JPS644436U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS644436U JPS644436U JP9782087U JP9782087U JPS644436U JP S644436 U JPS644436 U JP S644436U JP 9782087 U JP9782087 U JP 9782087U JP 9782087 U JP9782087 U JP 9782087U JP S644436 U JPS644436 U JP S644436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- stage
- shape
- direct
- irradiates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は、この考案にかかるダイレクトパター
ンニング用治具の斜視図、第２図は、従来の基板
のセツト方法を示す斜視図、第３図は、この考案
にかかるダイレクトパターンニング用治具の組み
合わせを示す斜視図、第４図は、ダイレクトパタ
ーンニング用治具を使用しての実施例を示す斜視
図である。 １……ダイレクトパターンニング装置、２……
ステージ、３……基板、４……ダイレクトパター
ンニング用治具、５……ダイレクトパターンニン
グ用治具、６……フオトヘツド。
ンニング用治具の斜視図、第２図は、従来の基板
のセツト方法を示す斜視図、第３図は、この考案
にかかるダイレクトパターンニング用治具の組み
合わせを示す斜視図、第４図は、ダイレクトパタ
ーンニング用治具を使用しての実施例を示す斜視
図である。 １……ダイレクトパターンニング装置、２……
ステージ、３……基板、４……ダイレクトパター
ンニング用治具、５……ダイレクトパターンニン
グ用治具、６……フオトヘツド。
Claims (1)
- 感光性物質を塗布した基板を、ステージ上に載
置し、直接光を照射して所望の形状のパターンを
形成させる装置において、直交してＬ字状をなす
治具と、この治具に対し相対的にスライドする治
具とをステージ上に設置したことを特徴とするダ
イレクトパターニング用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9782087U JPS644436U (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9782087U JPS644436U (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS644436U true JPS644436U (ja) | 1989-01-11 |
Family
ID=31323549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9782087U Pending JPS644436U (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS644436U (ja) |
-
1987
- 1987-06-25 JP JP9782087U patent/JPS644436U/ja active Pending