JPS6437034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6437034U JPS6437034U JP13169587U JP13169587U JPS6437034U JP S6437034 U JPS6437034 U JP S6437034U JP 13169587 U JP13169587 U JP 13169587U JP 13169587 U JP13169587 U JP 13169587U JP S6437034 U JPS6437034 U JP S6437034U
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- JP
- Japan
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- reaction tube
- lower ends
- utility
- model registration
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案を適用した２重反応管構造を有
する縦型ＣＶＤ装置の一例を示す概略断面図、第
２図は従来による縦形ＣＶＤ装置の一例を示す概
略断面図、第３図は縦形炉における温度分布を示
す説明図、第４図は横形炉における温度分布を示
す説明図である。 １……ヒータ、２……外側反応管（アウターチ
ユーブ）、３……内側反応管（インナーチユーブ
）、４……ボート、５……ウエーハ、Ａ，Ｂ……
上、下端部。
する縦型ＣＶＤ装置の一例を示す概略断面図、第
２図は従来による縦形ＣＶＤ装置の一例を示す概
略断面図、第３図は縦形炉における温度分布を示
す説明図、第４図は横形炉における温度分布を示
す説明図である。 １……ヒータ、２……外側反応管（アウターチ
ユーブ）、３……内側反応管（インナーチユーブ
）、４……ボート、５……ウエーハ、Ａ，Ｂ……
上、下端部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 縦形拡散・ＣＶＤ装置において、反応管の
上、下端部の肉厚を厚くした構成とする縦形拡散
・ＣＶＤ装置における反応管。 (2) 反応管は２重構造とし、その内側反応管の
上、下端部の肉厚部分に穏やかな曲線や勾配の面
を付与した実用新案登録請求の範囲第１項記載の
縦形拡散・ＣＶＤ装置における反応管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13169587U JPS6437034U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13169587U JPS6437034U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437034U true JPS6437034U (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=31388003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13169587U Pending JPS6437034U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6437034U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245215A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-05 | Fujitsu Ltd | 縦型炉 |
| JPS61114522A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ加熱装置 |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP13169587U patent/JPS6437034U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245215A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-05 | Fujitsu Ltd | 縦型炉 |
| JPS61114522A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-02 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ加熱装置 |