ移し替え部２６及びウェハエレベータ２７部
それぞれには、ボートセッタめ機構技が設けられている
。このボートセッタめ機構往は、ベース２５の下面部に
固定された軸受け２９と、この軸受け２９を貫通する軸
３０と、基端部がこの軸３０の一端部に固定され、かつ
先端部に上記ボート２４の１Ｉ１１壁に対向して石英コ
マ３１が取付けられた押圧棒３２と、上記軸３０の他端
側に固定されたカムフォロア３３を含むカム機構３４と
、上記軸受け２９とカムフォロア３３問に装着されたば
ね３５により構成されている。
それぞれには、ボートセッタめ機構技が設けられている
。このボートセッタめ機構往は、ベース２５の下面部に
固定された軸受け２９と、この軸受け２９を貫通する軸
３０と、基端部がこの軸３０の一端部に固定され、かつ
先端部に上記ボート２４の１Ｉ１１壁に対向して石英コ
マ３１が取付けられた押圧棒３２と、上記軸３０の他端
側に固定されたカムフォロア３３を含むカム機構３４と
、上記軸受け２９とカムフォロア３３問に装着されたば
ね３５により構成されている。
すなわち、このボートセッタめ機構堕に於いては、図示
しないモータによりカム３４が回転し、ばね３５の弾性
力により軸３０が矢印Ｃで示す方向に移動すると、同時
に押圧棒３２がその先端の石英コマ３１によりボート２
４の側壁を押し、これによりボート２４は受け皿２２の
片側に押し付けられる。さらに、カム３４が回転すると
、ばね３もが圧縮されて軸３０と共に押圧棒３２が矢印
Ｂ方向に移動し、これによりボート２４が開放されるも
のである。この場合、押圧棒３２はばね３５の弾性力に
より押圧力が付与されているだけであるので、カム３４
が回転し続けてもボート２４に無理な力が働くことはな
い。
しないモータによりカム３４が回転し、ばね３５の弾性
力により軸３０が矢印Ｃで示す方向に移動すると、同時
に押圧棒３２がその先端の石英コマ３１によりボート２
４の側壁を押し、これによりボート２４は受け皿２２の
片側に押し付けられる。さらに、カム３４が回転すると
、ばね３もが圧縮されて軸３０と共に押圧棒３２が矢印
Ｂ方向に移動し、これによりボート２４が開放されるも
のである。この場合、押圧棒３２はばね３５の弾性力に
より押圧力が付与されているだけであるので、カム３４
が回転し続けてもボート２４に無理な力が働くことはな
い。
従って、このボートセッタめ機構鑓によれば、第４図に
示すように、ボート２４を受け皿２２の片側に位置決め
することができるので、ウェハ２３のキャリアとボート
２４との間の移し替え作業を確実に行なうことができる
。また、ボート２４自体のボートセッタ２１とウェハエ
レベータ２７どの受け渡しも確実に行なうことができる
。
示すように、ボート２４を受け皿２２の片側に位置決め
することができるので、ウェハ２３のキャリアとボート
２４との間の移し替え作業を確実に行なうことができる
。また、ボート２４自体のボートセッタ２１とウェハエ
レベータ２７どの受け渡しも確実に行なうことができる
。
なお、このボート２４は、ウェハエレベータ２７により
受け皿２２に載置される際には、その脚２４ａと受け皿
２２との壁面がぶつかったり、こすれたりしないように
、受け皿２２の中央に置かれ、ウェハ２３の移し替え若
しくはボート２４のウェハエレベータ２１への受け渡し
を行なう前に、上記ボートセッタめ機構往により受け皿
２２の片側に位置決めされるものである。
受け皿２２に載置される際には、その脚２４ａと受け皿
２２との壁面がぶつかったり、こすれたりしないように
、受け皿２２の中央に置かれ、ウェハ２３の移し替え若
しくはボート２４のウェハエレベータ２１への受け渡し
を行なう前に、上記ボートセッタめ機構往により受け皿
２２の片側に位置決めされるものである。
［発明の効果］
以上のように本発明によれば、搬送されたボートをウェ
ハ内の一定の位置に容易に位置決めすることができ、ウ
ェハのキャリアとボートとの間の移し替え作業及びボー
ト自体のボートセッタとウェハエレベータとの間の受け
渡し作業を精度良く行なうことができるので、ボートに
悪影響を与えることがなく、またウェハに割れや欠陥が
発生することがなくなり、その結果製造歩留りが向上し
、従ってウェハの搬送の自動化が容易となる。
ハ内の一定の位置に容易に位置決めすることができ、ウ
ェハのキャリアとボートとの間の移し替え作業及びボー
ト自体のボートセッタとウェハエレベータとの間の受け
渡し作業を精度良く行なうことができるので、ボートに
悪影響を与えることがなく、またウェハに割れや欠陥が
発生することがなくなり、その結果製造歩留りが向上し
、従ってウェハの搬送の自動化が容易となる。
第１図は本発明の一実施例に係るウェハボート搬送機構
を示す断面図、第２図は同機構の正面図、第３図は同機
構の全体構成を示す平面図、第４図は本発明によるボー
トの受け皿内の位置決め状態を示す平面図、第５図は同
じ〈従来の搬送機構によるボートの位置状態を示す平面
図である。 ２１・・・ボートセッタ、２２・・・受け皿、２３・・
・ウェハ、２４・・・ボート、２５・・・ベース、２６
・・・ウェハ移し替え部、２７・・・ウェハエレベータ
、２８・・・ボートセッタめ機構、２９・・・軸受け、
３０・・・軸、３１・・・石英コマ、３２・・・押圧棒
、３４・・・カム機構、３５・・・ばね。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第３図 第４図 第５図
を示す断面図、第２図は同機構の正面図、第３図は同機
構の全体構成を示す平面図、第４図は本発明によるボー
トの受け皿内の位置決め状態を示す平面図、第５図は同
じ〈従来の搬送機構によるボートの位置状態を示す平面
図である。 ２１・・・ボートセッタ、２２・・・受け皿、２３・・
・ウェハ、２４・・・ボート、２５・・・ベース、２６
・・・ウェハ移し替え部、２７・・・ウェハエレベータ
、２８・・・ボートセッタめ機構、２９・・・軸受け、
３０・・・軸、３１・・・石英コマ、３２・・・押圧棒
、３４・・・カム機構、３５・・・ばね。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第３図 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）第１の位置と第２の位置との間に於いて、複数の
ウェハを保持したボートを搬送するウェハボートの搬送
機構に於いて、前記ボートが載置される受け皿と、この
受け皿を搬送するボートセッタと、前記ボートを前記受
け皿内の所定の位置に位置決めするボート位置決め機構
とを具備したことを特徴とするウェハボートの搬送機構
。 - （２）前記ボート位置決め機構は、所定の位置に固定さ
れた軸受けと、この軸受けを貫通する軸と、基端部がこ
の軸の一端部に固定され、かつ先端部に前記受け皿内の
ボートの側壁に対向して石英棒が取付けられた押圧棒と
、前記軸の他端側に設けられ、前記押圧棒を往復移動さ
せるカム機構と、このカム機構と前記軸受けとの間に装
着され、その弾性力により前記押圧棒を前記ボート方向
に付勢するばね部材により構成されてなる特許請求の範
囲第１項記載のウェハボートの搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16342284A JPS6142126A (ja) | 1984-08-02 | 1984-08-02 | ウエハボ−トの搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16342284A JPS6142126A (ja) | 1984-08-02 | 1984-08-02 | ウエハボ−トの搬送機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142126A true JPS6142126A (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=15773597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16342284A Pending JPS6142126A (ja) | 1984-08-02 | 1984-08-02 | ウエハボ−トの搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142126A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329945A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Kokusai Electric Co Ltd | 一括式ウエ−ハ立替方法 |
-
1984
- 1984-08-02 JP JP16342284A patent/JPS6142126A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329945A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | Kokusai Electric Co Ltd | 一括式ウエ−ハ立替方法 |
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