JPS6146502U - レ−ザ加工装置のインテグレ−シヨンミラ− - Google Patents
レ−ザ加工装置のインテグレ−シヨンミラ−Info
- Publication number
- JPS6146502U JPS6146502U JP1984066028U JP6602884U JPS6146502U JP S6146502 U JPS6146502 U JP S6146502U JP 1984066028 U JP1984066028 U JP 1984066028U JP 6602884 U JP6602884 U JP 6602884U JP S6146502 U JPS6146502 U JP S6146502U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- laser processing
- concave portion
- processing equipment
- segments
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第２図は加
工ヘッドの概略説明図、第３図はレーザ加工装置の斜視
図、第４図は従来のインデグレーションミラーの断面図
である。 図において、１０は加工ヘッド、１８はインテグレーシ
ョイ、２２は凹面部、２４はミラー基板、２６はミラー
ミラーセグメント、３６は貫通孔、３８は充填材である
。 なお各図中同一符号は同一または相当部分を示すものと
する。
工ヘッドの概略説明図、第３図はレーザ加工装置の斜視
図、第４図は従来のインデグレーションミラーの断面図
である。 図において、１０は加工ヘッド、１８はインテグレーシ
ョイ、２２は凹面部、２４はミラー基板、２６はミラー
ミラーセグメント、３６は貫通孔、３８は充填材である
。 なお各図中同一符号は同一または相当部分を示すものと
する。
Claims (1)
- 支持台に支持された被加工物に対してレーザ光源から出
力されたレーザ光を集中照射して被加工物を加工するレ
ーザ加工装置の加工ヘッドに用いられる集光手段であっ
て、該集光手段はミラー基板と複数のミラーセグメント
とを有し、該ミラー基板は凹面部と複数の貫通孔を有し
、該ミラーセグメントは反射面が平滑な小ミラーかなら
なり、該ミラー基板の凹面部には該ミラーセグメントが
凹面鏡を成して敷設され、上記各ミラーセグメント間、
各ミラーセグメントと該凹面部との間及び上記貫通孔の
内部には伝熱性材料が充填されているレーザ加工装置の
インデグレーションミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984066028U JPS6146502U (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | レ−ザ加工装置のインテグレ−シヨンミラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984066028U JPS6146502U (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | レ−ザ加工装置のインテグレ−シヨンミラ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6146502U true JPS6146502U (ja) | 1986-03-28 |
Family
ID=30598549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984066028U Pending JPS6146502U (ja) | 1984-05-08 | 1984-05-08 | レ−ザ加工装置のインテグレ−シヨンミラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6146502U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6415316A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Sonoike Mfg | Device for adjusting irradiating direction in laser beam surface treating apparatus |
| JPS6415313A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Sonoike Mfg | Optical device in laser beam surface treating apparatus |
-
1984
- 1984-05-08 JP JP1984066028U patent/JPS6146502U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6415316A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Sonoike Mfg | Device for adjusting irradiating direction in laser beam surface treating apparatus |
| JPS6415313A (en) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Sonoike Mfg | Optical device in laser beam surface treating apparatus |
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