JPS6150761U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6150761U JPS6150761U JP13414884U JP13414884U JPS6150761U JP S6150761 U JPS6150761 U JP S6150761U JP 13414884 U JP13414884 U JP 13414884U JP 13414884 U JP13414884 U JP 13414884U JP S6150761 U JPS6150761 U JP S6150761U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- phase growth
- support
- processed
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図乃至第３図は本考案の一実施例を示すも
ので、第１図は気相成長用支持体を示す断面図、
第２図は気相成長用支持体を分解した状態を示す
断面図、第３図はその昇温過程における温度勾配
を示すグラフ図、第４図は従来例を示す概略的構
成図、第５図はその気相成長用支持体の昇温過程
における温度勾配を示すグラフ図である。 １４……ウエハ（被処理体）、１１……気相成
長用支持体、１２ａ，１３ａ……載置溝、１２…
…内周部側、１３……外周部側。
ので、第１図は気相成長用支持体を示す断面図、
第２図は気相成長用支持体を分解した状態を示す
断面図、第３図はその昇温過程における温度勾配
を示すグラフ図、第４図は従来例を示す概略的構
成図、第５図はその気相成長用支持体の昇温過程
における温度勾配を示すグラフ図である。 １４……ウエハ（被処理体）、１１……気相成
長用支持体、１２ａ，１３ａ……載置溝、１２…
…内周部側、１３……外周部側。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 縦型気相成長装置に備えられ、被処理体を
支持する気相成長用支持体において、内周部側と
外周部側とに分割されたことを特徴とする気相成
長用支持体。 (2) 内周部側および外周部側にそれぞれ被処理
体を際置する載置溝を周方向に沿つて有したこと
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の気相成長用支持体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13414884U JPS6150761U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13414884U JPS6150761U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6150761U true JPS6150761U (ja) | 1986-04-05 |
Family
ID=30692668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13414884U Pending JPS6150761U (ja) | 1984-09-04 | 1984-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6150761U (ja) |
-
1984
- 1984-09-04 JP JP13414884U patent/JPS6150761U/ja active Pending