JPS6153501A - 計測用測定子 - Google Patents
計測用測定子Info
- Publication number
- JPS6153501A JPS6153501A JP17589984A JP17589984A JPS6153501A JP S6153501 A JPS6153501 A JP S6153501A JP 17589984 A JP17589984 A JP 17589984A JP 17589984 A JP17589984 A JP 17589984A JP S6153501 A JPS6153501 A JP S6153501A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- measuring
- wear
- product
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B1/00—Measuring instruments characterised by the selection of material therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、例えばセラミックス加工ラインにＪ３ける自
動計測を長時間安定に行なうことを可能にした計測用測
定子に関する。
動計測を長時間安定に行なうことを可能にした計測用測
定子に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
一般に、製品に接触させてその平行度や直角度を自動的
に測定するために硬′ｆｉ素材からなる測定子が使用さ
れている。
に測定するために硬′ｆｉ素材からなる測定子が使用さ
れている。
この測定子は、従来から超硬合金、ルビー、ザファイア
等で形成されているが、製品がセラミックスの場合には
製品硬度が大きいため測定子の摩耗が激しく、また測定
子が超硬合金のように台底の場合は熱による膨張収縮が
大きいため、基ｌ（ζ位置がシフ１−するという問題が
あった。
等で形成されているが、製品がセラミックスの場合には
製品硬度が大きいため測定子の摩耗が激しく、また測定
子が超硬合金のように台底の場合は熱による膨張収縮が
大きいため、基ｌ（ζ位置がシフ１−するという問題が
あった。
このため自動計測ラインでは、人手にＪ：り一定時間毎
に測定子の位置を補正することが行われているが、半導
体基板の自動計測ラインのように速い゛周期で短時間に
多くの製品の測定を行なう場合には、測定子のうち１本
でも摩耗によって使用できなくなるとライン全体が止ま
ってしまい、１０失が大きいという問題があった。
に測定子の位置を補正することが行われているが、半導
体基板の自動計測ラインのように速い゛周期で短時間に
多くの製品の測定を行なう場合には、測定子のうち１本
でも摩耗によって使用できなくなるとライン全体が止ま
ってしまい、１０失が大きいという問題があった。
［発明の目的］
本発明はこのＪ：うな問題を解消するためになされたも
ので、摩耗洛が少なくて補正の頻度の少ない計測用測定
子を提供づ゛ることを目的とげる。
ので、摩耗洛が少なくて補正の頻度の少ない計測用測定
子を提供づ゛ることを目的とげる。
［発明の概要］
すな４つら本発明の計測用測定子は、セラミックスで形
成されてなることを特徴としている。
成されてなることを特徴としている。
本発明に使用されるビラミックスとしては、耐摩耗性が
良好な、例えば窒化ケイ素、炭化ケイ素、炭化チタン等
が例示されるが、特に窒化ケイ素が適している。
良好な、例えば窒化ケイ素、炭化ケイ素、炭化チタン等
が例示されるが、特に窒化ケイ素が適している。
またセラミックス加工ライン自動計測においては、測定
子の他に製品を載置するための基１Ｍブロックも上記の
セラミックスで形成することが望ましい。
子の他に製品を載置するための基１Ｍブロックも上記の
セラミックスで形成することが望ましい。
本発明のセラミックス加工ライン自動計測用測定子は、
例えば次のよう１．：製造される。
例えば次のよう１．：製造される。
窒化ケイ素と９母の焼結助剤とからなる混合粉末にバイ
ンダを添加し、所定形状に成形した後、脱脂し、次いで
常圧焼結、好ましくはポットプレス法により焼成し、心
皿により研溜して製造する。
ンダを添加し、所定形状に成形した後、脱脂し、次いで
常圧焼結、好ましくはポットプレス法により焼成し、心
皿により研溜して製造する。
［発明の実施例］
次に本発明の実施例について説明する。
実施例
焼結助剤として５％の酸化イツトリウムと２％のアルミ
ナとを窒化ケイ素に添加し、さらに約７％の有別バイン
ダを混合して、棒状に成形し、脱脂した後、ホットプレ
ス法により焼成して第１図に示すような直径５ｍｍ（先
端２．５Ｒ）の測定子１を製造した。
ナとを窒化ケイ素に添加し、さらに約７％の有別バイン
ダを混合して、棒状に成形し、脱脂した後、ホットプレ
ス法により焼成して第１図に示すような直径５ｍｍ（先
端２．５Ｒ）の測定子１を製造した。
同様に基準ブロック２も窒化ケイ素系セラミックスで形
成し、この基準ブロック２上に加工直後の熱いセラミッ
クス製品３を置き、測定子１によりセラミックス製品３
の平行度や直角度を自動計測した。
成し、この基準ブロック２上に加工直後の熱いセラミッ
クス製品３を置き、測定子１によりセラミックス製品３
の平行度や直角度を自動計測した。
測定回数と測定子のｌ情耗帛の関係を調べたところ、第
２図のグラフの実線の通りであり、１０，０００回測定
しても測定子の摩耗ｍは約２μｍであった。
２図のグラフの実線の通りであり、１０，０００回測定
しても測定子の摩耗ｍは約２μｍであった。
また、測定子の左右の撓みもほとんどなかった。
補正を２μｍの摩耗があったとぎに行なうとづると、図
中Ａで示すように、１０，０００回に１回の補正となる
。なお、室温まで冷却したセラミックス製品についても
ほぼ同様の結果が得られた。 。
中Ａで示すように、１０，０００回に１回の補正となる
。なお、室温まで冷却したセラミックス製品についても
ほぼ同様の結果が得られた。 。
一方、従来の超硬合金で形成した測定子を使用して加工
直後の熱いセラミックス製品の自動計測を行なったとこ
ろ、測定誤差が大きいので測定を中断し、製品がほぼ室
温となったところで自動計測を再開した。
直後の熱いセラミックス製品の自動計測を行なったとこ
ろ、測定誤差が大きいので測定を中断し、製品がほぼ室
温となったところで自動計測を再開した。
第２図の点線に示すように、測定回数が１００回で摩耗
量が約２μｍとなり、図中８で示すように、補正は１０
０回の測定に１回の割で行なりなければならなかった。
量が約２μｍとなり、図中８で示すように、補正は１０
０回の測定に１回の割で行なりなければならなかった。
［発明の効果］
以上説明したように本発明のセラミックス加工ライン自
動計測用測定子は、耐摩耗性に（身れた窒化ケイ素系セ
ラミックスで形成されているので、測定回数が増えても
ｆ慴耗暑が少なく、補正回数を大幅に減少することがで
き、しかも測定子の左右の撓みが小ざいので正確に測定
できる。また、加工直後の熱い製品を測定しても測定子
がレラミツ゛ クスなので熱による膨張収縮が小さく、
また熱伝導率も小さいので測定誤差を小ざくすることが
できる。また、金属製の測定子と異なり磁化されないの
で、特に半導体基板を測定する際、磁性による影響が少
ないという利点もある。
動計測用測定子は、耐摩耗性に（身れた窒化ケイ素系セ
ラミックスで形成されているので、測定回数が増えても
ｆ慴耗暑が少なく、補正回数を大幅に減少することがで
き、しかも測定子の左右の撓みが小ざいので正確に測定
できる。また、加工直後の熱い製品を測定しても測定子
がレラミツ゛ クスなので熱による膨張収縮が小さく、
また熱伝導率も小さいので測定誤差を小ざくすることが
できる。また、金属製の測定子と異なり磁化されないの
で、特に半導体基板を測定する際、磁性による影響が少
ないという利点もある。
なお本発明は自動計測における測定子のみならず、ノギ
ス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ等の測定器の接触
子として応用できる。
ス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ等の測定器の接触
子として応用できる。
第１図は本発明の測定子を使用してセラミックス製品を
自動計測するところを示ず斜視図、第２図は測定子の摩
耗量および補正頻度を示すグラフである。 １・・・・・・・・・・・・測定子 ２・・・・・・・・・・・・基準ブロック３・・・・・
・・・・・・・セラミックス製品代理人弁理士 須
山 佐 − 第１図 第２図
自動計測するところを示ず斜視図、第２図は測定子の摩
耗量および補正頻度を示すグラフである。 １・・・・・・・・・・・・測定子 ２・・・・・・・・・・・・基準ブロック３・・・・・
・・・・・・・セラミックス製品代理人弁理士 須
山 佐 − 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）セラミックスで形成されてなることを特徴とする
計測用測定子。 - （２）セラミックスが窒化ケイ素である特許請求の範囲
第１項記載の計測用測定子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17589984A JPS6153501A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 計測用測定子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17589984A JPS6153501A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 計測用測定子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153501A true JPS6153501A (ja) | 1986-03-17 |
Family
ID=16004176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17589984A Pending JPS6153501A (ja) | 1984-08-24 | 1984-08-24 | 計測用測定子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6153501A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150102A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-04 | Toshiba Corp | 球体の寸法測定方法 |
| JPH02159502A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-06-19 | Toshiba Corp | 球体固定用治具 |
| CN104567629A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-04-29 | 柳州博昌汽车部件有限公司 | 小型商务车操纵器盖总成角度测量检具 |
-
1984
- 1984-08-24 JP JP17589984A patent/JPS6153501A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150102A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-04 | Toshiba Corp | 球体の寸法測定方法 |
| JPH02159502A (ja) * | 1988-12-14 | 1990-06-19 | Toshiba Corp | 球体固定用治具 |
| CN104567629A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-04-29 | 柳州博昌汽车部件有限公司 | 小型商务车操纵器盖总成角度测量检具 |
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