JPS615461A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS615461A JPS615461A JP12627884A JP12627884A JPS615461A JP S615461 A JPS615461 A JP S615461A JP 12627884 A JP12627884 A JP 12627884A JP 12627884 A JP12627884 A JP 12627884A JP S615461 A JPS615461 A JP S615461A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空蒸着法により形成される非晶質膜（Ｇｄ
Ｆｅ、ＴｂＦｅ等）あるいは多結晶膜（ＭｎＢ ｉ 、
ＭｎＣｕＢ１等）等ヲ有スル光磁気記録媒体を製造する
方法に関する。
Ｆｅ、ＴｂＦｅ等）あるいは多結晶膜（ＭｎＢ ｉ 、
ＭｎＣｕＢ１等）等ヲ有スル光磁気記録媒体を製造する
方法に関する。
（従来例及びその問題点）
従来、真空蒸着法により作成された非晶質膜や多結晶膜
は、大気中に取り出され光磁気記録媒体としての性能評
価のため光学特性（反射率やカーヒステリシス）が測定
されていた。
は、大気中に取り出され光磁気記録媒体としての性能評
価のため光学特性（反射率やカーヒステリシス）が測定
されていた。
従って、組成や膜厚による光学特性の変化の様子等は、
それぞれの膜を作成しては大気中に取り出し測定すると
いうサイクルを何回も繰り返す必要があった。また、こ
れらの膜は酸化しやすいため、大気にさらすと劣化し、
正確な特性が測定できなくなるという欠点があった。
それぞれの膜を作成しては大気中に取り出し測定すると
いうサイクルを何回も繰り返す必要があった。また、こ
れらの膜は酸化しやすいため、大気にさらすと劣化し、
正確な特性が測定できなくなるという欠点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記の問題点を解決するために、蒸着時又は
蒸着直後に、試料が設置された真空槽中にレーザー光を
導入し、該レーザー光を該試料面に照射し、該試料によ
り反射されたレーザー光を該真空層より大気中に導出し
、該導出されたレーザー光をフォトディテクタにより受
光し、該フォトディテクタにより受光したレーザー光に
より該試料の反射率またはカーヒステリシスをモニタす
ることにより、最適な読み出し効率を有する光磁気記録
媒体を製造することを特徴とする光磁気記録媒体の製造
方法を提供するものである。
蒸着直後に、試料が設置された真空槽中にレーザー光を
導入し、該レーザー光を該試料面に照射し、該試料によ
り反射されたレーザー光を該真空層より大気中に導出し
、該導出されたレーザー光をフォトディテクタにより受
光し、該フォトディテクタにより受光したレーザー光に
より該試料の反射率またはカーヒステリシスをモニタす
ることにより、最適な読み出し効率を有する光磁気記録
媒体を製造することを特徴とする光磁気記録媒体の製造
方法を提供するものである。
゛ （実施ｌｌ４）
本発明は、蒸着装置内部で真空を破ることなく光学特性
を測定することにより前述の従来の方法の欠点を解消１
″るものである。
を測定することにより前述の従来の方法の欠点を解消１
″るものである。
第１図は、本発明方法を適用し得る光磁気記録媒体の製
造装置の一実施例の主要部分の概略構成を示す図である
。
造装置の一実施例の主要部分の概略構成を示す図である
。
図に示す如く、一部省略して示す真空槽１の上方には、
反射１１２と偏光板３が設けられており、図示しないレ
ーザニ光源よりのヘリウム−ネオンレーザ−光は、反射
鏡２により反射され、偏光板３により直線偏光とされて
、窓４を介して真空槽１内に導入される。このレーザー
光は、反射鏡５゜６により反射されて試料７に２５ｊｉ
の角度で入射される。
反射１１２と偏光板３が設けられており、図示しないレ
ーザニ光源よりのヘリウム−ネオンレーザ−光は、反射
鏡２により反射され、偏光板３により直線偏光とされて
、窓４を介して真空槽１内に導入される。このレーザー
光は、反射鏡５゜６により反射されて試料７に２５ｊｉ
の角度で入射される。
試料上部には、試料に垂直方向に磁場を印加するための
電磁石８が配置されており、カーヒステリシス振幅時に
は、＋５０００６から一５００Ｑｅまで磁場が掃引され
るようになっている。
電磁石８が配置されており、カーヒステリシス振幅時に
は、＋５０００６から一５００Ｑｅまで磁場が掃引され
るようになっている。
ＧｄＦｅ非晶質膜は電子ビーム蒸発器９．１０に用意さ
れた鉄及びガドリニウムのインゴットより′試料７に供
給される。２つのインゴットは、仕切板１１により仕切
られており、夫々の蒸発物質は、センサー１２．１３に
より測定される。
れた鉄及びガドリニウムのインゴットより′試料７に供
給される。２つのインゴットは、仕切板１１により仕切
られており、夫々の蒸発物質は、センサー１２．１３に
より測定される。
試料７により反射されたレーザー光は、反射鏡１４．１
．５により反射され、窓１６を介して真空槽外に導出さ
れ、反射１１７により反射され、ハーフミラ−１８によ
り２つに分割され、夫々偏光状態を分析するための分析
器１９．２０を介してフォトディテクタ２１．２２によ
り受光される。
．５により反射され、窓１６を介して真空槽外に導出さ
れ、反射１１７により反射され、ハーフミラ−１８によ
り２つに分割され、夫々偏光状態を分析するための分析
器１９．２０を介してフォトディテクタ２１．２２によ
り受光される。
フォトディテクタ２１．２２の出力は、差動増幅器２３
の反転入力端子及び非反転入力端子に供給され、差動増
幅器２３の出力は、出力端子２４より図示を省略したモ
ニタ装置に供給され、光量（反射率）や−波面の回転に
よる光量変化（カー、ユヶ１．ツユ）が測定され。。
（このモニタ装置によりモ
ニタされた数値により、最適な誂み出し効率を有する光
磁気１記録媒体を製造するよう蒸着器を適宜調整する・
。
の反転入力端子及び非反転入力端子に供給され、差動増
幅器２３の出力は、出力端子２４より図示を省略したモ
ニタ装置に供給され、光量（反射率）や−波面の回転に
よる光量変化（カー、ユヶ１．ツユ）が測定され。。
（このモニタ装置によりモ
ニタされた数値により、最適な誂み出し効率を有する光
磁気１記録媒体を製造するよう蒸着器を適宜調整する・
。
第２図は、、上記の装Ｕにより、本発明の製造方法を適
用して製造した光磁気記録媒体の測定結果を示づもので
あり、ＧｄＦｅ・膜に対するカーヒステリシス振幅の膜
厚依存特性を示すものである。
用して製造した光磁気記録媒体の測定結果を示づもので
あり、ＧｄＦｅ・膜に対するカーヒステリシス振幅の膜
厚依存特性を示すものである。
こ・れにより膜厚みが約２００人の時１も再生効率が高
くなることが明らかとなった。
くなることが明らかとなった。
（発明の効果）
本発明になる光磁気記録媒体の製造方法は上記のような
ものであるから、組成や膜・厚による光学特性の変化の
様子等を製造中に真空槽内で測定することができ、作成
しては大気中に取り出し測定するというサイクルを何回
、も繰り返す必要がなく、簡単に測定が可能であるため
、容易に最適の読み出し効率を有する光磁気記録媒体を
製造することができ、また、これらの酸化しやすい膜を
大気にさらす必要がなく、正確な特性が測定できる等の
効果、を有する。
ものであるから、組成や膜・厚による光学特性の変化の
様子等を製造中に真空槽内で測定することができ、作成
しては大気中に取り出し測定するというサイクルを何回
、も繰り返す必要がなく、簡単に測定が可能であるため
、容易に最適の読み出し効率を有する光磁気記録媒体を
製造することができ、また、これらの酸化しやすい膜を
大気にさらす必要がなく、正確な特性が測定できる等の
効果、を有する。
第１図は、本発明方法を適用し得る光磁気記録媒体の製
造装置の一実施例の主要部分の概略構成を示す図、第２
図は、上記の装置により、本発明の製造方法を適用して
製造した光磁気記録媒体の測定結果を示すものである。 １・・・真空槽、２，５．・６．１４．１５．１７・・
・反射鏡、３・・・偏光板、４，１６・・・窓、７・・
・試料、２１．２２・・・フォトディテクタ、２３・・
・差動増幅器
造装置の一実施例の主要部分の概略構成を示す図、第２
図は、上記の装置により、本発明の製造方法を適用して
製造した光磁気記録媒体の測定結果を示すものである。 １・・・真空槽、２，５．・６．１４．１５．１７・・
・反射鏡、３・・・偏光板、４，１６・・・窓、７・・
・試料、２１．２２・・・フォトディテクタ、２３・・
・差動増幅器
Claims (1)
- 蒸着時又は蒸着直後に、試料が設置された真空槽中にレ
ーザー光を導入し、該レーザー光を該試料面に照射し、
該試料により反射されたレーザー光を該真空層より大気
中に導出し、該導出されたレーザー光をフォトディテク
タにより受光し、該フォトディテクタにより受光したレ
ーザー光により該試料の反射率またはカーヒステリシス
をモニタすることにより、最適な読み出し効率を有する
光磁気記録媒体を製造することを特徴とする光磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12627884A JPS615461A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12627884A JPS615461A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS615461A true JPS615461A (ja) | 1986-01-11 |
Family
ID=14931247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12627884A Pending JPS615461A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS615461A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63122930A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気メモリ媒体のカ−回転角測定装置 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12627884A patent/JPS615461A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63122930A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気メモリ媒体のカ−回転角測定装置 |
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