JPS6154878B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、マルチ方式の噴射式部分メツキ手段
であつて、例えば通信機器用コンタクタ等電気部
品の接点やIC用リードフレームのボンデイング
エリア等を部分メツキする際に、第３の部材であ
るセパレータによりメツキ液噴射ノズル及びマス
ク穴の配置間隔をその被メツキ部の間隔に対応し
て自在に可変設定できるようにしたセパレータ利
用の部分メツキ方法及びその装置に関する。

一般に、通信機器用交換器等に使用されるコン
タクトやプリント基板のリード部、或いはICリ
ードフレームのボンデイングエリアや、多極接続
用のコネクター等の電気接点部は、通常フープ状
にスリツトされた銅又は銅合金素材をプレス加工
によつて打抜き曲加工した後、部分メツキ手段に
よりその先端コンタクト部に金や銀、白金、パラ
ジウム等の貴金属を部分メツキ処理するものであ
る。

例えば第１図に図示の如く通信機器に用いられ
ているコンタクタ１は、材厚が0.1〜0.5mm程度の
タフピツチ銅板を幅員1.0〜3.0mm程度の側面Ｕ字
形状にプレス加工してコンタクタ本体２を形成
し、その曲面底部３に厚さ数μ、面積0.3〜数mm²
の極微小部分メツキ層４を処理できれば機能上充
分である。

処が在来の部分メツキ手段は、第２図に図示の
如くアノード極に設定したノズル５から加圧され
たメツキ液をカソード極に設定したワーク（この
場合はコンタクタ本体２の曲面底部３）に向けて
噴射させ電解メツキ処理するものであり、被メツ
キ部の設定はメツキパターンに対応した開口部を
有するマスク６によりマスキングするものである
が、そのメツキ精度及び品位は極めて高度を要す
る処から、メツキ設備製作上にかなり問題があつ
た。

例えば上記コンタクタ１の場合、現物は加工間
隔P₀が2.54mmであり、且つこれを40本同時に部分
メツキする必要があるため、第３図に図示の如く
各ワークに、対応してノズル５も40本も同じ間隔
で配設しなければならず、又、マスク６も同間隔
で微細なマスク穴７を穿設加工しなければならな
い。

つまりワークの種類毎に専用化したノズル５及
びマスク７から成るメツキ装置を必要とするの
で、ワークの数だけ専用メツキ装置を予め準備し
なければならないことになる。

而かも、上記メツキ装置は、マスク６及びノズ
ル５共、耐熱性、耐薬品性及び耐久性を具備する
素材、例えばセラミツクやステンレス鋼材等に微
小精密加工をしなければならないので、装置製造
コストが嵩む上、ワークに対応してその都度ノズ
ル５やマスク６を交換し調整する必要があるか
ら、段取り工数が多大である。

又、ワークの被メツキ部間隔P₀が接近している
とノズル５の外径寸法も規制されるので、微小間
隔の部分メツキが不可能な場合もある。

このような問題は、前記した通信機器用コンタ
クタ１を処理する場合に特に影響が大きい。

即ち、被メツキ物であるコンタクタ本体２は、
多品種多量生産する物であり、その各品種毎の形
態は相似的なものや、被メツキ域間隔だけの相
違、或いは被メツキ面積だけが異なるものが多
い。又、加工に際しては第４図に図示の如くフー
プ材にパイロツト穴８及びコンタクタ本体２の外
形を例えば前記したように2.54mm間隔で打抜いた
後、先端を曲加工した段階でその曲面底部３に部
分メツキ処理を行ない、次いで切断工程に廻すの
が一般的である。

従つて、マスク６は第５図に図示したように単
発的なマスク穴７を連設したり、或いはクシ形に
マスク穴用切欠部９を連設したマスク板１０Ａ
に、平板状の側板１０Ｂを添設したマスク６（第
６図参照）を利用することができるが、これらの
製造コストはかなり嵩む上、コンタクタ１の種類
毎に準備しなければならない。

一方、ノズル５の方はマスク穴７に対応した個
別のノズル穴を加工するか、数個〜数十個のマス
ク穴７をカバーする長溝状のノズル穴５Ａを穿設
する。（第７図参照） この製造コストもマスク６以上に高くなる上、
コンタクタ１の種類毎に準備する必要がある。而
かもメツキに際しては、メツキ液流が干渉した
り、乱流や渦流の発生及びマスキング部分での滞
留現象によつて電流密度が著しく劣化し、又マス
キング部分のメツキ液浸潤によるハレーシヨンと
相俟つてメツキ品位や効率が極端に低下する惧れ
があり、歩留りの低下と、段取り工数及び処理工
数の多大化と、設備費の嵩みが相俟つてメツキ処
理コストが高くなると云う問題があつた。

本発明は叙上の諸問題点に鑑み成されたもの
で、その第１の目的とする処は、ワークの種類に
対応して任意数の部分的マスキング域を自在に可
変設定できるようにし、且つノズルからのメツキ
液流束も各部分的マスキング域毎に対応する状態
に分けるようにしてマルチ式部分メツキを可能な
らしめ、メツキ処理段取り工数やメツキ処理工数
を大巾に低減させたセパレータ利用の部分メツキ
方法の提供にある。又、本発明の他の目的とする
処は、単にスリツトや長溝穴を形成しただけのマ
スクと、このスリツトや長溝穴と対峙したノズル
の開口面に第３の部材であるセパレータを立設
し、且つ該セパレータをマスクとノズルで挾持す
るようにして、マスクは固よりノズルに対する複
雑且つ精密な加工を要せずに多数の部分メツキを
同時処理可能とし、単一の装置で多種のワークに
対応できるようにした低廉な部分メツキ装置の提
供にある。

更に、本発明の他の目的とする処は、被メツキ
物に当接したマスク乃至マスクホルダーと外套凾
によつて密閉空間を形成し、且つこの中にノズル
を配設すると共に負圧状態を保持せしめ、上記セ
パレータの介装と相俟つて高品位の部分メツキを
廉価に処理し得るようにした部分メツキ装置の提
供にある。

以下に本発明の実施例を第８図以下に基づき説
明する。先ずワーク１１の被メツキ域をマスキン
グするマスク１２Ａは、マスクホルダー１３によ
り保持させてあり、該マスクホルダー１３の下段
には、メツキ液を噴射するノズル１４Ａを保持し
且つメツキ液排除穴１５を有するノズルホルダー
１６を設け、更に該ノズルホルダー１６の下段に
配置され上記メツキ液排除穴１５と連通するチヤ
ンバー１７を有し且つ底部に連通孔１８を有する
外套凾１９と、該外套凾１９の下段に連設され上
記連通孔１８と連通する気液分離器２０と、この
気液分離器２０に連結し、上記マスクホルダー１
３及びノズルホルダー１６乃至外套凾１９のチヤ
ンバー１７内を負圧状態に保持する吸引機構２１
とから成るものであり、気液分離器２０は図示し
ないメツキ液タンクにも接続し、このメツキ液タ
ンクに回収されたメツキ液は上記ノズル１４Ａに
再供給されるようにしてある。（以上第８図参
照） 尚、上記装置に於いて、外套凾１９及び気液分
離器２０や吸引機構２１は固定式とし、ノズルホ
ルダー１６及びマスクホルダー１３は着脱交換自
在としてある。次に上記各部の構造を詳述する。

先ずマスクホルダー１３は第９図で示されるよ
うに、ステンレス鋼等の素材で平形凾状に形成さ
れ、その表面側には凹部２２が形成され、且つ該
凹部２２の中央に所定幅員の長溝２３が形成され
ている。又、内面側は空胴で上記長溝２３の処は
第８図に図示の如く逆テーパー状に形成されてい
る。

又、該マスクホルダー１３の凹部２２には、ア
ルミニウム等の金属で成形し且つその外表面全域
をフツ素樹脂等の絶縁物でコーテイングしたも
の、或いはガラスやセラミツク又は硬質ゴム等の
非導電性素材で成形された薄平板状のマスク本体
２４を複数並設して嵌入し、両マスク本体２４の
中央部に被メツキパターンの幅員に対応する幅員
W₁のスリツト２５が形成されるようにしてあ
る。

即ち、両マスク本体２４の一方は平帯板状に形
成され、且つ他方は上記スリツト２５の幅員W₁
に相当するコ字形の切欠部が形成されていて、両
者を継合わせるとこの切欠部分がスリツト２５に
なる。

尚、このマスク本体２４のスリツト２５もその
底部を逆テーパー状と成し、マスクホルダー１３
の長溝２３のテーパー部と連続する形態にしてあ
る。

一方、ノズルホルダー１６は上記マスクホルダ
ー１３と連結可能な平枠状に形成されていて、そ
の中央には長溝２３と対応する長方形有底凾状の
液供給溝２６が形成され、該液供給溝２６はその
側壁に穿設されたメツキ液供給穴２７と連通する
ようにしてあり、又液供給溝２６の両側に長方形
状のメツキ液排除穴１５を形成してある。

更に、このノズルホルダー１６に組込むノズル
１４Ａは、平板状の側板２８と、前記マスク本体
２４のスリツト２５と対応する長さの噴射溝２９
が形成された平面コ字状のノズル本体３０から成
り、両者を合体しビス等により緊締し、該噴射溝
２９と前記液供給溝２６とを連通する状態でノズ
ル１４Ａをノズルホルダー１６に連結固定する。

又、上記ノズル１４Ａとマスクホルダー１３と
の間には、ガラスやセラミツク又は硬質ゴム等の
絶縁物製剛体、或いは、アルミニウム等の金属の
外表面にフツ素樹脂等の絶縁物をコーテイングし
た素材により正面凸形に成形されたセパレータ３
１Ａを第１０図に図示の如く介装してあつて、該
セパレータ３１Ａの頂部３２の幅員W₀は前記マ
スク１３のスリツト２５内に臨ませることができ
る寸法であり、又底部３３は前記ノズル１４の噴
射溝２９を跨架できる幅員としてある。尚、セパ
レータ３１Ａの肩部３１A′はマスクホルダー１
３で押さえ付けられた状態となる。

上記セパレータ３１Ａは、ワーク１１の被メツ
キ部数に応じた数量だけ使用するもので、その配
置間隔を被メツキ部の間隔に対応させ、ノズル１
４Ａとマスク１２Ａとの間にシリコンゴム等のシ
ール材（図示せず）を介して挾持させるが、接着
剤を用いてノズル１４Ａに接着固定するか、或い
はビス止め等の機械的手段によりノズル１４Ａに
固着しても良い。

特に本発明にあつては、ノズル１４Ａ，１４
Ｂ，１４Ｃとワーク１１との極間距離を接近させ
た方が良く、セパレータ３１Ａ，３１Ｂ，３１
Ｃ，３１Ｄの固持の確実化は勿論であるが、この
極間距離を１mm以下にすることで高電界強度が得
られ、極微小部分メツキが可能となる。

又、このセパレータ３１Ａにより仕切られたノ
ズル開口部面積は、同じく該セパレータ３１Ａで
以つて仕切られたマスク開口部面積より大として
ある。つまり、マスク１２Ａのスリツト２５の幅
員W₁と、ノズル１４Ａの噴射溝２９の幅員W₂と
は、W₁＜W₂の関係がある。

次に外套凾１９は、前記した如くそのチヤンバ
ー１７の底部に設けられた連通孔１８乃至気液分
離器２０を介して真空ポンプ等の吸引機構２１に
接続され、該吸引機構２１の駆動により前記マス
クホルダー１３乃至ノズルホルダー１６のメツキ
液排除穴１５及び外套凾１９のチヤンバー１７内
を所定の負圧状態にすることができるようにして
ある。

尚、上記気液分離器２０の底部に連結されたメ
ツキ液タンクは、図示しないパイプ及び加圧用ポ
ンプ機構を介して前記ノズルホルダー１６のメツ
キ液供給穴２７に接続してあつて、メツキ液給送
閉回路を構成してあり、メツキ液の循環使用を可
能にしてある。

叙上の構成に於いて、メツキ処理に先立ち、先
ずワーク１１の被メツキパターンに応じて必要数
のセパレータ３１Ａを前記した手段によりノズル
ホルダー１６に配設し、ノズル開口部の設定とマ
スキングを同時に完了させる一方、ワーク１１を
カソード極側とし、又、ノズル１４Ａをアノード
極側にして夫々に所定の直流電圧を印加する。

次いでワーク１１をマスク１２Ａに密着配置し
た後、吸引機構２１を作動させマスクホルダー１
３内及び外套凾１９のチヤンバー１７内を負圧状
態にする一方、メツキ液加圧用のポンプ機構の駆
動によつて、メツキ液をノズルホルダー１６のメ
ツキ液供給穴２７乃至液供給溝２６を経てセパレ
ータ３１Ａによつて仕切られた各ノズル開口部か
ら噴射させる。この時セパレータ３１Ａの頂部３
２はワーク１１のガイドとなり、又側壁面が空気
遮断する状態となる。而してメツキ液はワーク１
１の被メツキ部に衝突し電解メツキが行なわれる
が、使用済及び余剰のメツキ液は負圧により強制
排除されるため、ノズル１４Ａ及びマスク１３の
近傍で滞留し背圧状態になることを完全に防止
し、且つメツキ液の強制吸引排除によりメツキ液
は常に新鮮な状態であるから、メツキ電流密度が
上昇し高効率でメツキ処理が行なえる上、マスキ
ング部に於いてメツキ液がワーク１１とマスク１
２Ａの間に浸潤するのを防止できるのでハレーシ
ヨンの無い高品位のメツキ層が得られる。

尚、ワーク１１の種類がリードフレームのイン
ナーリードのボンデイングエリア等であつて極微
小部分メツキで済む場合は、被メツキ面とノズル
１４Ａの間隔を１mm以下に極接近させてメツキ液
を噴射させるが、この場合でもこのわづかな隙間
に滞留し易い余剰メツキ液も負圧の為瞬間的に吸
引排除され、被メツキ面には新鮮なメツキ液が供
給されるので、例えばメツキ面積が0.3〜1.0mm²で
メツキ厚１μ程度のメツキ処理が可能である。

上記の余剰乃至用済のメツキ液は、気液混合状
態で外套凾１９のチヤンバー１７を経て気液分離
器２０に流入し、そこで分離されたメツキ液はメ
ツキ液タンクに回収される。

勿論、ワーク１１の順送とメツキ液加圧ポンプ
機構とは共に連動させることで、上記部分メツキ
を高速で連続処理できる上、ワーク１１の種類を
変更する場合は、セパレータ３１Ａの数及び配置
間隔を適宜変更配設するだけで済むので、段取り
工数が大巾に低減できる。而かもマスク本体２４
やノズル１４Ａ及びセパレータ３１Ａの構造が極
めて簡素化され且つ加工精度も緩和できるのでそ
の製造コスト及びメンテナンスコストが極めて廉
価になり、メツキ効率の向上と相俟つてメツキ処
理費の大巾な低廉化が可能となる。

次に、本発明の他の実施例について説明する。

先ずマスク１４Ｂは、平板状のマスク板４１に
長方形のマスク穴４２を穿設し、これを前記セパ
レータ３１Ａ乃至後述のセパレーターの頂部で所
定間隔に仕切り被メツキ域を夫々正確にマスキン
グするようにしてある。（第１１図参照） 他方第２実施例に係るノズル１４Ｂは、予め被
メツキ部の配置間隔に対応して切欠溝５１を所定
数連設したノズル本体５２と、その切欠溝５１を
閉塞可能な側板５３とから成り、両者を連結固定
する構造である。（第１２図参照） 又、第３実施例に係るノズル１４Ｃは、ノズル
本体５４に同じく被メツキ部の配置間隔に対応し
てノズル穴５５を所定数連設してあり、必要に応
じてノズル本体５４の両側壁面に直線状のガイド
溝５６を刻設してある。（第１３図参照） 更に、前記第１実施例に係るノズル１４Ａは、
セパレータ３１Ａを装備させる際にこれを固定し
易くするため、ノズル本体３０及び側板２８に
夫々所定間隔で平行なホールド溝５７を多数形成
しても良い。（第１４図参照） 勿論、これは第２実施例及び第３実施例の両ノ
ズル１４Ｂ，１４Ｃにも適用可能で、例えば第１
５図に図示のように個別に形成されたノズル穴５
５の両隣りにホールド溝５７を穿設したノズル１
４C′としても良い。

次に第２実施例に係るセパレータ３１Ｂは、材
質も硬質塩化ビニル樹脂やポリカーボネイト樹脂
製で平坦な頂部６１を有し底部６２はノズル１４
Ａ，１４Ｂ，１４Ｃに跨設状態で装着可能として
あり、装着すると頂部６１がマスク１２Ａ，１２
Ｂのマスキング面と同一面になるようにしてあつ
て、その側壁面６３で空気遮断を行なうようにし
てある。（第１６図参照） 又、第３実施例に係るセパレータ３１Ｃは、頂
部６４が突出しておりその頂部側面をテーパー面
６５としてワーク１１の移送案内し易いようにし
てあり、且つ底部に脚部６６を形成してあつて、
ノズル１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃに嵌め込むことが
できるようにしてある。（第１７図参照） 勿論、上記テーパー面６５は必要不可欠なもの
では無く、平板状でも良い。

更に第４実施例に係るセパレータ３１Ｄは、平
坦な頂部６７を有し底部には脚部６８を突設させ
その内側にはリブ６９を形成し、前記ノズル１４
Ｃのガイド溝５６に該リブ６９を挿入しスライド
させるようにしてある。（第１８図参照） 以上説明したマスク１２Ａ，１２Ｂとノズル１
４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ及びセパレータ３１Ａ，３
１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄの各組合せは、ワーク１１
の種類に応じて適宜決定するものであつて、例え
ば前記したコンタクタ１の場合は、第１、第３実
施例のセパレータ３１Ａ，３１Ｃを用いて、ワー
ク１１のガイド及び位置決めを正確に設定する一
方、IC等のリードフレームのボンデイングエリ
ア等にメツキする場合は、第２、第４実施例のセ
パレータ３１Ｂ，３１Ｄを使用することになる。

尚、ノズルホルダー１６も第１実施例のそれに
特定されるものではなく、例えば第１９図に図示
の如く、長方体状の凾状のホルダー本体７１に、
メツキ液給送口７２を穿設する一方、上部に前記
ノズル１４Ｂの切欠溝５１や、ノズル１４Ｃのノ
ズル穴５５に対応した透孔７３を連設したものを
１６′とし、これを外套凾１９に取付け、ホルダ
ー本体７１の外周空間部をメツキ液排除通路７４
としても良い。

又、前記ノズル１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃをノズ
ルホルダー１６，１６′に装着する場合、その表
面にビス止めや接着する以外に、ノズルホルダー
１６，１６′へ埋設するように嵌入しても良い。

尚、上記各実施例共、マスク及びマスクホルダ
ーは、完全密閉構造であり外気を遮断している
が、マスク及び／又はマスクホルダーに外気導入
溝を形成して、そこから流入する外気流によりマ
スク近傍のメツキ液の飛散を防止したり、余剰メ
ツキ液の強制排除等をしても良い。又、外套凾と
マスク及びマスクホルダーで形成した密閉空間内
を負圧にしているが、これも、絶対必要条件では
なく、該密閉空間内を通常の大気圧の状態にして
も良いことは勿論である。

以上述べたように本発明によれば、ワークの被
メツキ部をマスキングするマスクには、スリツト
や長方形のマスク穴等極めて簡単な加工のみを行
ない、該スリツトやマスク穴をワークに対応して
所定間隔及び面積に仕切るセパレータをノズルに
装着し、且つこれによつて各被メツキ部夫々のメ
ツキ液噴射流路も形成するようにしてあるから、
メツキ装置の製造コストが廉価で済み、メツキ処
理時の段取り工数の大巾削減が可能となり、又、
メツキ精度や品位の高度維持ができるので歩留り
も向上するためメツキ処理コストの低廉化が期し
得る。

更に、コンタクタやリードフレーム等のように
多種多様性を有し且つ多量に高速処理を要するワ
ークに対して、その対応性に優れる上、メンテナ
ンスやランニングコストの点でも極めて有効的で
ある等幾多の著効を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は部分メツキのワークの１つであるコン
タクタの部分拡大斜視図、第２図は同上コンタク
タに部分メツキする場合の在来手段を示す要部拡
大縦断面説明図、第３図はマルチ式部分メツキの
在来手段を示す部分縦断説明図、第４図はマルチ
式部分メツキの対象物品の１つであるコンタクタ
のプレス加工状態を示す部分斜視図、第５図はマ
ルチ式部分メツキに使用する在来のマスクの平面
図、第６図は同上マスクの他の実施態様を示す斜
視図、第７図はマルチ式部分メツキに多用される
在来のノズルを示す部分斜視図である。第８図以
下はいずれも本発明の部分メツキ装置の実施例に
係るもので、第８図は部分メツキ装置の概要構成
を示す縦断面図、第９図は同上部分メツキ装置の
分解斜視図、第１０図は同部分メツキ装置のセパ
レータの装着態様を示す部分斜視図、第１１図は
第２実施例に係るマスクの斜視図、第１２図は第
２実施例のノズルの斜視図、第１３図は第３実施
例のノズルの斜視図、第１４図は第１実施例に係
るノズルの他の実施態様を示すノズルの要部斜視
図、第１５図は同上第２実施例に係るノズルの他
の実施態様を示すノズルの要部斜視図、第１６図
はセパレータの第２実施例を示す拡大斜視図、第
１７図はセパレータの第３実施例を示す拡大斜視
図、第１８図はセパレータの第４実施例を示す拡
大斜視図、第１９図はノズルホルダーの他の実施
例を示す斜視図である。 １１……ワーク、１２Ａ，１２Ｂ……マスク、
１３……マスクホルダー、１４Ａ，１４Ｂ，１４
Ｃ……ノズル、１６，１６′……ノズルホルダ
ー、１７……チヤンバー、１９……外套凾、２４
……マスク本体、２５……スリツト、２９……噴
射溝、３０，５２……ノズル本体、３１Ａ，３１
Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ……セパレータ、４１……マ
スク板、４２……マスク穴、５３……側板、５５
……ノズル穴、５６……ガイド溝、５７……ホー
ルド溝、７１……ホルダー本体。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ マスクとノズルの間に第３の部材である絶縁
   物製のセパレータを任意数介装し、マスクにより
   マスキングされた広域被メツキ部を所定数に区割
   してその各々を部分被メツキ部に設定し、且つノ
   ズルから噴射されるメツキ液流束も所定数に分け
   てその夫々が上記部分被メツキ部をターゲツトと
   するメツキ液流となるようにしたことを特徴とす
   るセパレータ利用の部分メツキ方法。 ２ 被メツキ物に密着するマスクに、広域範囲を
   包括してマスキングするためのスリツトや長溝穴
   等を形成し、メツキ液を噴射するノズル側には絶
   縁物製のセパレータを任意数立設し、該セパレー
   タをマスクとノズルにより挾持せしめた部分メツ
   キ装置。 ３ セパレータは、その頂部をマスクの長溝等か
   ら突出せしめ、部分メツキ域の設定とワークのガ
   イドとを兼備せしめたことを特徴とする特許請求
   の範囲第２項記載の部分メツキ装置。 ４ セパレータは、その頂部を平坦に形成し、且
   つ該平坦面をマスクの長溝等内のみに臨ませ、平
   面的なワークに密着せしめて部分被メツキ域を設
   定するようにしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第２項記載の部分メツキ装置。 ５ セパレータは、その底部を平坦に形成しノズ
   ル開口部表面に載置固定するようにしたことを特
   徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メツキ
   装置。 ６ セパレータは、その底部にノズルの幅員より
   広い間隔で複数の脚部を突設し、ノズル開口部に
   跨設せしめ固定するようにしたことを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の部分メツキ装置。 ７ マスクは、複数の長方形平板状マスク板を所
   定の間隙を残して並設し、該間隙で被メツキ部の
   全域を包括してマスキングするようにしたことを
   特徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メツ
   キ装置。 ８ マスクは、平板状のマスク本体に、被メツキ
   部の広域が包括してマスキング可能な長溝穴を穿
   設したことを特徴とする特許請求の範囲第２項記
   載の部分メツキ装置。 ９ ノズルは、上記広域包括マスキング範囲より
   稍々長いコ字形切欠部が形成されたノズル本体
   に、平板状の側板を添合して長溝穴状のノズル穴
   を形成せしめたことを特徴とする特許請求の範囲
   第２項記載の部分メツキ装置。 １０ ノズルは、所定数の狭幅コ字形状切欠溝が
   クシ形に連設されたノズル本体に、平板状の側板
   を添合して多数のノズル穴を連設せしめたことを
   特徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メツ
   キ装置。 １１ ノズルは、一体的に成形されたノズル本体
   に、任意数のノズル穴を連設して穿設させたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の部分メ
   ツキ装置。 １２ ノズルには、前記セパレータが嵌合可能な
   ホールド溝を任意数連設させたことを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の部分メツキ装置。 １３ ノズルには、その側壁面に水平直線状のガ
   イド溝を形成し、且つセパレータの脚部内側には
   該ガイド溝に係入するリブを突設させたことを特
   徴とする特許請求の範囲第６項記載の部分メツキ
   装置。 １４ セパレータは、ガラス又はセラミツク等の
   絶縁性剛体素材で成形させたことを特徴とする特
   許請求の範囲第３項乃至第６項のいづれかに記載
   した部分メツキ装置。 １５ セパレータは、金属製素材で成形し且つそ
   の外表面全部をフツ素樹脂等の耐熱耐薬品性素材
   によりコーテイングしたことを特徴とする特許請
   求の範囲第３項乃至第６項のいづれかに記載した
   部分メツキ装置。 １６ ワークに密着させ広域の被メツキ域が設定
   可能なマスクを着脱交換自在に保持するマスクホ
   ルダーと、メツキ液噴射ノズルを固定保持し、且
   つメツキ液排除部を有し上記マスクホルダーに連
   結可能なノズルホルダーと、該ノズルホルダーと
   連結され前記マスクホルダーと相俟つて密閉空間
   を形成する外套凾と、該外套凾に連通し上記密閉
   空間内を所定の負圧値に維持する吸引機構とを具
   備し、且つ前記ノズルとマスクの間に任意数のセ
   パレータを立設挾持させて成る部分メツキ装置。