JPS6142969A - 光透過用窓付構体 - Google Patents
光透過用窓付構体Info
- Publication number
- JPS6142969A JPS6142969A JP59164670A JP16467084A JPS6142969A JP S6142969 A JPS6142969 A JP S6142969A JP 59164670 A JP59164670 A JP 59164670A JP 16467084 A JP16467084 A JP 16467084A JP S6142969 A JPS6142969 A JP S6142969A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- light
- disk
- transmission window
- window glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光透過用窓付構体に関し、一層詳細には、光の
通過経路上に配される光透過用窓ガラスの周縁部が加熱
軟化溶融処理されており、加工時に生じた臂開面のガラ
ス片が剥がれてガラス面に付着するという不具合を解消
しえ、半導体素子等の特性を妨げることのない光透過用
窓付構体に関するものである。
通過経路上に配される光透過用窓ガラスの周縁部が加熱
軟化溶融処理されており、加工時に生じた臂開面のガラ
ス片が剥がれてガラス面に付着するという不具合を解消
しえ、半導体素子等の特性を妨げることのない光透過用
窓付構体に関するものである。
レーザダイオード、フォトダイオード等の発光素子、受
光素子を搭載する半導体装置においては、第１図に示さ
れるように、光を通過させる光透過用窓ガラス１０を有
するキャップ１２を用いて半導体素子を気密封止してい
る。上記の光を通過させる光透過用窓ガラス１０は、光
損失を極力抑えるため、僅かなゴミ等の付着もない完全
な清浄面を有するものであることが要求される。
光素子を搭載する半導体装置においては、第１図に示さ
れるように、光を通過させる光透過用窓ガラス１０を有
するキャップ１２を用いて半導体素子を気密封止してい
る。上記の光を通過させる光透過用窓ガラス１０は、光
損失を極力抑えるため、僅かなゴミ等の付着もない完全
な清浄面を有するものであることが要求される。
従来における光透過用窓ガラスの製法について説明する
。
。
（１１原材料を加熱溶融し、板ガラスを造る。
（２）必要な透過率を得るため、種々のコーティングを
施す。
施す。
（３）次に所定の形状に加工する。この加工方法には以
下のものがある。
下のものがある。
イ、プレスにより打ち抜く。
口、ダイヤモンドカッター等で切断する。
ハ、板ガラスを複数枚樹脂で固めて積層し、この積層し
たものを円柱あるいは角柱状に切断し、旋盤加工で仕上
げる。
たものを円柱あるいは角柱状に切断し、旋盤加工で仕上
げる。
二、レーザー光線によって切断する。
ところが上記イ０ロ、ハによる加工の場合、機械的な加
工であるところから、加工面が貝殻状の襞間面を成して
いる。また上記二による加工の場合、加工部周辺に無数
のマイクロクランクが発生している。このような襞開面
やマイクロクラ・ツクが発生している加工面からは、光
透過用窓ガラス１０をキャップ１２に低融点ガラスを用
いて封止する際等におけるすべてのハンドリング時に、
ガラス同士の接触、治具との接触、ピンセット等との接
触などにより微少ガラス片が襞間、脱落してガラス面に
付着する。
工であるところから、加工面が貝殻状の襞間面を成して
いる。また上記二による加工の場合、加工部周辺に無数
のマイクロクランクが発生している。このような襞開面
やマイクロクラ・ツクが発生している加工面からは、光
透過用窓ガラス１０をキャップ１２に低融点ガラスを用
いて封止する際等におけるすべてのハンドリング時に、
ガラス同士の接触、治具との接触、ピンセット等との接
触などにより微少ガラス片が襞間、脱落してガラス面に
付着する。
ここで生じるガラス片は１μｍ〜１００μｍ程度まで種
々あり、ガラス面に付着したガラス片は３０μｍ以上の
ものは洗浄、エアー吹き付は等で除去可能であるが、３
０μｍ以下のものについては適切な除去方法がなく、光
透過用窓ガラスとして用いた場合に光損失を招くという
不具合がある。
々あり、ガラス面に付着したガラス片は３０μｍ以上の
ものは洗浄、エアー吹き付は等で除去可能であるが、３
０μｍ以下のものについては適切な除去方法がなく、光
透過用窓ガラスとして用いた場合に光損失を招くという
不具合がある。
本発明は上記難点を解消すべくなされ、その目的とする
ところは、ガラス面にガラス片等の付着物がなく、光損
失を極力防止しうる光透過用窓付構体を提供するにあり
、その特徴は、発光素子１受光素子等を搭載し、光の通
過経路上に光透過用窓ガラスを有する半導体装置等の光
透過用窓付構体において、前記光透過用窓ガラスの周縁
部が加熱処理によって溶融面に形成されているところに
ある。
ところは、ガラス面にガラス片等の付着物がなく、光損
失を極力防止しうる光透過用窓付構体を提供するにあり
、その特徴は、発光素子１受光素子等を搭載し、光の通
過経路上に光透過用窓ガラスを有する半導体装置等の光
透過用窓付構体において、前記光透過用窓ガラスの周縁
部が加熱処理によって溶融面に形成されているところに
ある。
以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づき詳細に説
明する。
明する。
第２図は本発明に係る光透過用窓付構体の実施例として
の半導体レーザー装置の概要を示す。
の半導体レーザー装置の概要を示す。
２０はアイレット（金属外環）、２２は受光半導体素子
、２４はレーザー素子、２６はリード線である。
、２４はレーザー素子、２６はリード線である。
２８はキャップであり、アイレット２０上面を覆って固
着され、受光半導体素子２２、レーザー素子２４を気密
に封じている。
着され、受光半導体素子２２、レーザー素子２４を気密
に封じている。
キャップ２８の上面開口部には光透過用窓ガラス３０が
低融点ガラス３２によって気密封止されている。
低融点ガラス３２によって気密封止されている。
本発明において特徴的なことは、上記の光透過用窓ガラ
ス３０の周縁部が加熱処理によって溶融面に形成されて
いるところにある。
ス３０の周縁部が加熱処理によって溶融面に形成されて
いるところにある。
光透過用窓ガラス３０の製造工程の一例を以下に示す。
まず、ガラス原材料を溶融し、板ガラスに形成し、所定
のコーティングを施したのち、樹脂で固めて複数枚積層
する。次にこれを適宜なカッターによって角柱状に切断
し、次いで旋盤を用いて円柱状に加工する。次に有機溶
剤を用いて樹脂を溶解し、第３図に示すように円板状ガ
ラス３４を得る。この円板状ガラス３４は機械的加工工
程を経ているから、その加工面たる周縁部は貝殻状襞間
面となっているところは従来と同様である。
のコーティングを施したのち、樹脂で固めて複数枚積層
する。次にこれを適宜なカッターによって角柱状に切断
し、次いで旋盤を用いて円柱状に加工する。次に有機溶
剤を用いて樹脂を溶解し、第３図に示すように円板状ガ
ラス３４を得る。この円板状ガラス３４は機械的加工工
程を経ているから、その加工面たる周縁部は貝殻状襞間
面となっているところは従来と同様である。
次に上記円板状ガラス３４を、第４図に示す吸着棒３６
先端に載せる。吸着棒３６では円板状ガラス３４をエア
圧によって吸引保持する。なお３８は吸着バンドである
。
先端に載せる。吸着棒３６では円板状ガラス３４をエア
圧によって吸引保持する。なお３８は吸着バンドである
。
次に吸着棒３６を回転させつつ、円板状ガラス３４の加
工面に、バーナー４０の極力細＜調整した炎先端を当て
、ガラスを溶かして襞開面を軟化溶融面に形成するもの
である。このように形成した円板状窓ガラスを光透過用
窓ガラス３０として用いる。なお、バーナー４０の炎は
ガラス面に歪を生じさせないために、周縁の加工面にの
み当てる必要がある。また、円板状ガラス３４は固定さ
せておき、バーナー４０を適宜機構によって回転させて
もよい。
工面に、バーナー４０の極力細＜調整した炎先端を当て
、ガラスを溶かして襞開面を軟化溶融面に形成するもの
である。このように形成した円板状窓ガラスを光透過用
窓ガラス３０として用いる。なお、バーナー４０の炎は
ガラス面に歪を生じさせないために、周縁の加工面にの
み当てる必要がある。また、円板状ガラス３４は固定さ
せておき、バーナー４０を適宜機構によって回転させて
もよい。
なお光透過用窓ガラスは円板状でなく、例えば矩形状等
であってもよいことはもちろんである。
であってもよいことはもちろんである。
また製造方法は上記に限られず、例えば加熱手段は電気
的手段その他適宜な手段を採用しうる。
的手段その他適宜な手段を採用しうる。
また上記は光透過用窓ガラス３０がキャップ２８に気密
封止される半導体レーザー装置について説明したが本発
明はこれに限られることはなく、例えば光透過用窓ガラ
ス３０が装置内部に組み込まれる半導体装置、あるいは
光通信分野等における装置において光透過用窓ガラスが
必要位置に組み込まれる装置等においても応用しうるち
のである。
封止される半導体レーザー装置について説明したが本発
明はこれに限られることはなく、例えば光透過用窓ガラ
ス３０が装置内部に組み込まれる半導体装置、あるいは
光通信分野等における装置において光透過用窓ガラスが
必要位置に組み込まれる装置等においても応用しうるち
のである。
以上のように本発明に係る光透過用窓付構体によれば、
光透過用窓ガラスの加工面が加熱処理されて溶融面に形
成されているから、従来のように加工面の璧開面やマイ
クロクランク部からガラス片が脱落してガラス面に付着
するという不具合がなく、ガラス面が常に完全な清浄面
に保てるから、光損失がなく、業界の厳しい要求に応え
る光透過用窓付構体を提供することができるという著効
を奏する。
光透過用窓ガラスの加工面が加熱処理されて溶融面に形
成されているから、従来のように加工面の璧開面やマイ
クロクランク部からガラス片が脱落してガラス面に付着
するという不具合がなく、ガラス面が常に完全な清浄面
に保てるから、光損失がなく、業界の厳しい要求に応え
る光透過用窓付構体を提供することができるという著効
を奏する。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
第１図は半導体装置のキャップの説明図、第２図は光透
過用窓付構体の一例としての半導体レーザー装置の概要
を示す断面図、第３図は円板状ガラスの斜視図、第４図
は円板状ガラスの加工面にバーナーの炎を当てて軟化溶
融面とする工程の説明図である。 １０・・・光透過用窓ガラス、 １２・・・キャップ
、 ２０・・・アイレット ２２・・・受光半導体
素子、 ２４・・・レーザー素子。 ２６・・・リード線、 ２８・・・キャップ。 ３０・・・光透過用窓ガラス、 ３２・・・低融点ガ
ラス、 ３４・・・円板状ガラス、 ３６・・・吸
着棒、 ３８・・・吸着パッド、 ４０・・・バ
ーナー。
過用窓付構体の一例としての半導体レーザー装置の概要
を示す断面図、第３図は円板状ガラスの斜視図、第４図
は円板状ガラスの加工面にバーナーの炎を当てて軟化溶
融面とする工程の説明図である。 １０・・・光透過用窓ガラス、 １２・・・キャップ
、 ２０・・・アイレット ２２・・・受光半導体
素子、 ２４・・・レーザー素子。 ２６・・・リード線、 ２８・・・キャップ。 ３０・・・光透過用窓ガラス、 ３２・・・低融点ガ
ラス、 ３４・・・円板状ガラス、 ３６・・・吸
着棒、 ３８・・・吸着パッド、 ４０・・・バ
ーナー。
Claims (1)
- １、発光素子、受光素子等を搭載し、光の通過経路上に
光透過用窓ガラスを有する半導体装置等の光透過用窓付
構体において、前記光透過用窓ガラスの周縁部が加熱処
理によって溶融面に形成されていることを特徴とする光
透過用窓付構体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164670A JPS6142969A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 光透過用窓付構体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164670A JPS6142969A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 光透過用窓付構体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142969A true JPS6142969A (ja) | 1986-03-01 |
Family
ID=15797594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59164670A Pending JPS6142969A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 光透過用窓付構体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142969A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6181720B1 (en) | 1997-01-16 | 2001-01-30 | Nec Corporation | Semiconductor laser device and method for manufacturing same |
-
1984
- 1984-08-06 JP JP59164670A patent/JPS6142969A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6181720B1 (en) | 1997-01-16 | 2001-01-30 | Nec Corporation | Semiconductor laser device and method for manufacturing same |
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