JPS6144926U - モニタ用水晶振動子 - Google Patents

モニタ用水晶振動子

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JPS6144926U
JPS6144926U JP13005284U JP13005284U JPS6144926U JP S6144926 U JPS6144926 U JP S6144926U JP 13005284 U JP13005284 U JP 13005284U JP 13005284 U JP13005284 U JP 13005284U JP S6144926 U JPS6144926 U JP S6144926U
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JP
Japan
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crystal oscillator
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monitor
mass
plate surface
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JP13005284U
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Inventor
亜紀雄 千葉
幹雄 中島
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Publication date
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例に用いるモニター用水晶振動
子の一例を示す側断面図、第２図は電極の蒸着装置の一
例を示す概略構成図、第３図ａおよび第３図ｂは蒸着源
に対して平行に配置した場合の蒸着質比を説明する図、
第４図は蒸着時のモニター用水晶振動子の周波数変化と
通電電流の変化を示す図、第５図は第１図のＤ−Ｄ線矢
示断面図、第６図は第１図に示す振動子の底面図、第７
図は第１図に示すモニター用水晶振動子を用いた装置に
おけるモニター用水晶振動子の周波数および通電電流の
変化を示す図である。 １・・・・・・容器、３・・・・・・水晶片、４・・・
・・・モニター用水晶振動子、５・・・・・・制御装置
、６・・・・・・蒸着源、１２・・・・・・軟性物質。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸着源より発生した粒子を被蒸着体と水晶振動子の板面
    に形成された電極に付着させ、前記水晶振動子の電極に
    付着した粒子の質量によって変化′する振動周波数の変
    化量から前記粒子が前記蒸着体に付着［７て形成される
    薄膜の量を検出するモニタ用水晶振動子において、前記
    粒子の質量により連続的に変化する前記水晶振動子の振
    動周波数に対して発生する不要振動を抑制するために前
    記水晶振動子の少なくとも一側の板面を軟性物質を介し
    て保持することを特徴とするモニタ用水晶振動子。
JP13005284U 1984-08-28 1984-08-28 モニタ用水晶振動子 Granted JPS6144926U (ja)

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JPS6144926U true JPS6144926U (ja) 1986-03-25
JPH0342036Y2 JPH0342036Y2 (ja) 1991-09-03

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012142733A (ja) * 2010-12-28 2012-07-26 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動子、膜厚センサ、エッチング量センサ及び膜厚検出方法並びにエッチング量検出方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5488790A (en) * 1977-12-26 1979-07-14 Seiko Instr & Electronics Ltd Resonant frequency adjusting method for crystal oscillator
JPS58117714A (ja) * 1982-01-06 1983-07-13 Hitachi Ltd 水晶板ヘツドの構造

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JPH0342036Y2 (ja) 1991-09-03

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