JPS6148768A - コンタクト抵抗の測定方法 - Google Patents
コンタクト抵抗の測定方法Info
- Publication number
- JPS6148768A JPS6148768A JP17188284A JP17188284A JPS6148768A JP S6148768 A JPS6148768 A JP S6148768A JP 17188284 A JP17188284 A JP 17188284A JP 17188284 A JP17188284 A JP 17188284A JP S6148768 A JPS6148768 A JP S6148768A
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- JP
- Japan
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- resistors
- contact
- lengths
- contact resistance
- resistor
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000013213 extrapolation Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 102100022436 CMRF35-like molecule 8 Human genes 0.000 description 1
- 101000901669 Homo sapiens CMRF35-like molecule 8 Proteins 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体基板上に形成された抵抗体のコンタク
ト抵抗の測定方法に関する。
ト抵抗の測定方法に関する。
従来例の構成とその問題点
第１図は半導体基板上に作シ込まれた抵抗体の簡単な平
面図を示す。図中、１は抵抗体、２，３はコンタクト窓
部、４は配線部を示す。第１図において、抵抗体の幅を
Ｗ、抵抗体１の中に形成された窓部２，３の間隔？２．
抵抗抵抗のシート抵抗をρとし、コンタクト窓部２，３
と配線部４との接触面に生じるコンタクト抵抗をＲＨと
すると、抵抗体１の測定抵抗値Ｒは次式で表わされる。
面図を示す。図中、１は抵抗体、２，３はコンタクト窓
部、４は配線部を示す。第１図において、抵抗体の幅を
Ｗ、抵抗体１の中に形成された窓部２，３の間隔？２．
抵抗抵抗のシート抵抗をρとし、コンタクト窓部２，３
と配線部４との接触面に生じるコンタクト抵抗をＲＨと
すると、抵抗体１の測定抵抗値Ｒは次式で表わされる。
Ｒ＝ ２ＲＨ＋ ＠ρ ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・（１）通常、コンタクト抵
抗ＲＨはＷρ で表わされる抵抗体の抵抗値に比べて充
分小さいものであるので、マスク設計を行う場合、コン
タクト抵抗ＲＨ全無祝することが多い。しかし、抵抗体
そのものが有する抵抗値が小さい場合や、抵抗の相対比
精度が問題になる場合には、コンタクト抵抗ＨＨＨ１無
視できなくなる。すなわち、回路設計の精度を高めよう
とするならば、コンタクト抵抗ＲＨ２あらかじめ考慮し
なければならないことになり、コンタクト抵抗を何んら
かの方法て算出する必要があり、特に実体に即したコン
タクト抵抗の算出方法が望まれていた。
・・・・・・・・・・・・・（１）通常、コンタクト抵
抗ＲＨはＷρ で表わされる抵抗体の抵抗値に比べて充
分小さいものであるので、マスク設計を行う場合、コン
タクト抵抗ＲＨ全無祝することが多い。しかし、抵抗体
そのものが有する抵抗値が小さい場合や、抵抗の相対比
精度が問題になる場合には、コンタクト抵抗ＨＨＨ１無
視できなくなる。すなわち、回路設計の精度を高めよう
とするならば、コンタクト抵抗ＲＨ２あらかじめ考慮し
なければならないことになり、コンタクト抵抗を何んら
かの方法て算出する必要があり、特に実体に即したコン
タクト抵抗の算出方法が望まれていた。
発明の目的
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり実体に即し
たコンタクト抵抗をきわめて容易に算出できる測定方法
を提供するものである。
たコンタクト抵抗をきわめて容易に算出できる測定方法
を提供するものである。
発明の構成
本発明は要約するに、半導体基板上に、形状およびコン
タクト窓部がほぼ等しく、かつその長さが異なる抵抗体
を複数個形成し、かつ前記複数個の抵抗体とは異なる大
きさのコンタクト窓を有し、かつその長さが異なる複数
個の抵抗体の組を複数組形成した後、前記同一サイズの
コンタクト窓を有する抵抗体の組において、抵抗体の測
定抵抗値をその長さに応じて表示し、この表示点を結ぶ
表示線により、抵抗体の長さが零の時の抵抗値を外挿し
、前記外挿点をコンタクト抵抗値として算出し、かつ前
記外挿ｅｔ前記コンタクト窓のサイズの異なる抵抗体の
各組において行い、コンタクト抵抗値をコンタクト窓部
のサイズに応じて検出するコンタクト抵抗測定方法であ
り、これによれば、コンタクト抵抗を極めて容易に測定
することができ、かつコンタクト窓のサイズが異なった
場合のコンタクト抵抗も極めて容易に推定できる。
タクト窓部がほぼ等しく、かつその長さが異なる抵抗体
を複数個形成し、かつ前記複数個の抵抗体とは異なる大
きさのコンタクト窓を有し、かつその長さが異なる複数
個の抵抗体の組を複数組形成した後、前記同一サイズの
コンタクト窓を有する抵抗体の組において、抵抗体の測
定抵抗値をその長さに応じて表示し、この表示点を結ぶ
表示線により、抵抗体の長さが零の時の抵抗値を外挿し
、前記外挿点をコンタクト抵抗値として算出し、かつ前
記外挿ｅｔ前記コンタクト窓のサイズの異なる抵抗体の
各組において行い、コンタクト抵抗値をコンタクト窓部
のサイズに応じて検出するコンタクト抵抗測定方法であ
り、これによれば、コンタクト抵抗を極めて容易に測定
することができ、かつコンタクト窓のサイズが異なった
場合のコンタクト抵抗も極めて容易に推定できる。
実施例の説明
第２図は本発明の一実施例にかかる半導体基板上に形成
されたコンタクト窓部のサイズが異なる３組の抵抗体で
あり、第２図Ａ、Ｂ、Ｃはそれぞれの抵抗体の幅がＷｌ
、Ｗ２．Ｗ、コンタクト窓部の幅がＷｃ０１．ＷｃＯ２
，ＷｃＯ３の場合である。第１図と同一機能を有する個
所には、同一番号を付した。次に本発明に基づいて説明
する。同一の半導体基板上の阻めて近い位置にしかも同
一方向に抵抗体の幅が３組で、抵抗体の長さが異なる抵
抗体ＲＡ１１ＲＡ２ＩＲＡ３ＩＲＢ１１ＲＢ２ＩＲＢ３
ＩＲＣ１，ＲＣ２ＩＲｃ３ を形成した後これらの抵抗
値を測定する。
されたコンタクト窓部のサイズが異なる３組の抵抗体で
あり、第２図Ａ、Ｂ、Ｃはそれぞれの抵抗体の幅がＷｌ
、Ｗ２．Ｗ、コンタクト窓部の幅がＷｃ０１．ＷｃＯ２
，ＷｃＯ３の場合である。第１図と同一機能を有する個
所には、同一番号を付した。次に本発明に基づいて説明
する。同一の半導体基板上の阻めて近い位置にしかも同
一方向に抵抗体の幅が３組で、抵抗体の長さが異なる抵
抗体ＲＡ１１ＲＡ２ＩＲＡ３ＩＲＢ１１ＲＢ２ＩＲＢ３
ＩＲＣ１，ＲＣ２ＩＲｃ３ を形成した後これらの抵抗
値を測定する。
次に、抵抗体の長さＩｌ、１．ｇ。、２３．と抵抗体の
幅、すなわちコンタクト窓部の幅に対応した測定値との
関係全第３図に示すようなグラフで表わす。そして、コ
ンタクト窓部のサイズ毎に、抵抗体の長さが零の時の抵
抗体の抵抗値全外挿すると、この点が、任意のコンタク
ト窓部のサイズにおけるコンタクト抵抗値となり、第３
図においては、それぞれ全Ｒｗ１．Ｒｗ２．ＲＶＶ３と
する。次にコンタクト窓部の幅ＷｃＯと前記コンタクト
抵抗ＲＷ１＋ ＲＶｌ、！。
幅、すなわちコンタクト窓部の幅に対応した測定値との
関係全第３図に示すようなグラフで表わす。そして、コ
ンタクト窓部のサイズ毎に、抵抗体の長さが零の時の抵
抗体の抵抗値全外挿すると、この点が、任意のコンタク
ト窓部のサイズにおけるコンタクト抵抗値となり、第３
図においては、それぞれ全Ｒｗ１．Ｒｗ２．ＲＶＶ３と
する。次にコンタクト窓部の幅ＷｃＯと前記コンタクト
抵抗ＲＷ１＋ ＲＶｌ、！。
ＲＷ３ の関係全第４図に示すようなグラフで表わｆ、
ｆｌＬｔば・Ｗｃ０４（ｗＣＯｌく”ＣＯ４くＷｃＯ２
） のコンタクト抵抗を求めたい場合、第４図を用いれ
ば、極めて簡単に推定することが可能となり、精度の高
い回路設計を行う場合、充分貴重な資料となる。すなわ
ち、本発明によれば、極めて簡単に任意のコンタクト窓
部の幅に対するコンタクト抵抗を直接的あるいは間接的
に求めることができる。
ｆｌＬｔば・Ｗｃ０４（ｗＣＯｌく”ＣＯ４くＷｃＯ２
） のコンタクト抵抗を求めたい場合、第４図を用いれ
ば、極めて簡単に推定することが可能となり、精度の高
い回路設計を行う場合、充分貴重な資料となる。すなわ
ち、本発明によれば、極めて簡単に任意のコンタクト窓
部の幅に対するコンタクト抵抗を直接的あるいは間接的
に求めることができる。
発明の効果
以上、実施ｆｌｌに説明したように、本発明のコンタク
ト抵抗の測定方法は、きわめて容易にしかも気体に即し
たコンタクト抵抗を算出できるので、その利用価値は大
きい。
ト抵抗の測定方法は、きわめて容易にしかも気体に即し
たコンタクト抵抗を算出できるので、その利用価値は大
きい。
第１図は半導体基板上に作り込まれた抵抗体の平面図、
第２図は本発明の一実施例にかがる半導体基板上に復故
イ固形成された抵抗体の平面図、第３図、第４図は第２
図の複数個形成された抵抗体からコンタクト抵抗全算出
するグラフを示す。 １・・・・・・抵抗体、２，３・・・山コンタクト窓部
、４・・・・・・配線部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
図 第３図 第４図 つ
第２図は本発明の一実施例にかがる半導体基板上に復故
イ固形成された抵抗体の平面図、第３図、第４図は第２
図の複数個形成された抵抗体からコンタクト抵抗全算出
するグラフを示す。 １・・・・・・抵抗体、２，３・・・山コンタクト窓部
、４・・・・・・配線部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名第１
図 第３図 第４図 つ
Claims (1)
- 半導体基板上に、形状およびコンタクト窓がほぼ等しく
、かつその長さが異なる抵抗体を複数個形成し、かつ前
記複数個の抵抗体とは異なる大きさのコンタクト窓を有
し、かつその長さが異なる複数個の抵抗体の組を複数組
形成した後、前記同一サイズのコンタクト窓を有する抵
抗体の組において、抵抗体の測定抵抗値をその長さに応
じて表示し、この表示点を結ぶ表示線により、抵抗体の
長さが零の時の抵抗値を外挿し、前記外挿点を、コンタ
クト抵抗値として算出し、かつ前記外挿法を前記コンタ
クト窓のサイズの異なる抵抗体の各組において行い、コ
ンタクト抵抗値をコンタクト窓のサイズに応じて検出す
ることを特徴とするコンタクト抵抗の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17188284A JPS6148768A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | コンタクト抵抗の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17188284A JPS6148768A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | コンタクト抵抗の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148768A true JPS6148768A (ja) | 1986-03-10 |
Family
ID=15931542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17188284A Pending JPS6148768A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | コンタクト抵抗の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148768A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5486767A (en) * | 1994-03-03 | 1996-01-23 | General Electric Company | Method and system for detecting defects in pipes or other structures |
| US6908777B2 (en) * | 1997-03-26 | 2005-06-21 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Compound semiconductor device and method for controlling characteristics of the same |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP17188284A patent/JPS6148768A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5486767A (en) * | 1994-03-03 | 1996-01-23 | General Electric Company | Method and system for detecting defects in pipes or other structures |
| US6908777B2 (en) * | 1997-03-26 | 2005-06-21 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Compound semiconductor device and method for controlling characteristics of the same |
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