JPS6144320A - 長さの測定および調節のための方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の目的 彦Ｊし辷曵主」Ｌ也野一 本発明は増分読み取り大測定システムにおいて用いるた
めの、そして特に、但し専−的ではないが、かなりの長
さを測定するのに適した。長さの測定並びに調節のため
の装置と方法とに関する。

叉困亘弦亙 種々の長さや角度を測定し、調節するために増分的測定
系を用いることは公知である。この測定系は長さまたは
角度の一つの尺度としてスケール載置台の上に設けられ
た少なくとも一つ以上のスケールと、他方に対して相対
的に変位させることのできるような走査装置とからなっ
ている。相対的変位の間にこのスケールと走査装置との
間の相対的位置に相当する一連の信号が導き出さ九る。

この測定系の出力電気信号は電子的評価回路に供給され
る。この測定系の精度は実質的にそのスケールの目盛分
割の精度とスケール載置台の材料特性とに依存する。

従って例えば米国特許第３，１００，３４５号、ドイツ
符計出願公告第１．υ５１　、ｂ１９号、ドイツ特許出
願公告第１，２６６、［６号、スイス特許第４７４．０
４９号、ドイツ特許出願公告第１，１５５，６１１号公
報その他から５種々の技術手段が公知となっており、こ
れらは非常に正確な刻線格子の分割を適用する技術１品
質保証用の測定技術、および補正値の検出に関する。

非常に正確な格子刻線を形成するための費用はそのｆ（
１１度についての要求条件が変らない限りその測定され
るべき長さの増大と共に上昇する。検出された補正値を
含めてスケール分割目盛の作製において得られる精度は
その作製時におけるスケール載置台の状態に関係する。

スケール載に台の経時変化と変形とのためにユーザ側で
の操作の間にその本来の精度は得られない、このような
知見に基づいてこれまではスケールまたは刻線格子の載
置台に対する種々の特別な要求条件、すなわち長期間一
定不変であることおよび複雑な取り付け条件等を実現す
る必要があった。公知の測定系は比較的大きな熱膨張係
数（ガラス、銅鉄：α＝　１０μｍ／”Ｋ’＋＊）を有
する度盛り用並びにスケールｉ置台用の材料を用いてい
る。

従ってポジション値の表示は、特別な補正手段を採用し
ない限りその時々の周囲の温度に依存する。

日が解ｔしようとする間８点 本発明の目的は上述の種々の欠点を除くことである。

本発明のもう一つの目的は、その測定系自身の精度は維
持するけれどもスケール分割の精度、中でもスケール載
置台およびスケール分割を適用する技術並びにそれに伴
う測定技術についての種々の要求条件の低減を許容する
ような長さ測定用の方法と装置とを提供することである
。

本発明の更にもう一つの目的は、その測定系の精度を、
経時変化現象、スケール載置台の変形およびこのものに
対する温度の影響に無関係にするような長さ測定用の装
置と方法とを提供することである。

本発明の更に別な目的は、１ｍから通常そのような装置
によって測定されるような種々の長さまでを測定するた
めの方法と装置とを提供することである。

発明の構成 ル　点を解　するための これらの目的並びにその他の目的は、スケール載置台の
上に取り付けられたスケールと、少なくとも第１および
第２の検出手段よりなる走査手段と、および評価手段と
からなる長さの測定および調節のための装置において、
上記第２検出手段が上記第１検出手段までの間にそのス
ケール分割の方向に見て非常に正確な距離Ａを有してお
り、そしてこの距１１１Ａがこの測定装置の計測学的結
合についての基礎となることを確実にする、上記装置に
よって実現される。

上記距ＨＡが熱膨張係数の実質的に零であるような材料
長さによって具体化されるならば有利である。

上述の種々の目的はまた本発明に従う方法によって達成
され、この方法はその分割の方向に関してその走査の方
向に第１検出手段に対して距１１ｔＡのところに設けら
れている第２検出手段がそのスケール分割目盛の走査手
段に対する相対的な位置に対応する一連の１次信号列と
の相互作用のもとに補正信号を導き出し、二九らの補正
信号は距離Ａに等しい経路Ｂの上のスケールと走査手段
との間の相対的な進行的運動の間に、一連の１次信号を
補正するために評価装置によって少なくとも一度評価さ
れ、その際その評価された補正信号は、第１検出手段が
第２検出手段の位置まで動いたときに得られ且つ上記１
次信号列の、上記経路Ｂに対応する値との、この経路Ｂ
の差額についての尺度であり、そして上記１次信号列は
、いかなる初期位置についてもこれに対する全ての相対
的位置についてこの装置から発信される一連の２次信号
列が、少なくとも一つの第２検出手段より導かれて評価
装置の中で評価される補正値の包含のもとに、上記１次
信号列から形成されるような態様で評価装置によって評
価されることを確実にする、ものである。

本発明によればそのスケールはＸ反の不米の具現化物と
して用いられるのではなくて１本来の測定情報がその測
定操作の間にそれと組み合わされるような予備的ポジシ
ョンとして用いられるのである０尺度の本来の具現化物
は第１および第２の検出手段の間の一定の距離Ａであり
、このうち第１検出手段は公知のスケールシステムの原
理に従って特定の出発ポジションに関する１次信号を送
り出し、そしてこの１次信号を位置等価に関連させるこ
とはその欠陥のあるスケール分割目盛に依存する。

しかしながらこれらの１次信号は本発明に従う装置の出
発信号ではない、第２検出手段によってこれから発信さ
れた各信号の評価により或る情報が作り出されるが、こ
れは第１および第２検出手段によって走査されたこれら
二つの検出手段の間隔Ａに関連させたそのスケールの各
区間の間の距離を示すものである。運動の進行の間に第
１および対に検出手段が格子スケールを掃引したときに
第２検出手段からの信号が、上記第１検出手段から計数
パルスの送り出されたときに正確にサンプリングされる
。すなわち例えば各格子スケール分割縁が光電子工学的
に公知のようにアナログ電圧零通路（ａｎａｌｏｇ　ｖ
ｏｌｔａｇｅ　ｚｅｒｏ　ｐａｓｓａｇｅ）をトリガさ
せることによって走査されたならば、第１検出手段、ま
た従ってその全走査手段がその走査された区間の光電的
中心（Ｋ）から、すなわち計数パルスの丁度今トリガさ
れてしまったポジションから、第２検出手段によって丁
度サンプリングされた区間の光電的中心（Ｋ◆１）に達
するまでにカバーした長さを検出することが可能である
。この長さは前記比１１Ａに信号スロープ（ｓｉｇｎａ
ｌ　５ｌｏｐｅ）と信号の大きさ、すなわ・ち第２検出
手段からのその走査の間における補正信号の大きさとの
、符合を附した積を加算したものである。

この操作を第１検出手段が光電的中心（に＋１）のとこ
ろに存在してそこからこのものの計数パルスを発信した
瞬間に繰り返されたときには、第２検出手段の存在して
いる区間の光電的中心までの距離を検出することができ
る。

この操作を全てのポジション、に−１，Ｋ、に＋１゜Ｋ
＋２等において連続的に繰り返し、そして或る特定の原
点から出発したときに公知のハードウェアと適当なアル
ゴリズム（ソフトウェア）とを用いて評価装置の中で、
それら指定された各ポジションが第１検出手段から発信
された１次信号の数に事実上無関係であるような情報が
得られる。

これらのデータは連結した測定尺として提供され、その
際その合計の項は一定値Ａと第２検出手段によって測定
されたこの値からの偏差とからなっている。

そのようにしてこの評価装置の使用のもとに今や、公知
の電子工学的手段により本発明に従う装置によって出力
値として発信された既知の２次パルスの数がそれぞれの
実際のポジションに対応すると言うことが可能である。

これはこの系の対応する表示ユニットにおける表示の実
際のポジションとの一致を確立するためのこの系の精度
の枠内で、それが必要であるときに一連の１次信号列に
各補正パルスを足し、またはそれから除くことによって
達成さ九る。

情報の伝達と情報の処理との詳細な諸問題と共に有利な
効果を得るために、第２検出手段の信号の評価も上記し
た各ポジション、Ｋ、にり、Ｋ÷２等の間で行ない、そ
してこの余分な測定の譜利点を発揮させることが可能で
あり、またそれが合理的である。

上述した原理に従って前進運動および後退運動を行なっ
ている間に機能的に類似した検出手段を、その分割の方
向に考えて反対側へ第１検出手段に対して距ａＡを隔て
て隣接して上記第２検出手段に加えて設けることが可能
である。ここからその２次パルスの形成のための各情報
が両方の操作方向に送り出される。

各スケールが目盛刻線の複数の準同一群よりなっている
ような場合に特に下記が有利である：ａ）少なくとも第
１検出手段のカウンタ目盛刻線の幅か、もしマトリック
スの場合にはその走査群の有効幅かがその群の目盛刻線
の幅に等しいこと。

ｂ）距１１ｉＡがその群の目盛刻線の幅に実質的に等し
いこと、 Ｃ）前述したポジション（Ｋ−１）、　Ｋ、　（Ｋ÷１
）、（Ｋ＋２）等がその定義されたそれぞれの初期位置
を目盛刻線の各群の位置に適当に関連させることによっ
てそれらがそれら各群の中心と一致するように配置する
こと。

これらの条件のもとで２次パルスの実際のポジションに
従う特に好ましい適合化を得ることができ、と言うのは
１次信号の位置誤差の或る線形的経過が各位１１Ｅ　（
Ｋ）、（Ｋ◆１）、（Ｋ＋２）等の間で与えられるから
である。

このことは幾つかの留保条件と共に上記ａ）ないしＣ）
の各条件のもとでその群の目盛刻線の幅を基準として用
いるのではなくてそれらの或る整倍数を用いるときにも
当てはまる。

第１検出手段と共に複数のカウンタ目盛刻線のマトリッ
クス配置を使用することは一方において掃引安定性およ
び誤差補正に関して公知の手段によるこのものの種々の
利点を９！揮させるために、そしてもう一方において、
前進方向および後退方向の各情報を公知の態様で形成さ
せるために第１検出手段がそれぞれ異なった位相ポジシ
ョンの複数のカウンタ目盛刻線と走査群とを同時に含む
ような場合に、上記条件ａ）およびｂ）を満足させるた
めに特に好ましい。

上記補正信号は既に述べたように、第２検出手段（およ
び第３等々）からの信号のスロープとその信号の大きさ
との、符合を附した積として現われる。従って上記信号
のスロープを一定の計算値として評価装置中で自由に処
理できることが必要である。このものの数値的な関連の
状態は、同一の操作経路とそれぞれ異なった分割誤差（
これは例えば弾性的スケール載置台を異なった態様で緊
張させることによって達成することができる）を有する
種々のスケールとの使用のもとにその装置の等しい表示
値が得られるときには厳密に正しい。

従ってこれが達成されるまでその数値的な関連の条件を
変化させる。

前述した連結測定尺に対する照合値は既述の距ＭＡであ
る。この寸法を第１検出手段と第２検出手段との間で、
或いは更にそれ以下の検出手段との間で正確に調節した
り、またはこれを直接測定することによって検出したり
する必要はない、この距離を例えば前記ｂ）のところで
述べた条件の枠内で近似させれば充分であるが、但し長
期間の一定不変性は確保する必要がある。或る尺度に厳
密に関連させることはこのＡに対する或る近似値を評価
装はに送って２次パルスを形成させるのに用い、そして
この装置の表示を或る特定的操作によって或る標準と比
較することにより行なわれる。

この比較から、或る計算寸法が与えられ、この計算寸法
を次いで評価装置に記憶させ、そしてこれがこの装置を
実際のポジションに、そしてその長さの単位にそれぞれ
結合することを許容する。

繰り返して前進方向および後退方向への移動が行なわれ
るような測定および位置合せのそれぞれの操作の間にお
いて、第２検出手段からの検出された補正信号を評価装
置の中に記憶させ、そして目盛刻線のそれぞれの位置が
再び掃引されたときに第２検出手段からの各信号のの新
しい評価を省略して上記記憶された補正信号を使用する
と言うことは任意に行なうことができる。

基準長さＡの一定不変性は補正信号を形成するのに用い
られる照明装置および検出装置チャンネルの零点の変動
によって損われることが考えられる。従ってこれら検出
装置チャンネルをそれらの照明装置と共に一回の測定の
前または後でその零点および／または信号スロープに関
して或る特定の透明度または特定の反射度を有する幾つ
かの帯域を用いて較正するのが有利であろう。

非常に高度に正確な位置設定を無用のものとするために
は、充分な幅にわたってこれらの帯域を均質にし、言い
換えればそれぞれその透明度よおよび反射率に関して勾
配がないようにするのが有利である。これらの帯域はス
ケールに固定することができるか、またはこの装置の操
作範囲の如何なる所望の位置からでも測定を開始してそ
こで零点結合をもたらすように走査手段と関連させるこ
とも可能である。

本発明に従う装置においてスケール目盛を載せたスケー
ル載置台は予備的なスケールであって測定標準として用
いられるものではなく、弾性的材料を使用することが可
能であって、またこれらスケール載置台を使用したとき
に予ａ緊張させて。

公知の装置の場合と異なり、その分割の精度が失われる
ように取り付けることも可能である。すなわち予備緊張
が充分であればそのスケール載置台の温度変化に際して
もその測定の間に全ての分割刻線がその物理的位置に留
まっていると言うことが達成される。このようにして温
度の影響は実質的に除かれる。

寒凰■ 本発明をより容易に理解できるように１本発明の１具体
例を図式的に示す添付の図面を参照して説明する。

第１図は支持部材１のベッド２に対する相対的な変位を
測定するためのレース（１，２）の上に設けられた本発
明に従う長さ測定並びに調節用の装置を示す、スケール
３がこのベッド２に水平に長手方向に取り付けられてい
る。支持部材１に上記スケール３に対して狭い間隔で平
行に走査手段４が固定されている。支持部材１とこの走
査手段４とは双方向矢印りで示す方向に共通的に変位さ
せることができる。この走査手段４は支持部材１のベッ
ド２に対する実際の位置を表示するために窓５が設けら
れている。

走立手段４は図面の面に対して直角でスケール３の上に
垂直な図示されていない光軸の周りに中心の一致した光
源（図示されていない）と、光学的結像系（図示されて
いない）と、検出手段（第２図参照）と、および電子工
学的評価装置（第３図参照）とを有している。

スケール３はリソグラフィー的に形成された刻線格子で
あって、スケール本体３の表面においてこのスケール本
体の長手方向に対して直角な、交互に不透明および透明
な、実質的に等しい間隔で設けられた一連の均等に並ん
だ分割線よりなっている。またこのスケール３は準同一
の目盛分割の個々のユニットよりなって、これらが第１
図に示すスケール３を表わすように互いに結合されてい
てもよい、このスケールが完全なものである必要がない
と言うことは容易に理解できるであろうが、これは本発
明に従う装置の操作と関連して後に説明する。このスケ
ールはベッド２に対して緊張させることかできるような
弾性材料よりなることも可能である。

第２図にはスケール３および検出手段の一部を。

図示されていない中心の一致している照明系によって定
義される光軸（図示されていない）に対して直角方向に
見たところを拡大してより詳細に示しである。光軸は検
出手段を０のところで通過する。スケール３の表面に対
して平行に狭い間隔で配置されている透明な載置台９に
４つの格子部分７．７′、８．８′が取り付けられてお
り、すなわち交互に透明および不透明な、均等に並んだ
平行な分割線を有するカウンタ格子７と、この格子７の
傍に設けられてそれらの透明および不透明な各分割線が
上記カウンタ格子７のそれらに対して１８０”の位相差
をもたらすように位置をずらせて配置されているカウン
タ格子７′とが存在している。カウンタ格子８および８
′は上記カウンタ格子７および７″に対してそれぞれ図
示の双方向矢印Ｌ（第１図）で示される変位の方向に考
えて隣接し且つ引き続いて配置されている。この格子８
の上の分割線もまた８′のそれらに対して互い違いに設
けられて１８０°の位相のずれをもたらすようになって
いる。これらのカウンタ格子７，７′、８．８′は図示
されていない手段によってスケール３に沿いこれと相対
的に一緒に変位させることができる。これらカウンタ格
子７．７′、８．８′のそれぞれには図示されていない
焦点合わせ手段および光電検出手段が設けられている。

すなわちカウンタ格子７には第１焦点合わせ手段および
（第１）光な検出手段が後続しており、この検出手段は
内挿装置！１０　（第３図）を介して電子工学的評価装
置１１に連結されている。カウンタ格子７′にも同じ栂
造が用いられており、そしてこれには同様に（第２）焦
点合わせ手段および（第２）光電検出手段が後続してい
て、この検出手段は同様に内挿装置１０を介して上記電
子工学的評価装置１１に連結されている。

これと異なってカウンタ格子８および８′はそれぞれ第
３および第４焦点合わせ手段並びにそれぞれ第３および
第４光電検出手段を介して上記評価装ｆｆｌ　１１にイ
ンライン連結されている。

スケール３（第２図）は準同一の目盛分割の、複数のユ
ニットよりなっているが、それらのうち二二ソｌ−３０
，３１，３２、および３３だけが示されている。

これら参照数字３０．３１．３２、および３３はそれぞ
れに−２，Ｋ−１、におよびに÷１の表示に対応するも
のである。

これらユニット３０．３１．３２および３３のそれぞれ
は透明および不透明の交互の縞ＯＰおよびＴＲよりなる
分割刻線の一連の配置を含んでいる。

本発明の本質的要件はそれら検出手段７．７′と８，８
′との極めて一定的な間隔Ａであり、これは検出手段７
．７′の光電的中心Ｃと検出手段８．８′の中心ＣＩと
の間の間隔である。

この回定装置の具体例の一つにおいて格子３の各ユニッ
ト３０．３１．３２および３３はそれぞれ１２１１１１
の長さを有し、そして１５００本の分割刻線（４μ−の
線、４μ厖の間隙）を有している。

雨検出手段７，７′および８．８′はそれぞれ１２ｍ鵬
の長さを有している。

この距ＭＡ　＝　１２　ｍｍは検出手段７，７′の光電
的中心Ｃから検出手段８．８″の中心Ｃ′までの長さで
ある。

操作に際しては走査手段４″を支持部材１と一緒にベッ
ド２の上のスケール３に対して相対的に変位させる。こ
の走査手段は検出手段７．７１および８．８１を含んで
いるので、その第１検出手段７．７″はスケール３を掃
引したときに一連の１次パルスを形成し、これらは内挿
装置１ｏに送り込まれる。これら１次パルス列は各０．
５　μ鳳（Ｔ＝　０．５　ｕｓ、但り、Ｔはコノ内挿装
置ｌ！ｌｏ）分解能である）当たり１個のパルスよりな
っている。

例えば検出手段７．７′がｘ８−１のところがらｘ６　
　の位置まで動いたときにこ九がカバーする経路長さは ＲＫ　−ｘＫ−１＝Ｍ　＋　Ｓ　暑ＵＫ〔ここでＭは距
離Ａにほぼ等しい測定の基準であり、Ｓは第２検出手段
８．８′の信号の傾Ｉ４（単位電圧当たりの経路長さ変
化）であり、υＫ　は第１検出手段７，７′が位１ｉ！
！Ｘ、＜−８においてその走査パルスを放出したときの
第２検出手段８，８′の、＾−Ｄ変換器によってデジタ
ル化された信号電圧である〕。

既に述べたように実質的にＡに等しい測定の基準Ｍの長
さは２４０００　Ｘ　Ｏ，５μｍ　＝　１２　ａｍであ
る（この２４０００の数は準同一の分ｔｐＪ刻線の全ユ
ニットを掃引したときの１次増分の数である）。

補正常数Ｋを導入すると、 Ｍ　＝　Ｎ−Ｔ　＋　Ｋ が得られる。

従って或る数の補正パルスＫＩＫが得られ、これが下記 ｕ畳トｈ工 （但しＲＫ−ｉは０．５μ層で分割したことにより先行
区間からの残分である）の式で表わされる次に低次の整
倍数Ｃｎｅｘｔ　１ｏｖａｒ　ｍｕｌｔｉｐｌａ　ｉｎ
ｔｅｇｅｒ）の量として区間”Ｋ−Ｌｍ　Ｘに　におい
て上記１次パルス列からの２次パルス列の形成を許容す
る。

従って次の接続に対してＲＫは ＲＫ　　；　（Ｋ　　＋　　５−ＵＨ◆　Ｒ，−、）　
　−ＫＩ＋＜４　　＜　　０．５　　ｐｙａとなる。ス
ケール３の格子目盛分割は上記の補正信号が常にマイナ
ス（不足長さの分割）であって従ってその補正がパルス
を付加するのではなくて専らパルスの消去よりなるよう
に行なわれる。

この補正は適当なハードウェアを備えたコンピュータを
含む評価装置１１１によって行なわれる。

実際の進行、すなりちスケール３に対しての走査手段４
の相対的な移動に対応する２次パルス列がその対称とす
る区間５例えばＸＫ　におけるＫＩＫパルスを削除する
ことによって前記１次パルス列からもたらされ、これか
ら公知の電子工学的手段を用いてＫＩＫの値が得ら九、
それによって例えば”Ｋ−□とＸＫ　との間の正確なＮ
−にＩ、　２次パルス列が放出される。

第２検出手段８．８′のｇＪ理的に央ＪＪ！ざｎたスロ
ープから出発して、そのスロープＳは、この系が作動を
開始したときに、スケール３の有しているであろう分割
誤差に無関係に、毎回或る特定の操作経路１例えばＸイ
ー、についての２次パルス列によって作り出される同一
の表示が窓Ｓの中に表示されるまでに合体されるその評
価アルゴリズムにおける計算値である。

補正値には或る振作経路１例えば１２００　ａｍのＱＮ
にわたって窓５の中に表示されているその系の表示値と
上記振作経路の長さとの間の差額が形成されてこれが測
定の基礎に従って関連させられるように下記 に＝（表示値−１２００■−）／１００として得ら九る
。

この値Ｋが評価装Ｒ１１のそれぞ九の記憶ポジションへ
入力され、また従って評価アルゴリズムへ入力されると
ともに、走査手段４がそれによって作動するところのス
ケール３の刻線の分割誤差に、！！関係にこの系のｒ測
定結合Ｊが得られる。

以上の記載において用いた「計測学的結合Ｊの語はメー
トル基準に対するこの測定系の固有の関連の内用を意味
する。これは例えばレーザ一式経路長さ測定システムを
用いて達成される。この後者の制御のもとに支持部材１
は正確に１．２ｍだけ変位させられる。

その補正値に＝（表示値−１２００ｍ１ｄ）／１００は
今やこの評価装置１１のための新しい補正値であり、こ
れが厳密な「計測学的結合」を保証する。

この結果、前のＫの値はキャンセルされて新しい正確な
値が評価装置ｉｌｔ　１１の中の対応する記憶位置に供
給される。更に、その非常に正確な距離Ａは第１、第２
、第３、および第４の光検出器およびこれらに連結され
ているそれぞれのチャンネルの零点変動によって影響を
受けるかも知れない。

そのためにスケール３は図において点線で枠囲いした帯
域１２をこのスケールの一端部に有している。この帯域
１２は少なくとも面検出器７，７′および８．８′の大
きさのものであって、透明性または反射性の表面を有し
ている。この帯域の反射率または等価率は特定の値であ
るけれども、しかしながらこの値は勾配が存在しないよ
うに非常に均等である。この特定的な値は電子光学的な
各チャンネルの零通路およびこれらチャンネル中のスイ
ッチングパルスのスロープを設定し、調節するのに適当
な値である。後者の場合にはこの帯域１２はともに特定
的であるけれども異なった透過率または反射率を有する
少なくとも二つ以上の部分帯域よりなっている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従う長さ測定装置の全体を示す平面図
、第２図は第１図の装置の検出部の拡大図式図、第３図
はこの長さ測定装置の信号処理部のブロック線図である
。 １・・・支持部材　　２・・・ベッド ３・・・スケール　　４・・・走査手段５・・・窓 ７．７’　、８．８’　　・・・検出装置９・・・載置
台　　　１０　・・・内挿装置１１　・・・評価装置　
１２　・・・照合帯域３０．３１．３２．３３　　・・
・目盛刻線ユニット０・・・光軸　　　　Ｃ，Ｃ’　　
・・・光電的中心ＯＰ、　ＴＲ・・・明暗縞

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）格子取り付け台の上の格子と、少なくとも２つ以
   上の検出装置を含む走査装置と、および評価装置とから
   なる、長さの測定並びに設定のための測長装置において
   、少なくとも第２検出装置が分割の方向に関して第１検
   出装置に対し、極めて正確な距離Ａを有し、そしてこの
   距離Ａをこの測長装置の計測学的結合の基礎とすること
   を特徴とする、測長装置。
2. （２）分割方向と反対の方向にもう一つの検出装置が設
   けられており、そしてこのもう一つの検出装置と第１検
   出装置との間の距離が上記距離Ａに等しい、特許請求の
   範囲第１項記載の測長装置。
3. （３）格子が少なくとも２つ以上の準同一の格子ユニッ
   トよりなり、そして距離Ａがこの格子ユニットの整倍数
   （単純長を含む）に等しい、特許請求の範囲第１項また
   は第２項記載の測長装置。
4. （４）距離Ａが、熱膨張係数の近似的に零の物体長さに
   よって具象化される、特許請求の範囲第１項または第２
   項記載の測長装置。
5. （５）格子が光電子工学的な手段を用いて走査装置によ
   り走査され、そしてこの測長装置が、零点位置を調節す
   るための或る特定の反射率または透明度の少なくとも一
   つ以上の均質の照合帯域と、および少なくとも各補正信
   号の検出に含まれるような多数の光電子工学的チャンネ
   ルの信号のスロープとを包含し、その際上記帯域は各測
   定の前に上記測長装置と結合することができる、特許請
   求の範囲第１項または第２項記載の測長装置。
6. （６）照合域が走査装置と組み合わされており、従って
   各光電子工学的チャンネルがこの測長装置の操作の範囲
   内のいかなる所望の位置においても結合可能である、特
   許請求の範囲第１項または第２項記載の測長装置。
7. （７）格子取り付け台の上の格子と、相互間隔Ａを置い
   て設けられた少なくとも２つ以上の検出装置を有する走
   査装置と、および評価装置とからなり、その際上記２つ
   の検出装置の少なくとも第１の検出装置から、上記格子
   と上記走査装置との間の相対的位置に対応して１次信号
   が導き出されるような測長装置によって、長さを測定し
   、また設定する方法において、 上記２つの検出装置のうち、少なくとも、上記第１検出
   装置に対してその走査方向へ距離Ａを置いて設けられて
   いる第２検出装置が、上記走査装置に対する格子の相対
   的な位置に対応する一連の１次信号との相互作用におい
   て各補正信号を発信し、これら補正信号は、上記距離Ａ
   に等しい行程Ｂだけ走査装置が格子に対して相対的に移
   動する間に上記一連の１次信号を補正するために少なく
   とも一度、上記評価装置によって評価され、この評価さ
   れた補正信号は、第１検出装置が第２検出装置の位置へ
   動いたときに与えられる、上記一連の１次信号の上記行
   程相当値に対する上記行程Ｂの差額の尺度であり、そし
   て上記一連の１次信号は、どのような初期位置に対して
   もこれとの全ての相対的位置についてこの装置から送り
   出された一連の２次信号が少なくとも一つの第２検出装
   置から導き出された補正値を含んで上記一連の１次信号
   から形成され、そして上記評価装置において評価される
   ように、上記評価装置において評価されることを特徴と
   する、上記方法。
8. （８）この装置の計測学的結合のための基準である距離
   Ａが、或る長さの単位への極めて正確な結合に関して決
   定され、その際この装置の表示と較正標準との間の一定
   の操作経路を経て行なわれる比較によって或る計算寸法
   が得られてこれが上記評価装置の中に記憶され、そして
   この装置の上記長さの単位への、或る評価アルゴリズム
   の枠内での結合を確実にする、特許請求の範囲第７項記
   載の方法。