JPS62174902A - 厚膜抵抗体のトリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は２厚膜抵抗体を所定の抵抗値に調整す乙ため
のトリミング方法に関する。

〔従来の技術〕

絶縁基板の上の厚膜抵抗体の抵抗値調整法として、第３
図〜第５図で示すような、いゆるトリミング法が従来か
ら実施されている。即ち。

予め端子電極３．４間の抵抗値が目標値より低めになる
よう厚膜抵抗体ｌを形成しておき、上記端子電極３．４
で抵抗値を測定しながら、厚膜抵抗体１にレーザビーム
等で切溝２ａ、　２ｂ・・・・を入れる。これによって
、端子電極３，４間の抵抗値を高め、抵抗値を目標の範
囲に収める調整法である。

このトリミング法では、抵抗値の精度を高めるため、切
溝２ａ、　２ｂ・・・−のパターンに様々な工夫がなさ
れている。特に、調整量が比校的小さい場合には、高い
精度を得るため、粗調整と微調整手段とを含むものが使
用される。

例えば、第３図は、厚膜抵抗体１を幡断するよう同じ方
向から２本の切溝２ａ、　２ｂを入れる。

いわゆるダブルカットであり、また、第４図は。

厚膜抵抗体１を縦断するよう切溝２ａを入れた後。

これと直角に切溝２ｃを入れる。いわゆるＬカソトであ
る。これらの場合、最初の切溝２ａによって粗調整が行
われ、これに続く切溝２ｂ、２ｃによって微調整が行わ
れる。

さらに、第５図で示すように、粗調整用の抵抗膜１ａと
、これよりシート抵抗の低い微調整用の抵抗１ｆｆｌ　
１　ｂとを直列（または並列）に接続して厚膜抵抗体１
を構成し、それぞれの抵抗膜１ａ＋１ｂについて上記の
ようなトリミングを行う方法も提案されている。

なお、トリミングにより調整する抵抗値に成る程度の幅
があるときは、大きな調整量を得るため、対向する２辺
から厚膜抵抗体１を縦断するよう、それぞれ切溝２ａ、
　２ｂをいれる。いわゆるサーペンタインカットが採用
される。

Ｃ発明が解決しようとする問題点〕 混成！Ｊ積回路の小型化の要請に伴い、ｉ膜抵抗体の抵
抗値について高い精度が要請されている。しかし、従来
のトリミング法では、カット時に生じる微細なりランク
等に起因する抵抗値のドリフトによって、ｉｍｍ後後抵
抗値が成る程度ばらつく。例えば、第３図や第４図で示
すよ・うに、端子電極３．４の間の厚膜抵抗体１にダブ
ルカットやＬカット等の切溝２ａ、　２ｂ・−を入れる
従来のトリミング法によって調整可能な抵抗値の精度は
、上０゜５％が限度である。さらに。

サーペンタインカットによる切？１１２ａ、１２ｂ　・
・・を入れたものでは、上２゜０％が限度である。

他方、第５図で示すトリミング法では、ダブルカットや
Ｌカットによる切溝２ａ、　２ｂ・・・を使用した場合
に上０゜３５％と、高い精度が得られる。

しかし、シート抵抗の異なる２つの抵抗膜１ａ＋１５を
設けなければならないため、２回に分けて抵抗ペースト
を印刷する必要がある等、工数の増加を招くという欠点
があった。

この発明は、上記従来の問題を解決するためなされたも
ので１第３図や第４図のトリミング方法を実施する場合
とは一′同等の工数で厚膜抵抗体を形成することができ
、しかも第５図で示したトリミング方法と同等或いはそ
れ以上の高い精度が得られるトリミング方法を提供する
ことを目的とする。

〔問題を解決するための手段〕

この発明によるトリミング方法を第１図と第２図の符号
を引用しながら説明すると、まず予め端子電極１３．１
４の間に１つ以上の測定用電極１５ａ、１５ｈ・−が設
けられた厚膜抵抗体を作る。そして、上記端子電極１３
．１４と測定用電極１５ａ、１５ｂ・・とで分割された
各区間１６ａ、１６ｂ・・・−の抵抗値を測定しながら
、当該区間１６ａ、１６ｂ　・・・に屈する厚膜抵抗体
１１に切溝１２ａ、１．２ｂ・・・−を入れ、その抵抗
値をそれぞれ目標値に調整する。これによって。

総体的に端子電極１３．１４間の抵抗値を目標値に近づ
ける。

（作　　　用〕 この発明によるトリミング方法では、各区間１６ａ、　
Ｌ６ｂ・・・−で生じる抵抗値のばらつきが、互いに相
殺されるため、何れのカットパターンを使用した場合で
も、第３図や第４図で示すように。

端子電極１３．１４間のみでトリミングを行う場合に比
べて高精度の抵抗値が得られる。

しかも、上記厚膜抵抗体１１は、シート抵抗の等しい単
一の抵抗膜からなっているため、端子電極１３．１．４
や測定用電極１．５ａ、１５ｂ・・・−を印刷した上に
抵抗ペーストを一度印刷するだけで形成することができ
る。

〔実　施　例〕

次に２図面を参照しながら、この発明の実施例と望まし
い実施態様について説明する。

まず、絶縁基板の上に端子電極１３．１４と測定用電極
１５ａ、　１５ｂ・・・−を印刷した後、この上にＲｕ
Ｏ２等を主体とする抵抗ペーストを印刷し、これを焼き
付けて厚膜抵抗体１１を形成する。

上記測定用電極１５ａ、　１５ｂ−は、厚膜抵抗体１１
を横断するよう端子電極１３．１４の間に設けられ。

端子電極１３．１４の間の厚膜抵抗体１１を複数の区間
１６ａ、１６ｂ・−に分割する。第１図と第２図の実施
例では、何れも２本の測定用電極１５ａ、１５ｂが設け
られ、端子電極１３．１４間が３つの区間１６ａ。

１６ｂ・・・に分割されている。なお、各区間１．６ａ
、１６ｂ・・・の長さは、それぞれ任意に設定できるが
１等間隔であれば後述するように、目標値ｒ１．ｒ２・
・・を何れも等しく設定することができる。

次に、各区間１６ａ、１６ｂ　・・・についてそれぞれ
抵抗の目標値ｒＩ＋　　ｒ２・・−を定め、これにでき
るだけ近づくように、端子電極１３．１４または測定用
電極１５ａ、１５ｂ　・・・の間で抵抗値を測定しなが
ら。

各区間１６ａ、　１６ｂ−でトリミングを行う。各区間
１６ａ、　１６ｂ−の抵抗の目標値ｒｌ＋　　ｒ２””
は、端子電極１３．１４の間の目標値Ｒをもとに、Ｒ＝
Σｒｎ　（ｎは区間の数）となるよう設定する。例えば
、第１図と第２図の実施例の場合は、ｎ＝３であり１区
間１６ａ、１６ｂ−の距離が何れも等しいことから、ｒ
ｌ　：ｒ２　：ｒ３　＝Ｒ／３とする。

なお、各区間１６ａ、１６ｂ・・・・の抵抗値の測定は
。

必ずしも隣接する電極１３．１４．１５・・・・毎に行
う必要はない。例えば１区間１６ａをトリミングした後
１区間１６ｂについては、端子電極１３と測定用電極１
５ｂ間で抵抗値を測定しながらｒｒｌ　＋ｒ２の目標値
に近づくようトリミングを実施することも可能である。

トリミングによる切＞１１２ａ、１２ｂ・・・のパター
ンは、一般のダブルカット、Ｌカットサーペンタインカ
ット等、必要に応じて適宜のものを選択することができ
る。例えば、第１図の実施例では、いわゆるダブルカッ
トが、また、第２図の実施例では、いわゆるサーペンタ
インカットが採用されている。

本件発明者が目標値Ｒ＝ｒ１＋ｒ２　＋ｒ３−９にΩの
厚膜抵抗体１１について２本件発明のトリミング法を実
際に実施した結果、第１図のいわゆるダブルカットでは
、上記目標値Ｒに対して、厚膜抵抗体１１の抵抗値を全
て誤差±０．３％以内に収めることができた。また、第
２図のサーペンタインカットでは、上記目標値Ｒに対し
て、厚膜抵抗体１１の抵抗値を全て誤差±１．２％以内
に収めることができた。

〔発明の効果〕

以上説明した通り、この発明によれば、トリミングによ
って精度の高い抵抗値が得られる。

しかも、ｉ１！子電極１３．１４と同時に測定用電極１
５ａ１１５ｂ−を印刷し、その上から厚膜抵抗体１１を
１回印刷するだけで厚膜抵抗体１１を形成することがで
きる。このため、第５図で示すような従来のトリミング
方法のように、厚膜抵抗体の印刷工数の増加を伴わない
。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は、この発明の各実施例を示すトリミン
グ後の厚膜抵抗体の平面図、第３図〜第５図は、トリミ
ング方法の従来例を示すトリミング後の厚膜抵抗体の平
面図である。 １１・・・・厚膜抵抗体　　　　１２ａ、　１２ｂ　−
切溝１３、１４・・・・端子電極　　　１５ａ、　１５
ｂ・・−測定用電極１６ａ、１６ｂ　−厚膜抵抗体の分
割された区間発明者　寄木　敬史

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　厚膜抵抗体１１に切溝１２ａ、１２ｂ・・・を入れ、
   同抵抗体１１の端子電極１３、１４の間の抵抗値を目標
   値に調整する厚膜抵抗体のトリミング方法において、端
   子電極１３、１４の間に１つ以上の測定用電極１５ａ、
   １５ｂ・・・を設け、上記端子電極１３、１４と測定用
   電極１５ａ、１５ｂ・・・とで分割された各区間１６ａ
   、１６ｂ・・・の抵抗値を測定しながら、当該区間１６
   ａ、１６ｂ・・・に属する厚膜抵抗体１１に切溝１２ａ
   、１２ｂ・・・を入れ、各区間毎の抵抗値をそれぞれ目
   標値に調整することを特徴とする厚膜抵抗体のトリミン
   グ方法。