JPS614772U - スプレ−装置 - Google Patents

スプレ−装置

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JPS614772U
JPS614772U JP8709184U JP8709184U JPS614772U JP S614772 U JPS614772 U JP S614772U JP 8709184 U JP8709184 U JP 8709184U JP 8709184 U JP8709184 U JP 8709184U JP S614772 U JPS614772 U JP S614772U
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JP
Japan
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substrate
support
spray device
utility
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JP8709184U
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JPH049031Y2 (ja
Inventor
潔文 山田
Original Assignee
ホ−ヤ株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスプレー装置を示し、同図ａは全体構造
図、同図ｂに支持具に基板を設置した状態の平面図及び
同図Ｃは支持具の平面図である。 第２図は本考案の実施例によるスプレー装置内の支持具
とその関連部分を示し、同図ａは支持具の組立図、同図
ｂは固定台の拡大図、同図ｃｃ’よ支持具に基板を設置
した状態の平面図及び同図ｄは同図ＣのＸ−Ｘ線箇所の
断面図、第３図は本考案の他の実施例によるスプレー装
置内の支持具に基板を設置した状態の平面図、同図ｂは
同図ａのＸＸ線箇所の断面図、及び同図Ｃは固定台の拡
大図である。 １３・・・・・・チャンバー、１４・・・・・・噴出孔
、１５・・・・・・噴出液、１７．３１・・・基板、１
８・・・・・・支持具、１９，２０・・・・・・支持棒
、２１〜２８・・・・・・１対の穴、２９・・・・・・
ネジ、３０，３２・・・・・・固定台、２１，３３・・
・・・・当接面、２７．３４・・・・・・載置面。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）基板をチャンバー内の支持具に設置し、前記チャ
    ンバーに設けられた噴出孔から前記基板に向けて噴出液
    を噴出するスプレー装置において、前記支持具が互いに
    交叉する２本の支持棒と、前記交叉方向における前記基
    板の前面部分に当接し、かつ前記端面近傍の底面部分を
    載置する４個の固定台とからなり、前記支持には前記交
    叉する点を中心にした１対の穴を前記基板の各種サイズ
    に応じて複数個設け、前記穴にネジを通して前記固定台
    を前記支持棒に固定することを特徴とするスプレー装置
    。
  2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項において、前記基
    板の形状が正方形であり、前記交叉方向が前記基板の対
    角線方向であることを特徴とするスプレー装置。
  3. （３）実用新案登録請求の範囲第１項において、前記基
    板の形状が円形であり、前記交叉方向が前記基板の互い
    に直向する方向であり、かつ前記交叉方向の前記基板の
    端面部分が平坦状に形成されていることを特徴とするス
    プレー装置。
JP8709184U 1984-06-12 1984-06-12 スプレ−装置 Granted JPS614772U (ja)

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JP8709184U JPS614772U (ja) 1984-06-12 1984-06-12 スプレ−装置

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JP8709184U JPS614772U (ja) 1984-06-12 1984-06-12 スプレ−装置

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Publication Number Publication Date
JPS614772U true JPS614772U (ja) 1986-01-13
JPH049031Y2 JPH049031Y2 (ja) 1992-03-06

Family

ID=30638992

Family Applications (1)

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JP8709184U Granted JPS614772U (ja) 1984-06-12 1984-06-12 スプレ−装置

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JP (1) JPS614772U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS636728U (ja) * 1986-06-30 1988-01-18

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5043564U (ja) * 1973-08-16 1975-05-01
JPS54167678U (ja) * 1978-05-16 1979-11-26

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5043564U (ja) * 1973-08-16 1975-05-01
JPS54167678U (ja) * 1978-05-16 1979-11-26

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS636728U (ja) * 1986-06-30 1988-01-18

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Publication number Publication date
JPH049031Y2 (ja) 1992-03-06

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