JPS6150272U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6150272U JPS6150272U JP13588184U JP13588184U JPS6150272U JP S6150272 U JPS6150272 U JP S6150272U JP 13588184 U JP13588184 U JP 13588184U JP 13588184 U JP13588184 U JP 13588184U JP S6150272 U JPS6150272 U JP S6150272U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- contact needle
- circuit
- utility
- test object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は従来のＩＣ検査状態の斜視図、第２図
は第１図に示される接触針の先端部の拡大斜視図
、第３図は本考案の一実施例を示す斜視図、第４
図と第５図は第３図に示される接触針の被検査物
への接触状態側面図、第６図は本考案の他の実施
例の正面図である。 ２……接触針、３……マニピユレータアーム、
４……接触針本体、５……電極、１０……インピ
ーダンス変換器。
は第１図に示される接触針の先端部の拡大斜視図
、第３図は本考案の一実施例を示す斜視図、第４
図と第５図は第３図に示される接触針の被検査物
への接触状態側面図、第６図は本考案の他の実施
例の正面図である。 ２……接触針、３……マニピユレータアーム、
４……接触針本体、５……電極、１０……インピ
ーダンス変換器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ マニピユレータで接触針を被検査物回路に接
触させて検査または回路切断を実行するよう構成
すると共に、前記接触針を、先端が平坦な錐台状
となつた耐摩耗誘電材料の接触針本体と、この接
触針本体の一側面に形成された電極とで構成して
、接触針の被検査物に接する傾斜角度を選択して
前記被検査物回路の切断または導通を行わせるよ
うにしたＩＣ検査装置。 ２ 電極にインピーダンス交換器を介装したこと
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
のＩＣ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13588184U JPS6150272U (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13588184U JPS6150272U (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150272U true JPS6150272U (ja) | 1986-04-04 |
Family
ID=30694368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13588184U Pending JPS6150272U (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150272U (ja) |
-
1984
- 1984-09-06 JP JP13588184U patent/JPS6150272U/ja active Pending